CN209276632U - 一种电极杆密封结构及镀膜设备 - Google Patents
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Abstract
本实用新型属于太阳能电池加工技术领域，公开了一种电极杆密封结构及镀膜设备。电极杆密封结构包括电极座法兰及金属法兰，电极杆穿设于电极座法兰上并穿过金属法兰后伸入工艺腔，金属法兰包括可供电极杆穿过的波纹管及分别设置于波纹管两端的第一法兰和第二法兰，第二法兰密封连接于工艺腔的侧壁上，电极座法兰连接于第一法兰，且电极座法兰与第一法兰之间设置有第一密封圈，以将电极杆与工艺腔之间进行密封；第一法兰沿周向环设有若干倾角调节螺钉，倾角调节螺钉连接于第二法兰，通过调节倾角调节螺钉来调节电极杆的倾斜角度，以使电极杆与石墨舟上的电极孔相配合。在调节时不会对第一密封圈造成挤压，能够降低密封圈的老化影响，保证气密性。
Description
技术领域
本实用新型涉及太阳能电池加工技术领域，尤其涉及一种电极杆密封结构及镀膜设备。
背景技术
等离子体增强化学气相沉积法(Plasma Enhanced Chemical Vapor Deposition，PECVD)是电池片背钝化生产过程中重要环节，其原理是借助微波或射频等使含有薄膜组成原子的气体电离，在局部形成等离子体，而等离子体化学活性很强，很容易发生反应，在基片上沉积出所期望的薄膜。
在太阳能电池片的制造过程中，管式PECVD用于太阳能电池片的镀膜工序中，在管式PECVD的工艺腔内放置有石墨舟，工艺腔的侧壁上安装有伸入工艺腔内的电极杆，电极杆与石墨舟接触，石墨舟内的硅片在高温情况下，射频电源通过电极杆产生大电流放电，高温及电离SiH4、NH3等特殊工艺气体，产生离子附着于硅片表面，从而对硅片进行镀膜。
由于工艺腔内通有工艺气体，电极杆与工艺腔之间需要进行密封和绝缘，现有的密封结构如图1所示，金属法兰1＇密封连接于工艺腔10＇的侧壁上，在电极杆20＇与电极座法兰2＇之间设置衬套3＇进行电气绝缘，再在金属法兰1＇与电极座法兰2＇之间设置橡胶密封圈4＇进行密封。由于每次放置的石墨舟位置会略有变动，电极杆20＇与石墨舟上的电极孔需要进行对准。因此，电极座法兰2＇通过倾角调节螺钉5＇连接于金属法兰上。当需要调节电极杆20＇的角度时，通过微调倾角调节螺钉5＇，从而微调橡胶密封圈4＇的压平度来进行电极杆20＇与电极孔的位置匹配。而随着使用时间的推移和石墨舟的不断碰压，橡胶密封圈4＇极易老化，进而影响密封性能。
实用新型内容
本实用新型的一个目的在于提供一种电极杆密封结构，能够降低密封圈的老化影响，保证气密性。
为达此目的，本实用新型采用以下技术方案：
一种电极杆密封结构，包括电极座法兰及金属法兰，电极杆穿设于所述电极座法兰上并穿过所述金属法兰后伸入工艺腔，所述金属法兰包括可供所述电极杆穿过的波纹管及分别设置于所述波纹管两端的第一法兰和第二法兰，所述第二法兰密封连接于工艺腔的侧壁上，所述电极座法兰连接于所述第一法兰，且所述电极座法兰与所述第一法兰之间设置有第一密封圈；所述第一法兰沿周向环设有若干倾角调节螺钉，所述倾角调节螺钉连接于所述第二法兰。
作为优选，所述波纹管、所述第一法兰及所述第二法兰一体成型。
作为优选，每个所述倾角调节螺钉上均连接有一个调节螺母，所述倾角调节螺钉的头部和所述调节螺母分别位于所述第一法兰的两侧。
作为优选，所述电极座法兰沿周向环设有若干第一锁紧螺钉，所述第一锁紧螺钉螺纹连接于所述第一法兰。
作为优选，所述电极杆上涂覆有耐高温的绝缘涂层。
作为优选，所述电极杆密封结构还包括套设于所述电极杆上的第一衬套及第二衬套，所述第一衬套抵接于所述电极座法兰的远离所述第一法兰的一侧，并位于所述电极座法兰与所述电极杆之间；所述第二衬套抵接于所述第一法兰的远离所述电极座法兰的一侧，并位于所述第一法兰与所述电极杆之间。
作为优选，所述第一衬套和所述第二衬套为陶瓷衬套或四氟乙烯衬套。
作为优选，所述电极杆密封结构还包括第二密封圈，所述第二法兰通过所述第二密封圈密封连接于所述工艺腔的侧壁。
作为优选，所述第二法兰远离所述第一法兰的端面上开设有环形的容纳槽，所述第二密封圈部分嵌于所述容纳槽内。
本实用新型的另一目的在于提供一种镀膜设备，该镀膜设备上的电极杆与工艺腔之间密封性好。
为达此目的，本实用新型采用以下技术方案：
一种镀膜设备，包括上述的电极杆密封结构。
本实用新型的有益效果：
本实用新型提供了一种电极杆密封结构及镀膜设备。电极杆密封结构包括电极座法兰及金属法兰，其中金属法兰包括可供电极杆穿过的波纹管及分别设置于波纹管两端的第一法兰和第二法兰，第二法兰密封连接于工艺腔的侧壁上，电极座法兰连接于第一法兰，且电极座法兰与第一法兰之间设置有第一密封圈，从而将电极杆与工艺腔之间进行密封；
第一法兰沿周向环设有若干倾角调节螺钉，倾角调节螺钉连接于所述第二法兰，通过调节倾角调节螺钉挤压波纹管、造成弯曲偏移，进而调节第一法兰的端面相对第二法兰的端面的倾斜角度，从而调节第一法兰上安装的电极座法兰的倾斜角度，最终调节电极杆的倾斜角度，以使电极杆与石墨舟上的电极孔相配合。该电极杆密封结构在调节时不会对第一密封圈造成挤压，能够降低密封圈的老化影响，保证气密性。
附图说明
图1是现有技术的电极杆密封结构的示意图；
图2是本实用新型提供的电极杆密封结构的立体示意图；
图3是本实用新型提供的电极杆密封结构安装在工艺腔上时的主视图；
图4是图3所示结构的剖视图。
图中：
10＇、工艺腔；20＇、电极杆；
1＇、金属法兰；2＇、电极座法兰；3＇、衬套；4＇、密封圈；5＇、倾角调节螺钉；
10、工艺腔；20、电极杆；
11、波纹管；12、第一法兰；13、第二法兰；131、容纳槽；2、电极座法兰；31、第一衬套；32、第二衬套；4、第一密封圈；5、倾角调节螺钉；6、调节螺母；7、第一锁紧螺钉；8、第二锁紧螺钉；9、第二密封圈。
具体实施方式
下面结合附图并通过具体实施方式来进一步说明本实用新型的技术方案。
本实施例提供了一种电极杆密封结构，用于在电极杆与工艺腔之间进行密封，保证工艺腔的气密性。如图2-4所示，电极杆密封结构包括电极座法兰2及金属法兰，电极杆20穿设于电极座法兰2上并穿过金属法兰后伸入工艺腔10，金属法兰包括可供电极杆20穿过的波纹管11及分别设置于波纹管11两端的第一法兰12和第二法兰13，第二法兰13密封连接于工艺腔10的侧壁上，电极座法兰2连接于第一法兰12，且电极座法兰2与第一法兰12之间设置有第一密封圈4，第一密封圈4用于将电极杆20与金属法兰之间进行密封，从而将电极杆20与工艺腔10之间进行密封。
在密封时，需要对电极杆20进行电气绝缘，因此，电极杆20上可以涂覆有耐高温的绝缘涂层。对电极杆20表面进行高温绝缘涂层处理，使得电极杆20表面绝缘。此外，电极杆密封结构还包括套设于电极杆20上的第一衬套31及第二衬套32，第一衬套31抵接于电极座法兰2的远离第一法兰12的一侧，并位于电极座法兰2与电极杆20之间，用于电极座法兰2与电极杆20之间的绝缘；第二衬套32抵接于第一法兰12的远离电极座法兰2的一侧，并位于第一法兰12与电极杆20之间，用于第一法兰12与电极杆20之间的绝缘。第一衬套31和第二衬套32的抵接端的端面可以为锥面，通过设置成锥面，能够保证锥面抵压的同时，锥面的较小端能够隔于电极杆20与电极座法兰2(或第一法兰12)之间。通过第一衬套31和第二衬套32对电极杆20进行二次绝缘，保证绝缘的可靠性。第一衬套31和第二衬套32可以为陶瓷衬套或四氟乙烯衬套。
为了减少部件间的配合间隙对气密性造成的不利影响，本实施例中的波纹管11、第一法兰12及第二法兰13一体成型。一体成型的金属法兰密封性好，在该电极杆密封结构安装时，仅需保证金属法兰分别与工艺腔10和电极座法兰2之间的密封即可。金属法兰由不锈钢制成，具体采用316L不锈钢制成。
电极座法兰2可拆卸地连接于第一法兰12上，具体地，电极座法兰2沿周向环设有若干第一锁紧螺钉7，第一锁紧螺钉7穿过电极座法兰2并螺纹连接于第一法兰12。电极座法兰2与第一法兰12之间通过第一密封圈4形成密封。第一密封圈4套设在电极杆20外，且分别与电极座法兰2和第一法兰12抵接，通过第一密封圈4挤压实现密封。
第二法兰13与工艺腔10之间通过第二锁紧螺钉8连接，具体地，第二法兰13上开设有通孔，工艺腔10上开设有螺纹孔，第二锁紧螺钉8穿过第二法兰13上的通孔并与工艺腔10上的螺纹孔螺纹连接。为保证第二法兰13与工艺腔10之间的密封，还设置有第二密封圈9，第二法兰13通过抵压第二密封圈9，并且第二密封圈9抵压于工艺腔10，形成密封。为保证第二密封圈9的位置，在第二法兰13远离第一法兰12的端面上开设有环形的容纳槽131(参照图4)，第二密封圈9部分嵌于容纳槽131内。
由于每次放置的石墨舟位置会略有变动，电极杆20与石墨舟上的电极孔需要进行对准。因此，可通过调节第一锁紧螺钉7或调节第二锁紧螺钉8来调节电极杆20的角度。采用调节第一锁紧螺钉7的方式时，通过将多个第一锁紧螺钉7拧入不同的距离，挤压第一密封圈4，通过微调第一密封圈4的压平度使电极座法兰2的端面与第一法兰12之间具有一定的倾斜角度，而在仅调节第一锁紧螺钉7时，第一法兰12的端面相对工艺腔10的侧壁平行，因此，电极座法兰2倾斜能够带动电极杆20倾斜；采用调节第二锁紧螺钉8的方式时，通过将多个第二锁紧螺钉8拧入不同的距离，来挤压第二密封圈9变形，通过微调第二密封圈9的压平度使第二法兰13相对工艺腔10的侧壁倾斜，进而带动电极座法兰2倾斜，使电极杆20具有倾斜角度。然而上述两种方式都会对第一密封圈4或第二密封圈9造成过度挤压，密封圈极易老化，进而影响密封性能。
为此，第一法兰12沿周向环设有若干倾角调节螺钉5，倾角调节螺钉5连接于所述第二法兰13，通过调节倾角调节螺钉5挤压波纹管11、造成弯曲偏移，进而调节第一法兰12的端面相对第二法兰13的端面的倾斜角度，从而调节第一法兰12上安装的电极座法兰2的倾斜角度，最终调节电极杆20的倾斜角度，以使电极杆20与石墨舟上的电极孔相配合。该电极杆密封结构在调节时，由于波纹管11具备一定柔性，这种调整不会对第一密封圈4的形变产生影响，不易对第一密封圈4造成挤压，能够降低第一密封圈4的老化速度，可改善气密性能降低调整难度。
为稳固调节倾角调节螺钉5后的位置，每个倾角调节螺钉5上均连接有一个调节螺母6，倾角调节螺钉5的头部和调节螺母6分别位于第一法兰12的两侧。在倾角调节螺钉5调整到位后，通过沿朝向倾角调节螺钉5的头部的方向拧紧调节螺母6，从而固定第一法兰12的位置，避免第一法兰12发生偏移。
本实施例中，倾角调节螺钉5的数量至少为三个，优选为四个，采用四个倾角调节螺钉5，能够保证具有较大的调节范围，且调节过程较容易。
本实施例还提供了一种镀膜设备，该镀膜设备包括上述的电极杆密封结构，通过该电极杆密封结构，镀膜设备上的电极杆20与工艺腔10之间密封性好。
显然，本实用新型的上述实施例仅仅是为了清楚说明本实用新型所作的举例，而并非是对本实用新型的实施方式的限定。对于所属领域的普通技术人员来说，在上述说明的基础上还可以做出其它不同形式的变化或变动。这里无需也无法对所有的实施方式予以穷举。凡在本实用新型的精神和原则之内所作的任何修改、等同替换和改进等，均应包含在本实用新型权利要求的保护范围之内。
Claims (10)
1.一种电极杆密封结构，包括电极座法兰(2)及金属法兰，电极杆(20)穿设于所述电极座法兰(2)上并穿过所述金属法兰后伸入工艺腔(10)，其特征在于，所述金属法兰包括可供所述电极杆(20)穿过的波纹管(11)及分别设置于所述波纹管(11)两端的第一法兰(12)和第二法兰(13)，所述第二法兰(13)密封连接于工艺腔(10)的侧壁上，所述电极座法兰(2)连接于所述第一法兰(12)，且所述电极座法兰(2)与所述第一法兰(12)之间设置有第一密封圈(4)；所述第一法兰(12)沿周向环设有若干倾角调节螺钉(5)，所述倾角调节螺钉(5)连接于所述第二法兰(13)。
2.根据权利要求1所述的电极杆密封结构，其特征在于，所述波纹管(11)、所述第一法兰(12)及所述第二法兰(13)一体成型。
3.根据权利要求1所述的电极杆密封结构，其特征在于，每个所述倾角调节螺钉(5)上均连接有一个调节螺母(6)，所述倾角调节螺钉(5)的头部和所述调节螺母(6)分别位于所述第一法兰(12)的两侧。
4.根据权利要求1所述的电极杆密封结构，其特征在于，所述电极座法兰(2)沿周向环设有若干第一锁紧螺钉(7)，所述第一锁紧螺钉(7)螺纹连接于所述第一法兰(12)。
5.根据权利要求1所述的电极杆密封结构，其特征在于，所述电极杆(20)上涂覆有耐高温的绝缘涂层。
6.根据权利要求1所述的电极杆密封结构，其特征在于，所述电极杆密封结构还包括套设于所述电极杆(20)上的第一衬套(31)及第二衬套(32)，所述第一衬套(31)抵接于所述电极座法兰(2)的远离所述第一法兰(12)的一侧，并位于所述电极座法兰(2)与所述电极杆(20)之间；所述第二衬套(32)抵接于所述第一法兰(12)的远离所述电极座法兰(2)的一侧，并位于所述第一法兰(12)与所述电极杆(20)之间。
7.根据权利要求6所述的电极杆密封结构，其特征在于，所述第一衬套(31)和所述第二衬套(32)为陶瓷衬套或四氟乙烯衬套。
8.根据权利要求1所述的电极杆密封结构，其特征在于，所述电极杆密封结构还包括第二密封圈(9)，所述第二法兰(13)通过所述第二密封圈(9)密封连接于所述工艺腔(10)的侧壁。
9.根据权利要求8所述的电极杆密封结构，其特征在于，所述第二法兰(13)远离所述第一法兰(12)的端面上开设有环形的容纳槽(131)，所述第二密封圈(9)部分嵌于所述容纳槽(131)内。
10.一种镀膜设备，其特征在于，包括如权利要求1-9任一项所述的电极杆密封结构。
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| GR01 | Patent grant | ||
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| CP01 | Change in the name or title of a patent holder |
Address after: No. 199, deer mountain road, Suzhou high tech Zone, Jiangsu Province Patentee after: CSI Cells Co.,Ltd. Patentee after: Atlas sunshine Power Group Co.,Ltd. Address before: No. 199, deer mountain road, Suzhou high tech Zone, Jiangsu Province Patentee before: CSI Cells Co.,Ltd. Patentee before: CSI SOLAR POWER GROUP Co.,Ltd. |
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| CP01 | Change in the name or title of a patent holder | ||
| CF01 | Termination of patent right due to non-payment of annual fee |
Granted publication date: 20190820 Termination date: 20211221 |
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| CF01 | Termination of patent right due to non-payment of annual fee |