CN209144262U - 双面加热装置 - Google Patents

Abstract

本实用新型涉及镀膜设备技术领域，特别是涉及一种双面加热装置，包括：若干加热模块，依次安装于真空腔室内，每个加热模块均包括：第一支架，安装于真空腔室的底板；多个第一加热管，平行间隔地安装于第一支架；第二支架，与第一支架相对连接，以形成用于传送基片的通道；以及多个第二加热管，平行间隔地安装于第二支架。通过若干加热模块独立安装于真空腔室，便于后期维修维护工作的进行，提高维修维护的效率。通过第一支架安装于真空腔室的底板，第二支架连接于第一支架，因此自真空腔室内拆装加热模块时能够更加方便快捷。通过多个第一加热管和多个第二加热管，可从基片的正反两面同时升高基片的温度，有效节省加热所需时间，提高生产效率。

Description

双面加热装置

技术领域

本实用新型涉及镀膜设备技术领域，特别是涉及一种双面加热装置。

背景技术

在薄膜太阳能电池组件中，薄膜层起到光电转换的作用，其性能在很大程度上决定了电池片的光电转换效率，即电池片的关键性能参数。薄膜层一般采用MOCVD(MetalOrganic Chemical Vapor Deposition，金属有机化学气相沉积)的加工方式进行材料生长。MOCVD的机理是一种热化学反应，在较高的温度下(一般在几百到1000摄氏度之间)，真空腔室中通入特定的工艺气体以及金属有机物源，进行化学反应，在基片上生长出特定材料的薄膜层。

当前的常见方案，真空腔室构成一个空间，真空腔室内安装有加热装置，加热装置一般采用红外灯管作为加热源。传统的加热装置设计成一个整体，在更换红外灯管时需将整个加热装置从真空腔室内取出，再进行单个红外灯管的更换，维护工作不便且维护时间长。

实用新型内容

基于此，有必要针对传统的加热装置存在的上述技术问题，提供一种双面加热装置。

一种双面加热装置，包括：

若干加热模块，依次安装于真空腔室内，每个所述加热模块均包括：

第一支架，安装于所述真空腔室的底板；

多个第一加热管，平行间隔地安装于所述第一支架远离所述底板的一侧；

第二支架，与所述第一支架相对连接，以形成用于传送基片的通道；以及

多个第二加热管，平行间隔地安装于所述第二支架与所述第一支架相对的一侧。

在其中一个实施例中，所述双面加热装置还包括第一支撑板，安装于所述第一支架，所述第一支撑板设有第一卡槽，所述第一加热管卡设于所述第一卡槽。

在其中一个实施例中，所述双面加热装置还包括第二支撑板，安装于所述第二支架，所述第一支撑板设有第二卡槽，所述第二加热管卡设于所述第二卡槽。

在其中一个实施例中，所述第二支撑板设有钩部，所述第二卡槽开设于所述钩部，所述第二加热管能够在重力作用下卡紧于所述第二卡槽。

在其中一个实施例中，所述多个第一加热管与所述多个第二加热管一一对应。

在其中一个实施例中，所述双面加热装置还包括两个第三加热管，均安装于所述第一支架，所述两个第三加热管分别位于所述多个第一加热管的两端，所述两个第三加热管的长度延伸方向垂直于所述第一加热管的长度延伸方向，所述第三加热管能够贯穿所述若干加热模块。

在其中一个实施例中，所述双面加热装置还包括第三支撑板，安装于所述第一支架，所述第三支撑板设有第三卡槽，所述第三加热管卡设于所述第三卡槽。

在其中一个实施例中，所述双面加热装置还包括两个第四加热管，均安装于所述第二支架，所述两个第四加热管分别位于所述多个第二加热管的两端，所述两个第四加热管的长度延伸方向垂直于所述第二加热管的长度延伸方向，所述第四加热管能够贯穿所述若干加热模块。

在其中一个实施例中，所述双面加热装置还包括第四支撑板，安装于所述第二支架，所述第四支撑板设有第四卡槽，所述第四加热管卡设于所述第四卡槽。

在其中一个实施例中，所述双面加热装置还包括挡板，活动连接于所述第四支撑板，用于将所述第四加热管锁定于所述第四卡槽中。

本实用新型的有益效果包括：

通过所述若干加热模块独立安装于真空腔室，在某一加热管需要更换时，仅需拆卸该加热管所在的加热模块即可。从而便于后期维修维护工作的进行，提高维修维护的效率。通过所述第一支架安装于所述真空腔室的底板，所述第二支架连接于所述第一支架，因此自所述真空腔室内拆装所述加热模块时能够更加方便快捷，省去了翻转操作，提高了安装维护效率。此外，通过所述第一支架上的所述多个第一加热管，以及所述第二支架上的所述多个第二加热管，可从所述基片的正反两面同时升高所述基片的温度。所述基片升温速度提高，有效节省加热所需时间，提高生产效率。

附图说明

图1为本实用新型一实施例提供的双面加热装置的主视图；

图2为图1所示结构的仰视图；

图3为图2所示结构的A-A剖视图；

图4为图3所示结构中I处局部放大图；

图5为图2所示结构的B-B剖视图；

图6为图2所示结构的C-C剖视图；

图7为图2所示结构中O处局部放大图。

附图标记说明：

10-加热模块；

100-第一支架；

110-第一支撑板；111-第一卡槽；

120-第三支撑板；121-第三卡槽；

130-支撑柱；

200-第二支架；

210-第二支撑板；211-第二卡槽；212-钩部；

220-第四支撑板；221-第四卡槽；222-挡板；

300-第一加热管；

400-第二加热管；

500-第三加热管；

600-第四加热管；

700-绝缘套；

800-汇流排。

具体实施方式

为了使本实用新型的目的、技术方案及优点更加清楚明白，以下通过实施例，并结合附图，对本实用新型的双面加热装置进行进一步详细说明。应当理解，此处所描述的具体实施例仅用以解释本实用新型，并不用于限定本实用新型。

需要说明的是，当元件被称为“固定于”另一个元件，它可以直接在另一个元件上或者也可以存在居中的元件。当一个元件被认为是“连接”另一个元件，它可以是直接连接到另一个元件或者可能同时存在居中元件。相反，当元件被称作“直接在”另一元件“上”时，不存在中间元件。本文所使用的术语“垂直的”、“水平的”、“左”、“右”以及类似的表述只是为了说明的目的。

请参见图1和图2所示，本实用新型一实施例提供的一种双面加热装置，包括若干加热模块10。所述若干加热模块10依次安装于真空腔室内。每个所述加热模块10均包括：第一支架100、第二支架200、多个第一加热管300和多个第二加热管400。所述第一支架100安装于所述真空腔室的底板。所述多个第一加热管300平行间隔地安装于所述第一支架100远离所述底板的一侧。所述第二支架200与所述第一支架100相对连接，以形成用于传送基片的通道。所述多个第二加热管400平行间隔地安装于所述第二支架200与所述第一支架100相对的一侧。

通过所述若干加热模块10独立安装于真空腔室，在某一加热管需要更换时，仅需拆卸该加热管所在的加热模块10即可。从而便于后期维修维护工作的进行，提高维修维护的效率。传统的双面加热结构中上部加热灯管一般通过倒挂的方式固定在真空腔室的上盖上。在拆装上部加热灯管时，需要通过专用的翻转工具将上盖翻转180°，之后才能进行相关操作。本实用新型的双面加热装置，通过所述第一支架100安装于所述真空腔室的底板，所述第二支架200连接于所述第一支架100，因此自所述真空腔室内拆装所述加热模块10时能够更加方便快捷，省去了翻转操作，提高了安装维护效率。此外，通过所述第一支架100上的所述多个第一加热管300，以及所述第二支架200上的所述多个第二加热管400，可从所述基片的正反两面同时升高所述基片的温度。所述基片升温速度提高，有效节省加热所需时间，提高生产效率。

所述真空腔室内安装的所述加热模块10的个数可根据实际镀膜设备中的真空腔室的大小来设计，或者根据所述基片的大小来设计。所述第一加热管300可以是红外辐射灯管、卤素辐射灯管、频闪加热灯管或高功率电阻式灯管，在此不做具体限定。所述第二加热管400也可以是红外辐射灯管、卤素辐射灯管、频闪加热灯管或高功率电阻式灯管，在此不做具体限定。参见图3，所述多个第一加热管300可以是间隔均匀地安装于所述第一支架100，由此可提高加热均匀性。所述多个第二加热管400也可以是间隔均匀地安装于所述第二支架200，由此可提高加热均匀性。参见图3，在一个实施例中，所述多个第一加热管300与所述多个第二加热管400一一对应。从而可提高对所述基片的正反两面的加热均匀性和同步性。

所述第一支架100安装于所述真空腔室的底板的结构形式可以有多种。参见图2和图3，在一个实施例中，所述第一支架100与所述底板之间通过多个支撑柱130进行连接。每个所述支撑柱130的一端与所述第一支架100连接，另一端与所述底板连接。

所述第二支架200与所述第一支架100连接的结构形式可以有多种。在一个实施例中，所述第一支架100上设有多个连接柱，所述第二支架200上对应所述多个连接柱设于多个连接孔，所述多个连接柱分别穿设于所述多个连接孔，从而实现所述第二支架200与所述第一支架100的连接。

所述第一加热管300安装于所述第一支架100的方式可以为多种。参见图2、图3和图4，作为一种可实施的方式，所述双面加热装置还包括安装于所述第一支架100的第一支撑板110。所述第一支撑板110设有第一卡槽111，所述第一加热管300卡设于所述第一卡槽111。可以理解，沿着所述第一加热管300的长度延伸的方向，所述第一支撑板110的个数可至少为两个。当所述第一支撑板110为两个时，两个所述第一支撑板110分别位于所述第一加热管300的两端，以稳定支撑所述第一加热管300。当所述第一加热管300的长度较长时，可增加所述第一支撑板110的数量。通过卡合的方式支撑所述第一加热管300，拆装更加方便，无需设置额外零件，结构更加简单。且避免了传统的采用灯管夹的安装方式易出现锁紧力度过大造成灯管碎裂的现象。

所述第二加热管400安装于所述第二支架200的方式可以为多种。参见图2、图3和图4，作为一种可实施的方式，所述双面加热装置还包括安装于所述第二支架200的第二支撑板210。所述第一支撑板110设有第二卡槽211，所述第二加热管400卡设于所述第二卡槽211。可以理解，沿着所述第二加热管400的长度延伸的方向，所述第二支撑板210的个数可至少为两个。当所述第二支撑板210为两个时，两个所述第二支撑板210分别位于所述第二加热管400的两端，以稳定支撑所述第二加热管400。当所述第二加热管400的长度较长时，可增加所述第二支撑板210的数量。通过卡合的方式支撑所述第二加热管400，拆装更加方便，无需设置额外零件，结构更加简单。

可以理解，在所述真空腔室的使用过程中，所述第二加热管400是安装于所述第二支架200的朝向重力方向的一侧的。如图4所示，在一个实施例中，所述第二支撑板210设有钩部212，所述第二卡槽211开设于所述钩部212，所述第二加热管400能够在重力作用下卡紧于所述第二卡槽211。通过如此设计，可使所述第二加热管400能够稳定安装于所述第二支架200，提高所述第二加热管400的安装可靠性。

参见图2、图3和图6，作为一种可实施的方式，所述双面加热装置还包括两个第三加热管500。所述两个第三加热管500均安装于所述第一支架100，所述两个第三加热管500分别位于所述多个第一加热管300的两端。所述两个第三加热管500的长度延伸方向垂直于所述第一加热管300的长度延伸方向，所述第三加热管500能够贯穿所述若干加热模块10。可以理解，一般的加热管，其两端各有一小段是非发热区。由此，所述多个第一加热管300对所述基片加热时，所述基片靠近所述第一加热管300的两端的区域的温度必然会低于中间区域。通过设置所述第三加热管500，能够对所述基片靠近所述第一加热管300的两端的区域进行补偿加热。从而可提高所述基片的温度均匀性。

所述第三加热管500的安装结构可以为多种。参见图2和图7，在一个实施例中，所述双面加热装置还包括安装于所述第一支架100的第三支撑板120。所述第三支撑板120设有第三卡槽121，所述第三加热管500卡设于所述第三卡槽121。所述第三加热管500可以是双管结构，由此所述第三加热管500的强度较高，在所述第三加热管500的长度在一定范围内时，可以仅设置两个用于安装所述第三加热管500的所述第三支撑板120即可。通过卡合的方式支撑所述第三加热管500，拆装更加方便，无需设置额外零件，结构更加简单。

参见图2、图3和图5，作为一种可实施的方式，所述双面加热装置还包括两个第四加热管600，均安装于所述第二支架200，所述两个第四加热管600分别位于所述多个第二加热管400的两端，所述两个第四加热管600的长度延伸方向垂直于所述第二加热管400的长度延伸方向，所述第四加热管600能够贯穿所述若干加热模块10。可以理解，一般的加热管，其两端各有一小段是非发热区。由此，所述多个第二加热管400对所述基片加热时，所述基片靠近所述第二加热管400的两端的区域的温度必然会低于中间区域。通过设置所述第四加热管600，能够对所述基片靠近所述第二加热管400的两端的区域进行补偿加热。从而可提高所述基片的温度均匀性。

如图5和图6所示，在实际使用的真空腔室中，所述加热模块10的个数有几个(图示有4个加热模块10)，所述第三加热管500和所述第四加热管600便能够贯穿几个所述加热模块10。由此能够避免出现某一加热模块10没有补偿加热的情况。从而能够提高对所述基片的加热均匀性。

所述第四加热管600的安装结构可以为多种。参见图2和图7，在一个实施例中，所述双面加热装置还包括第四支撑板220，安装于所述第二支架200，所述第四支撑板220设有第四卡槽221，所述第四加热管600卡设于所述第四卡槽221。所述第四加热管600可以是双管结构，由此所述第四加热管600的强度较高，在所述第四加热管600的长度在一定范围内时，可以仅设置两个用于安装所述第四加热管600的所述第四支撑板220即可。通过卡合的方式支撑所述第四加热管600，拆装更加方便，无需设置额外零件，结构更加简单。

可以理解，在所述真空腔室的使用过程中，所述第四加热管600是安装于所述第二支架200的朝向重力方向的一侧的。参见图7，在一个实施例中，所述双面加热装置还包括活动连接于所述第四支撑板220的挡板222。所述挡板222用于将所述第四加热管600锁定于所述第四卡槽221中。可以理解，如图7所示，所述挡板222可以是转动连接于所述第四支撑板220。当然，所述挡板222也可以是滑动连接于所述第四支撑板220。通过所述挡板222和所述第四支撑板220，可使得所述第四加热管600能够稳定安装于所述第二支架200，提高所述第四加热管600的安装可靠性。

参见图2，在一个实施例中，所述第一支架100对应每个所述第一加热管300的两端均分别设有第一过线孔。所述第一过线孔用于穿设所述第一加热管300的导线。每个所述第一过线孔内可均安装有绝缘套700，每个所述第一加热管300的导线均穿过所述绝缘套700连接到外部电源。所述双面加热装置还可包括汇流排800。所述汇流排800可安装在所述第一支架100上。所述多个第一加热管300的导线可连接到汇流排800，再通过该汇流排800连接到外部电源。

参见图2，在一个实施例中，所述第二支架200对应每个所述第二加热管400的两端均分别设有第二过线孔。所述第二过线孔用于穿设所述第二加热管400的导线。每个所述第二过线孔内可均安装有绝缘套700，每个所述第二加热管400的导线均穿过所述绝缘套700连接到外部电源。所述双面加热装置还可包括汇流排800。所述汇流排800可安装在所述第二支架100上。所述多个第二加热管400的导线可连接到汇流排800，再通过该汇流排800连接到外部电源。

以上所述实施例的各技术特征可以进行任意的组合，为使描述简洁，未对上述实施例中的各个技术特征所有可能的组合都进行描述，然而，只要这些技术特征的组合不存在矛盾，都应当认为是本说明书记载的范围。

以上所述实施例仅表达了本实用新型的几种实施方式，其描述较为具体和详细，但并不能因此而理解为对实用新型专利范围的限制。应当指出的是，对于本领域的普通技术人员来说，在不脱离本实用新型构思的前提下，还可以做出若干变形和改进，这些都属于本实用新型的保护范围。因此，本实用新型专利的保护范围应以所附权利要求为准。

Claims (10)

1.一种双面加热装置，其特征在于，包括：

若干加热模块(10)，依次安装于真空腔室内，每个所述加热模块(10)均包括：

第一支架(100)，安装于所述真空腔室的底板；

多个第一加热管(300)，平行间隔地安装于所述第一支架(100)远离所述底板的一侧；

第二支架(200)，与所述第一支架(100)相对连接，以形成用于传送基片的通道；以及

多个第二加热管(400)，平行间隔地安装于所述第二支架(200)与所述第一支架(100)相对的一侧。

2.根据权利要求1所述的双面加热装置，其特征在于，还包括第一支撑板(110)，安装于所述第一支架(100)，所述第一支撑板(110)设有第一卡槽(111)，所述第一加热管(300)卡设于所述第一卡槽(111)。

3.根据权利要求1所述的双面加热装置，其特征在于，还包括第二支撑板(210)，安装于所述第二支架(200)，所述第二支撑板(210)设有第二卡槽(211)，所述第二加热管(400)卡设于所述第二卡槽(211)。

4.根据权利要求3所述的双面加热装置，其特征在于，所述第二支撑板(210)设有钩部(212)，所述第二卡槽(211)开设于所述钩部(212)，所述第二加热管(400)能够在重力作用下卡紧于所述第二卡槽(211)。

5.根据权利要求1所述的双面加热装置，其特征在于，所述多个第一加热管(300)与所述多个第二加热管(400)一一对应。

6.根据权利要求1-5任一项所述的双面加热装置，其特征在于，还包括两个第三加热管(500)，均安装于所述第一支架(100)，所述两个第三加热管(500) 分别位于所述多个第一加热管(300)的两端，所述两个第三加热管(500)的长度延伸方向垂直于所述第一加热管(300)的长度延伸方向，所述第三加热管(500)能够贯穿所述若干加热模块(10)。

7.根据权利要求6所述的双面加热装置，其特征在于，还包括第三支撑板(120)，安装于所述第一支架(100)，所述第三支撑板(120)设有第三卡槽(121)，所述第三加热管(500)卡设于所述第三卡槽(121)。

8.根据权利要求1-5任一项所述的双面加热装置，其特征在于，还包括两个第四加热管(600)，均安装于所述第二支架(200)，所述两个第四加热管(600)分别位于所述多个第二加热管(400)的两端，所述两个第四加热管(600)的长度延伸方向垂直于所述第二加热管(400)的长度延伸方向，所述第四加热管(600)能够贯穿所述若干加热模块(10)。

9.根据权利要求8所述的双面加热装置，其特征在于，还包括第四支撑板(220)，安装于所述第二支架(200)，所述第四支撑板(220)设有第四卡槽(221)，所述第四加热管(600)卡设于所述第四卡槽(221)。

10.根据权利要求9所述的双面加热装置，其特征在于，还包括挡板(222)，活动连接于所述第四支撑板(220)，用于将所述第四加热管(600)锁定于所述第四卡槽(221)中。