CN208570572U - 一种适用多尺寸晶圆的载物台 - Google Patents
一种适用多尺寸晶圆的载物台 Download PDFInfo
- Publication number
- CN208570572U CN208570572U CN201821097173.XU CN201821097173U CN208570572U CN 208570572 U CN208570572 U CN 208570572U CN 201821097173 U CN201821097173 U CN 201821097173U CN 208570572 U CN208570572 U CN 208570572U
- Authority
- CN
- China
- Prior art keywords
- objective table
- suction nozzle
- sucker
- adjusting rod
- hole
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Active
Links
Landscapes
- Container, Conveyance, Adherence, Positioning, Of Wafer (AREA)
Abstract
本实用新型涉及载物装置领域，具体涉及一种适用多尺寸晶圆的载物台，所述晶圆设在塑料膜上，所述塑料膜四周贴有铁环，所述载物台包括用于吸附晶圆的吸盘和用于吸附铁环的吸附组件，所述吸盘上设有多尺寸刻槽，所述吸附组件安装在吸盘的侧边上。不同规格的晶圆可顺着不同的刻槽放置，再通过吸附组件吸附住铁环，使得载物台能够固定不同规格的晶圆，兼容性高。
Description
技术领域
本实用新型涉及载物装置领域，具体涉及一种适用多尺寸晶圆的载物台。
背景技术
晶圆是指硅半导体集成电路制作所用的硅晶片，由于其形状为圆形，故称为晶圆；在硅晶片上可加工制作成各种电路元件结构，而成为有特定电性功能的IC产品。
常规的晶圆有四寸和六寸之分，而市面上用于切割晶圆的主流切割机为四寸晶圆切割机和六寸晶圆切割机，拥有固定尺寸，通常只能专用于四寸晶圆或者六寸晶圆，彼此不兼容。若是同一批产品兼有四寸晶圆和六寸晶圆时，只能准备两种规格的切割机，增加了加工成本。
实用新型内容
本实用新型要解决的技术问题在于，针对现有技术的上述缺陷，提供一种适用多尺寸晶圆的载物台，解决载物台能够固定多种规格晶圆的问题。
为解决该技术问题，本实用新型提供一种适用多尺寸晶圆的载物台，所述晶圆设在塑料膜上，所述塑料膜四周贴有铁环，所述载物台包括用于吸附晶圆的吸盘和用于吸附铁环的吸附组件，所述吸盘上设有多尺寸刻槽，所述吸附组件安装在吸盘的侧边上。
其中，较佳方案是：所述吸附组件包括第一吸嘴、第二吸嘴和固定座，所述第一吸嘴和第二吸嘴均设置在固定座上，所述第一吸嘴距离吸盘的距离小于所述第二吸嘴距离吸盘的距离。
其中，较佳方案是：所述吸附组件还包括第一支撑座、第一调节杆、第二支撑座和第二调节杆，所述第一支撑座上设有与第一调节杆的底端相配合的第一孔口，所述第二支撑座上设有与第二调节杆的底端相配合的第二孔口；所述第一支撑座安装在固定座上，所述第一调节杆通过第一孔口安装在第一支撑座上，所述第一吸嘴安装在第一调节杆上；所述第二支撑座安装在固定座上，所述第二调节杆通过第二孔口安装在第二支撑座上，所述第二吸嘴安装在第二调节杆上。
其中，较佳方案是：所述吸盘上设有四个吸附组件。
其中，较佳方案是：所述载物台还包括套圈，所述吸盘套设在套圈中。
其中，较佳方案是：所述载物台还包括光源和内部设有空腔的安装座，所述光源设置在空腔中，所述套圈设置在安装座上方，所述吸附组件设置在安装座的侧面。
其中，较佳方案是：所述载物台还包括平面度调节组件，所述平面度调节组件包括高度调节螺丝和锁紧螺丝，所述套圈上设有与高度调节螺丝相配合的第一通孔，还设有与锁紧螺丝相配合的第二通孔，所述安装座上设有与锁紧螺丝相配合的第三通孔，所述第二通孔和第三通孔连通；所述高度调节螺丝穿过第一通孔并抵触安装座，所述锁紧螺丝穿过第二通孔和第三通孔固定。
其中，较佳方案是：所述平面度调节组件设有四个。
其中，较佳方案是：所述载物台还包括旋转马达，所述安装座设置在旋转马达上。
其中，较佳方案是：所述刻槽表面设有磨砂层。
本实用新型的有益效果在于，与现有技术相比，本实用新型通过设计一种适用多尺寸晶圆的载物台，吸盘上设有刻槽，不同规格的晶圆可顺着不同的刻槽放置，再通过吸附组件吸附住铁环，使得载物台能够固定不同规格的晶圆，兼容性高；另外，还设有光源，能够为晶圆切割时提供视觉定位；并且，还设有平面度调节组件，能够调节吸盘的平面度，保证吸盘在水平线上。
附图说明
下面将结合附图及实施例对本实用新型作进一步说明，附图中：
图1是本实用新型载物台的示意图；
图2是本实用新型载物台的***图；
图3是本实用新型平面度调节组件的示意图。
具体实施方式
现结合附图，对本实用新型的较佳实施例作详细说明。
如图1和图3所示，本实用新型提供一种适用多尺寸晶圆的载物台的优选实施例。
具体地，参考图1，一种载物台，所述载物台用于承载多种尺寸规格的晶圆，所述晶圆设在塑料膜上，所述塑料膜四周设有铁环，由于塑料膜一面有黏性，一面光滑，黏性一面可粘粘晶圆和铁环，所述载物台包括用于吸附晶圆的吸盘1，所述吸盘1上设有多尺寸刻槽，不同尺寸规格的晶圆对应刻槽放置，例如，参考图2，四寸晶圆对应四寸刻槽11，六寸晶圆对应六寸刻槽12；所述载物台还包括至少一个用于吸附铁环的吸附组件2，所述吸附组件2设置吸盘1的侧边上。当晶圆放置在吸盘1上时，所述塑料膜的光滑一面接触吸盘1，所述吸盘1抽取空气，使晶圆吸附在其上方，同时，所述吸附组件2吸附铁环。由于铁环的重量大于晶圆和塑料膜，通过吸盘1吸附晶圆和塑料膜，以及通过吸附组件2吸附铁环，能够保证吸附的稳定性和可靠性。
其中，参考图2，所述吸附组件2包括第一吸嘴21、第二吸嘴24和固定座27，所述第一吸嘴21和第二吸嘴24均设置在固定座27上，并且所述第一吸嘴21和第二吸嘴24在固定座27上前后排列，所述第一吸嘴21距离吸盘1的距离小于所述第二吸嘴24距离吸盘1的距离。所述第一吸嘴21用于吸附四寸晶圆的铁环，所述第二吸嘴24用于吸附六寸晶圆的铁环。根据所要切割的晶圆的尺寸，所述第一吸嘴21和第二吸嘴24可通过真空阀进行自由切换。
进一步地，参考图2，所述吸附组件2还包括第一支撑座23、第一调节杆22、第二支撑座26和第二调节杆25，所述第一支撑座23上设有与第一调节杆22的底端相配合的第一孔口231，所述第二支撑座26上设有与第二调节杆25的底端相配合的第二孔口261；所述第一支撑座23安装在固定座27上，所述第一调节杆22通过第一孔口231安装在第一支撑座23上，所述第一吸嘴21安装在第一调节杆22上；所述第二支撑座26安装在固定座27上，所述第二调节杆25通过第二孔口261安装在第二支撑座26上，所述第二吸嘴24安装在第二调节杆25上。通过拧动第一调节杆22和第二调节杆25，能够调节第一吸嘴21和第二吸嘴24的高度，使所有第一吸嘴21的顶端位于同一高度，并使所有第二吸嘴24的顶端位于同一高度，保证铁环吸附固定时，平面处于同一水平线上，而不会发生倾斜。所述第一孔口231和第二孔口261设有多个，用户可根据实际情况，将第一调节杆22固定在合适的第一孔口231上，并将第二调节杆25固定在合适的第二孔口261上。
当然，所述第一支撑座23和第一调节杆22可以一体设置为同一部件，所述第二支撑座26和第二调节杆25亦可以一体设置为同一部件，只要能够实现相应功能即可。
优选地，所述吸盘1上设有四个吸附组件2，具体来说，所述第一吸嘴21、第二吸嘴24、固定座27、第一支撑座23、第一调节杆22、第二支撑座26和第二调节杆25均设有四个，并且均匀分布在吸盘1的四周。
更具体地，参考图1和图2，所述载物台还包括套圈3，所述吸盘1套设在套圈3中。所述载物台还包括光源4和内部设有空腔的安装座5，所述光源4设置在空腔中，所述套圈3设置在安装座5上方，所述吸附组件2设置在安装座5的侧面。在晶圆进行切割时，所述光源4能够为切割机提供光线，便于切割机进行切割路线的视觉定位。所述载物台还包括旋转马达6，所述安装座5设置在旋转马达6上。所述旋转马达6能够带动载物台整体转动，为晶圆切割提供角度补偿。
再具体地，并参考图3，所述载物台还包括平面度调节组件7，所述平面度调节组件7包括高度调节螺丝71和锁紧螺丝72，所述套圈3上设有与高度调节螺丝71相配合的第一通孔，还设有与锁紧螺丝72相配合的第二通孔，所述安装座5上设有与锁紧螺丝72相配合的第三通孔，所述第二通孔和第三通孔连通；所述高度调节螺丝71穿过第一通孔并抵触安装座5，所述锁紧螺丝72从上到下依次穿过第二通孔和第三通孔固定。
其中，所述平面度调节组件7设有四个，并且均匀分布在套圈3和安装座5上。通过拧动其中一个高度调节螺丝71，由于高度调节螺丝71抵触安装座5，能够使得套圈3一侧较高，从而使得吸盘1的平面度发生了改变。当所有高度调节螺丝71的顶端位于同一高度时，通过锁紧螺丝72固定，所述吸盘1处于水平线上，所述吸嘴能够与吸盘1平齐。
优选地，所述刻槽表面设有磨砂层。由于晶圆在上下料的过程中，所述塑料膜容易粘在吸盘1上，当需要取出晶圆时，通入空气，由于刻槽有磨砂层，所述晶圆能够轻易取出，避免粘膜。
综上所述，以上仅为本实用新型的较佳实施例而已，并非用于限定本实用新型的保护范围。凡在本实用新型的精神和原则之内所做的任何修改，等同替换，改进等，均应包含在本实用新型的保护范围内。
Claims (10)
1.一种适用多尺寸晶圆的载物台，所述晶圆设在塑料膜上，所述塑料膜四周贴有铁环，其特征在于：所述载物台包括用于吸附晶圆的吸盘和用于吸附铁环的吸附组件，所述吸盘上设有多尺寸刻槽，所述吸附组件安装在吸盘的侧边上。
2.根据权利要求1所述的载物台，其特征在于：所述吸附组件包括第一吸嘴、第二吸嘴和固定座，所述第一吸嘴和第二吸嘴均设置在固定座上，所述第一吸嘴距离吸盘的距离小于所述第二吸嘴距离吸盘的距离。
3.根据权利要求2所述的载物台，其特征在于：所述吸附组件还包括第一支撑座、第一调节杆、第二支撑座和第二调节杆，所述第一支撑座上设有与第一调节杆的底端相配合的第一孔口，所述第二支撑座上设有与第二调节杆的底端相配合的第二孔口；所述第一支撑座安装在固定座上，所述第一调节杆通过第一孔口安装在第一支撑座上，所述第一吸嘴安装在第一调节杆上；所述第二支撑座安装在固定座上，所述第二调节杆通过第二孔口安装在第二支撑座上，所述第二吸嘴安装在第二调节杆上。
4.根据权利要求1所述的载物台，其特征在于：所述吸盘上设有四个吸附组件。
5.根据权利要求1至4任一所述的载物台，其特征在于：所述载物台还包括套圈，所述吸盘套设在套圈中。
6.根据权利要求5所述的载物台，其特征在于：所述载物台还包括光源和内部设有空腔的安装座，所述光源设置在空腔中，所述套圈设置在安装座上方，所述吸附组件设置在安装座的侧面。
7.根据权利要求6所述的载物台，其特征在于：所述载物台还包括平面度调节组件，所述平面度调节组件包括高度调节螺丝和锁紧螺丝，所述套圈上设有与高度调节螺丝相配合的第一通孔，还设有与锁紧螺丝相配合的第二通孔，所述安装座上设有与锁紧螺丝相配合的第三通孔，所述第二通孔和第三通孔连通；所述高度调节螺丝穿过第一通孔并抵触安装座，所述锁紧螺丝穿过第二通孔和第三通孔固定。
8.根据权利要求7所述的载物台，其特征在于：所述平面度调节组件设有四个。
9.根据权利要求6所述的载物台，其特征在于：所述载物台还包括旋转马达，所述安装座设置在旋转马达上。
10.根据权利要求1所述的载物台，其特征在于：所述刻槽表面设有磨砂层。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| CN201821097173.XU CN208570572U (zh) | 2018-07-11 | 2018-07-11 | 一种适用多尺寸晶圆的载物台 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| CN201821097173.XU CN208570572U (zh) | 2018-07-11 | 2018-07-11 | 一种适用多尺寸晶圆的载物台 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| CN208570572U true CN208570572U (zh) | 2019-03-01 |
Family
ID=65491973
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| CN201821097173.XU Active CN208570572U (zh) | 2018-07-11 | 2018-07-11 | 一种适用多尺寸晶圆的载物台 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| CN (1) | CN208570572U (zh) |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| CN111872586A (zh) * | 2020-08-24 | 2020-11-03 | 苏州德龙激光股份有限公司 | 晶圆激光切割用的产品吸附装置 |
-
2018
- 2018-07-11 CN CN201821097173.XU patent/CN208570572U/zh active Active
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| CN111872586A (zh) * | 2020-08-24 | 2020-11-03 | 苏州德龙激光股份有限公司 | 晶圆激光切割用的产品吸附装置 |
Similar Documents
| Publication | Publication Date | Title |
|---|---|---|
| CN105196162B (zh) | 搬送装置 | |
| KR102185238B1 (ko) | 연삭 장치 및 직사각형 기판의 연삭 방법 | |
| CN208570572U (zh) | 一种适用多尺寸晶圆的载物台 | |
| JP2009054920A (ja) | 半導体ウェーハの加工方法 | |
| JP6581436B2 (ja) | ロボットハンド | |
| WO2014201726A1 (zh) | 一种液晶面板的切割装置及切割方法 | |
| CN103531516B (zh) | 切削装置的卡盘工作台机构 | |
| JP5350908B2 (ja) | ドレスボード保持テーブルおよび切削装置 | |
| CN210640204U (zh) | 一种硅片合片、分片装置 | |
| JP2020072125A (ja) | 電子部品のピックアップ装置及び実装装置 | |
| JP3745214B2 (ja) | ベベルエッチング装置およびベベルエッチング方法 | |
| JPWO2014087760A1 (ja) | 基板搬送前室機構 | |
| JP2016093875A (ja) | 被加工物の研削方法 | |
| CN115274538B (zh) | 一种晶片贴合装置 | |
| CN107422614B (zh) | 一种光刻机晶片吸盘 | |
| JP5422176B2 (ja) | 保持テーブルおよび切削装置 | |
| JP4349817B2 (ja) | フレーム固定治具 | |
| CN109300834A (zh) | 一种真空吸盘 | |
| JP2004014939A (ja) | チャックテーブル | |
| KR20150050830A (ko) | 스마트폰 카메라 보호용 유리박판 면취 자동 가공장치 및 그 가공방법 | |
| TW202234499A (zh) | 切割裝置 | |
| CN210925950U (zh) | 一种新型多层芯片焊接固晶机 | |
| JP6331656B2 (ja) | 脆性材料基板の搬送方法及び搬送装置 | |
| CN206519322U (zh) | 一种用于显示屏的点胶机的换料装置 | |
| JP2003340787A (ja) | 基板の固定装置及び固定方法 |
Legal Events
| Date | Code | Title | Description |
|---|---|---|---|
| GR01 | Patent grant | ||
| GR01 | Patent grant | ||
| TR01 | Transfer of patent right | ||
| TR01 | Transfer of patent right |
Effective date of registration: 20220803 Address after: 518000 101, building 6, Wanyan Industrial Zone, Qiaotou community, Fuhai street, Bao'an District, Shenzhen City, Guangdong Province Patentee after: Shenzhen Han's Semiconductor Equipment Technology Co.,Ltd. Address before: 518000 No. 9988 Shennan Road, Nanshan District, Shenzhen, Guangdong Patentee before: HAN'S LASER TECHNOLOGY INDUSTRY GROUP Co.,Ltd. |