CN208351247U - 一种双工位直投式光刻机 - Google Patents

Abstract

本实用新型公开了一种双工位直投式光刻机，包括底座、输送带、Y向线性导轨、第一驱动龙门、第二驱动龙门、第一X向轴、第二X向轴和镜筒组，底座上设有输送带，输送带内设有第一吸盘和第二吸盘，底座上位于输送带一侧设有Y向线性导轨，Y向线性导轨上连接有第一驱动龙门和第二驱动龙门，第一驱动龙门上设有第一X向轴，第一X向轴上设有对位相机A和对位相机B，第二驱动龙门上设有第二X向轴，第二X向轴上设有二次对位相机A和二次对位相机B，二次对位相机A和二次对位相机B之间设有镜筒组，本实用新型采用双工位双驱动形式，分离了预对位和二次对位，曝光和对位在两个工位上完成，结构稳定，曝光效率高，大幅度提高了生产效率。

Description

一种双工位直投式光刻机

技术领域：

本实用新型属于光源直投式曝光机技术领域，具体为一种双工位直投式光刻机。

背景技术：

光源直投式光刻机设备又称影像直接投射设备，可应用于半导体和PCB以及平面成像领域的研发、生产。直投式是利用图形发生器取代传统的掩模技术，直接将计算机的图形数据曝光到产品上，可有效节省成本和提高效率。为了进一步提升直投式曝光机的效率，完全创新式的双工位曝光设备在效率上又上了一个较大的台阶。传统曝光机的CCD对位和曝光是在同一工位上，先对位后曝光。双工位把CCD对位和曝光分开来做，利用输送带形式，形成流水线作业。

实用新型内容：

针对上述问题，本实用新型要解决的技术问题是提供一种双工位直投式光刻机。

本实用新型的一种双工位直投式光刻机，包括底座、输送带、Y向线性导轨、第一驱动龙门、第二驱动龙门、第一X向轴、第二X向轴和镜筒组，所述底座上设有输送带，所述输送带内设有第一吸盘和第二吸盘，所述底座上位于输送带一侧设有Y向线性导轨，所述Y向线性导轨上连接有可沿Y向线性导轨Y方向滑动的第一驱动龙门和第二驱动龙门，所述第一驱动龙门和第二驱动龙门位于输送带外侧，所述第一驱动龙门上设有第一X向轴，所述第一X向轴上设有可沿第一X向轴X方向滑动的对位相机A和对位相机B，所述对位相机A和对位相机B均可沿第一X向轴Z方向滑动，所述第二驱动龙门上设有第二X向轴，所述第二X向轴上设有可沿第二X向轴X方向滑动的二次对位相机A和二次对位相机B，所述二次对位相机A和二次对位相机B之间设有可沿第二X向轴X方向滑动的镜筒组，所述二次对位相机A、二次对位相机B和镜筒组均可沿第二X向轴Z方向滑动。

优选的，所述第一驱动龙门和第二驱动龙门呈倒U型结构。

优选的，所述镜筒组通过镜筒组安装板连接在第二X向轴上。

本实用新型的有益效果：本实用新型的一种双工位直投式光刻机，包括输送线形式的传输装置，双工位双驱动形式，分离了CCD预对位和二次对位，曝光和对位在两个工位上完成，因二次对位时间小于0.3S，大幅度提高了生产效率，结构稳定，曝光效率高。

附图说明：

为了易于说明，本实用新型由下述的具体实施例及附图作以详细描述。

图1为本实用新型的整体结构示意图；

图2为本实用新型的整体流程示意图；

图3为本实用新型的曝光方法中预对位示意图；

图4为本实用新型的曝光方法中二次对位示意图。

图中：1-底座；2-输送带；3a-第一吸盘；3b-第二吸盘；4-Y向线性导轨；5a-第一驱动龙门；5b-第二驱动龙门；6a-第一X向轴；6b-第二X向轴；7a-对位相机A；7b-第二对位相机B；7c-二次对位相机A；7d-二次对位相机B；8-镜筒组；9-镜筒组安装板；10a-产品a；10b-产品b；10c-产品c；10d-产品d。

具体实施方式：

为使本实用新型的目的、技术方案和优点更加清楚明了，下面通过附图中示出的具体实施例来描述本实用新型。但是应该理解，这些描述只是示例性的，而并非要限制本实用新型的范围。此外，在以下说明中，省略了对公知结构和技术的描述，以避免不必要地混淆本实用新型的概念。

如图1-4所示，本实施例的一种双工位直投式光刻机，包括底座1、输送带2、Y向线性导轨4、第一驱动龙门5a、第二驱动龙门5b、第一X向轴6a、第二X向轴6b和镜筒组8，所述底座1上设有输送带2，所述输送带2内设有第一吸盘3a和第二吸盘3b，所述底座1上位于输送带2一侧设有Y向线性导轨4，所述Y向线性导轨4上连接有可沿Y向线性导轨4Y方向滑动的第一驱动龙门5a和第二驱动龙门5b，所述第一驱动龙门5a和第二驱动龙门5b呈倒U型结构且位于输送带2外侧，所述第一驱动龙门5a上设有第一X向轴6a，所述第一X向轴6a上设有可沿第一X向轴6aX方向滑动的对位相机A7a和对位相机B7b，所述对位相机A7a和对位相机B7b均可沿第一X向轴6aZ方向滑动，所述第二驱动龙门5b上设有第二X向轴6b，所述第二X向轴6b上设有可沿第二X向轴6bX方向滑动的二次对位相机A7c和二次对位相机B7d，所述二次对位相机A7c和二次对位相机B7d之间设有可沿第二X向轴6bX方向滑动的镜筒组8，所述二次对位相机A7c、二次对位相机B7d和镜筒组8均可沿第二X向轴6bZ方向滑动。

具体地，X为设备宽度方向，Y为设备长度方向（产品行走方向），Z为设备高度方向（上下）。输送带2基于设备底座1，沿着Y轴向前间歇输送产品，每一次输送都走过一个工位的间隔，输送带2下方设置第一吸盘3a和第二吸盘3b，工位工作期间真空吸附，稳定被加工的产品。第一驱动龙门5a和第二驱动龙门5b通过Y向线性导轨4可以前后移动，进行扫描对位和曝光工作。对位相机A7a和对位相机B7b通过第一X向轴6a可以横向移动，进行扫描预对位工作。二次对位相机A7c和二次对位相机B7d通过第二X向轴6b可以横向移动，进行扫描二次对位工作。镜筒组8通过第二X向轴6b也可以横向移动，进行曝光工作。对位相机A7a、对位相机B7b、二次对位相机A7c和二次对位相机B7d均带有Z向上下调整的功能，用于调整焦距扫描对位。镜筒组8也带有Z向上下调整的功能，用于调整焦距进行曝光，镜筒组安装板9用来固定镜筒组8。如图2，10a为上完料待预对位的产品，10b为处于预对位的产品，10c为处于二次对位和曝光的产品，10d为曝光完成的产品，待取走状态。

具体地，本实施例的一种双工位直投式光刻机，其曝光方法包括以下步骤：

（1）输送产品：先将需曝光的产品放上输送带2，输送带2载着产品沿着Y方向移动，向前间歇输送产品至第一驱动龙门5a下方进行预对位的相应位置；

（2）预对位：对位相机A7a和对位相机B7b上下自动调整焦距并进行X方向滑动、第一驱动龙门5a进行Y方向的滑动来扫描产品边角的四个点，然后整体扫描产品的尺寸值，计算出整个产品的版面以及相对于四个点的位置关系；

（3）二次对位：二次对位相机A7c和二次对位相机B7d扫描预对位扫描过的任意点，根据这个点，取得对比数据，快速找到成像曝光位置；

（4）曝光：镜筒组8根据预对位和二次对位的数据，快速调整X、Y、Z三个方向的距离，然后第二驱动龙门5b沿Y方向移动，进行对产品成像曝光。

具体地，输送带2是利用电机驱动带轮，拉动封闭环形带，使产品往前走。对位相机A7a和对位相机B7b上下自动调整焦距并进行X方向滑动、第一驱动龙门5a进行Y方向的滑动来扫描产品上四个点，如图3四个点分别为P01，P02，P03，P04，然后整体扫描产品的L1，L2，L3，L4，W1，W2的尺寸值，计算出整个产品的版面以及相对于四个点的位置关系。曝光时快速调整X、Y、Z三个方向的距离，X方向由第二X向轴6b进行调整，Y方向由第二驱动龙门5b进行调整，Z方向由镜筒组8上下移动来调整，X、Y、Z三个方向调整会根据前面扫描的数据结合起来，调整到所需要的位置。预对位，二次对位和曝光作业时，一定需要第一吸盘3a和第二吸盘3b通过抽空气产生负压来吸附住产品，使产品不可以有任何方向的移动。第一驱动龙门5a和第二驱动龙门5b下方有电机，作为驱动动力的来源，Y向线性导轨4起到直线行走过程中导向的作用，第一驱动龙门5a和第二驱动龙门5b沿Y方向移动。镜筒组8的运作是光源把图像信息经过一定倍率投射到产品表面，完成曝光成像。

以上显示和描述了本实用新型的基本原理和主要特征和本实用新型的优点。本行业的技术人员应该了解，本实用新型不受上述实施例的限制，上述实施例和说明书中描述的只是说明本实用新型的原理，在不脱离本实用新型精神和范围的前提下，本实用新型还会有各种变化和改进，这些变化和改进都落入要求保护的本实用新型范围内。本实用新型要求保护范围由所附的权利要求书及其等效物界定。

Claims (3)

1.一种双工位直投式光刻机，其特征在于：包括底座、输送带、Y向线性导轨、第一驱动龙门、第二驱动龙门、第一X向轴、第二X向轴和镜筒组，所述底座上设有输送带，所述输送带内设有第一吸盘和第二吸盘，所述底座上位于输送带一侧设有Y向线性导轨，所述Y向线性导轨上连接有可沿Y向线性导轨Y方向滑动的第一驱动龙门和第二驱动龙门，所述第一驱动龙门和第二驱动龙门位于输送带外侧，所述第一驱动龙门上设有第一X向轴，所述第一X向轴上设有可沿第一X向轴X方向滑动的对位相机A和对位相机B，所述对位相机A和对位相机B均可沿第一X向轴Z方向滑动，所述第二驱动龙门上设有第二X向轴，所述第二X向轴上设有可沿第二X向轴X方向滑动的二次对位相机A和二次对位相机B，所述二次对位相机A和二次对位相机B之间设有可沿第二X向轴X方向滑动的镜筒组，所述二次对位相机A、二次对位相机B和镜筒组均可沿第二X向轴Z方向滑动。

2.根据权利要求1所述的一种双工位直投式光刻机，其特征在于：所述第一驱动龙门和第二驱动龙门呈倒U型结构。

3.根据权利要求1所述的一种双工位直投式光刻机，其特征在于：所述镜筒组通过镜筒组安装板连接在第二X向轴上。