CN207877866U - 一种新型真空蚀刻机 - Google Patents

Abstract

本实用新型公开了一种新型真空蚀刻机，包括蚀刻机、壳体、底座、支撑腿、药水槽，所述蚀刻机外面设置有所述壳体，所述蚀刻机下面设置有所述底座，所述底座下面设置有所述支撑腿，所述底座上面设置有所述药水槽，所述蚀刻机中间设置有连接块，所述连接块上面设置有上输送滚轮，所述上输送滚轮下面设置有下输送滚轮，所述上输送滚轮旁边设置有吸液刀，所述上输送滚轮上面设置有上喷淋头，所述下输送滚轮下面设置有下喷淋头，所述蚀刻机旁边设置有真空泵，所述真空泵下面设置有支架，所述真空泵上面设置有真空管。有益效果在于：该新型真空蚀刻机结构简单，蚀刻速度快，蚀刻均匀，药水能够及时排出，并且通过真空泵可实现重复的利用，节约成本。

Description

一种新型真空蚀刻机

技术领域

本实用新型涉及真空蚀刻机领域，特别是涉及一种新型真空蚀刻机。

背景技术

蚀刻机包括：机身、上喷淋架、下喷淋架及输送滚轮等组件。其工作原理如下：生产板放在输送滚轮上经过上、下喷淋架，喷淋架喷洒的药水蚀刻掉生产板上、下表面的未用抗蚀层遮挡的材料，得到所需的生产板线路。现有的蚀刻机存在以下缺点：在蚀刻过程中喷洒到上板面的药水因不能及时排走，会在生产板的中间越积越多，影响蚀刻速度，每个位置的积水存在不同，对上喷淋的阻挡程度也会存在差异，导致整个生产板上板面蚀刻不均匀；上喷淋架喷洒在生产板面的药水因不能及时排走，会导致喷淋的药水不能直接喷洒在生产板线路上，会增加线路侧蚀量，降低线路的蚀刻因子。目前人们使用的蚀刻机主要存在结构复杂，药水不能及时排出，影响蚀刻速度，蚀刻不均匀等缺点。

实用新型内容

本实用新型的目的就在于为了解决上述问题而提供一种新型真空蚀刻机。

本实用新型通过以下技术方案来实现上述目的：

一种新型真空蚀刻机，包括蚀刻机、壳体、底座、支撑腿、药水槽，所述蚀刻机外面设置有所述壳体，所述蚀刻机下面设置有所述底座，所述底座下面设置有所述支撑腿，所述底座上面设置有所述药水槽，所述蚀刻机中间设置有连接块，所述连接块上面设置有上输送滚轮，所述上输送滚轮下面设置有下输送滚轮，所述上输送滚轮旁边设置有吸液刀，所述上输送滚轮上面设置有上喷淋头，所述下输送滚轮下面设置有下喷淋头，所述蚀刻机旁边设置有真空泵，所述真空泵下面设置有支架，所述真空泵上面设置有真空管，所述真空泵旁边设置有出液管，所述出液管下面设置有进液管，所述出液管上面设置有导气管，所述导气管上面设置有射流器。

上述结构中，所述蚀刻机上的所述上喷淋头与所述下喷淋头将药水洒到板件上，所述吸液刀将表面的药水排入所述药水槽，所述真空泵将药水从所述药水槽抽出，然后所述射流器将药水射入所述药水槽，从而实现药水的吸取和排出再利用。

为了进一步提高蚀刻效果，所述蚀刻机与所述壳体通过螺钉连接，所述蚀刻机与所述底座焊接。

为了进一步提高蚀刻效果，所述底座与所述支撑腿焊接，所述蚀刻机与所述连接块通过螺栓连接。

为了进一步提高蚀刻效果，所述药水槽与所述蚀刻机通过镶嵌连接，所述上输送滚轮与所述连接块通过螺纹连接。

为了进一步提高蚀刻效果，所述下输送滚轮与所述连接块通过螺纹连接，所述吸液刀与所述连接块通过螺纹连接。

为了进一步提高蚀刻效果，所述上喷淋头与所述连接块通过螺纹连接，所述下喷淋头与所述连接块通过螺纹连接。

为了进一步提高蚀刻效果，所述真空泵与所述真空管通过螺纹连接，所述支架与所述真空泵通过螺钉连接。

为了进一步提高蚀刻效果，所述出液管与所述真空泵通过螺纹连接，所述进液管与所述真空泵通过螺纹连接。

为了进一步提高蚀刻效果，所述导气管与所述出液管通过螺纹连接，所述射流器与所述导气管通过螺钉连接。

有益效果在于：该新型真空蚀刻机结构简单，蚀刻速度快，蚀刻均匀，药水能够及时排出，并且通过真空泵可实现重复的利用，节约成本。

附图说明

为了更清楚地说明本实用新型实施例或现有技术中的技术方案，下面将对实施例或现有技术描述中所需要使用的附图作简单地介绍，显而易见地，下面描述中的附图仅是本实用新型的一些实施例，对于本领域普通技术人员来讲，在不付出创造性劳动性的前提下，还可以根据这些附图获得其他的附图。

图1是本实用新型所述一种新型真空蚀刻机的整体结构示意图；

图2是本实用新型所述一种新型真空蚀刻机的侧视图结构示意图；

图3是本实用新型所述一种新型真空蚀刻机真空泵俯视图。

附图标记说明如下：

1、蚀刻机；2、壳体；3、底座；4、支撑腿；5、药水槽；6、上输送滚轮；7、下输送滚轮；8、上喷淋头；9、下喷淋头；10、连接块；11、真空泵；12、真空管；13、支架；14、射流器；15、吸液刀；16、出液管；17、进液管；18、导气管。

具体实施方式

下面结合附图对本实用新型作进一步说明：

如图1-图3所示，一种新型真空蚀刻机，包括蚀刻机1、壳体2、底座3、支撑腿4、药水槽5，蚀刻机1外面设置有壳体2，蚀刻机1下面设置有底座3，底座3下面设置有支撑腿4，底座3上面设置有药水槽5，药水槽5用来储存药水，蚀刻机1中间设置有连接块10，连接块10上面设置有上输送滚轮6，上输送滚轮6下面设置有下输送滚轮7，上输送滚轮6旁边设置有吸液刀15，吸液刀15用来吸取药水，上输送滚轮6上面设置有上喷淋头8，下输送滚轮7下面设置有下喷淋头9，上喷淋头8和下喷淋头9用来洒药水，蚀刻机1旁边设置有真空泵11，真空泵11下面设置有支架13，真空泵11上面设置有真空管12，真空泵11旁边设置有出液管16，出液管16下面设置有进液管17，出液管16上面设置有导气管18，导气管18上面设置有射流器14，射流器14用来喷洒药水。

上述结构中，蚀刻机1上的上喷淋头8与下喷淋头9将药水洒到板件上，吸液刀15将表面的药水排入药水槽5，真空泵11将药水从药水槽5抽出，然后射流器14将药水射入药水槽5，从而实现药水的吸取和排出再利用。

为了进一步提高蚀刻效果，蚀刻机1与壳体2通过螺钉连接，蚀刻机1与底座3焊接，底座3与支撑腿4焊接，蚀刻机1与连接块10通过螺栓连接，药水槽5与蚀刻机1通过镶嵌连接，上输送滚轮6与连接块10通过螺纹连接，下输送滚轮7与连接块10通过螺纹连接，吸液刀15与连接块10通过螺纹连接，上喷淋头8与连接块10通过螺纹连接，下喷淋头9与连接块10通过螺纹连接，真空泵11与真空管12通过螺纹连接，支架13与真空泵11通过螺钉连接，出液管16与真空泵11通过螺纹连接，进液管17与真空泵11通过螺纹连接，导气管18与出液管16通过螺纹连接，射流器14与导气管18通过螺钉连接。

以上显示和描述了本实用新型的基本原理、主要特征和优点。本行业的技术人员应该了解，本实用新型不受上述实施例的限制，上述实施例和说明书中描述的只是说明本实用新型的原理，在不脱离本实用新型精神和范围的前提下，本实用新型还会有各种变化和改进，这些变化和改进都落入要求保护的本实用新型范围内。

Claims (9)

1.一种新型真空蚀刻机，其特征在于：包括蚀刻机(1)、壳体(2)、底座(3)、支撑腿(4)、药水槽(5)，所述蚀刻机(1)外面设置有所述壳体(2)，所述蚀刻机(1)下面设置有所述底座(3)，所述底座(3)下面设置有所述支撑腿(4)，所述底座(3)上面设置有所述药水槽(5)，所述蚀刻机(1)中间设置有连接块(10)，所述连接块(10)上面设置有上输送滚轮(6)，所述上输送滚轮(6)下面设置有下输送滚轮(7)，所述上输送滚轮(6)旁边设置有吸液刀(15)，所述上输送滚轮(6)上面设置有上喷淋头(8)，所述下输送滚轮(7)下面设置有下喷淋头(9)，所述蚀刻机(1)旁边设置有真空泵(11)，所述真空泵(11)下面设置有支架(13)，所述真空泵(11)上面设置有真空管(12)，所述真空泵(11)旁边设置有出液管(16)，所述出液管(16)下面设置有进液管(17)，所述出液管(16)上面设置有导气管(18)，所述导气管(18)上面设置有射流器(14)。

2.根据权利要求1所述的一种新型真空蚀刻机，其特征在于：所述蚀刻机(1)与所述壳体(2)通过螺钉连接，所述蚀刻机(1)与所述底座(3)焊接。

3.根据权利要求1所述的一种新型真空蚀刻机，其特征在于：所述底座(3)与所述支撑腿(4)焊接，所述蚀刻机(1)与所述连接块(10)通过螺栓连接。

4.根据权利要求1所述的一种新型真空蚀刻机，其特征在于：所述药水槽(5)与所述蚀刻机(1)通过镶嵌连接，所述上输送滚轮(6)与所述连接块(10)通过螺纹连接。

5.根据权利要求1所述的一种新型真空蚀刻机，其特征在于：所述下输送滚轮(7)与所述连接块(10)通过螺纹连接，所述吸液刀(15)与所述连接块(10)通过螺纹连接。

6.根据权利要求1所述的一种新型真空蚀刻机，其特征在于：所述上喷淋头(8)与所述连接块(10)通过螺纹连接，所述下喷淋头(9)与所述连接块(10)通过螺纹连接。

7.根据权利要求1所述的一种新型真空蚀刻机，其特征在于：所述真空泵(11)与所述真空管(12)通过螺纹连接，所述支架(13)与所述真空泵(11)通过螺钉连接。

8.根据权利要求1所述的一种新型真空蚀刻机，其特征在于：所述出液管(16)与所述真空泵(11)通过螺纹连接，所述进液管(17)与所述真空泵(11)通过螺纹连接。

9.根据权利要求1所述的一种新型真空蚀刻机，其特征在于：所述导气管(18)与所述出液管(16)通过螺纹连接，所述射流器(14)与所述导气管(18)通过螺钉连接。