CN207844418U - 针式元件处理装置 - Google Patents
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Abstract
本实用新型公开了一种针式元件处理装置,包括:导轨、夹具和处理槽,其中,导轨包括水平设置的第一轨道和第二轨道,第一轨道和第二轨道之间于竖直方向上存在位置差;夹具包括:支撑机构和抵压机构,其中,支撑机构和抵压机构沿导轨滑动地设置,支撑机构和抵压机构可于水平方向上沿导轨同步运动,第一轨道和第二轨道其中之一使支撑机构与抵压机构于竖直方向上相对远离地运动,另一轨道使支撑机构与抵压机构于竖直方向上相对靠近地运动;处理槽用于盛放针式元件处理液,夹具夹持针式元件后浸入到处理槽进行处理。本实用新型能够方便地夹持针式元件使其进行各种处理。本实用新型结构简单,易于实施。
Description
技术领域
本实用新型涉及一种针式元件处理装置。
背景技术
半导体元器件上有针式元件,该针式元件的表面需要经过电镀、清洗等工序,为此,针式元件需要一种夹持工具,使得针式元件能顺利地进行电镀、清洗等工序。但是,目前没有一种很好的机械结构能达到上述功能。现有的夹持装置结构复杂、效率低下,不能很好地完成针式元件的各种加工工序。
实用新型内容
本实用新型为克服现有技术的不足,提供一种针式元件处理装置。
为实现以上目的,本实用新型通过以下技术方案实现:
一种针式元件处理装置,包括:导轨、夹具和处理槽,其中,
导轨包括水平设置的第一轨道和第二轨道,第一轨道和第二轨道之间于竖直方向上存在位置差;
夹具包括:支撑机构和抵压机构,其中,支撑机构和抵压机构沿导轨滑动地设置,支撑机构和抵压机构可于水平方向上沿导轨同步运动,第一轨道和第二轨道其中之一使支撑机构与抵压机构于竖直方向上相对远离地运动,另一轨道使支撑机构与抵压机构于竖直方向上相对靠近地运动;
处理槽用于盛放针式元件处理液,夹具夹持针式元件后浸入到处理槽进行处理。
根据本实用新型的一个实施方案,所述的夹具还包括弹性复位装置,支撑机构与抵压机构于竖直方向上相对运动使弹性复位装置变形引起其弹性变形力变化,变化了的弹性变形力使支撑机构和/或抵压机构具有复位的趋势。
根据本实用新型的一个实施方案,所述的夹具还包括零件固定机构,零件固定机构用于固定针式元件,支撑机构与抵压机构于竖直方向上相对靠近地运动以共同夹持零件固定机构,夹持零件固定机构后,将针式元件浸入到处理槽中进行处理,支撑机构与抵压机构于竖直方向上相对远离地运动以松开零件固定机构。
根据本实用新型的一个实施方案,所述的支撑机构与抵压机构于竖直方向上可相对运动地设置即可,既可以设置支撑机构固定、抵压机构可活动地设置,也可以设置支撑机构可活动地设置、抵压机构固定;还可以支撑机构与抵压机构均可活动地设置,并且支撑机构的运动幅度小于抵压机构的运动幅度。
根据本实用新型的一个实施方案,所述的第一轨道和第二轨道由斜向轨道连接。
根据本实用新型的一个实施方案,所述的抵压机构沿导轨滑动地设置,抵压机构位于零件固定机构上方并可升降地设置;抵压机构于第一轨道滑动时,第一轨道使抵压机构相对支撑机构上抬以松开零件固定机构,抵压机构于第二轨道滑动时,抵压机构下降并将零件固定机构抵压在支撑机构上。
根据本实用新型的一个实施方案,所述的抵压机构于第一轨道处上升时使弹性复位装置弹性变形而产生弹性变形力,弹性变形力使抵压机构于第二轨道滑动时复位。
根据本实用新型的一个实施方案,所述的弹性复位装置为拉伸弹簧,拉伸弹簧与抵压机构相连,抵压机构抵压零件固定机构,抵压机构上升后松开零件固定机构并使拉伸弹簧拉伸而使其弹性变形力变化。
根据本实用新型的一个实施方案,所述的抵压机构包括:压杆和设置于压杆上的转动轮,其中,压杆可升降地设置且与弹性复位装置相连,转动轮沿导轨转动地设置,转动轮滑动至第一轨道时,第一轨道上抬转动轮,转动轮带动压杆上升且弹性复位装置产生弹性变形力,转动轮滑动至第二轨道时,弹性复位装置的弹性变形力使压杆复位下降。
根据本实用新型的一个实施方案,还包括导向装置,抵压机构升降时导向。
根据本实用新型的一个实施方案,所述的导向装置为导向盒,抵压机构贯穿导向盒并可升降地设置。
根据本实用新型的一个实施方案,所述的零件固定机构为杆状,垂直于零件固定机构的轴向上设有若干固定孔,针式元件可于固定孔上地设置。
根据本实用新型的一个实施方案,所述的支撑机构的数量至少为两个,分别支撑零件固定机构两端。
根据本实用新型的一个实施方案,所述的支撑机构数目为两个,每个支撑机构包括支撑座,两个支撑座支撑零件固定机构两端。
根据本实用新型的一个实施方案,所述的支撑机构还包括支撑杆,支撑座设置在支撑杆下端并沿水平方向突出于支撑杆。
根据本实用新型的一个实施方案,所述的两个支撑杆上的支撑座相向设置或者平行设置。
根据本实用新型的一个实施方案,所述的两个支撑杆上的支撑座平行设置,每个支撑杆外侧设置有护板;零件固定机构支撑在支撑座上时,位于两个护板之间。
根据本实用新型的一个实施方案,还包括动力源和传动装置,动力源驱动传动装置,传动装置与夹具相连使其于导轨上滑动。
根据本实用新型的一个实施方案,所述的传动装置采用链条传动。
根据本实用新型的一个实施方案,所述的动力源包括:电机和输出齿轮组,输出齿轮组与传动装置相连。
根据本实用新型的一个实施方案,所述的支撑机构、抵压机构和弹性复位装置集成设置于固定装置上,固定装置与传动装置相连。
根据本实用新型的一个实施方案,所述的固定装置包括:固定板和连接板,其中,固定板的上边缘水平设置连接板,支撑机构和/或抵压机构可升降地设置于固定板上,弹性复位装置设置于固定板上,连接板与传动装置相连。
根据本实用新型的一个实施方案,还包括支架,固定板沿支架滑动地设置,固定板的前端面转动设置第一转轮,后端面转动设置第二转轮,第一转轮与支架的前端面接触,第二转轮支撑于支架的上边缘,连接板上转动设置第三转轮,第三转轮与支架的后端面接触。
根据本实用新型的一个实施方案,所述的连接板上方设有下压滚轮。
根据本实用新型的一个实施方案,所述的处理槽设有进口和出口,夹具夹持针式元件后从进口进入处理槽进行处理,从出口离开处理槽。
技术效果
本实用新型夹具于导轨的第二轨道滑动时,支撑机构与抵压机构共同作用夹持零件固定机构,使得设置于零件固定机构上的针式元件进行浸渍等处理工序。当夹具于导轨的第一轨道滑动时,抵压机构和支撑机构于竖直方向上相对运动,松开零件固定机构,零件固定机构可进行上料和下料的操作。当夹具重新于导轨的第二轨道滑动时,弹性复位装置使抵压机构和/或支撑机构回复到夹持状态。支撑机构采用支撑杆与支撑座结构,结构简单,易于生产。抵压机构采用杆状结构,和支撑机构两者之一可活动地设置,且活动后利用弹性复位装置复位,自动夹持零件固定机构,使用方便。本实用新型设置导向装置,可确保抵压机构升降时运行稳定。弹性复位装置采用拉伸弹簧,易于安装,结构简单且成本低。设置护板,可防止零件固定机构从支撑座上滑落,使用更安全。本实用新型设置下压滚轮,压制固定板使其不会脱离支架运动。固定板上设置第一转轮、第二转轮,连接板上设置第三转轮,第一、第二和第三转轮能减小固定板与支架之间的摩擦力,使得固定板在传动装置的带动下顺利平稳地于支架上滑动,同时,第二转轮支撑于支架的上边缘,使得固定板得到支撑。
附图说明
图1为本实用新型的结构示意图;
图2为导轨的正视图;
图3为夹具的结构示意图;
图4为图3的正视图;
图5为图3的后视图。
具体实施方式
下面结合附图对本实用新型进行详细的描述:
如图1所示,本实施例包括:动力源9、传动装置10、导轨11、夹具12和处理槽20,其中:
如图2所示,导轨11包括:第一轨道111和第二轨道112,其中,第一轨道111位于第二轨道112的上方,两者于竖直方向上存在位置差,第一轨道111和第二轨道112由斜向轨道113连接。
处理槽20用于盛放针式元件处理液,夹具12夹持针式元件后浸入到处理槽20进行处理。处理槽20设有进口201和出口202,夹具12夹持针式元件后从进口201进入处理槽20进行处理,从出口202离开处理槽20。
本文所述的上、下概念以图2所示为准,为清楚地描述本实用新型而设定的相对概念,不构成对权利要求的限定。
如图3和图4所示,夹具12包括:零件固定机构1、支撑机构2、抵压机构、弹性复位装置和固定板5。所述的零件固定机构1为杆状,垂直于杆状的零件固定机构1的轴向上设有若干固定孔(图中未示出),多个固定孔沿固定机构的轴向排列。针式元件6可插置于固定孔上地设置。
所述的支撑机构2数目为两个,每个支撑机构2包括支撑杆21和支撑座22。支撑杆21上端连接在固定板5上,下端设置有支撑座22。支撑座22沿水平方向突出于支撑杆21。两个支撑杆21上的支撑座22相平行设置。每个支撑杆21外侧设置有护板8。固定机构1两端支撑在两个支撑座22上时,位于两个护板8之间。
抵压机构包括:压杆3和设置于压杆3顶端的转动轮13。转动轮13滑动设置于导轨11上。压杆3可升降地设置在固定板5上。固定板5上设置有导向盒7。压杆3上端贯穿所述导向盒7并可升降。弹性复位装置为拉伸弹簧4。拉伸弹簧4一端固定连接在固定板5上,另一端与压杆3连接。
如图5所示,固定板5的上边缘水平设有连接板14,连接板14与传动装置10相连。固定板5设置于支架18上,固定板5的前端面设有第一转轮15,后端面设有第二转轮16,第一转轮15与支架18的前端面接触,第二转轮16与支架18的上边缘接触,连接板14上设有第三转轮17,第三转轮17与支架18的后端面接触。第一转轮15、第二转轮16和第三转轮17,使得固定板5在传动装置10的带动下平稳地于支架18上滑动,不会脱离支架18运动。连接板14上方设有下压滚轮19。下压滚轮19压制固定板5使其不会脱离支架18运动。
本实施例中传动装置10采用链条传动。动力源9包括:电机和输出齿轮组,输出齿轮组与传动装置10相连。
本实用新型使用时,针式元件6在零件固定机构1上。固定板5沿导轨11水平方向运动,竖直方向上不运动,支撑机构2竖直方向上也不运动,转动轮13运行于第一轨道111时,第一轨道111上抬转动轮13,转动轮13带动压杆3上升,使其于竖直方向上相对于支撑机构2运动并使其保持在上方的位置,拉伸弹簧4被拉伸而使其弹性变形力变化。然后将零件固定机构1两端分别支撑在两个支撑座22上,转动轮13运行于第二轨道112时,导轨11解除了对压杆3的力,压杆3在拉伸弹簧4的作用力下复位,压杆3从上方抵压零件固定机构1。支撑座22与压杆3共同夹持零件固定机构1。以此可将针式元件6固定。需要将针式元件6取下时,向上抬升压杆3后解除其对支撑座22的抵压力,可将零件固定机构1取下。
本实用新型夹具12运行于导轨11的第二轨道112时,支撑机构与抵压机构共同作用夹持零件固定机构1,使得设置于零件固定机构1上的针式元件6进行浸渍等处理工序。当夹具12运行于导轨11的第一轨道111时,抵压机构和支撑机构2于竖直方向上相对运动松开零件固定机构1,零件固定机构1可进行上料和下料的操作。当夹具12重新运行于导轨11的第二轨道112时,弹性复位装置使抵压机构和/或支撑机构2回复到夹持状态。支撑机构2采用支撑杆21与支撑座22结构,结构简单,易于生产。抵压机构采用杆状结构,和支撑机构2两者之一可活动地设置,且活动后利用弹性复位装置复位,自动夹持零件固定机构1,使用方便。本实用新型设置导向装置,可确保抵压机构升降时运行稳定。弹性复位装置采用拉伸弹簧4,易于安装,结构简单且成本低。设置护板8,可防止零件固定机构1从支撑座22上滑落,使用更安全。本实用新型设置下压滚轮19,压制固定板5使其不会脱离支架18运动。固定板5上设置第一转轮15、第二转轮16,连接板14上设置第三转轮17,第一、第二和第三转轮15、16、17能减小固定板5与支架18之间的摩擦力,使得固定板5在传动装置10的带动下顺利平稳地于支架18上滑动,同时,第二转轮16支撑于支架18的上边缘,使得固定板5得到支撑。
本实用新型中的实施例仅用于对本实用新型进行说明,并不构成对权利要求范围的限制,本领域内技术人员可以想到的其他实质上等同的替代,均在本实用新型保护范围内。
Claims (24)
1.一种针式元件处理装置,其特征在于,包括:导轨、夹具和处理槽,其中,
导轨包括水平设置的第一轨道和第二轨道,第一轨道和第二轨道之间于竖直方向上存在位置差;
夹具包括:支撑机构和抵压机构,其中,支撑机构和抵压机构沿导轨滑动地设置,支撑机构和抵压机构可于水平方向上沿导轨同步运动,第一轨道和第二轨道其中之一使支撑机构与抵压机构于竖直方向上相对远离地运动,另一轨道使支撑机构与抵压机构于竖直方向上相对靠近地运动;
处理槽用于盛放针式元件处理液,夹具夹持针式元件后浸入到处理槽进行处理。
2.根据权利要求1所述的针式元件处理装置,其特征在于,所述的夹具还包括弹性复位装置,支撑机构与抵压机构于竖直方向上相对运动使弹性复位装置变形引起其弹性变形力变化,变化了的弹性变形力使支撑机构和/或抵压机构具有复位的趋势。
3.根据权利要求1或2所述的针式元件处理装置,其特征在于,所述的夹具还包括零件固定机构,零件固定机构用于固定针式元件,支撑机构与抵压机构于竖直方向上相对靠近地运动以共同夹持零件固定机构,夹持零件固定机构后,将针式元件浸入到处理槽中进行处理,支撑机构与抵压机构于竖直方向上相对远离地运动以松开零件固定机构。
4.根据权利要求3所述的针式元件处理装置,其特征在于,所述的第一轨道和第二轨道由斜向轨道连接。
5.根据权利要求3所述的针式元件处理装置,其特征在于,所述的抵压机构沿导轨滑动地设置,抵压机构位于零件固定机构上方并可升降地设置;抵压机构于第一轨道滑动时,第一轨道使抵压机构相对支撑机构上抬以松开零件固定机构,抵压机构于第二轨道滑动时,抵压机构下降并将零件固定机构抵压在支撑机构上。
6.根据权利要求5所述的针式元件处理装置,其特征在于,所述的抵压机构于第一轨道处上升时使弹性复位装置弹性变形而产生弹性变形力,弹性变形力使抵压机构于第二轨道滑动时复位。
7.根据权利要求6所述的针式元件处理装置,其特征在于,所述的弹性复位装置为拉伸弹簧,拉伸弹簧与抵压机构相连,抵压机构抵压零件固定机构,抵压机构上升后松开零件固定机构并使拉伸弹簧拉伸而使其弹性变形力变化。
8.根据权利要求6所述的针式元件处理装置,其特征在于,所述的抵压机构包括:压杆和设置于压杆上的转动轮,其中,压杆可升降地设置且与弹性复位装置相连,转动轮沿导轨转动地设置,转动轮滑动至第一轨道时,第一轨道上抬转动轮,转动轮带动压杆上升且弹性复位装置产生弹性变形力,转动轮滑动至第二轨道时,弹性复位装置的弹性变形力使压杆复位下降。
9.根据权利要求8所述的针式元件处理装置,其特征在于,还包括导向装置,抵压机构升降时导向。
10.根据权利要求9所述的针式元件处理装置,其特征在于,所述的导向装置为导向盒,抵压机构贯穿导向盒并可升降地设置。
11.根据权利要求3所述的针式元件处理装置,其特征在于,所述的零件固定机构为杆状,垂直于零件固定机构的轴向上设有若干固定孔,针式元件可于固定孔上地设置。
12.根据权利要求3所述的针式元件处理装置,其特征在于,所述的支撑机构的数量至少为两个,分别支撑零件固定机构两端。
13.根据权利要求12所述的针式元件处理装置,其特征在于,所述的支撑机构数目为两个,每个支撑机构包括支撑座,两个支撑座支撑零件固定机构两端。
14.根据权利要求13所述的针式元件处理装置,其特征在于,所述的支撑机构还包括支撑杆,支撑座设置在支撑杆下端并沿水平方向突出于支撑杆。
15.根据权利要求14所述的针式元件处理装置,其特征在于,所述的两个支撑杆上的支撑座相向设置或者平行设置。
16.根据权利要求15所述的针式元件处理装置,其特征在于,所述的两个支撑杆上的支撑座平行设置,每个支撑杆外侧设置有护板;零件固定机构支撑在支撑座上时,位于两个护板之间。
17.根据权利要求1所述的针式元件处理装置,其特征在于,还包括动力源和传动装置,动力源驱动传动装置,传动装置与夹具相连使其于导轨上滑动。
18.根据权利要求17所述的针式元件处理装置,其特征在于,所述的传动装置采用链条传动。
19.根据权利要求17所述的针式元件处理装置,其特征在于,所述的动力源包括:电机和输出齿轮组,输出齿轮组与传动装置相连。
20.根据权利要求17所述的针式元件处理装置,其特征在于,所述的支撑机构、抵压机构和弹性复位装置集成设置于固定装置上,固定装置与传动装置相连。
21.根据权利要求20所述的针式元件处理装置,其特征在于,所述的固定装置包括:固定板和连接板,其中,固定板的上边缘水平设置连接板,支撑机构和/或抵压机构可升降地设置于固定板上,弹性复位装置设置于固定板上,连接板与传动装置相连。
22.根据权利要求21所述的针式元件处理装置,其特征在于,还包括支架,固定板沿支架滑动地设置,固定板的前端面转动设置第一转轮,后端面转动设置第二转轮,第一转轮与支架的前端面接触,第二转轮支撑于支架的上边缘,连接板上转动设置第三转轮,第三转轮与支架的后端面接触。
23.根据权利要求21或22所述的针式元件处理装置,其特征在于,所述的连接板上方设有下压滚轮。
24.根据权利要求1所述的针式元件处理装置,其特征在于,所述的处理槽设有进口和出口,夹具夹持针式元件后从进口进入处理槽进行处理,从出口离开处理槽。
Applications Claiming Priority (2)
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CN201721925108.7U Active CN207844418U (zh) | 2017-04-14 | 2017-12-31 | 针式元件处理装置 |
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Cited By (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
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CN108045937A (zh) * | 2017-04-14 | 2018-05-18 | 上海新阳半导体材料股份有限公司 | 针式元件处理装置 |
-
2017
- 2017-12-31 CN CN201721925108.7U patent/CN207844418U/zh active Active
Cited By (2)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
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CN108045937A (zh) * | 2017-04-14 | 2018-05-18 | 上海新阳半导体材料股份有限公司 | 针式元件处理装置 |
CN108045937B (zh) * | 2017-04-14 | 2024-01-30 | 上海新阳半导体材料股份有限公司 | 针式元件处理装置 |
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