CN207792717U - 一种多晶硅生产尾气中氯硅烷的回收*** - Google Patents

Abstract

本实用新型公开了一种多晶硅生产尾气中氯硅烷的回收***，包括废气缓冲罐、变压吸附***、热源、冷凝器和废气淋洗塔；其中变压吸附***包括气体压缩机、活性炭吸附器以及第一过滤器、第二过滤器和第三过滤器；所述活性炭吸附器包括三个并列设置的活性炭吸附器A、活性炭吸附器B和活性炭吸附器C。本实用新型通过三个活性炭吸附器的交替循环，能实现对多晶硅生产尾气的24小时不间断回收处理，大大提高尾气处理效率及整个工厂的多晶硅生产的速率。

Description

一种多晶硅生产尾气中氯硅烷的回收***

技术领域

本实用新型涉及多晶硅生产领域，具体涉及一种多晶硅生产尾气中氯硅烷的回收***。

背景技术

多晶硅工厂的尾气主要含有氮气、氢气、氯化氢、氯硅烷等，其含量较为复杂，即含有不凝气氮气、氢气、氯化氢；又含有富含酸性的氯硅烷。因此，怎样能有效的处理该部分废气，减少对周围环境的污染，成为刻不容缓需要解决的问题。

对于多晶硅工厂的尾气的处理通常采用活性炭进行吸附，其原理是：活性炭在高压力，低温度下能够吸附大分子，在低压力，高温度下能够释放大分子，再生吸附功能。利用活性炭的高压低温吸附——低压高温再生——低压降温——高压低温吸附，三个状态不断循环，来进行氯硅烷的吸附及回收。

目前市场上，通常只采用一个活性炭吸附器进行工作，这样活性炭吸附器需要分别进行高压低温吸附，之后再进行低压高温再生，以及低压降温处理，这样就存在很大的问题：当活性炭吸附器处于高压低温吸附时可以正常的吸收尾气，但当活性炭吸附器处于低压高温再生以及低压降温两个状态时，其不能对尾气进行吸收及处理，这样就大大降低了尾气吸收处理的效率，以至于导致整个多晶硅生产的速率。急需一套能够24小时不间断的多晶硅生产尾气回收处理装置。

实用新型内容

针对上述问题，本实用新型公开了一种多晶硅生产尾气中氯硅烷的回收***，此***通过三个活性炭吸附器的交替循环，能实现对多晶硅生产尾气的24小时不间断回收处理，大大提高尾气处理效率及整个工厂的多晶硅生产的速率。

为实现上述目的，本实用新型采用的技术方案为：一种多晶硅生产尾气中氯硅烷的回收***，包括废气缓冲罐，变压吸附***，为所述变压吸附***提供热量的热源、与所述变压吸附***相连通的冷凝器和与所述变压吸附***相连通的废气淋洗塔；

所述废气缓冲罐上设有尾气进管和低压尾气出管，所述低压尾气出管与所述变压吸附***相连通；

所述变压吸附***包括与所述低压尾气出管相连通的气体压缩机，通过高压尾气出管与所述气体压缩机相连通的活性炭吸附器以及分别与所述活性炭吸附器相连通的第一过滤器、第二过滤器和第三过滤器；

所述活性炭吸附器包括三个并列设置的活性炭吸附器A、活性炭吸附器B和活性炭吸附器C，所述活性炭吸附器A顶部设有吸附器A上通气管，所述活性炭吸附器A底部设有吸附器A下通气管，所述活性炭吸附器A的侧壁上设有吸附器A导热油进管和吸附器A导热油出管，所述活性炭吸附器B顶部设有吸附器B上通气管，所述活性炭吸附器B底部设有吸附器B下通气管，所述活性炭吸附器B的侧壁上设有吸附器B导热油进管和吸附器B导热油出管，所述活性炭吸附器C顶部设有吸附器C上通气管，所述活性炭吸附器C底部设有吸附器C下通气管，所述活性炭吸附器C的侧壁上设有吸附器C导热油进管和吸附器C导热油出管；所述高压尾气出管分别与所述吸附器A 下通气管、吸附器B下通气管和吸附器C下通气管相连通，所述高压尾气出管上设有控制所述高压尾气出管与所述吸附器A下通气管通断的吸附器A尾气进阀、控制所述高压尾气出管与所述吸附器B下通气管通断的吸附器B尾气进阀和控制所述高压尾气出管与所述吸附器C下通气管通断的吸附器C尾气进阀；

所述第一过滤器的进口处设有第一过滤器进管，所述第一过滤器进管分别与所述吸附器A上通气管、吸附器B上通气管和吸附器C上通气管相连通，所述第一过滤器进管上设有控制所述第一过滤器进管与所述吸附器A上通气管通断的吸附器A尾气出阀、控制所述第一过滤器进管与所述吸附器B上通气管通断的吸附器B尾气出阀和控制所述第一过滤器进管与所述吸附器C上通气管通断的吸附器C尾气出阀；所述第一过滤器的出口通过管路分别连接所述废气淋洗塔和反吹气缓冲罐，所述反吹气缓冲罐的出口处设置有反吹气出管；所述反吹气出管分别与所述吸附器A上通气管、吸附器B上通气管和吸附器C上通气管相连通，所述反吹气出管上设有控制所述反吹气出管与所述吸附器A上通气管通断的吸附器A反吹气进阀、控制所述反吹气出管与所述吸附器B上通气管通断的吸附器B反吹气进阀和控制所述反吹气出管与所述吸附器C上通气管通断的吸附器C反吹气进阀；

所述第二过滤器的进口处设有第二过滤器进管，所述第二过滤器进管分别与所述吸附器A下通气管、吸附器B下通气管和吸附器C下通气管相连通，所述第二过滤器进管上设有控制所述第二过滤器进管与所述吸附器A下通气管通断的吸附器A反吹气出阀、控制所述第二过滤器进管与所述吸附器B下通气管通断的吸附器B反吹气出阀和控制所述第二过滤器进管与所述吸附器C下通气管通断的吸附器C反吹气出阀；所述第二过滤器的出口处通过第二过滤器出管与所述冷凝器相连通；

所述第三过滤器的进口处设有第三过滤器进管，所述第三过滤器进管分别与所述吸附器A上通气管、吸附器B上通气管和吸附器C上通气管相连通；所述第三过滤器进管上设有控制所述第三过滤器进管与所述吸附器A上通气管通断的吸附器A反吹尾气出阀、控制所述第三过滤器进管与所述吸附器B上通气管通断的吸附器B反吹尾气出阀和控制所述第三过滤器进管与所述吸附器C上通气管通断的吸附器C反吹尾气出阀；所述第三过滤器的出口处通过第三过滤器出管与所述废气淋洗塔相连通；

所述热源上设有导热油出管和导热油回管，所述导热油出管分别与所述吸附器A导热油进管、吸附器B导热油进管和吸附器C导热油进管相连通，所述导热油出管上设有控制所述导热油出管与所述吸附器A导热油进管通断的吸附器A导热油进阀、控制所述导热油出管与所述吸附器B导热油进管通断的吸附器B导热油进阀和控制所述导热油出管与所述吸附器C导热油进管通断的吸附器C导热油进阀；所述导热油回管分别与所述吸附器A导热油出管、吸附器B导热油出管和吸附器C导热油出管相连通，所述导热油回管上设有控制所述导热油回管与所述吸附器A导热油出管通断的吸附器 A导热油出阀、控制所述导热油回管与所述吸附器B导热油出管通断的吸附器B导热油出阀和控制所述导热油回管与所述吸附器C导热油出管通断的吸附器C导热油出阀；

所述冷凝器上设有冷凝器气体进管、冷凝器气体出管和冷凝器液体出管，所述冷凝器气体进管与所述第二过滤器出管相连通，所述冷凝器液体出管连接有氯硅烷存储罐，所述冷凝器气体出管与所述吸附器A下通气管、吸附器B下通气管和吸附器C下通气管相连通，所述冷凝器气体出管上设有控制所述冷凝器气体出管与所述吸附器A下通气管通断的吸附器A反吹气回流阀、控制所述冷凝器气体出管与所述吸附器B下通气管通断的吸附器B反吹气回流阀和控制所述冷凝器气体出管与所述吸附器C下通气管通断的吸附器C反吹气回流阀。

进一步的：所述导热油出管通过管路连接有导热油膨胀罐。

采用上述技术方案所产生的有益效果为：本实用新型的活性炭吸附器A、活性炭吸附器B和活性炭吸附器C三个活性炭吸附器的交替循环工作，能实现对多晶硅生产尾气的不间断吸收，整个***吸收效率高。

在导热油出管连接有导热油膨胀罐，导热油在热膨胀以及冷缩时，导热油膨胀罐能很好的起到缓冲作用。

附图说明

图1所示为本实用新型的结构示意图；

图2所示为本实用新型变压吸附***的结构示意图；

图3所示为图2的A部放大图；

其中：1、废气缓冲罐，11、尾气进管，12、低压尾气出管；2、变压吸附***，211、活性炭吸附器A，2111、吸附器A上通气管，2112、吸附器A下通气管， 2113、吸附器A导热油进管，2114、吸附器A导热油出管，212、活性炭吸附器B，2121、吸附器B上通气管，2122、吸附器B下通气管，2123、吸附器B导热油进管，2124、吸附器B导热油出管，213、活性炭吸附器C， 2131、吸附器C上通气管，2132、吸附器C下通气管，2133、吸附器C导热油进管，2134、吸附器C导热油出管，22、第一过滤器，221、第一过滤器进管，2211、吸附器A尾气出阀，2212、吸附器B尾气出阀，2213、吸附器C尾气出阀，23、第二过滤器，231、第二过滤器进管，2311、吸附器 A反吹气出阀，2312、吸附器B反吹气出阀，2313、吸附器C反吹气出阀， 232、第二过滤器出管，24、第三过滤器，241、第三过滤器进管，2411、吸附器A反吹尾气出阀，2412、吸附器B反吹尾气出阀，2413、吸附器C反吹尾气出阀，242、第三过滤器出管，25、气体压缩机，251、高压尾气出管， 2511、吸附器A尾气进阀，2512、吸附器B尾气进阀，2513、吸附器C尾气进阀，26、反吹气缓冲罐，261、反吹气出管，2611、吸附器A反吹气进阀，2612、吸附器B反吹气进阀，2613、吸附器C反吹气进阀；3、热源， 31、导热油出管，311、吸附器A导热油进阀，312、吸附器B导热油进阀， 313、吸附器C导热油进阀，32、导热油回管，321、吸附器A导热油出阀， 322、吸附器B导热油出阀，323、吸附器C导热油出阀；4、冷凝器，41、冷凝器气体进管，42、冷凝器气体出管，421、吸附器A反吹气回流阀，422、吸附器B反吹气回流阀，423、吸附器C反吹气回流阀，43、冷凝器液体出管；5、废气淋洗塔；6、氯硅烷存储罐；7、导热油膨胀罐。

具体实施方式

下面结合附图和实施例对本实用新型的实施方式作进一步详细描述。以下实施例用于说明本实用新型，但不能用来限制本实用新型的范围。

图1至图3所示为本实用新型的一个具体实施例，一种多晶硅生产尾气中氯硅烷的回收***，包括废气缓冲罐1，变压吸附***2，为所述变压吸附***2提供热量的热源3、与所述变压吸附***2相连通的冷凝器4和与所述变压吸附***2相连通的废气淋洗塔5；废气缓冲罐1用于储存废气，并将待处理的废气送入变压吸附***2中，变压变压吸附***2通过活性炭在高压力，低温度下能够吸附大分子的特性对氯硅烷进行吸附，使之与其他尾气成分(主要是氢气、氮气和氯化氢)分离，分离后的氯硅烷经过冷凝器4进行冷凝回收，分离后的尾气经过废气淋洗塔5进行淋洗处理。

具体的废气缓冲罐1上设有尾气进管11和低压尾气出管12，低压尾气出管12与所述变压吸附***2相连通；尾气通过尾气进管11进入废气缓冲罐1，通过低压尾气出管 12送入变压吸附***2中。

所述变压吸附***2包括与所述低压尾气出管12相连通的气体压缩机25，通过高压尾气出管251与所述气体压缩机25相连通的活性炭吸附器以及分别与所述活性炭吸附器相连通的第一过滤器22、第二过滤器23和第三过滤器24；

所述活性炭吸附器包括三个并列设置的活性炭吸附器A211、活性炭吸附器B212和活性炭吸附器C213。所述活性炭吸附器A211顶部设有吸附器A上通气管2111，所述活性炭吸附器A211底部设有吸附器A下通气管2112，所述活性炭吸附器A211的侧壁上设有吸附器A导热油进管2113和吸附器A导热油出管2114，所述活性炭吸附器B212 顶部设有吸附器B上通气管2121，所述活性炭吸附器B212底部设有吸附器B下通气管 2122，所述活性炭吸附器B212的侧壁上设有吸附器B导热油进管2123和吸附器B导热油出管2124，所述活性炭吸附器C213顶部设有吸附器C上通气管2131，所述活性炭吸附器C213底部设有吸附器C下通气管2132，所述活性炭吸附器C213的侧壁上设有吸附器C导热油进管2133和吸附器C导热油出管2134；所述高压尾气出管251分别与所述吸附器A下通气管2112、吸附器B下通气管2122和吸附器C下通气管2132相连通，所述高压尾气出管251上设有控制所述高压尾气出管251与所述吸附器A下通气管2112通断的吸附器A尾气进阀2511、控制所述高压尾气出管251与所述吸附器B下通气管2122通断的吸附器B尾气进阀2512和控制所述高压尾气出管251与所述吸附器 C下通气管2132通断的吸附器C尾气进阀2513。

所述第一过滤器22的进口处设有第一过滤器进管221，所述第一过滤器进管221分别与所述吸附器A上通气管2111、吸附器B上通气管2121和吸附器C上通气管2131 相连通，所述第一过滤器进管221上设有控制所述第一过滤器进管221与所述吸附器A 上通气管2111通断的吸附器A尾气出阀2211、控制所述第一过滤器进管221与所述吸附器B上通气管2121通断的吸附器B尾气出阀2212和控制所述第一过滤器进管221 与所述吸附器C上通气管2131通断的吸附器C尾气出阀2213。所述第一过滤器22的出口通过管路分别连接所述废气淋洗塔5和反吹气缓冲罐26，所述反吹气缓冲罐26的出口处设置有反吹气出管261；所述反吹气出管261分别与所述吸附器A上通气管2111、吸附器B上通气管2121和吸附器C上通气管2131相连通，所述反吹气出管261上设有控制所述反吹气出管261与所述吸附器A上通气管2111通断的吸附器A反吹气进阀 2611、控制所述反吹气出管261与所述吸附器B上通气管2121通断的吸附器B反吹气进阀2612和控制所述反吹气出管261与所述吸附器C上通气管2131通断的吸附器C 反吹气进阀2613；

所述第二过滤器23的进口处设有第二过滤器进管231，所述第二过滤器进管231分别与所述吸附器A下通气管2112、吸附器B下通气管2122和吸附器C下通气管2132 相连通，所述第二过滤器进管231上设有控制所述第二过滤器进管231与所述吸附器A 下通气管2112通断的吸附器A反吹气出阀2311、控制所述第二过滤器进管231与所述吸附器B下通气管2122通断的吸附器B反吹气出阀2312和控制所述第二过滤器进管 231与所述吸附器C下通气管2132通断的吸附器C反吹气出阀2313；所述第二过滤器 23的出口处通过第二过滤器出管232与所述冷凝器4相连通；

所述第三过滤器24的进口处设有第三过滤器进管241，所述第三过滤器进管241分别与所述吸附器A上通气管2111、吸附器B上通气管2121和吸附器C上通气管2131 相连通；所述第三过滤器进管241上设有控制所述第三过滤器进管241与所述吸附器A 上通气管2111通断的吸附器A反吹尾气出阀2411、控制所述第三过滤器进管241与所述吸附器B上通气管2121通断的吸附器B反吹尾气出阀2412和控制所述第三过滤器进管241与所述吸附器C上通气管2131通断的吸附器C反吹尾气出阀2413；所述第三过滤器24的出口处通过第三过滤器出管242与所述废气淋洗塔5相连通；

所述热源3上设有导热油出管31和导热油回管32，所述导热油出管31分别与所述吸附器A导热油进管2113、吸附器B导热油进管2123和吸附器C导热油进管2133 相连通，所述导热油出管31上设有控制所述导热油出管31与所述吸附器A导热油进管2113通断的吸附器A导热油进阀311、控制所述导热油出管31与所述吸附器B导热油进管2123通断的吸附器B导热油进阀312和控制所述导热油出管31与所述吸附器C 导热油进管2133通断的吸附器C导热油进阀313；所述导热油回管32分别与所述吸附器A导热油出管2114、吸附器B导热油出管2124和吸附器C导热油出管2134相连通，所述导热油回管32上设有控制所述导热油回管32与所述吸附器A导热油出管2114通断的吸附器A导热油出阀321、控制所述导热油回管32与所述吸附器B导热油出管2124 通断的吸附器B导热油出阀322和控制所述导热油回管32与所述吸附器C导热油出管 2134通断的吸附器C导热油出阀323；

所述冷凝器4上设有冷凝器气体进管41、冷凝器气体出管42和冷凝器液体出管43，所述冷凝器气体进管41与所述第二过滤器出管232相连通，所述冷凝器液体出管43连接有氯硅烷存储罐6，所述冷凝器气体出管42与所述吸附器A下通气管2112、吸附器 B下通气管2122和吸附器C下通气管2132相连通，所述冷凝器气体出管42上设有控制所述冷凝器气体出管42与所述吸附器A下通气管2112通断的吸附器A反吹气回流阀421、控制所述冷凝器气体出管42与所述吸附器B下通气管2122通断的吸附器B反吹气回流阀422和控制所述冷凝器气体出管42与所述吸附器C下通气管2132通断的吸附器C反吹气回流阀423。

具体的工作流程为：三个活性炭吸附器交替工作及再生。为了叙述方便，现假设活性炭吸附器A211处于高压低温吸附的吸附状态，活性炭吸附器B212处于低压高温再生的再生状态，活性炭吸附器C213处于低压降温的状态。

由废气缓冲罐1排出的低压尾气经低压尾气出管12相连通的气体压缩机25加压后，变为高压尾气，进入高压尾气出管251中，此时，打开吸附器A尾气进阀2511，关闭吸附器B尾气进阀2512，吸附器C尾气进阀2513，吸附器A反吹气出阀2311及吸附器A反吹气回流阀421，高压尾气出管251内的高压尾气通过吸附器A下通气管2112 进入活性炭吸附器A211内部，活性炭吸附器A211内的活性炭会对尾气中的氯硅烷进行低温高压吸附，此时吸附器A导热油进阀311及吸附器A导热油出阀321均关闭；吸附后的气体经活性炭吸附器A211的吸附器A上通气管2111排出活性炭吸附器A211。打开吸附器A尾气出阀2211，关闭吸附器A反吹气进阀2611、吸附器A反吹尾气出阀 2411，吸附器B尾气出阀2212和吸附器C尾气出阀2213，此时吸附器A上通气管2111 排出的气体经第一过滤器进管221进入第一过滤器22，过滤去除部分被气流带出的炭粉后，气体一部分进入废气淋洗塔5，一部分进入反吹气缓冲罐26降压后形成反吹气。

反吹气进入反吹气出管261中，此时打开吸附器B反吹气进阀2612，关闭吸附器C反吹气进阀2613和吸附器B反吹尾气出阀2412，反吹气出管261中的反吹气经吸附器 B上通气管2121进入活性炭吸附器B212内，对活性炭吸附器B212内的活性炭层进行反吹。其中吸附器B导热油进阀312和吸附器B导热油出阀322处于打开状态，热源3 为活性炭吸附器B212供热，在高温及反吹气的作用下，活性炭吸附器B212内的活性炭层进行再生，其上吸附的氯硅烷被重新释放，并随反吹气进入吸附器B下通气管2122。

之后，打开吸附器B反吹气出阀2312，关闭吸附器C反吹气出阀2313和吸附器B 反吹气回流阀422，此时吸附器B下通气管2122内的反吹气通过第二过滤器进管231 进入第二过滤器23，过滤掉炭粉后，再通过第二过滤器出管232及冷凝器气体进管41 进入冷凝器4内。经过冷凝器4的冷凝，反吹气中的氯硅烷被冷凝为液体，最终通过冷凝器液体出管43进入氯硅烷存储罐6中存储，而剩余的氢气、氮气及氯化氢气体由冷凝器4降温后进入冷凝器气体出管42，此时打开吸附器C反吹气回流阀423，冷凝器气体出管42内的气体通过吸附器C下通气管2132进入活性炭吸附器C213，其中，吸附器C导热油进阀313及吸附器C导热油出阀323处于关闭状态，通过吸附器C下通气管2132进入活性炭吸附器C213内的低温气体对活性炭吸附器C213进行低压降温，并最终由吸附器C上通气管2131排出。

打开吸附器C反吹尾气出阀2413，经吸附器C上通气管2131排出的气体通过第三过滤器进管241进入第三过滤器24，进行炭粉过滤后并最终通过第三过滤器出管242 进入废气淋洗塔5进行处理。

上述的工作过程描述了活性炭吸附器A211处于高压低温吸附的吸附状态，活性炭吸附器B212处于低压高温再生状态，活性炭吸附器C213处于低压降温的状态时各个阀门所处的状态以及气体的流向。当此状态工作8个小时后，通过控制相应阀门的打开及关闭，活性炭吸附器C213处于高压低温吸附的吸附状态，活性炭吸附器A211处于低压高温再生状态，活性炭吸附器B212处于低压降温的状态，当以此状态工作8个小时后，应再次通过控制相应阀门的打开及关闭，使得活性炭吸附器B212处于高压低温吸附的吸附状态，活性炭吸附器C213处于低压高温再生状态，活性炭吸附器A211处于低压降温的状态；依次类推，每经过8个小时进行依次状态的轮换。这样在1天24 小时的中，始终有一个活性炭吸附器处于正常的高压低温吸附的吸附状态，另外两个分别处于低压高温再生状态及低压降温的状态。通过活性炭吸附器A、活性炭吸附器B和活性炭吸附器C三个活性炭吸附器的交替循环工作，能实现对多晶硅生产尾气的不间断吸收，整个***吸收效率高。

作为一种优选实施：所述导热油出管31通过管路连接有导热油膨胀罐7。导热油在热膨胀以及冷缩时，导热油膨胀罐7能很好的起到缓冲作用。

最后应说明的是：以上实施例仅用以说明本实用新型的技术方案，而非对其限制；尽管参照前述实施例对本实用新型进行了详细的说明，本领域的普通技术人员应当理解：其依然可以对前述实施例所记载的技术方案进行修改，或者对其中部分技术特征进行等同替换；而这些修改或者替换，并不使相应技术方案的本质脱离本实用新型实施例技术方案的精神和范围。

Claims (2)

1.一种多晶硅生产尾气中氯硅烷的回收***，其特征在于：包括废气缓冲罐（1），变压吸附***（2），为所述变压吸附***（2）提供热量的热源（3）、与所述变压吸附***（2）相连通的冷凝器（4）和与所述变压吸附***（2）相连通的废气淋洗塔（5）；

所述废气缓冲罐（1）上设有尾气进管（11）和低压尾气出管（12），所述低压尾气出管（12）与所述变压吸附***（2）相连通；

所述变压吸附***（2）包括与所述低压尾气出管（12）相连通的气体压缩机（25），通过高压尾气出管（251）与所述气体压缩机（25）相连通的活性炭吸附器以及分别与所述活性炭吸附器相连通的第一过滤器（22）、第二过滤器（23）和第三过滤器（24）；

所述活性炭吸附器包括三个并列设置的活性炭吸附器A（211）、活性炭吸附器B（212）和活性炭吸附器C（213），所述活性炭吸附器A（211）顶部设有吸附器A上通气管（2111），所述活性炭吸附器A（211）底部设有吸附器A下通气管（2112），所述活性炭吸附器A（211）的侧壁上设有吸附器A导热油进管（2113）和吸附器A导热油出管（2114），所述活性炭吸附器B（212）顶部设有吸附器B上通气管（2121），所述活性炭吸附器B（212）底部设有吸附器B下通气管（2122），所述活性炭吸附器B（212）的侧壁上设有吸附器B导热油进管（2123）和吸附器B导热油出管（2124），所述活性炭吸附器C（213）顶部设有吸附器C上通气管（2131），所述活性炭吸附器C（213）底部设有吸附器C下通气管（2132），所述活性炭吸附器C（213）的侧壁上设有吸附器C导热油进管（2133）和吸附器C导热油出管（2134）；所述高压尾气出管（251）分别与所述吸附器A下通气管（2112）、吸附器B下通气管（2122）和吸附器C下通气管（2132）相连通，所述高压尾气出管（251）上设有控制所述高压尾气出管（251）与所述吸附器A下通气管（2112）通断的吸附器A尾气进阀（2511）、控制所述高压尾气出管（251）与所述吸附器B下通气管（2122）通断的吸附器B尾气进阀（2512）和控制所述高压尾气出管（251）与所述吸附器C下通气管（2132）通断的吸附器C尾气进阀（2513）；

所述第一过滤器（22）的进口处设有第一过滤器进管（221），所述第一过滤器进管（221）分别与所述吸附器A上通气管（2111）、吸附器B上通气管（2121）和吸附器C上通气管（2131）相连通，所述第一过滤器进管（221）上设有控制所述第一过滤器进管（221）与所述吸附器A上通气管（2111）通断的吸附器A尾气出阀（2211）、控制所述第一过滤器进管（221）与所述吸附器B上通气管（2121）通断的吸附器B尾气出阀（2212）和控制所述第一过滤器进管（221）与所述吸附器C上通气管（2131）通断的吸附器C尾气出阀（2213）；所述第一过滤器（22）的出口通过管路分别连接所述废气淋洗塔（5）和反吹气缓冲罐（26），所述反吹气缓冲罐（26）的出口处设置有反吹气出管（261）；所述反吹气出管（261）分别与所述吸附器A上通气管（2111）、吸附器B上通气管（2121）和吸附器C上通气管（2131）相连通，所述反吹气出管（261）上设有控制所述反吹气出管（261）与所述吸附器A上通气管（2111）通断的吸附器A反吹气进阀（2611）、控制所述反吹气出管（261）与所述吸附器B上通气管（2121）通断的吸附器B反吹气进阀（2612）和控制所述反吹气出管（261）与所述吸附器C上通气管（2131）通断的吸附器C反吹气进阀（2613）；

所述第二过滤器（23）的进口处设有第二过滤器进管（231），所述第二过滤器进管（231）分别与所述吸附器A下通气管（2112）、吸附器B下通气管（2122）和吸附器C下通气管（2132）相连通，所述第二过滤器进管（231）上设有控制所述第二过滤器进管（231）与所述吸附器A下通气管（2112）通断的吸附器A反吹气出阀（2311）、控制所述第二过滤器进管（231）与所述吸附器B下通气管（2122）通断的吸附器B反吹气出阀（2312）和控制所述第二过滤器进管（231）与所述吸附器C下通气管（2132）通断的吸附器C反吹气出阀（2313）；所述第二过滤器（23）的出口处通过第二过滤器出管（232）与所述冷凝器（4）相连通；

所述第三过滤器（24）的进口处设有第三过滤器进管（241），所述第三过滤器进管（241）分别与所述吸附器A上通气管（2111）、吸附器B上通气管（2121）和吸附器C上通气管（2131）相连通；所述第三过滤器进管（241）上设有控制所述第三过滤器进管（241）与所述吸附器A上通气管（2111）通断的吸附器A反吹尾气出阀（2411）、控制所述第三过滤器进管（241）与所述吸附器B上通气管（2121）通断的吸附器B反吹尾气出阀（2412）和控制所述第三过滤器进管（241）与所述吸附器C上通气管（2131）通断的吸附器C反吹尾气出阀（2413）；所述第三过滤器（24）的出口处通过第三过滤器出管（242）与所述废气淋洗塔（5）相连通；

所述热源（3）上设有导热油出管（31）和导热油回管（32），所述导热油出管（31）分别与所述吸附器A导热油进管（2113）、吸附器B导热油进管（2123）和吸附器C导热油进管（2133）相连通，所述导热油出管（31）上设有控制所述导热油出管（31）与所述吸附器A导热油进管（2113）通断的吸附器A导热油进阀（311）、控制所述导热油出管（31）与所述吸附器B导热油进管（2123）通断的吸附器B导热油进阀（312）和控制所述导热油出管（31）与所述吸附器C导热油进管（2133）通断的吸附器C导热油进阀（313）；所述导热油回管（32）分别与所述吸附器A导热油出管（2114）、吸附器B导热油出管（2124）和吸附器C导热油出管（2134）相连通，所述导热油回管（32）上设有控制所述导热油回管（32）与所述吸附器A导热油出管（2114）通断的吸附器A导热油出阀（321）、控制所述导热油回管（32）与所述吸附器B导热油出管（2124）通断的吸附器B导热油出阀（322）和控制所述导热油回管（32）与所述吸附器C导热油出管（2134）通断的吸附器C导热油出阀（323）；

所述冷凝器（4）上设有冷凝器气体进管（41）、冷凝器气体出管（42）和冷凝器液体出管（43），所述冷凝器气体进管（41）与所述第二过滤器出管（232）相连通，所述冷凝器液体出管（43）连接有氯硅烷存储罐（6），所述冷凝器气体出管（42）与所述吸附器A下通气管（2112）、吸附器B下通气管（2122）和吸附器C下通气管（2132）相连通，所述冷凝器气体出管（42）上设有控制所述冷凝器气体出管（42）与所述吸附器A下通气管（2112）通断的吸附器A反吹气回流阀（421）、控制所述冷凝器气体出管（42）与所述吸附器B下通气管（2122）通断的吸附器B反吹气回流阀（422）和控制所述冷凝器气体出管（42）与所述吸附器C下通气管（2132）通断的吸附器C反吹气回流阀（423）。

2.根据权利要求1所述的一种多晶硅生产尾气中氯硅烷的回收***，其特征在于：所述导热油出管（31）通过管路连接有导热油膨胀罐（7）。