CN207577694U - 一种激光晶圆切割机定位装置 - Google Patents

Abstract

本实用新型提供一种激光晶圆切割机定位装置，包括激光晶圆切割机主体、工作箱、激光切割头、安装板、第一液压伸缩缸、第一挤压板、第二液压伸缩缸以及第二挤压板，工作箱设置在激光晶圆切割机主体左侧，激光切割头设置在激光晶圆切割机主体上端面左侧，安装板固定激光晶圆切割机主体上端面，第一液压伸缩缸安装在内部后侧，第一挤压板通过螺栓固定在第一液压伸缩缸前端面，第一液压伸缩缸安装在内部前侧，第二挤压板通过螺栓固定在第二液压伸缩缸后端面，该设计解决了原有激光晶圆切割装置没有电动固定结构的问题，本实用新型结构合理，定位切割准确，适用范围广，可靠性高。

Description

一种激光晶圆切割机定位装置

技术领域

本实用新型是一种激光晶圆切割机定位装置，属于激光精密加工领域。

背景技术

晶圆激光切割设备是一种用于集成电路、LED晶圆、砷化镓晶圆等半导体晶圆的专用激光切割设备。晶圆切割是半导体封测工艺当中的一个不可或缺的工序，近年来，随着光电产业的迅猛发展，高集成和高性能的半导体晶圆需求也越来越大。

现有技术中，原有的晶圆激光切割设备没有定位固定结构，半导体晶圆产生抖动影响激光切割头切割准确性，现有的晶圆激光切割设备耗电量大，现有的晶圆激光切割设备没有太阳能发电功能，晶圆激光切割设备上方的闲置资源浪费，现在急需一种激光晶圆切割机定位装置来解决上述出现的问题。

实用新型内容

针对现有技术存在的不足，本实用新型目的是提供一种激光晶圆切割机定位装置，以解决上述背景技术中提出的问题，本实用新型结构合理，定位切割准确，适用范围广，可靠性高。

为了实现上述目的，本实用新型是通过如下的技术方案来实现：一种激光晶圆切割机定位装置，包括万向轮、激光晶圆切割机主体、工作箱、固定机构、激光切割头、照明灯、太阳能光伏板、安装板以及显示屏，所述万向轮安装在激光晶圆切割机主体下端面，所述工作箱设置在激光晶圆切割机主体左侧，所述激光切割头设置在激光晶圆切割机主体上端面左侧，所述照明灯安装在激光晶圆切割机主体前端面，所述安装板固定激光晶圆切割机主体上端面，所述太阳能光伏板固定在安装板上端面，所述显示屏安装在激光晶圆切割机主体前侧，所述固定机构设置在工作箱内部上侧，所述固定机构包括第一液压伸缩缸、第一挤压板、推出开关、蓄电池、缩回开关、第二液压伸缩缸以及第二挤压板，所述第一液压伸缩缸安装在内部后侧，所述第一挤压板通过螺栓固定在第一液压伸缩缸前端面，所述第一液压伸缩缸安装在内部前侧，所述第二挤压板通过螺栓固定在第二液压伸缩缸后端面，所述推出开关安装在工作箱左端面后侧，所述缩回开关安装在工作箱左端面前侧，所述蓄电池按安装在工作箱内部左侧。

进一步地，所述万向轮设有四组，且四组万向轮规格相同，所述万向轮设有脚踩制动结构。

进一步地，所述激光晶圆切割机主体后侧设有逆变器，所述太阳能光伏板通过导线与逆变器相连接，所述蓄电池通过导线与逆变器相连接。

进一步地，所述蓄电池通过导线分别于推出开关以及缩回开关相连接，所述推出开关通过导线分别于第一液压伸缩缸和第二液压伸缩缸相连接，所述缩回开关通过导线分别于第一液压伸缩缸和第二液压伸缩缸相连接。

进一步地，所述第一挤压板外表面设有防滑螺纹，所述第二挤压板外表面设有防滑螺纹。

进一步地，所述太阳能光伏板为柔性薄膜材料制成。

本实用新型的有益效果：本实用新型的一种激光晶圆切割机定位装置，因本实用新型添加了第一液压伸缩缸、第一挤压板、推出开关、蓄电池、缩回开关、第二液压伸缩缸以及第二挤压板，该设计方便工作人员将半导体晶圆进行固定，防止半导体晶圆产生抖动影响激光切割头切割准确性，解决了原有激光晶圆切割装置没有电动固定结构的问题，增高了本实用新型的切割准确性。

因万向轮设有四组，且四组万向轮规格相同，该设计增加了本实用新型的移动方便性，因第一挤压板外表面设有防滑螺纹，所述第二挤压板外表面设有防滑螺纹，该设计增加了第一挤压板和第二挤压板的摩擦系数，因太阳能光伏板为柔性薄膜材料制成，该设计方便工作人员将太阳能光伏板固定在安装板上，增加了本实用新型的安装方便性，本实用新型结构合理，定位切割准确，适用范围广，可靠性高。

附图说明

通过阅读参照以下附图对非限制性实施例所作的详细描述，本实用新型的其它特征、目的和优点将会变得更明显：

图1为本实用新型一种激光晶圆切割机定位装置的结构示意图；

图2为本实用新型一种激光晶圆切割机定位装置中固定机构的结构示意图

图中：1-万向轮、2-激光晶圆切割机主体、3-工作箱、4-固定机构、5-激光切割头、6-照明灯、7-太阳能光伏板、8-安装板、9-显示屏、41-第一液压伸缩缸、42-第一挤压板、43-推出开关、44-蓄电池、45-缩回开关、46-第二液压伸缩缸、47-第二挤压板。

具体实施方式

为使本实用新型实现的技术手段、创作特征、达成目的与功效易于明白了解，下面结合具体实施方式，进一步阐述本实用新型。

请参阅图1和图2，本实用新型提供一种技术方案：一种激光晶圆切割机定位装置，包括万向轮1、激光晶圆切割机主体2、工作箱3、固定机构4、激光切割头5、照明灯6、太阳能光伏板7、安装板8以及显示屏9，万向轮1安装在激光晶圆切割机主体2下端面，工作箱3设置在激光晶圆切割机主体2左侧，激光切割头5设置在激光晶圆切割机主体2上端面左侧，照明灯6安装在激光晶圆切割机主体2前端面，安装板8固定激光晶圆切割机主体2上端面，太阳能光伏板7固定在安装板8上端面，显示屏9安装在激光晶圆切割机主体2前侧，固定机构4设置在工作箱3内部上侧。

固定机构4包括第一液压伸缩缸41、第一挤压板42、推出开关43、蓄电池44、缩回开关45、第二液压伸缩缸46以及第二挤压板47，第一液压伸缩缸41安装在内部后侧，第一挤压板42通过螺栓固定在第一液压伸缩缸41前端面，第一液压伸缩缸41安装在内部前侧，第二挤压板47通过螺栓固定在第二液压伸缩缸46后端面，推出开关43安装在工作箱3左端面后侧，缩回开关45安装在工作箱3左端面前侧，蓄电池44按安装在工作箱3内部左侧，该设计方便工作人员将半导体晶圆进行固定，防止半导体晶圆产生抖动影响激光切割头5切割准确性，解决了原有激光晶圆切割装置没有电动固定结构的问题。

万向轮1设有四组，且四组万向轮1规格相同，万向轮1设有脚踩制动结构，激光晶圆切割机主体2后侧设有逆变器，太阳能光伏板7通过导线与逆变器相连接，蓄电池44通过导线与逆变器相连接，蓄电池44通过导线分别于推出开关43以及缩回开关45相连接，推出开关43通过导线分别于第一液压伸缩缸41和第二液压伸缩缸46相连接，缩回开关45通过导线分别于第一液压伸缩缸41和第二液压伸缩缸46相连接，第一挤压板42外表面设有防滑螺纹，第二挤压板47外表面设有防滑螺纹，太阳能光伏板7为柔性薄膜材料制成。

具体实施方式：工作人员将需要切割的半导体晶圆放置在工作箱3上侧，为了使激光切割头5对半导体晶圆切割精确需要固定定位，工作人员按下推出开关43，切换推出开关43为接通状态，蓄电池44将电能传送至第一液压伸缩缸41和第二液压伸缩缸46，第一液压伸缩缸41和第二液压伸缩缸46开始工作，第一液压伸缩缸41带动第一挤压板42向前移动，第二液压伸缩缸46带动第二挤压板47向后移动，第一挤压板42和第二挤压板47将半导体晶圆进行固定，防止半导体晶圆产生抖动影响激光切割头5切割准确性，增加了本实用新型的切割准确性，工作人员将太阳能光伏板7通过螺栓固定在安装板8上侧，太阳能光伏板7吸收太阳光，太阳能光伏板7将太阳能转换为电能，太阳能光伏板7将电能通过导线传送至逆变器，逆变器将直流电转换为交流电，逆变器将交流电通过导线传送至蓄电池44，蓄电池44将交流电进行储存，蓄电池44将电能传送至激光晶圆切割机主体2电源线上进行使用，在昏暗的环境下将蓄电池44与照明灯6相连接，照明灯6将电能转换为光能，增加了本实用新型的功能性。

以上显示和描述了本实用新型的基本原理和主要特征和本实用新型的优点，对于本领域技术人员而言，显然本实用新型不限于上述示范性实施例的细节，而且在不背离本实用新型的精神或基本特征的情况下，能够以其他的具体形式实现本实用新型。因此，无论从哪一点来看，均应将实施例看作是示范性的，而且是非限制性的，本实用新型的范围由所附权利要求而不是上述说明限定，因此旨在将落在权利要求的等同要件的含义和范围内的所有变化囊括在本实用新型内。不应将权利要求中的任何附图标记视为限制所涉及的权利要求。

此外，应当理解，虽然本说明书按照实施方式加以描述，但并非每个实施方式仅包含一个独立的技术方案，说明书的这种叙述方式仅仅是为清楚起见，本领域技术人员应当将说明书作为一个整体，各实施例中的技术方案也可以经适当组合，形成本领域技术人员可以理解的其他实施方式。

Claims (6)

1.一种激光晶圆切割机定位装置，包括万向轮、激光晶圆切割机主体、工作箱、固定机构、激光切割头、照明灯、太阳能光伏板、安装板以及显示屏，其特征在于：所述万向轮安装在激光晶圆切割机主体下端面，所述工作箱设置在激光晶圆切割机主体左侧，所述激光切割头设置在激光晶圆切割机主体上端面左侧，所述照明灯安装在激光晶圆切割机主体前端面，所述安装板固定激光晶圆切割机主体上端面，所述太阳能光伏板固定在安装板上端面，所述显示屏安装在激光晶圆切割机主体前侧，所述固定机构设置在工作箱内部上侧；

所述固定机构包括第一液压伸缩缸、第一挤压板、推出开关、蓄电池、缩回开关、第二液压伸缩缸以及第二挤压板，所述第一液压伸缩缸安装在内部后侧，所述第一挤压板通过螺栓固定在第一液压伸缩缸前端面，所述第一液压伸缩缸安装在内部前侧，所述第二挤压板通过螺栓固定在第二液压伸缩缸后端面，所述推出开关安装在工作箱左端面后侧，所述缩回开关安装在工作箱左端面前侧，所述蓄电池按安装在工作箱内部左侧。

2.根据权利要求1所述的一种激光晶圆切割机定位装置，其特征在于：所述万向轮设有四组，且四组万向轮规格相同，所述万向轮设有脚踩制动结构。

3.根据权利要求1所述的一种激光晶圆切割机定位装置，其特征在于：所述激光晶圆切割机主体后侧设有逆变器，所述太阳能光伏板通过导线与逆变器相连接，所述蓄电池通过导线与逆变器相连接。

4.根据权利要求1所述的一种激光晶圆切割机定位装置，其特征在于：所述蓄电池通过导线分别于推出开关以及缩回开关相连接，所述推出开关通过导线分别于第一液压伸缩缸和第二液压伸缩缸相连接，所述缩回开关通过导线分别于第一液压伸缩缸和第二液压伸缩缸相连接。

5.根据权利要求1所述的一种激光晶圆切割机定位装置，其特征在于：所述第一挤压板外表面设有防滑螺纹，所述第二挤压板外表面设有防滑螺纹。

6.根据权利要求1所述的一种激光晶圆切割机定位装置，其特征在于：所述太阳能光伏板为柔性薄膜材料制成。