CN207457499U - 一种mems振镜同步信号反馈装置及激光雷达 - Google Patents

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屈志巍
李军建
张正正
张鑫
范玉强
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Abstract

本实用新型提供了一种MEMS振镜同步信号反馈装置及激光雷达,激光发射单元发射激光并经过光束整形单元进行光束整形后,入射到由MEMS驱动单元驱动的MEMS发射单元谐振反射后对待测物平面进行视场扫描;光电探测器用于在检测到MEMS发射单元处于最大偏转角度时向信号控制与处理单元反馈电信号,以使信号控制与处理单元根据所述电信号对所述激光驱动单元进行控制,实现MEMS发射单元和激光发射单元的同步。本实用新型提供的MEMS振镜同步信号反馈装置引入反馈信号用于控制激光发射单元发光实现同步并形成闭环控制,装置整体具有灵活稳定性,可实现均匀或非均匀多线扫描。并相比目前常用的机械旋转激光雷达装置技术,具有尺寸小、结构简单,易集成等特点。

Description

一种MEMS振镜同步信号反馈装置及激光雷达
技术领域
本实用新型涉及激光雷达技术领域,具体涉及一种MEMS振镜同步信号反馈装置及激光雷达。
背景技术
激光雷达通过发射激光光束来探测目标方位、速度等信息,其具有测距精度高,方向性强,响应快,不受地面杂波影响等优势,已广泛应用到社会各个领域。并且激光雷达可以形成精度高达厘米级别的立体环境地图数据,因此在高级驾驶辅助***(ADAS)及无人驾驶***中具有重要应用。
目前应用于扫描激光雷达***的技术方案主要基于机械旋转部件实现,电机结构复杂,尺寸较大,不易集成;此外还有技术方案采用MEMS振镜的谐振改变光路,完成多线束扫描,该方案提高了整体***的稳定性,并具有尺寸小、结构简单,成本低等特点。但由于MEMS振镜在振动过程实时位置信息以及激光发射单元的控制信号较难实现同步控制,给***设计和调试带来了较大的难度。
实用新型内容
针对现有技术中的缺陷,本实用新型提供一种MEMS振镜同步信号反馈装置及激光雷达,本实用新型能够实现激光发射和MEMS振镜振荡的同步控制,且结构简单,易于实现,成本低廉,稳定性好。
为实现上述目的,本实用新型提供以下技术方案:
第一方面,本实用新型提供了一种MEMS振镜同步信号反馈装置,包括:激光驱动单元、激光发射单元、光束整形单元、MEMS驱动单元、MEMS发射单元、光电探测器以及信号控制与处理单元,所述信号控制与处理单元分别与所述激光驱动单元以及所述光电探测器连接;
所述激光发射单元在所述激光驱动单元的驱动下发射激光并经过所述光束整形单元进行光束整形后,入射到由所述MEMS驱动单元驱动的MEMS发射单元并由所述MEMS发射单元进行谐振反射后对待测物平面进行视场扫描;其中,所述MEMS驱动单元驱动所述MEMS发射单元按照预设的谐振频率进行振荡,以保证经MEMS发射单元谐振反射后的激光的实际扫描视场范围w1大于待测物平面的视场范围w2
所述光电探测器位于所述实际扫描视场范围之内且位于所述待测物平面的视场范围之外,所述光电探测器用于检测所述MEMS发射单元是否处于最大偏转角度,并在检测到所述MEMS发射单元处于最大偏转角度时向所述信号控制与处理单元发送电信号;
所述信号控制与处理单元在接收到所述电信号时对所述激光驱动单元进行控制,实现所述MEMS发射单元和所述激光发射单元的同步。
进一步地,所述光电探测器的个数为一个,该光电探测器用于检测所述MEMS发射单元的正向最大偏转角度或负向最大偏转角度,其中,该光电探测器放置在只能接收到正向最大偏转角度或负向最大偏转角度反射的光束而接收不到其他偏转角度反射的光束的位置。
进一步地,所述光电探测器的个数为两个,其中第一光电探测器用于检测所述MEMS发射单元的正向最大偏转角度,第二光电探测器用于检测所述MEMS发射单元的负向最大偏转角度;其中,第一个光电探测器放置在只能接收到正向最大偏转角度反射的光束而接收不到其他偏转角度反射的光束的位置;第二个光电探测器放置在只能接收到反向最大偏转角度反射的光束而接收不到其他偏转角度反射的光束的位置。
进一步地,所述装置还包括:光束接收单元,所述光束接收单元用于将从待测物平面反射的激光回波信号汇聚到所述光电探测器上。
进一步地,所述光束接收单元由2片以上透镜或场镜组成。
进一步地,所述透镜或场镜采用对近红外有高透过率的材料制成。
进一步地,所述MEMS驱动单元的驱动方式包括压电驱动、电热驱动、静电驱动和电磁驱动中的一种或多种。
进一步地,所述光束整形单元由2片以上非球面或自由曲面的透镜或者由2片以上普通透镜组成,用于对所述激光发射单元发射的激光光束进行整形。
第二方面,本实用新型还提供了一种激光雷达,包括如上面所述的MEMS振镜同步信号反馈装置。
由上述技术方案可知,本实用新型提供的MEMS振镜同步信号反馈装置,利用光电探测器实时获取MEMS发射单元在振动过程中实时位置信息(最大偏转角度),并将MEMS发射单元的位置信息反馈至激光驱动单元,使得激光驱动单元根据MEMS发射单元的位置信息对激光发射单元进行驱动,进而实现激光发射单元发光和MEMS发射单元振荡的同步控制。进一步地,本实用新型提供的MEMS振镜同步信号反馈装置,相比目前常用的机械旋转激光雷达装置,具有尺寸小、结构简单,易于实现,成本低,稳定性好,易集成等优势。
附图说明
为了更清楚地说明本实用新型实施例或现有技术中的技术方案,下面将对实施例或现有技术描述中所需要使用的附图作简单地介绍,显而易见地,下面描述中的附图是本实用新型的一些实施例,对于本领域普通技术人员来讲,在不付出创造性劳动的前提下,还可以根据这些附图获得其他的附图。
图1是本实用新型一实施例提供的MEMS振镜同步信号反馈装置的结构示意图;
图2是本实用新型一实施例提供的MEMS振镜同步信号反馈装置的工作原理示意图;
图3是本实用新型一实施例提供的激光驱动信号、MEMS振镜驱动信号与MEMS振荡信号之间的关系示意图;
其中,上面各图中的标号含义如下:
101表示激光驱动单元;102表示激光发射单元;103表示光束整形单元;104表示MEMS驱动单元;105表示MEMS发射单元;106表示扫描区域物面;107表示第一光电探测器;108表示第二光电探测器;109表示信号控制与处理单元;201表示主光轴光线位置;1061表示待测物平面;1062表示第一参考物平面;1063表示第二参考物平面。
具体实施方式
为使本实用新型实施例的目的、技术方案和优点更加清楚,下面将结合本实用新型实施例中的附图,对本实用新型实施例中的技术方案进行清楚、完整的描述,显然,所描述的实施例是本实用新型一部分实施例,而不是全部的实施例。基于本实用新型中的实施例,本领域普通技术人员在没有作出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例,都属于本实用新型保护的范围。
在现有采用MEMS振镜实现多线束扫描的激光雷达中存在的技术难题是,较难实现激光发射与MEMS振镜振动的同步。为解决该问题,本实用新型一实施例提供了一种MEMS振镜同步信号反馈装置,参见图1和图2,该反馈装置包括:激光驱动单元101、激光发射单元102、光束整形单元103、MEMS驱动单元104、MEMS发射单元105、光电探测器107和108,以及信号控制与处理单元109,所述信号控制与处理单元109分别与所述激光驱动单元101以及所述光电探测器107和108连接;可以理解的是,MEMS发射单元105采用MEMS振镜实现;所述光束整形单元103由2片以上非球面或自由曲面的透镜或者由2片以上普通透镜组成,用于对所述激光发射单元102发射的激光光束进行整形;所述激光发射单元102以及MEMS发射单元105和光束整形单元103的镜组之间的主光轴保持重合;
所述激光发射单元102在所述激光驱动单元101的驱动下发射激光并经过所述光束整形单元103进行光束整形后,入射到由所述MEMS驱动单元104驱动的MEMS发射单元105并由所述MEMS发射单元105进行谐振反射后对待测物平面进行视场扫描;其中,所述MEMS驱动单元104驱动所述MEMS发射单元105按照预设的谐振频率进行振荡,以保证经MEMS发射单元105谐振反射后的激光的实际扫描视场范围w1大于待测物平面的视场范围w2;可以理解的是,所述MEMS驱动单元104可以通过调节驱动电路频率的方式改变所述MEMS发射单元105的谐振频率,进而改变所述MEMS发射单元105的的实际扫描视场范围;可以理解的是,所述MEMS驱动单元104的驱动方式可以包括压电驱动、电热驱动、静电驱动和电磁驱动中的一种或多种。
其中,所述光电探测器位于所述实际扫描视场范围之内且位于所述待测物平面的视场范围之外。例如,所述光电探测器位于所述MEMS发射单元105在最大偏转角度下反射的激光光束能经过所述光电探测器且在其他偏转角度下反射的激光不能经过所述光电探测器的位置,从而所述光电探测器可以根据是否接收到光信号检测所述MEMS发射单元105是否处于最大偏转角度,并在检测到所述MEMS发射单元105处于最大偏转角度时向所述信号控制与处理单元109发送电信号;
所述信号控制与处理单元109在接收到所述电信号时对所述激光驱动单元101进行控制,实现所述MEMS发射单元105和所述激光发射单元102的同步。
可见,本实用新型实施例提供的MEMS振镜同步信号反馈装置实现了闭环的同步控制。
可以理解的是,由于所述激光发射单元102发射的激光为周期性脉冲信号,而所述MEMS发射单元105处于谐振状态时,其偏转角度与时间成正弦函数关系,在一个谐振周期中,所述MEMS发射单元有一个正向最大偏转角度和一个负向最大偏转角度,因此可以根据检测到的MEMS发射单元的正向最大偏转角度或负向最大偏转角度控制激光发射单元同步发光,从而实现激光发射单元和所述MEMS发射单元的同步。图3是本实用新型实施例提供的激光驱动信号、MEMS振镜驱动信号与MEMS振荡信号之间的关系示意图。从图3可以看出,当MEMS振镜处于谐振状态时,其偏转角度与时间成正弦函数关系,在一个周期变化过程中,MEMS驱动电压信号采用方波信号实现触发,其上升沿的边缘对应MEMS振镜偏转的最大偏转角,并且激光驱动信号为周期性脉冲信号。
可以理解的是,所述光电探测器的个数可以为一个,当光电探测器的个数可以为一个时,该光电探测器用于检测所述MEMS发射单元的正向最大偏转角度或负向最大偏转角度;其中,该光电探测器放置在只能接收到正向最大偏转角度或负向最大偏转角度反射的光束而接收不到其他偏转角度反射的光束的位置。
可以理解的是,所述光电探测器的个数还可以为两个,当光电探测器的个数可以为两个时,第一光电探测器用于检测所述MEMS发射单元的正向最大偏转角度,第二光电探测器用于检测所述MEMS发射单元的负向最大偏转角度;其中,第一个光电探测器放置在只能接收到正向最大偏转角度反射的光束而接收不到其他偏转角度反射的光束的位置;第二个光电探测器放置在只能接收到反向最大偏转角度反射的光束而接收不到其他偏转角度反射的光束的位置。
参见图1和图2,本实施例定义位于所述实际扫描视场范围之内且位于所述待测物平面的视场范围之外的物平面称为参考物平面(1062以及1063),待测物平面(1061)和参考物平面(1062以及1063)共同组成了图1中的扫描区域物面106。其中,参考物平面包括图2中所示的第一参考物平面1062和第二参考物平面1063,本实施例同时定义扫描至所述参考物平面上的光信号称为参考光信号,参考光信号包括扫描至第一参考物平面1062上的第一参考光信号和扫描至第二参考物平面1063上的第二参考光信号。图2中所示的第一光电探测器107和第二光电探测器108分别用于探测第一参考光信号视场范围内的边缘光信号和第二参考光信号视场范围内的边缘光信号。当第一光电探测器107探测到第一参考光信号视场范围内的边缘光信号时,表示所述MEMS发射单元105此时处于正向最大偏转角度,当第二光电探测器108探测到第二参考光信号视场范围内的边缘光信号时,表示此时所述MEMS发射单元105处于负向最大偏转角度。可见,本实用新型实施例利用光电探测器的光电效应将光信号转化为电信号,并且将电信号传递至信号控制与处理单元109,进而由信号控制与处理单元109对所述激光驱动单元101进行控制,实现所述MEMS发射单元105和所述激光发射单元102的同步。
可以理解的是,若所述MEMS发射单元105在最大偏转角度下对应的实际扫描视场范围大小w1=35°,待测物平面对应的视场范围w2=30°,则第一光电探测器放置在只能接收θ=+17.5°的实际位置上;第二光电探测器放置在只能接收θ=-17.5°的实际位置上。
可以理解的是,当采用基于图2所示的两个光电探测器进行信号反馈时,表示所述MEMS振镜同步信号反馈装置在一个谐振周期内进行了两次同步校准,从而能够更为精确地实现所述MEMS发射单元和所述激光发射单元的同步。
此外,为了降低设备成本以及复杂度,所述光电探测器的个数也可以为一个,一个光电探测器可以用于检测所述MEMS发射单元的正向最大偏转角度或负向最大偏转角度,当所述光电探测器的个数为一个时,相当于一个谐振周期进行一次同步校准。
此外,需要说明的是,本实施例中对光电探测器的个数以及具体设置位置不作限定,只要能满足光电探测器可以检测所述MEMS发射单元是否处于最大偏转角度且检测不到所述MEMS发射单元其它偏转角度即可。
由图1和图2所示内容可知,本实用新型实施例提供的MEMS振镜同步信号反馈装置,采用MEMS微振镜的谐振振动,将出射到MEMS微振镜镜面上的光束发射反射到一定视场和距离范围的目标物,同时在待测物平面外的边缘视场引入参考光信号形成信号反馈控制。相比利用机械扫描或电机驱动方式实现激光扫描的装置,MEMS振镜提高了扫描激光雷达的稳定性以及角度分辨率和扫描频率,并且易于集成,有利于推动激光雷达技术向小型化、轻型化和集成化方向发展。
在一种可选实施方式中,所述MEMS振镜同步信号反馈装置还包括:光束接收单元,所述光束接收单元用于将从待测物平面反射的激光回波信号汇聚到所述光电探测器上。优选地,所述光束接收单元由2片以上透镜或场镜组成,所述透镜或场镜采用对近红外有高透过率的材料制成。
进一步地,由于所述激光发射单元可发射任意频率的激光光束,因此若根据所述光电探测器反馈的电信号对激光光束频率及延时进行控制,则可以实现多线束下的角度均匀扫描或疏密不均匀扫描,例如,在检测的重要部位将发光频率提高,数据量增大,更能准确识别被测物体的真实状态;使***整体扫描更加合理,应用前景也更加广泛。
由上面描述可知,本实用新型实施例提供的MEMS振镜同步信号反馈装置,利用光电探测器实时获取MEMS发射单元在振动过程中实时位置信息(最大偏转角度),并将MEMS发射单元的位置信息反馈至激光驱动单元,使得激光驱动单元根据MEMS发射单元的位置信息对激光发射单元进行驱动,进而实现激光发射单元发光和MEMS发射单元振荡的同步控制。进一步地,本实用新型实施例提供的MEMS振镜同步信号反馈装置,相比目前常用的机械旋转激光雷达装置,具有尺寸小、结构简单,易于实现,成本低,稳定性好,易集成等优势。
基于相同的构思,本实用新型又一实施例提供了一种激光雷达,该激光雷达包括上面实施例所述的MEMS振镜同步信号反馈装置。
本实施例提供的激光雷达,由于包括上面实施例所述的MEMS振镜同步信号反馈装置,故其原理和技术效果类似,此处不再赘述。
以上实施例仅用于说明本实用新型的技术方案,而非对其限制;尽管参照前述实施例对本实用新型进行了详细的说明,本领域的普通技术人员应当理解:其依然可以对前述各实施例所记载的技术方案进行修改,或者对其中部分技术特征进行等同替换;而这些修改或替换,并不使相应技术方案的本质脱离本实用新型各实施例技术方案的精神和范围。

Claims (9)

1.一种MEMS振镜同步信号反馈装置,其特征在于,包括:激光驱动单元、激光发射单元、光束整形单元、MEMS驱动单元、MEMS发射单元、光电探测器以及信号控制与处理单元,所述信号控制与处理单元分别与所述激光驱动单元以及所述光电探测器连接;
所述激光发射单元在所述激光驱动单元的驱动下发射激光并经过所述光束整形单元进行光束整形后,入射到由所述MEMS驱动单元驱动的MEMS发射单元并由所述MEMS发射单元进行谐振反射后对待测物平面进行视场扫描;其中,所述MEMS驱动单元驱动所述MEMS发射单元按照预设的谐振频率进行振荡,以保证经MEMS发射单元谐振反射后的激光的实际扫描视场范围w1大于待测物平面的视场范围w2
所述光电探测器位于所述实际扫描视场范围之内且位于所述待测物平面的视场范围之外,所述光电探测器用于检测所述MEMS发射单元是否处于最大偏转角度,并在检测到所述MEMS发射单元处于最大偏转角度时向所述信号控制与处理单元发送电信号;
所述信号控制与处理单元在接收到所述电信号时对所述激光驱动单元进行控制,实现所述MEMS发射单元和所述激光发射单元的同步。
2.根据权利要求1所述的装置,其特征在于,所述光电探测器的个数为一个,该光电探测器用于检测所述MEMS发射单元的正向最大偏转角度或负向最大偏转角度;其中,该光电探测器放置在只能接收到正向最大偏转角度或负向最大偏转角度反射的光束而接收不到其他偏转角度反射的光束的位置。
3.根据权利要求1所述的装置,其特征在于,所述光电探测器的个数为两个,第一光电探测器用于检测所述MEMS发射单元的正向最大偏转角度,第二光电探测器用于检测所述MEMS发射单元的负向最大偏转角度;其中,第一个光电探测器放置在只能接收到正向最大偏转角度反射的光束而接收不到其他偏转角度反射的光束的位置;第二个光电探测器放置在只能接收到反向最大偏转角度反射的光束而接收不到其他偏转角度反射的光束的位置。
4.根据权利要求1所述的装置,其特征在于,还包括:光束接收单元,所述光束接收单元用于将从待测物平面反射的激光回波信号汇聚到所述光电探测器上。
5.根据权利要求4所述的装置,其特征在于,所述光束接收单元由2片以上透镜或场镜组成。
6.根据权利要求5所述的装置,其特征在于,所述透镜或场镜采用对近红外有高透过率的材料制成。
7.根据权利要求1所述的装置,其特征在于,所述MEMS驱动单元的驱动方式包括压电驱动、电热驱动、静电驱动和电磁驱动中的一种或多种。
8.根据权利要求1所述的装置,其特征在于,所述光束整形单元由2片以上非球面或自由曲面的透镜或者由2片以上普通透镜组成,用于对所述激光发射单元发射的激光光束进行整形。
9.一种激光雷达,其特征在于,包括如权利要求1~8任一项所述的MEMS振镜同步信号反馈装置。
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