CN207163406U - 一种基于曲面基准件的二维位移测量*** - Google Patents

一种基于曲面基准件的二维位移测量*** Download PDF

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李杏华
邢艳蕾
房丰洲
黄银国
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Abstract

本实用新型公开了一种基于曲面基准件的二维位移测量***，包括光学测头和曲面基准件，在曲面基准件上设有曲面阵列；光学测头包括激光器、孔径光阑、反射镜、分光棱镜、成像透镜、CCD相机以及数据处理模块，激光器发出的准直光束经孔径光阑缩成细直光束，细直光束经反射镜后入射到分光棱镜中，1/2能量的反射光束投射到曲面阵列上的任意一点，该点反射的光束经分光棱镜透射后，通过成像透镜成像在CCD相机上，数据处理模块根据CCD相机中光斑的位置，计算获得运动部件的二维位移。采用本实用新型一次测量可以同时获得运动部件两个方向的位移，效率高，精度高，体积小，便于携带，成本低，操作简单。

Description

一种基于曲面基准件的二维位移测量***
技术领域
本实用新型涉及一种位移测量***，特别是一种基于曲面基准件的二维位移测量***。
背景技术
目前使用较为广泛的机床误差检测仪器有激光干涉仪和球杆仪，由于自身检测原理上的因素，这些仪器在应用于多轴数控机床的误差检测中存在各自的不足：如激光干涉仪调整复杂，一次测量只能获得一个参数，操作要求高，难以实现自动化、快速化，并且价格昂贵，一般企业不具备；球杆仪无法随意规划测量路径，为旋转轴误差辨识的测量步骤设计和理论解耦算法研究增加了难度，且球杆仪以磁力座配合精密球进行接触式测量，需要在低速下运动以保证测量精度，很难适应快速化趋势。
多轴数控机床的几何误差检测项目主要包括运动轴的角度误差、定位误差、直线度误差、垂直度误差等，为了检测运动轴的上述误差量，提出了一种基于曲面基准件的二维位移测量***。
发明内容
本实用新型为解决公知技术中存在的技术问题而提供一种基于曲面基准件的二维位移测量***，采用该***一次测量可以同时获得运动部件两个方向的位移。
本实用新型为解决公知技术中存在的技术问题所采取的技术方案是：一种基于曲面基准件的二维位移测量***，包括安装在运动部件上的光学测头和卡固在平台上的曲面基准件，运动部件沿Z轴设置，平台与Z轴垂直，在所述曲面基准件上设有曲面阵列，运动部件位于所述曲面基准件的上方；所述光学测头包括激光器、孔径光阑、反射镜、分光棱镜、成像透镜、CCD相机以及数据处理模块，所述激光器发出的准直光束经所述孔径光阑缩成细直光束，细直光束经所述反射镜后入射到所述分光棱镜中，1/2能量的反射光束投射到曲面阵列上的任意一点，该点反射的光束经所述分光棱镜透射后，通过所述成像透镜成像在所述CCD相机上，所述数据处理模块根据所述CCD相机中光斑的位置，计算获得运动部件的二维位移。
本实用新型具有的优点和积极效果是：基于光学曲面制造技术，利用曲面上点的坐标与其所在的切线的夹角的一一对应关系，采用该***一次测量可以同时获得运动部件两个方向的位移，效率高，精度高，体积小，便于携带，成本低，操作简单，为机床误差检测与辨识提供了新的思路。
附图说明
图1为本实用新型的结构示意图；
图2为本实用新型的光路图。
图中：1、光学测头；1-1、激光器；1-2、孔径光阑；1-3、反射镜；1-4、分光棱镜；1-5、成像透镜；1-6、CCD相机；2、曲面基准件，2-1、曲面。
具体实施方式
为能进一步了解本实用新型的发明内容、特点及功效，兹例举以下实施例，并配合附图详细说明如下：
请参阅图1和图2，一种基于曲面基准件的二维位移测量***，包括安装在运动部件上的光学测头1和卡固在平台上的曲面基准件2，运动部件沿Z轴设置，平台与Z轴垂直，在所述曲面基准件2上设有曲面2-1阵列，运动部件位于所述曲面基准件2的上方。
所述光学测头1包括激光器1-1、孔径光阑1-2、反射镜1-3、分光棱镜1-4、成像透镜1-5、CCD相机1-6以及数据处理模块，所述激光器1-1发出的准直光束经所述孔径光阑1-2缩成细直光束，细直光束经所述反射镜1-3后入射到所述分光棱镜1-4中，1/2能量的反射光束投射到曲面阵列上的任意一点，该点反射的光束经所述分光棱镜1-4透射后，通过所述成像透镜1-5成像在所述CCD相机1-6上，所述数据处理模块根据所述CCD相机1-6中光斑的位置，计算获得运动部件的二维位移。
具体步骤如下：
1)通过标定得出所述光学测头1的光轴在所述CCD相机中1-6的位置坐标O(x0，y0)，调整所述光学测头1的光束和所述曲面基准件2上的曲面2-1中心线平行；
2)运动部件带动光学测头1沿左右方向平移到第一位置AI处，此时曲面阵列上对应的测量点为A1(x1，y1，z1)，所述数据处理模块按照以下步骤进行数据处理：
2.1)获取CCD相机中成像光斑中心位置坐标A1′(x1′，y1′)；
2.2)将步骤2.1)中的光斑中心位置坐标A1′(x1′，y1′)转换为光斑中心距离光轴的距离S1x、S1y；
2.3)计算测量点A1斜率对应的角度：
ξx＝arctan(s1x/f)/2 (1)
ξy＝arctan(s1y/f)/2 (2)
其中：ξx代表测量点A1在XOZ平面内的切线与X轴方向的夹角；
ξy代表测量点A1在YOZ平面内的切线与Y轴方向的夹角；
f代表成像透镜的焦距；
2.4)计算测量点A1(x1，y1，z1)的坐标：
x1＝g(ξx) (3)
y1＝g(ξy) (4)
其中：g(x)代表一元函数。
3)运动部件带动光学测头沿左右方向平移到第二位置AII处，此时曲面阵列上对应的测量点为A2(x2，y2，z2)，数据处理过程同步骤3)，测量点A2(x2，y2，z2)的坐标为：
x2＝g(φx) (5)
y2＝g(φy) (6)
其中：Φx代表测量点A2在XOZ平面内的切线与X轴方向的夹角；
Φy代表测量点A2在YOZ平面内的切线与Y轴方向的夹角。
4)数据处理模块计算运动部件在X、Y两个方向上的位移：
M＝g(φx)-g(ξx)+P (7)
N＝g(φy)-g(ξy)+Q (8)
其中：M代表运动部件在X方向的位移；
N代表运动部件在Y方向的位移；
P代表第i个曲面和第j个曲面的中心线在X方向的距离；
Q代表第i个曲面和第j个曲面的中心线在Y方向的距离。
本实用新型的应用实例：
将处于标定状态的光学测头1安装在机床的Z轴上，曲面基准件卡固在工作台上，在基准件上设置旋转抛物面阵列，采用以下步骤进行测量：
1)通过标定得出所述光学测头的光轴在所述CCD相机中的位置坐标O(x0，y0)，调整所述光学测头的光束和机床Z轴平行；
2)运动轴带动光学测头水平移动到第一位置AI，此时旋转抛物面阵列上对应的测量 点为A1(x1，y1，z1)，获取此时CCD相机中成像光斑的位置A1′(x1′，y1′)，并转换为光斑中心距离光轴的距离S1x、S1y，然后计算测量点A1斜率对应的角度：
ξx＝arctan(s1x/f)/2 (9)
ξy＝arctan(s1y/f)/2 (10)
其中：ξx代表测量点A1在XOZ平面内的切线与X轴方向的夹角；
ξy代表测量点A1在YOZ平面内的切线与Y轴方向的夹角；
S1x代表第一个测量点的成像光斑的中心在X轴方向距离***光轴的距离；
S1y代表第一个测量点的成像光斑的中心在Y轴方向距离***光轴的距离；
f代表成像透镜的焦距，
最后计算测量点A1的坐标：
∵旋转抛物面的面型公式为：
其中：a2为旋转抛物面的特征参数；
对(11)式求一阶导数，可得到曲面上任一点的斜率为：
∴
x1＝a2tanξx (14)
y1＝a2tanξy (15)
其中：S1x代表成像光斑A1′的中心在X轴方向距离***光轴的距离；
S1y代表成像光斑A1′的中心在Y轴方向距离***光轴的距离；
3)运动轴带动光学测头水平移动到第二位置AII，此时旋转抛物面阵列上对应的测量点为A2(x2，y2，z2)，获取此时CCD相机中成像光斑的位置A2′(x2′，y2′)；
同步骤2)可以计算测量点A2的坐标：
x2＝a2tanφx (16)
y2＝a2tanφy (17)
4)计算运动部件在X、Y两个方向上的位移M、N：
M＝a2tanφx-a2tanξx+P (18)
N＝a2tanφy-a2tanξy+Q (19)
其中：M代表运动部件在X方向的位移；
N代表运动部件在Y方向的位移；
P代表第i个曲面和第j个曲面的中心线在X方向的距离；
Q代表第i个曲面和第j个曲面的中心线在Y方向的距离。
本实用新型的工作原理为：
如图2，光束沿旋转抛物面的中心轴线方向投射到曲面上任意一点时，曲面上除去顶点位置处各点的切线均与XOY平面存在夹角，且不同位置处的角度值不同，故不同测量点在CCD相机中的位置不同，即曲面上的坐标点与CCD相机中光斑的位置有一一对应的关系，则可以根据光斑的位置求出旋转抛物面上点的坐标，进而求出携带光学测头的运动部件在X、Y两个方向上的位移。
尽管上面结合附图对本实用新型的优选实施例进行了描述，但是本实用新型并不局限于上述的具体实施方式，上述的具体实施方式仅仅是示意性的，并不是限制性的，本领域的普通技术人员在本实用新型的启示下，在不脱离本实用新型宗旨和权利要求所保护的范围的情况下，还可以做出很多形式，这些均属于本实用新型的保护范围之内。

Claims (1)

1.一种基于曲面基准件的二维位移测量***，其特征在于，包括安装在运动部件上的光学测头和卡固在平台上的曲面基准件，运动部件沿Z轴设置，平台与Z轴垂直，在所述曲面基准件上设有曲面阵列，运动部件位于所述曲面基准件的上方；
所述光学测头包括激光器、孔径光阑、反射镜、分光棱镜、成像透镜、CCD相机以及数据处理模块，所述激光器发出的准直光束经所述孔径光阑缩成细直光束，细直光束经所述反射镜后入射到所述分光棱镜中，1/2能量的反射光束投射到曲面阵列上的任意一点，该点反射的光束经所述分光棱镜透射后，通过所述成像透镜成像在所述CCD相机上，所述数据处理模块根据所述CCD相机中光斑的位置，计算获得运动部件的二维位移。
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* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
CN111829439A (zh) * 2020-07-21 2020-10-27 中山大学 一种高精度平移测量方法及装置
CN113607383A (zh) * 2021-07-07 2021-11-05 湖北航天技术研究院总体设计所 测量激光光轴瞄准偏差的装置、***和方法
CN114415317A (zh) * 2022-01-22 2022-04-29 西安工业大学 一种自由曲面光学元件定位方法和装置

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Publication number Priority date Publication date Assignee Title
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