CN207132855U - 测试台及椭偏仪 - Google Patents

Abstract

本实用新型提供了一种测试台及椭偏仪，涉及测量仪器技术领域，本实用新型提供的测试台包括：测试平台和调节基座；调节基座包括水平调节组件，水平调节组件支撑于测试平台的下方，通过调节水平调节组件在支撑点处的支撑高度使测试平台水平。本实用新型提供的测试台解决了现有技术中测试台无法满足水平度固定而使测试结构不准确的技术问题。

Description

测试台及椭偏仪

技术领域

本实用新型涉及测量仪器技术领域，尤其是涉及一种测试台及椭偏仪。

背景技术

椭偏仪是一种用于探测薄膜厚度、光学常数以及材料微结构的光学测量仪器。由于具有测量精度高、适用于超薄膜、与样品非接触、对样品没有破坏且不需要真空等优点，椭偏仪已成为一种极具吸引力的测量仪器。在测试过程中，要得到准确的测试结果，照射在薄膜上的激光的入射角必须固定角度，这就要求测试台的相对水平度固定。

如图1和图2所示，在现有技术中，椭偏仪的测试台底部均无水平度调节装置，无法满足测试台水平度固定的需要，容易出现测试不准确的情况。

实用新型内容

本实用新型第一方面提供一种测试台，以缓解现有技术中测试台无法满足水平度固定而使测试结果不准确的技术问题。

本实用新型提供的测试台包括：测试平台和调节基座；调节基座包括水平调节组件，水平调节组件支撑于测试平台的下方，通过调节水平调节组件在支撑点处的支撑高度使测试平台水平。

进一步的，水平调节组件包括支撑块和多个螺杆；每个螺杆均沿竖直方向贯穿支撑块且与支撑块螺纹连接，螺杆的顶端与测试平台抵接。

进一步的，调节基座还包括高度调节组件，高度调节组件包括支撑板和升降元件，升降元件支撑在支撑板的下方，支撑板支撑在测试平台的下方。

进一步的，升降元件包括第一调节管和与第一调节管螺纹配合的第二调节管，第二调节管的一端伸出第一调节管且与支撑板的底面连接；第二调节管上固定套有用于带动第二调节管绕其自身轴线转动的调节环。

进一步的，高度调节组件还包括处于拉伸状态的弹性件，弹性件位于第一调节管和第二调节管内，且一端与支撑板连接，另一端与第一调节管的底部连接。

进一步的，测试台还包括倾斜组件，倾斜组件设于调节基座，用于将测试平台倾斜至设定角度。

进一步的，倾斜组件包括支撑柱，支撑柱的底端安装于水平调节组件上，顶端支撑测试平台；支撑柱顶端具有倾斜面，测试平台可沿倾斜面倾斜。

进一步的，支撑柱的顶端与测试平台通过转轴转动连接，测试平台可相对于转轴转动。

进一步的，支撑柱上设有锁紧件，测试平台水平设置时，锁紧件用于防止测试平台绕转轴的轴线转动的。

本实用新型第二方面提供一种椭偏仪，椭偏仪包括上述的测试台。

本实用新型提供的测试台及椭偏仪，测试台包括：测试平台和调节基座；调节基座包括水平调节组件，水平调节组件支撑于测试平台的下方，通过调节水平调节组件在支撑点处的支撑高度使测试平台水平。在测试过程中，测试平台的上端面不满足水平度要求时，调节调节组件在支撑点处的支撑高度，改变测试平台对应处的高度，调节组件在多个支撑点处配合，将测试平台调至满足水平度要求的位置，防止测试平台的水平度不满足要求而影响测试结果。

附图说明

为了更清楚地说明本实用新型具体实施方式或现有技术中的技术方案，下面将对具体实施方式或现有技术描述中所需要使用的附图作简单地介绍，显而易见地，下面描述中的附图是本实用新型的一些实施方式，对于本领域普通技术人员来讲，在不付出创造性劳动的前提下，还可以根据这些附图获得其他的附图。

图1为现有技术中测试台的结构示意图一；

图2为现有技术中测试台的结构示意图二；

图3为本实用新型实施例提供的测试台的结构示意图一；

图4为图3的右视图；

图5为本实用新型实施例提供的测试台的结构示意图二。

图标：100－测试平台；210－水平调节组件；211－支撑块；212－螺杆；220－高度调节组件；221－支撑板；222－升降元件；2221－第一调节管；2222－第二调节管；2223－调节环；2224－螺旋弹簧；230－支撑座；300－支撑柱；310－转轴；320－插销；400－底座。

具体实施方式

下面将结合附图对本实用新型的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例是本实用新型一部分实施例，而不是全部的实施例。基于本实用新型中的实施例，本领域普通技术人员在没有做出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例，都属于本实用新型保护的范围。

在本实用新型的描述中，需要说明的是，术语“中心”、“上”、“下”、“左”、“右”、“竖直”、“水平”、“内”、“外”等指示的方位或位置关系为基于附图所示的方位或位置关系，仅是为了便于描述本实用新型和简化描述，而不是指示或暗示所指的装置或元件必须具有特定的方位、以特定的方位构造和操作，因此不能理解为对本实用新型的限制。此外，术语“第一”、“第二”、“第三”仅用于描述目的，而不能理解为指示或暗示相对重要性。

在本实用新型的描述中，需要说明的是，除非另有明确的规定和限定，术语“安装”、“相连”、“连接”应做广义理解，例如，可以是固定连接，也可以是可拆卸连接，或一体地连接；可以是机械连接，也可以是电连接；可以是直接相连，也可以通过中间媒介间接相连，可以是两个元件内部的连通。对于本领域的普通技术人员而言，可以具体情况理解上述术语在本实用新型中的具体含义。

图3为本实用新型实施例提供的测试台的结构示意图一，如图3所示，本实用新型实施例提供的测试台包括：测试平台100和调节基座；调节基座包括水平调节组件210，水平调节组件210支撑于测试平台100的下方，通过调节水平调节组件210在支撑点处的支撑高度使测试平台100水平。

如图3和图4所示，水平调节组件210包括支撑块211和多个螺杆212；每个螺杆212均沿竖直方向贯穿支撑块211且与支撑块211螺纹连接，螺杆212的顶端与测试平台100抵接。

支撑块211的上端面水平设置，支撑块211上设置有与螺杆212配合的螺纹通孔，螺杆212和螺纹通孔的数量均为四个，四个螺纹通孔位于四角区域，且轴线均沿竖直方向设置，每个螺纹通孔配合有一个螺杆212，螺杆212的长度大于螺纹通孔的长度，螺杆212的上端面与测试平台100的下端面抵接。在调整测试平台100的水平度时，旋转螺杆212，调节螺杆212的上端部伸出支撑块211的上端面的长度，从而改变测试平台100的与螺杆212抵接位置的高度，四根螺杆212配合实现对测试平台100水平度的调节，此外，使四个螺杆212的上端部相对于支撑块211的上端面移动相同的长度，可在不改变测试平台100水平度的同时，对测试平台100的高度进行调节。

进一步的，调节基座还包括高度调节组件220，高度调节组件220包括支撑板221和升降元件222，升降元件222支撑在支撑板221的下方，支撑板221支撑在测试平台100的下方。

测试平台100固定连接于支撑板221的上端面，升降元件222固定连接于支撑板221的下端面，通过调节升降元件222改变支撑板221的高度，从而实现对测试平台100高度的调整。

如图3所示，升降元件222包括第一调节管2221和与第一调节管2221螺纹配合的第二调节管2222，第二调节管2222的一端伸出第一调节管2221且与支撑板221的底面连接；第二调节管2222上固定套有用于带动第二调节管2222绕其自身轴线转动的调节环2223。

具体的，第一调节管2221和第二调节管2222均沿竖直方向设置，第一调节管2221的下端与设于下侧的支撑座230固定连接；第二调节管2222的下端伸入第一调节管2221的内部，并与第一调节管2221螺纹配合，上端位于第一调节管2221的外部，并且上端面与支撑板221的下端面抵接；第二调节管2222上固定套设有调节环2223，调节环2223的外壁上设置有防滑条纹。调节过程中，通过调节环2223使第二调节管2222相对于第一调节管2221绕其自身的轴线转动，调整第二调节管2222的上端部伸出第一调节管2221的长度，从而实现对测试平台100高度的调节，使测试平台100满足测试不同厚度薄膜的需要。

作为另一种实施方式，第二调节管2222与第一调节管2221滑动连接，具体的，第一调节管2221的内壁上设置有滑槽，滑槽的延伸方向与第一调节管2221的长度方向相同，第二调节管2222的下端部设置有与滑槽滑动配合的凸起；调节环2223与第二调节管2222螺纹配合，调节环2223的下端面与第一调节管2221的上端面抵接，并且第一调节管2221上设置有防止调节环2223相对于第一调节管2221沿竖直方向产生移动的限位件；第二调节管2222的上端与测试平台100的下端面固定连接。转动调节环2223绕其自身的轴线转动，凸起与滑槽配合防止第二调节管2222跟随调节环2223转动，在螺纹配合的作用下，第二调节管2222伸出第一调节管2221的长度变化，从而实现对测试平台100高度调节，同时，在第二调节管2222相对第一调节管2221移动过程中，凸起和滑槽配合对第二调节管2222的移动起到导向作用。

进一步的，当测试平台100的上方同时设置水平调节组件210和高度调节组件220时，如图3所示，支撑板221设于支撑块211的上方，支撑块211的中心处设置有通孔，升降元件222设于通孔内，具体的，第一调节管2221的下端与设置在支撑块211下端的支撑座230固定连接，支撑座230下端设置有底座400，支撑座230与底座400通过螺栓连接，可根据需要，方便将调节基座装在底座400上或从底座400上拆下；当第二调节管2222与第一调节管2221螺纹配合时，第二调节管2222的上端面与支撑板221的下端面抵接，当第二调节管2222与第一调节管2221滑动配合时，第二调节管2222的上端面与支撑板221的下端面固定连接，防止支撑板221在水平方向相对于支撑块211产生移动；四个螺杆212设于支撑块211的四角区域，与支撑块211螺纹配合，四个螺杆212的上端面均与支撑板221的下端面抵接；测试平台100固定连接于支撑板221的上端面，通过调节支撑板221的高度和水平度，实现对测试平台100的高度和水平度的调节。

如图3所示，高度调节组件220还包括处于拉伸状态的弹性件，弹性件位于第一调节管2221和第二调节管2222内，且一端与支撑板221连接，另一端与第一调节管2221的底部连接。

具体的，弹性件为螺旋弹簧2224，螺旋弹簧2224设于第一调节管2221和第二调节管2222的内部，螺旋弹簧2224的下端与支撑座230固定连接，上端与支撑板221的下端面固定连接；螺旋弹簧2224始终处于拉伸状态，对支撑板221产生向下的拉力，使支撑板221在调节过程中更加平稳。

进一步的，测试台还包括倾斜组件，倾斜组件设于调节基座，用于将测试平台100倾斜至设定角度。

倾斜组件固定连接于调节基座的上端，测试平台100连接于倾斜组件的上端，通过倾斜组件可使测试平台100处于水平状态或指定的倾斜状态，无需更换测试平台100，满足测试不同形状薄膜的需要，方便检测。

如图3和图5所示，倾斜组件包括支撑柱300，支撑柱300的底端安装于水平调节组件210上，顶端支撑测试平台100；支撑柱300顶端具有倾斜面，测试平台100可沿倾斜面倾斜。

支撑柱300的下端通过螺栓与调节基座中的支撑板221连接，支撑柱300的上端包括水平面和倾斜面，倾斜面设于支撑柱300的图3所示的左半部，水平面设置于支撑柱300的图3所示的右半部，倾斜面与水平面之间的夹角为45°，倾斜面与支撑柱300的轴线的交点位于水平面的下方，水平面与倾斜面通过竖直面连接；测试平台100的中部与竖直面转动连接，测试平台100的下端面设置有与水平面配合的凹槽；需要测试平台100水平设置时，如图3所示，水平面位于凹槽内，对测试平台100起到水平支撑的作用，需要测试平台100倾斜设置时，如图5所示，使测试平台100的下端面与倾斜面接触，倾斜面对测试平台100起到倾斜支撑的作用，使测试平台100的上端面与水平面之间的夹角为45°。支撑柱300的上端包括水平面和倾斜面，方便调节测试平台100上端面与水平面之间的角度，无需更换测试平台100，满足测量不同形状薄膜的需要。

如图3所示，支撑柱300的顶端与测试平台100通过转轴310转动连接，测试平台100可相对于转轴310转动。

具体的，转轴310设于竖直面上，且与支撑柱300转动连接，转轴310的轴线与倾斜面和水平面平行，测试平台100的下端面与转轴310的两端固定连接，转轴310位于测试平台100下端面与水平面配合的凹槽内。测试平台100绕转轴310的轴线转动，实现水平和倾斜的调节。

进一步的，支撑柱300上设有锁紧件，测试平台100水平设置时，锁紧件用于防止测试平台100绕转轴310的轴线转动的。

锁紧件包括插销320，如图3所示，测试平面上设置有锁紧槽，锁紧槽位于与水平面配合的凹槽的右侧，锁紧槽与凹槽之间形成凸起，凸起上设置有通孔，通孔的轴线方向与测试平台100的上端面平行；支撑柱300的水平面的下侧设置有与通孔配合的配合孔，插销320穿过通孔，并可沿通孔的轴线方向在锁紧槽内移动。测试平台100水平设置时，如图3所示，插销320***通孔和配合孔，防止测试平台100绕转轴310的轴线转动，需测试平台100倾斜设置时，如图5所示，将插销320从配合孔内拔出，测试平台100可绕转轴310的轴线转动，实现倾斜设置。

进一步的，倾斜面上和测试平台100的下端面均设置有吸附件，具体的，倾斜面和测试平台100的下端面均嵌设有磁铁，测试平台100上的磁铁位于测试平台100与倾斜面配合的部位，倾斜面上的磁铁的S极与测试平台100上的磁铁的N极配合，测试平台100倾斜设置时，磁铁的吸附力对测试平台100起到固定作用。

本实用新型实施例提供的测试台包括：测试平台100和调节基座；调节基座包括水平调节组件210，水平调节组件210支撑于测试平台100的下方，通过调节水平调节组件210在支撑点处的支撑高度使测试平台100水平。在测试过程中，测试平台100的上端面不满足水平度要求时，调节调节组件在支撑点处的支撑高度，改变测试平台100对应处的高度，调节组件在多个支撑点处配合，将测试平台100调至满足水平度要求的位置，防止测试平台100的水平度不满足要求而影响测试结果。

本实用新型实施例第二方面提供一种椭偏仪，椭偏仪包括上述的测试台。

本实用新型实施例提供的测试台包括：测试平台100和调节基座；调节基座包括水平调节组件210，水平调节组件210支撑于测试平台100的下方，通过调节水平调节组件210在支撑点处的支撑高度使测试平台100水平。在测试过程中，测试平台100的上端面不满足水平度要求时，调节调节组件在支撑点处的支撑高度，改变测试平台100对应处的高度，调节组件在多个支撑点处配合，将测试平台100调至满足水平度要求的位置，防止测试平台100的水平度不满足要求而影响测试结果。

最后应说明的是：以上各实施例仅用以说明本实用新型的技术方案，而非对其限制；尽管参照前述各实施例对本实用新型进行了详细的说明，本领域的普通技术人员应当理解：其依然可以对前述各实施例所记载的技术方案进行修改，或者对其中部分或者全部技术特征进行等同替换；而这些修改或者替换，并不使相应技术方案的本质脱离本实用新型各实施例技术方案的范围。

Claims (10)

1.一种测试台，其特征在于，包括：测试平台(100)和调节基座；所述调节基座包括水平调节组件(210)，所述水平调节组件(210)支撑于所述测试平台(100)的下方，通过调节所述水平调节组件(210)在支撑点处的支撑高度使所述测试平台(100)水平。

2.根据权利要求1所述的测试台，其特征在于，所述水平调节组件(210)包括支撑块(211)和多个螺杆(212)；每个所述螺杆(212)均沿竖直方向贯穿所述支撑块(211)且与所述支撑块(211)螺纹连接，所述螺杆(212)的顶端与所述测试平台(100)抵接。

3.根据权利要求1所述的测试台，其特征在于，所述调节基座还包括高度调节组件(220)，所述高度调节组件(220)包括支撑板(221)和升降元件(222)，所述升降元件(222)支撑在所述支撑板(221)的下方，所述支撑板(221)支撑在所述测试平台(100)的下方。

4.根据权利要求3所述的测试台，其特征在于，所述升降元件(222)包括第一调节管(2221)和与所述第一调节管(2221)螺纹配合的第二调节管(2222)，所述第二调节管(2222)的一端伸出所述第一调节管(2221)且与所述支撑板(221)的底面连接；

所述第二调节管(2222)上固定套有用于带动所述第二调节管(2222)绕其自身轴线转动的调节环(2223)。

5.根据权利要求4所述的测试台，其特征在于，所述高度调节组件(220)还包括处于拉伸状态的弹性件，所述弹性件位于所述第一调节管(2221)和所述第二调节管(2222)内，且一端与所述支撑板(221)连接，另一端与所述第一调节管(2221)的底部连接。

6.根据权利要求1所述的测试台，其特征在于，所述测试台还包括倾斜组件，所述倾斜组件设于调节基座，用于将所述测试平台(100)倾斜至设定角度。

7.根据权利要求6所述的测试台，其特征在于，所述倾斜组件包括支撑柱(300)，所述支撑柱(300)的底端安装于所述水平调节组件(210)上，顶端支撑所述测试平台(100)；

所述支撑柱(300)顶端具有倾斜面，所述测试平台(100)可沿所述倾斜面倾斜。

8.根据权利要求7所述的测试台，其特征在于，所述支撑柱(300)的顶端与所述测试平台(100)通过转轴(310)转动连接，所述测试平台(100)可相对于所述转轴(310)转动。

9.根据权利要求8所述的测试台，其特征在于，所述支撑柱(300)上设有锁紧件，所述测试平台(100)水平设置时，所述锁紧件用于防止所述测试平台(100)绕所述转轴(310)的轴线转动的。

10.一种椭偏仪，其特征在于，包括如权利要求1－9任一项所述的测试台。