CN207109143U - 一种用于生产太阳能级高效多晶硅片的多晶炉 - Google Patents
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Abstract
本实用新型提供一种用于生产太阳能级高效多晶硅片的多晶炉，包括炉体内筒、炉体外筒，和设置于所述炉体内筒和炉体外筒之间的夹层空腔中的螺旋状导流板；所述炉体外筒底部设置有第一冷却水进口，能够将冷却水导入炉体内筒和炉体外筒之间的夹层空腔中，并沿螺旋状导流板螺旋上升流动；所述炉体外筒顶部设置有第一冷却水出口，能够将炉体内筒和炉体外筒之间的夹层空腔中的冷却水导出。既能维持炉内温度，又保证炉体的加压水导流冷却，和双层玻璃视镜的局部水冷。
Description
技术领域
本实用新型涉及生产太阳能级高效多晶硅片的多晶炉。
背景技术
目前，制备太阳能电池用硅锭的生产工艺主要包括单晶硅拉制和多晶硅拉制。多晶硅铸锭技术由于能直接熔铸出适于规模化生产的方形硅锭、制造过程相对简单、从而成为太阳能电池用硅锭制备的主流方法。多晶硅铸锭技术通常应用于多晶炉中。
还原炉是生产多晶硅的核心设备，也是决定***产能.能耗、环保指标，以及可靠、安全性的关键因素。三氯氢硅在多晶炉中还原生成多晶硅棒，同时也生成四氯化硅、氯化氢，氢气等。未经处理的四氯化硅是一种有极强腐蚀性、难以保存的液体。通过将四氯化硅在氢化炉中连续氢化生成三氯氢硅、氯化氢等回收使用，经过多次回收和精馏可以回收利用大部分的硅，降低成本、减少污染。除少数厂家外，国内大部分都未建成尾气氢化回收***，造成我国多晶硅生产成本高居不下，且污染严重。
在氢化和还原工序中，需要电能加热电极维持炉内1000℃以上高温状态，因而多晶反应炉炉体冷却直接关系反应炉的安全使用和使用寿命。
实用新型内容
针对现有技术存在的问题，本实用新型提供一种用于生产太阳能级高效多晶硅片的多晶炉，既能维持炉内温度，又保证炉体的加压水导流冷却，和双层玻璃视镜的局部水冷。
本实用新型的技术方案是：一种用于生产太阳能级高效多晶硅片的多晶炉，包括炉体内筒、炉体外筒，和设置于所述炉体内筒和炉体外筒之间的夹层空腔中的螺旋状导流板；所述炉体外筒底部设置有第一冷却水进口，能够将冷却水导入炉体内筒和炉体外筒之间的夹层空腔中，并沿螺旋状导流板螺旋上升流动；所述炉体外筒顶部设置有第一冷却水出口，能够将炉体内筒和炉体外筒之间的夹层空腔中的冷却水导出。
进一步的，炉体底部设置有底部法兰。
进一步的，炉体上设置有水冷双层玻璃视镜。
进一步的，所述水冷双层玻璃视镜包括通过间隔设置的外层玻璃和内侧玻璃，所述外层玻璃和内侧玻璃之间通过套管隔离；所述套管外侧套有第二法兰，所述第二法兰一侧设置有第三冷却水进口，相对的另一侧设置有第三冷却水出口。
进一步的，所述第二法兰轴向的两侧分别设置有第一法兰和第三法兰，所述第一法兰、第二法兰和第三法兰通过螺栓和螺母固定连接。
进一步的，所述内侧玻璃面向炉体一侧设置有能够穿过炉体的双层玻璃视镜内筒和双层玻璃视镜外筒；所述双层玻璃视镜外筒一侧设置有第二冷却水进口，能够将冷却水导入双层玻璃视镜内筒和双层玻璃视镜外筒之间的夹层空腔中；所述双层玻璃视镜外筒相对的另一侧设置有第二冷却水出口，能够将双层玻璃视镜内筒和双层玻璃视镜外筒之间的夹层空腔中的冷却水导出。
本实用新型的有益效果是：在内、外筒密封空腔中设置螺旋状导流板，加压冷却水在空腔内沿着导流板方向流动，对炉体的内筒、外部视镜进行冷却，保证其在可靠的温度下工作。外筒上设置水冷双层玻璃视镜，通过视镜可以观察筒体内硅棒的生长情况。既能维持炉内温度，又保证炉体的加压水导流冷却，和双层玻璃视镜的局部水冷。
附图说明
图1为本实用新型的整体结构示意图；
图2为水冷双层玻璃视镜的结构图。
图中：1为第一冷却水出口，2为炉体内筒，3为炉体外筒，4为导流板，5为水冷双层玻璃视镜，6为第一冷却水进口，7为底部法兰，8为第二冷却水进口，9为第三冷却水进口，10为螺母，11为螺栓，12为外层玻璃，13为内侧玻璃，14为第一法兰，15为第二法兰，16为第三冷却水出口，17为第三法兰，18为第二冷却水出口，19为双层玻璃视镜内筒，20为双层玻璃视镜外筒。
具体实施方式
下面结合附图对本实用新型做进一步的说明。
如图1所示，一种用于生产太阳能级高效多晶硅片的多晶炉，包括炉体内筒2、炉体外筒3，和设置于炉体内筒2和炉体外筒3之间的夹层空腔中的螺旋状导流板4。炉体底部设置有底部法兰7。炉体外筒3底部设置有第一冷却水进口6，能够将冷却水导入炉体内筒2和炉体外筒3之间的夹层空腔中，并沿螺旋状导流板4螺旋上升流动。炉体外筒3顶部设置有第一冷却水出口1，能够将炉体内筒2和炉体外筒3之间的夹层空腔中的冷却水导出。
如图2所示，炉体上设置有水冷双层玻璃视镜5。水冷双层玻璃视镜5包括通过间隔设置的外层玻璃12和内侧玻璃13，外层玻璃12和内侧玻璃13之间通过套管隔离。套管外侧套有第二法兰15，第二法兰15一侧设置有第三冷却水进口9，相对的另一侧设置有第三冷却水出口16。
内侧玻璃13面向炉体一侧设置有能够穿过炉体的双层玻璃视镜内筒19和双层玻璃视镜外筒20。双层玻璃视镜外筒20一侧设置有第二冷却水进口8，能够将冷却水导入双层玻璃视镜内筒19和双层玻璃视镜外筒20之间的夹层空腔中。双层玻璃视镜外筒20相对的另一侧设置有第二冷却水出口18，能够将双层玻璃视镜内筒19和双层玻璃视镜外筒20之间的夹层空腔中的冷却水导出。
作为优选的实施方式，第二法兰15轴向的两侧分别设置有第一法兰14和第三法兰17，第一法兰14、第二法兰15和第三法兰17通过螺栓11和螺母10固定连接。
本实用新型既能维持炉内温度，又保证炉体的加压水导流冷却，和双层玻璃视镜的局部水冷。
以上所述仅是本实用新型的优选实施方式，应当指出，对于本技术领域的普通技术人员来说，在不脱离本实用新型原理的前提下，还可以做出若干改进和润饰，这些改进和润饰也应视为本实用新型的保护范围。
Claims (6)
1.一种用于生产太阳能级高效多晶硅片的多晶炉，其特征在于：包括炉体内筒(2)、炉体外筒(3)，和设置于所述炉体内筒(2)和炉体外筒(3)之间的夹层空腔中的螺旋状导流板(4)；所述炉体外筒(3)底部设置有第一冷却水进口(6)，能够将冷却水导入炉体内筒(2)和炉体外筒(3)之间的夹层空腔中，并沿螺旋状导流板(4)螺旋上升流动；所述炉体外筒(3)顶部设置有第一冷却水出口(1)，能够将炉体内筒(2)和炉体外筒(3)之间的夹层空腔中的冷却水导出。
2.根据权利要求1所述的一种用于生产太阳能级高效多晶硅片的多晶炉，其特征在于：炉体底部设置有底部法兰(7)。
3.根据权利要求1所述的一种用于生产太阳能级高效多晶硅片的多晶炉，其特征在于：炉体上设置有水冷双层玻璃视镜(5)。
4.根据权利要求3所述的一种用于生产太阳能级高效多晶硅片的多晶炉，其特征在于：所述水冷双层玻璃视镜(5)包括通过间隔设置的外层玻璃(12)和内侧玻璃(13)，所述外层玻璃(12)和内侧玻璃(13)之间通过套管隔离；所述套管外侧套有第二法兰(15)，所述第二法兰(15)一侧设置有第三冷却水进口(9)，相对的另一侧设置有第三冷却水出口(16)。
5.根据权利要求4所述的一种用于生产太阳能级高效多晶硅片的多晶炉，其特征在于：所述第二法兰(15)轴向的两侧分别设置有第一法兰(14)和第三法兰(17)，所述第一法兰(14)、第二法兰(15)和第三法兰(17)通过螺栓(11)和螺母(10)固定连接。
6.根据权利要求4所述的一种用于生产太阳能级高效多晶硅片的多晶炉，其特征在于：所述内侧玻璃(13)面向炉体一侧设置有能够穿过炉体的双层玻璃视镜内筒(19)和双层玻璃视镜外筒(20)；所述双层玻璃视镜外筒(20)一侧设置有第二冷却水进口(8)，能够将冷却水导入双层玻璃视镜内筒(19)和双层玻璃视镜外筒(20)之间的夹层空腔中；所述双层玻璃视镜外筒(20)相对的另一侧设置有第二冷却水出口(18)，能够将双层玻璃视镜内筒(19)和双层玻璃视镜外筒(20)之间的夹层空腔中的冷却水导出。
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| CN201720741657.2U CN207109143U (zh) | 2017-06-23 | 2017-06-23 | 一种用于生产太阳能级高效多晶硅片的多晶炉 |
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Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| CN112281212A (zh) * | 2020-11-10 | 2021-01-29 | 无锡双雄通用机械有限公司 | 一种多晶硅生长炉 |
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2017
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