CN206188001U - 气浮平台、气浮装置及玻璃基板传送装置 - Google Patents

Abstract

本实用新型公开了一种气浮平台、气浮装置及玻璃基板传送装置，其中气浮平台用于放置玻璃基板，包括沿高度方向由下至上贴合叠放的进气层(10)和出气层(20)，进气层的顶部形成有周向封闭的凹槽，该凹槽的底部形成有沿高度方向贯穿进气层的进气孔(11)，以连接进气管接头(40)，出气层上均匀地布设有沿高度方向贯穿出气层的出气孔(21)，出气孔通过凹槽与进气孔连通。使用气流支撑玻璃基板，避免玻璃基板在运输过程中与支撑装置接触，从而防止造成划伤和污染，进而提高玻璃基板的成品率，提高工作效率。

Description

气浮平台、气浮装置及玻璃基板传送装置

技术领域

本实用新型涉及玻璃基板技术领域，具体地，涉及一种气浮平台、气浮装置及玻璃基板传送装置。

背景技术

当前，随着技术的发展与市场的需求，平板显示行业的玻璃基板幅面不断扩大，厚度不断变薄，因此对生产线的制作技术要求更高。目前大尺寸的玻璃基板多采用接触式滚轮传输和皮带传输，这些接触方式容易对玻璃基板造成划伤和污染，并且易造成基板的破碎，从而严重影响产品的质量，进而生产效率。

实用新型内容

本实用新型的第一个目的是提供一种气浮平台，该气浮平台可以在放置玻璃基板时避免与玻璃基板接触，从而防止玻璃基板受到划伤和污染。

本实用新型的第二个目的是提供一种气浮装置，该气浮装置可以在放置玻璃基板时避免与玻璃基板接触，从而防止玻璃基板受到划伤和污染。

本实用新型的第三个目的是提供一种玻璃基板传送装置，该传送装置在传送玻璃基板的过程中可以避免玻璃基板受到划伤和污染。

为了实现上述目的，本实用新型提供一种气浮平台，用于放置玻璃基板，包括沿高度方向由下至上贴合叠放的进气层和出气层，所述进气层的顶部形成有周向封闭的凹槽，该凹槽的底部形成有沿高度方向贯穿所述进气层的进气孔，以连接进气管接头，所述出气层上均匀地布设有沿高度方向贯穿所述出气层的出气孔，所述出气孔通过所述凹槽与所述进气孔连通。

可选地，所述凹槽为多个，每个所述凹槽的底部形成有一个所述进气孔。

可选地，所述出气孔以矩形阵列的形式设置在所述出气层上。

可选地，所述凹槽包括多个长条形的键槽，该键槽沿所述气浮平台的长度方向延伸，所述凹槽还包括在宽度方向上相邻的两个所述键槽之间的连通部，所述进气孔与所述连通部相连通。

可选地，所述进气层和出气层的宽度方向的边部分别均匀地设有多个通孔，以通过螺纹件紧固所述进气层和出气层。

可选地，所述进气层和出气层之间还设有分流层，所述分流层的上下两端分别贴合所述出气层和进气层，所述分流层上设有对应于所述出气孔的分流孔。

可选地，所述分流孔的孔径小于所述出气孔。

可选地，所述进气层和分流层之间涂有固定胶，所述进气层、分流层和出气层的宽度方向的边部分别均匀地设有多个通孔，以通过螺纹件紧固所述进气层、分流层和出气层。

根据本实用新型的第二个方面，提供一种气浮装置，用于放置玻璃基板，包括基座和放置在该基座上的气浮平台，所述气浮平台为根据以上所述的气浮平台，所述气浮平台为矩形阵列的多个，并且相邻的所述气浮平台贴合设置。

根据本实用新型的第三个方面，提供一种玻璃基板传送装置，包括：气浮装置，用于放置所述玻璃基板；定位装置，用于在传送所述玻璃基板前将所述玻璃基板定位在所述气浮装置上；以及移动装置，用于驱动所述玻璃基板沿所述气浮装置移动，所述气浮装置为以上所述的气浮装置，所述定位装置包括用于在长度方向上定位所述玻璃基板的第一气缸，和在宽度方向上定位所述玻璃基板的第二气缸，所述移动装置包括设置在所述气浮装置宽度方向的一侧的真空吸盘，以从单侧吸附所述玻璃基板运动。

可选地，所述第一气缸为直线气缸，并且为四个，分别用于设置在所述玻璃基板的四角。

可选地，所述第二气缸为旋转气缸，并且为两个，分别用于设置在所述玻璃基板宽度方向上的一侧。

通过上述技术方案，使用气流支撑玻璃基板，避免玻璃基板在运输过程中与支撑装置接触，从而防止造成划伤和污染，进而提高玻璃基板的成品率，提高工作效率。

本实用新型的其他特征和优点将在随后的具体实施方式部分予以详细说明。

附图说明

附图是用来提供对本实用新型的进一步理解，并且构成说明书的一部分，与下面的具体实施方式一起用于解释本实用新型，但并不构成对本实用新型的限制。在附图中：

图1是本实用新型的一个实施方式提供的气浮平台的***图；

图2是本实用新型的一个实施方式提供的玻璃基板传送装置的结构示意图。

附图标记说明：

10 进气层；11 进气孔；

12 键槽；13 连通部；

20 出气层；21 出气孔；

30 分流层；31 分流孔；

40 进气管接头；50 第一气缸；

60 第二气缸； 70 真空吸盘。

具体实施方式

以下结合附图对本实用新型的具体实施方式进行详细说明。应当理解的是，此处所描述的具体实施方式仅用于说明和解释本实用新型，并不用于限制本实用新型。

在本实用新型中，在未作相反说明的情况下，使用的方位词“上、下”通常是指各部件在正常工作状态时的上和下，传送装置的长度方向是指玻璃基板的传送方向，宽度方向是指在玻璃基板平面上垂直于长度方向的方向，高度方向是指垂直于玻璃基板平面的方向，另外，本实用新型中气浮平台与传送装置的长度方向、宽度方向以及高度方向均相同。此外，图2中的箭头指向为玻璃基板的传送方向。

如图1所示，本实用新型提供的气浮平台用于放置玻璃基板，包括沿高度方向由下至上贴合叠放的进气层10和出气层20，进气层10的顶部形成有周向封闭的凹槽，该凹槽的底部形成有沿高度方向贯穿进气层10的进气孔11，以连接进气管接头40，出气层20上均匀地布设有沿高度方向贯穿出气层20的出气孔21，出气孔21通过凹槽与进气孔11连通。这样，气体通过气管接头首先进入到凹槽中，再经由凹槽进入到出气孔21中，由于出气孔21均匀布设，保证用于支撑玻璃基板的气流均匀地流出，可以使玻璃基板稳定地置于气浮平台上方。该气浮平台使用气流支撑玻璃基板，尤其适用于玻璃基板的传送，通过气体支撑的形式，最大限度地避免了玻璃基板与支撑装置或传送装置等的直接接触，从而解决因摩擦而导致玻璃基板的划伤、污染及变形问题。

具体地，上述的凹槽可以为多个，每个凹槽形成有一个进气孔11，多个凹槽相互间隔地设置在进气层10的顶部，各自形成独立的型腔，可以确保进气层10结构的整体强度，需要说明的是，每个出气孔21均保持在凹槽的影响范围内，即凹槽的开设依据出气孔21的位置，确保每个出气孔21可以均匀地出气，从而保持玻璃基板的稳定安放。

作为优选，出气孔21可以矩形阵列的形式设置在出气层20上，增加出气孔21数量，扩大出气孔21的影响范围，从而可以提高出气孔21出气的均匀性。

进一步地，凹槽可以包括多个长条形的键槽12，该键槽12沿气浮平台的长度方向延伸，亦即每个键槽12可以沿单行出气孔21的排列方向延伸，从而确保每个出气孔21可以与凹槽连通，凹槽还包括在宽度方向上相邻的两个键槽12之间的连通部13，进气孔11与连通部13相连通。具体地，如图1所示，例如可以在出气层20上形成两行出气孔21，在进气层10上也形成两行对应的键槽12，这里需要说明的是，每一行上的键槽12可以为一个或多个，其具体的数量依据气浮平台实际长度而定，此处不做具体限定，在图1示出的实施方式中，同一行上的键槽12为2个，即整体形成4个键槽12。在宽度方向上相邻的两个键槽12之间设置连通部13，进气孔11与该连通部13相连，由于出气孔21是对应于键槽12设置的，并不直接与连通部13连通，这种结构可以避免进气孔11流入的气流直接通过键槽12流入到出气孔21中，进而产生较大的冲击气流，划伤玻璃基板。设置多个键槽12可以尽量减小进气层10的开槽区域，可以保证进气层10的整体强度，此外，该结构还可以同时保证每个出气孔21均有气体均匀地流出，从而保持玻璃基板的稳定安放。

如图1所示，进气层10和出气层20的宽度方向的边部可以分别均匀地设有多个通孔，以通过螺纹件紧固进气层10和出气层20，保证出气层20与进气层10的紧密贴合，防止气体外泄。具体地，在一个实施方式中，出气层20上的通孔为螺纹孔，进气层10上的通孔为光孔，使用螺钉从进气层10底部穿过进气层10的光孔旋入到出气层20的螺纹孔中，螺钉的端部不伸出出气层20，从而避免其划伤玻璃基板。另一种实施方式中进气层10和出气层20上的通孔可以均为螺纹孔，也可以通过螺纹件实现紧固作用。此外，出气层20上的通孔还可以为阶梯孔，其阶梯面用于对螺纹件进行限位，避免螺纹件伸出出气层20。本实用新型对上述通孔的具体形式不做具体限定，只要满足技术构思，均在本实用新型的保护范围内。

进一步地，如图1所示，进气层10和出气层20之间还可以设有分流层30，分流层30的上下两端分别贴合出气层20和进气层10，分流层30上设有对应于出气孔21的分流孔31，即，从凹槽流出的气体首先进入分流孔31中，再进入出气孔21，其中分流孔31对应于出气孔21设置从而使玻璃基板受气均匀，避免倾斜划伤。

具体地，分流孔31的孔径小于出气孔21，即使得分流孔31中的气体可以完全进入到出气孔21中，并且出气孔21的孔径大于分流孔31，可以起到缓冲作用，避免气流对玻璃基板产生过大的冲击。

进一步地，进气层10和分流层30之间涂有固定胶，例如可以为高强度的双面胶，防止气体外泄，进气层10、分流层30和出气层20的宽度方向的边部可以分别均匀地设有多个通孔，以通过螺纹件紧固进气层10、分流层30和出气层20，其紧固的具体形式与上述的紧固进气层10与出气层20的形式类似，此处不再赘述。

此外，如图2所示，本实用新型提供的玻璃基板传送装置，包括：气浮装置，用于放置玻璃基板；定位装置，用于将在传送玻璃基板前将玻璃基板定位在气浮装置上；以及移动装置，用于驱动玻璃基板沿气浮装置移动。其中，气浮装置包括基座和放置在该基座上的气浮平台，气浮平台为本实用新型提供的的气浮平台，气浮平台为矩形阵列的多个，并且相邻的气浮平台贴合设置。通过多个气浮平台的组合可以扩大气浮装置的支撑范围，可以根据不同尺寸的玻璃基板选择不同数量的气浮平台进行组合。

具体地，将玻璃基板的传送方向，即传送装置的长度方向定义为Y轴，传送装置的宽度方向定义为X轴，定位装置可以包括用于在长度方向上定位玻璃基板的第一气缸50，和在宽度方向上定位玻璃基板的第二气缸60。其中，第一气缸50可以为直线气缸，并且为四个，分别用于设置在玻璃基板的四角，通过四个直线气缸的配合推动玻璃基板到指定的Y轴位置。第二气缸60为旋转气缸，并且为两个，分别用于设置在玻璃基板宽度方向上的一侧，调整玻璃基板的到指定的X轴位置，以确保移动装置(例如下述的真空吸盘70)可以驱动玻璃基板运动。需要说明的是，第一气缸50和第二气缸60的具体形式均为本领域内的常用技术手段，这里不再赘述。

如图2所示，移动装置包括设置在气浮装置宽度方向的一侧的真空吸盘70，以从单侧吸附玻璃基板运动，并且不会划伤玻璃基板表面。具体地，在一个实施方式中，玻璃基板被传送之前，首先通过第一气缸50和第二气缸60将玻璃基板定位到指定位置，保持玻璃基板表面水平，并且玻璃基板边部与气浮平台边部平行，真空吸盘70吸附玻璃基板的一侧，真空吸盘70在外部推动装置的作用下驱动玻璃基板移动，从而完成玻璃基板的传送。

以上结合附图详细描述了本实用新型的优选实施方式，但是，本实用新型并不限于上述实施方式中的具体细节，在本实用新型的技术构思范围内，可以对本实用新型的技术方案进行多种简单变型，这些简单变型均属于本实用新型的保护范围。

另外需要说明的是，在上述具体实施方式中所描述的各个具体技术特征，在不矛盾的情况下，可以通过任何合适的方式进行组合，为了避免不必要的重复，本实用新型对各种可能的组合方式不再另行说明。

此外，本实用新型的各种不同的实施方式之间也可以进行任意组合，只要其不违背本实用新型的思想，其同样应当视为本实用新型所公开的内容。

Claims (12)

1.一种气浮平台，用于放置玻璃基板，其特征在于，包括沿高度方向由下至上贴合叠放的进气层(10)和出气层(20)，所述进气层(10)的顶部形成有周向封闭的凹槽，该凹槽的底部形成有沿高度方向贯穿所述进气层(10)的进气孔(11)，以连接进气管接头(40)，所述出气层(20)上均匀地布设有沿高度方向贯穿所述出气层(20)的出气孔(21)，所述出气孔(21)通过所述凹槽与所述进气孔(11)连通。

2.根据权利要求1所述的气浮平台，其特征在于，所述凹槽为多个，每个所述凹槽的底部形成有一个所述进气孔(11)。

3.根据权利要求1所述的气浮平台，其特征在于，所述出气孔(21)以矩形阵列的形式设置在所述出气层(20)上。

4.根据权利要求3所述的气浮平台，其特征在于，所述凹槽包括多个长条形的键槽(12)，该键槽(12)沿所述气浮平台的长度方向延伸，所述凹槽还包括在宽度方向上相邻的两个所述键槽(12)之间的连通部(13)，所述进气孔(11)与所述连通部(13)相连通。

5.根据权利要求1所述的气浮平台，其特征在于，所述进气层(10)和出气层(20)的宽度方向的边部分别均匀地设有多个通孔，以通过螺纹件紧固所述进气层(10)和出气层(20)。

6.根据权利要求1所述的气浮平台，其特征在于，所述进气层(10)和出气层(20)之间还设有分流层(30)，所述分流层(30)的上下两端分别贴合所述出气层(20)和进气层(10)，所述分流层(30)上设有对应于所述出气孔(21)的分流孔(31)。

7.根据权利要求6所述的气浮平台，其特征在于，所述分流孔(31)的孔径小于所述出气孔(21)。

8.根据权利要求6所述的气浮平台，其特征在于，所述进气层(10)和分流层(30)之间涂有固定胶，所述进气层(10)、分流层(30)和出气层(20)的宽度方向的边部分别均匀地设有多个通孔，以通过螺纹件紧固所述进气层(10)、分流层(30)和出气层(20)。

9.一种气浮装置，用于放置玻璃基板，其特征在于，包括基座和放置在该基座上的气浮平台，所述气浮平台为根据权利要求1-8中任意一项所述的气浮平台，所述气浮平台为矩形阵列的多个，并且相邻的所述气浮平台贴合设置。

10.一种玻璃基板传送装置，其特征在于，包括：

气浮装置，用于放置所述玻璃基板；

定位装置，用于在传送所述玻璃基板前将所述玻璃基板定位在所述气浮装置上；以及

移动装置，用于驱动所述玻璃基板沿所述气浮装置移动，

所述气浮装置为权利要求9所述的气浮装置，所述定位装置包括用于在长度方向上定位所述玻璃基板的第一气缸(50)，和在宽度方向上定位所述玻璃基板的第二气缸(60)，所述移动装置包括设置在所述气浮装置宽度方向的一侧的真空吸盘(70)，以从单侧吸附所述玻璃基板运动。

11.根据权利要求10所述的玻璃基板传送装置，其特征在于，所述第一气缸(50)为直线气缸，并且为四个，分别用于设置在所述玻璃基板的四角。

12.根据权利要求10所述的玻璃基板传送装置，其特征在于，所述第二气缸(60)为旋转气缸，并且为两个，分别用于设置在所述玻璃基板宽度方向上的一侧。