CN205949403U - 一种硅片超声波清洗槽的清洗液循环过滤装置 - Google Patents
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Abstract
本实用新型涉及一种硅片超声波清洗槽的清洗液循环过滤装置。当前，企业在对硅片进行超声波清洗时采用的清洗槽均没有清洗液循环过滤装置，长时间清洗后，清洗液含有大量的污物，影响后续的清洗效率，使得硅片清洗不彻底，存在不足。本实用新型涉及一种硅片超声波清洗槽的清洗液循环过滤装置，其中：槽体内壁固定有超声波振子，槽体通过出水管与第一水泵连通，第一水泵与过滤槽连通，过滤槽通过进水管与第二水泵连通，第二水泵与槽体连通。本装置采用循环过滤的方式，将清洗液中含有的污物循环过滤掉，保持清洗液干净，提高后续的清洗效率。
Description
技术领域
本实用新型涉及硅片超声波清洗设备技术领域，尤其是一种硅片超声波清洗槽的清洗液循环过滤装置。
背景技术
当前，企业在对硅片进行超声波清洗时采用的清洗槽均没有清洗液循环过滤装置，长时间清洗后，清洗液含有大量的污物，影响后续的清洗效率，使得硅片清洗不彻底，存在不足。
发明内容
本实用新型的目的是提供一种硅片超声波清洗槽的清洗液循环过滤装置，为克服上述的不足，采用循环过滤的方式，将清洗液中含有的污物循环过滤掉，保持清洗液干净，提高后续的清洗效率。
本实用新型的技术方案：
一种硅片超声波清洗槽的清洗液循环过滤装置，包括槽体、超声波振子、出水管、第一水泵；其中：槽体内壁固定有超声波振子，槽体通过出水管与第一水泵连通，第一水泵与过滤槽连通，过滤槽通过进水管与第二水泵连通，第二水泵与槽体连通。
一种硅片超声波清洗槽的清洗液循环过滤装置，其中：过滤槽内部设有过滤棉。
一种硅片超声波清洗槽的清洗液循环过滤装置，其中：过滤棉的数量为2。
本实用新型的优点在于：本装置采用循环过滤的方式，将清洗液中含有的污物循环过滤掉，保持清洗液干净，提高后续的清洗效率。
附图说明
图1为本实用新型的结构示意简图。
附图标记：槽体1、超声波振子2、出水管3、第一水泵4、过滤棉5、过滤槽6、进水管7、第二水泵8。
具体实施方式
实施例1、一种硅片超声波清洗槽的清洗液循环过滤装置，包括槽体1、超声波振子2、出水管3、第一水泵4；其中：槽体1内壁固定有超声波振子2，槽体1通过出水管3与第一水泵4连通，第一水泵4与过滤槽6连通，过滤槽6通过进水管7与第二水泵8连通，第二水泵8与槽体1连通。
实施例2、一种硅片超声波清洗槽的清洗液循环过滤装置，其中：过滤槽6内部设有过滤棉5，将清洗液中含有的污物循环过滤掉，保持清洗液干净，提高后续的清洗效率。其余同实施例1。
实施例3、一种硅片超声波清洗槽的清洗液循环过滤装置，其中：过滤棉5的数量为2，有利于提高过滤效率。其余同实施例2。
工作原理：
在超声波振子2对硅片进行清洗之后，大量的污物溶于清洗液当中，清洗液经过第一水泵4的抽吸作用由出水管3进入到过滤槽6内，在过滤槽6内部经过过滤棉5过滤，过滤后，第二水泵8将清洗液抽出，由进水管7循环进入到槽体1内，动作结束。
Claims (3)
1.一种硅片超声波清洗槽的清洗液循环过滤装置，包括槽体（1）、超声波振子（2）、出水管（3）、第一水泵（4）；其特征在于：槽体（1）内壁固定有超声波振子（2），槽体（1）通过出水管（3）与第一水泵（4）连通，第一水泵（4）与过滤槽（6）连通，过滤槽（6）通过进水管（7）与第二水泵（8）连通，第二水泵（8）与槽体（1）连通。
2.根据权利要求1所述的一种硅片超声波清洗槽的清洗液循环过滤装置，其特征在于：过滤槽（6）内部设有过滤棉（5）。
3.根据权利要求2所述的一种硅片超声波清洗槽的清洗液循环过滤装置，其特征在于：过滤棉（5）的数量为2。
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