CN205926357U - 硅棒检测输送与剔除装置 - Google Patents
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Abstract
本实用新型涉及硅棒检测输送与剔除装置，包括前移载车、后移载车、多条独立动力的传输***、不良品剔除回传***和良品传输***，所述的前移载车上设有外观视觉检测装置、称重传送装置、硅棒检测预处理装置和多端子检测一体机；后移栽车上设有条码识别装置；测试结束后通过独立动力的传输***将测试后的硅棒移送到后移载车上，并通过后移载车上的条码识别传感器对检测结果进行识别和分选，将良品传输到良品输送***，将不良品送入不良品剔除回。本实用新型结构一方面按检测结果自动的将工件做区分，不良品做到自动剔除，而且分拣过程无人化，减少了搬运动作；另一方面可自动完成项目检测减少人工检测的项目，减少了规定项目的检测时间。
Description
技术领域
本实用新型涉及一种自动剔除机构，尤其涉及一种硅棒检测输送与剔除装置。
背景技术
众所周知，硅棒的检测耗时为一个小时左右，检测项目分为硅棒本体的检测和切片检测，本体检测主要是做纵向电阻、晶棒头尾截面少子寿命、端面头尾电阻率，而切片检测耗时最久，但也只有等切片结果出来后，才能将硅棒本体送出。现有的方式一般会将硅棒堆积在检测室中，等检测结果出来后再由人工找出良品硅棒送入下一站，而不良还要搬运回上一站进行处理。这样的检测方式造成硅棒在检测室中堆积，且分流过程浪费大量时间，且易出错，这些问题都急需进行改善。
实用新型内容
本实用新型的目的在于：针对现有技术的缺陷，提出了一种硅棒检测输送与剔除装置，该装置结构简单、设计合理，一方面检测和出料过程无人化，有效提高了准确率，节省人力，另一方面对检测过程的堆积进行了整合，形成了一个缓存“仓库”，而且它的扩展性好，扩展方便。
本实用新型所采用的技术方案是：一种硅棒检测输送与剔除装置，包括前移载车、后移载车、多条独立动力的传输***、不良品剔除回传***和良品传输***，所述的前移载车上设有视觉检测装置、称重传送装置、硅棒检测预处理装置和多端子检测一体机，在前移载车上完成对硅棒的在线完成表面氧化与表面缺陷、任意点直径、长度等外形尺寸和硅棒重量等数据，自动上传数据到MES***中，测试结束后通过独立动力的传输***将测试后的硅棒移送到后移载车上，并通过后移载车上的条码识别传感器对检测结果进行识别和分选，将良品传输到良品输送***，将不良品送入不良品剔除回传***。
在本实用新型中：所述的前移载车和后移载车为无人移载轨道车，前移载车和后移载车的底座上均设有两条相互平行的轨道。
在本实用新型中：所述的多条独立动力的传输***是通过电机进行驱动，每三条独立动力的传输***组成一组传输***，每二组传输***之间设有维修通道，维修通道供人工查看和维护。
在本实用新型中：根据权利要求1所述的硅棒检测输送与剔除装置，其特征在于：所述的前移载车上设有称重传输机构和外观视觉检测装置，所述的称重传输机构包括传动轨道，传动轨道的两侧设有防护栏，所述的外观视觉检测装置与工件检测预处理装置相连。
在本实用新型中: 所述的后移载车、多条独立动力的传输***、不良品剔除回传***和良品传输***均装有防倒护栏，防倒护栏为可转动式立杆，固定在传动轨道两侧。
采用上述技术方案后，本实用新型的有益效果为：本实用新型结构简单稳固，设计合理、维修方便，一方面按检测结果自动的将工件做区分，将不良品回传到下一工序，分拣过程无人化，减少人力，减少了搬运动作；另一方面可自动完成项目检测减少人工检测的项目，减少了规定项目的检测时间。
附图说明
图1为本实用新型的结构示意图；
图2为本实用新型的前移载车示意图；
图3为本实用新型的后移载车示意图；
图中：1. 前移载车；2. 独立动力的传输***；3.后移载车；4.良品输送***；5.维修通道；6.不良品剔除回传***；7. 轨道； 8. 工件检测预处理装置；9.多端子检测一体机；10. 外观视觉检测装置；11.称重传输机构；12.防倒护栏； 13.条码识别传感器；14.传动轨道。
具体实施方式
下面将结合附图对本实用新型作进一步的说明。
由图1-3可见，一种硅棒检测输送与剔除装置，包括前移载车1、后移载车3、多条独立动力的传输***2、不良品剔除回传***6和良品传输***4，所述的前移载车1上设有工件检测预处理装置8、多端子检测一体机9、外观视觉检测装置10和称重传输机构11，在前移载车1上完成对硅棒的任意点打磨，完成纵向电阻、晶棒头尾截面少子寿命、端面头尾电阻率项目的检测，所述的多端子检测一体机9是测试硅棒的纵向电阻、晶棒头尾截面少子寿命、端面头尾电阻率项目，测试结束后通过独立动力的传输***2将测试后的硅棒移送到后移载车3上，并通过后移载车3上的条码识别传感器13对检测结果进行识别和分选，将良品传输到良品输送***4，将不良品送入不良品剔除回传***6。
所述的前移载车1和后移载车3为无人移载轨道车，前移载车1和后移载车3的底座上均设有两条相互平行的轨道7；所述的多条独立动力的传输***2是通过电机进行驱动，每三条独立动力的传输***2组成一组传输***，每二组传输***之间设有维修通道，维修通道5供人工查看和维护；所述的独立动力的传输***2由传动轨道14和防倒护栏12组成，所述的防倒护栏主要防止硅棒侧向掉落。在具体实施时，独立动力的传输***2为并行独立动力模式，具有良好的独立性和扩展性，如果需要检测的在线缓存数量增加，则在两端的移栽轨道车之间增加独立动力的传输***2即可，两端的移栽车可以快速对接。
以上对本实用新型的具体实施方式进行了描述，但本实用新型并不限于以上描述。对于本领域的技术人员而言，任何对本技术方案的同等修改和替代都是在本实用新型的范围之中。因此，在不脱离本实用新型的精神和范围下所作的均等变换和修改，都应涵盖在本实用新型的范围内。
Claims (5)
1.一种硅棒检测输送与剔除装置，其特征在于：包括前移载车、后移载车、多条独立动力的传输***、不良品剔除回传***和良品传输***，所述的前移载车上设有工件检测预处理装置和多端子检测一体机，在前移载车上完成对硅棒的检测前预处理和导电性测试，测试结束后通过独立动力的传输***将测试后的硅棒移送到后移载车上，并通过后移载车上的条码识别传感器对检测结果进行识别和分选，将良品传输到良品输送***，将不良品送入不良品剔除回传***。
2.根据权利要求1所述的硅棒检测输送与剔除装置，其特征在于：所述的前移载车和后移载车为无人移载轨道车，前移载车和后移载车的底座上均设有两条相互平行的轨道。
3.根据权利要求1所述的硅棒检测输送与剔除装置，其特征在于：所述的多条独立动力的传输***是通过电机进行驱动，每三条独立动力的传输***组成一组传输***，每二组传输***之间设有维修通道，维修通道供人工查看和维护。
4.根据权利要求1所述的硅棒检测输送与剔除装置，其特征在于：所述的前移载车上设有称重传输机构和外观视觉检测装置，所述的称重传输机构包括传动轨道，传动轨道的两侧设有防护栏，所述的外观视觉检测装置与工件检测预处理装置相连。
5.根据权利要求1所述的硅棒检测输送与剔除装置，其特征在于：所述的后移载车、多条独立动力的传输***、不良品剔除回传***和良品传输***均装有防倒护栏，防倒护栏为可转动式立杆，固定在传动轨道的两侧。
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| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| CN109499903A (zh) * | 2018-11-27 | 2019-03-22 | 苏州越恒自动化科技有限公司 | 一种硅锭或硅棒的自动检测分拣***及其操作方法 |
| CN110779919A (zh) * | 2019-10-21 | 2020-02-11 | 大同新成新材料股份有限公司 | 一种方便拆卸的芯片硅生产用智能检测设备 |
| CN114047383A (zh) * | 2021-11-02 | 2022-02-15 | 中环领先半导体材料有限公司 | 一种单晶硅棒电阻率的自动化测试设备及方法 |
| CN109499903B (zh) * | 2018-11-27 | 2024-07-26 | 苏州越恒自动化科技有限公司 | 一种硅锭或硅棒的自动检测分拣***及其操作方法 |
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