CN205879132U - 一种亚角秒级测角装置 - Google Patents
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Abstract
本实用新型提供了一种亚角秒级测角装置,所述装置中的工作台位于支承座上方,反馈***位于支承座下方。工作台与支承座之间设置有一轴向支承间隙。芯轴上端与工作台固定联接,下端与反馈***中的码盘固定联接。芯轴与支承座之间设置有一径向支承间隙。驱动电机与支承座固定联接。反馈***中的读数头与支承座的底面固定联接。控制器分别与读数头、驱动器、工控机电联接。驱动器分别与驱动电机电联接。本实用新型适用于多面棱体、多齿分度台、圆光栅、光学度盘等装置角度测量,应用广泛,闭环稳态精度高,具有优良的重复精度,操作方便、简单。
Description
技术领域
本实用新型属于高精度测角技术领域,具体涉及一种亚角秒级测角装置。
背景技术
角度测量是几何量计量技术的重要组成部分,目前主要有以下几类测角方法:机械测角法、电磁测角法、光学测角法和光电测角法等。机械测量法以多齿分度台为代表,其结构简单、成本低,但通常存在设备体积大、不能进行任意角度的测量缺点;电磁测角法以感应同步器为代表,其运行速度快、稳定可靠,但存在与被测***耦合度高、装配精度要求高的缺点;光学测角法以激光干涉测角仪和光电自准直仪为代表,其具有高精度、非接触的优点,但同时存在光路复杂、测角范围小的缺点;光电测角法以光学码盘式传感器测角和图像传感器测角为代表,二者都有广泛的应用,但前者存在测角分辨率受限的缺点,后者则存在环境适应性差、现场调试复杂的缺点。
名称为一种“高精度动态测角装置及方法”(公告号:CN 105091844 A)的中国专利提供了一种基于高度细分的空间四频差动激光陀螺,以单位时间内的角度增量输出的高精度动态测角装置,该装置的测角精度高,动态范围大,对被测载体无反力矩作用,适用于对转轴的动态特性进行高精度的测量,但无法满足静态角度测量要求。名称为“测角装置”(公告号:CN 1936505 A)的中国专利提供了一种基于规则信号发生元件、不规则发生元件的转动装置以及用于获取信号的传感器的测角装置,该装置可以方便快捷的进行角度测量,适用性强,但是测量***精度不高。
发明内容
本实用新型的目的是提供一种亚角秒级测角装置,本实用新型能够满足高精度角度测试,具有极高的回转精度和轴向精度,分辨率高、测角精度高、温度系数小、测量对象应用广泛。
本实用新型的技术方案如下:
本实用新型的亚角秒级测角装置,其特点是,所述的测角装置包括数个驱动电机、工作台、芯轴、反馈***、支承座、角度显示器、驱动器、控制器、工控机。其中,反馈***含***盘及读数头。其连接关系是,所述的工作台位于支承座上方,反馈***位于支承座下方。工作台与支承座之间设置有一轴向支承间隙。芯轴位于支承座的中心,芯轴上端与工作台固定联接,下端与反馈***中的码盘固定联接。芯轴与支承座之间设置有一径向支承间隙。支承座上设置有驱动电机,驱动电机与支承座固定联接。反馈***中的读数头与支承座的底面固定联接。控制器分别与读数头、驱动器、工控机电联接。驱动器分别与驱动电机电联接;被测对象置于工作台上,并与角度显示器电联接。
所述的驱动电机设置数量为2~4个,均布在工作台的周围,用于驱动工作台回转运动。
所述的被测对象的中心轴线、芯轴的旋转中心轴为同轴设置。
所述的轴向支承间隙、径向支承间隙采用空气作为支承介质。
所述的反馈***的码盘中心轴线、芯轴的旋转中心轴为同轴设置。
本实用新型中的被测对象可以是多面棱体、多齿分度台、圆光栅、光学度盘等角度装置中的一种。
当被测对象为多面棱体或多齿分度台时,角度显示器采用光电自准直仪。
当被测对象为圆光栅时,角度显示器采用莫尔条纹读数头。
当被测对象为光学度盘时,角度显示器采用光电显微镜。
本实用新型中的工作台与支承座之间采用空气静压支承,使得整个轴系实现高精度旋转,获得较高的回转精度和轴向精度。
本实用新型中驱动电机可以是压电陶瓷电机、力矩电机或伺服电机。
当所述的驱动电机采用压电陶瓷电机时,驱动电机与工作台之间通过摩擦驱动。
当所述的驱动电机采用力矩电机或伺服电机时,驱动电机与工作台之间通过电磁驱动。
本实用新型中的反馈***将信号实时反馈至控制器,控制器与工控机通信,同时将控制信号发送至驱动器,驱动器控制驱动电机使***旋转至指定位置。
本实用新型的有益效果是,采用超高精度空气静压轴系,具有极高的回转精度和轴向精度;当采用纳米级摩擦驱动时,采用高刻线精度、高倍细分的反馈***,具有分辨率高、测角精度高、温度系数小等优点;本实用新型适用于多面棱体、圆光栅、码盘、多齿分度台等装置角度测量,应用广泛,闭环稳态精度高,具有优良的重复精度,操作方便、简单,具有较佳的实际应用价值。
附图说明
图1为本实用新型的一种亚角秒级测角装置结构示意图;
图中,1.驱动电机 3.工作台 4.被测对象 5.芯轴 7.码盘 8.支承座 9.角度显示器 10.驱动器 11.控制器 12.工控机 13.读数头。
具体实施方式
下面结合附图及实施例详细说明本实用新型内容。
以下实施例仅用于说明本实用新型,而并非对本实用新型的限制。有关技术领域的人员在不脱离本实用新型的精神和范围的情况下,还可以做出各种变化、替换和变型,因此同等的技术方案也属于本实用新型的范畴。
实施例1
图1为本实用新型的一种亚角秒级测角装置结构示意图。在图1中,本实用新型的亚角秒级高精度测角装置包括驱动电机1、工作台3、芯轴5、反馈***、支承座8、角度显示器9、驱动器10、控制器11、工控机12。其中,反馈***含***盘7及读数头13。其连接关系是,所述的工作台3位于支承座8上方,反馈***位于支承座8下方。工作台3与支承座8之间设置有一轴向支承间隙。芯轴5上端与工作台3固定联接,下端与反馈***中的码盘7固定联接。芯轴5位于支承座8的中心,芯轴5与支承座8之间设置有一径向支承间隙。支承座8上设置有驱动电机,驱动电机1与支承座8固定联接。反馈***中的读数头13与支承座8的底面固定联接。控制器11分别与读数头13、驱动器10、工控机12电联接。驱动器10分别与驱动电机1电联接。被测对象4置于工作台3上,并与角度显示器9电联接。
所述的被测对象4的中心轴线、芯轴5的旋转中心轴为同轴设置。
所述的轴向支承间隙、径向支承间隙采用空气作为支承介质,使得整个轴系实现高精度旋转,获得较高的回转精度和轴向精度。
所述的反馈***的码盘7的中心轴线、芯轴5的旋转中心轴为同轴设置。
本实施例中,所述的驱动电机设置数量为四个,均布在工作台3的周围,驱动电机1为其中一个,驱动电机用于驱动工作台3回转运动。
本实用新型中的反馈***将信号实时反馈至控制器11,控制器11与工控机12通信,同时将控制信号发送至驱动器10,驱动器10控制驱动电机1使***旋转至指定位置。
本实施例中,被测对象4为多面棱体;角度显示器9采用光电自准直仪;驱动电机1采用压电陶瓷电机,压电陶瓷电机与工作台3之间通过摩擦驱动。
在本实施例中,对一块0级36面多面棱体的角度精度进行检测。实施步骤为:
1. 将亚角秒级高精度测角装置安装在一隔振地基上。
2.调整多面棱体回转中心轴线与测角装置回转中心轴线,使其偏差不大于0.002mm。
3. 调整光电自准直仪,使光电自准直仪出射平行光的光束中心与多面棱体工作面中心重合,视轴垂直于棱体工作面并与中心重合。
4. 按多面棱体的相邻面分度角度旋转测角装置检测多面棱体。
实施例2
本实施例与实施例1的结构相同,不同之处是,被测对象4为圆光栅;角度显示器9采用莫尔条纹读数头;驱动电机1采用力矩电机,力矩电机与工作台3之间通过电磁驱动。
Claims (5)
1.一种亚角秒级测角装置,其特征在于,所述的测角装置包括数个驱动电机(1)、工作台(3)、芯轴(5)、反馈***、支承座(8)、显示器(9)、驱动器(10)、控制器(11)、工控机(12);其中,反馈***含***盘(7)及读数头(13);其连接关系是,所述的工作台(3)位于支承座(8)上方,反馈***位于支承座(8)下方;工作台(3)与支承座(8)之间设置有一轴向支承间隙;芯轴(5)位于支承座(8)的中心,芯轴(5)上端与工作台(3)固定联接,下端与反馈***中的码盘(7)固定联接;芯轴(5)与支承座(8)之间设置有一径向支承间隙;支承座(8)上设置有驱动电机(1),驱动电机(1)与支承座(8)固定联接;反馈***中的读数头(13)与支承座(8)的底面固定联接;控制器(11)分别与读数头(13)、驱动器(10)、工控机(12)电联接;驱动器(10)分别与驱动电机(1)电联接;被测对象(4)置于工作台(3)上,并与显示器(9)电联接。
2.根据权利要求1所述的亚角秒级测角装置,其特征在于,所述的驱动电机(1)设置数量为2~4个,均布在工作台(3)的周围,用于驱动工作台(3)回转运动。
3.根据权利要求1所述的亚角秒级测角装置,其特征在于,所述的被测对象(4)的中心轴线、芯轴(5)的旋转中心轴为同轴设置。
4.根据权利要求1所述的亚角秒级测角装置,其特征在于,所述的轴向支承间隙、径向支承间隙采用空气作为支承介质。
5.根据权利要求1所述的亚角秒级测角装置,其特征在于,所述的反馈***的码盘(7)的中心轴线、芯轴(5)的旋转中心轴为同轴设置。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
CN201620778968.1U CN205879132U (zh) | 2016-07-22 | 2016-07-22 | 一种亚角秒级测角装置 |
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CN201620778968.1U CN205879132U (zh) | 2016-07-22 | 2016-07-22 | 一种亚角秒级测角装置 |
Publications (1)
Publication Number | Publication Date |
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CN205879132U true CN205879132U (zh) | 2017-01-11 |
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Family Applications (1)
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CN201620778968.1U Active CN205879132U (zh) | 2016-07-22 | 2016-07-22 | 一种亚角秒级测角装置 |
Country Status (1)
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CN (1) | CN205879132U (zh) |
Cited By (2)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
CN106123809A (zh) * | 2016-07-22 | 2016-11-16 | 中国工程物理研究院机械制造工艺研究所 | 一种亚角秒级测角装置 |
CN113483728A (zh) * | 2021-07-03 | 2021-10-08 | 东华理工大学 | 一种用于高精度电子经纬仪的纳米级干涉条纹测角*** |
-
2016
- 2016-07-22 CN CN201620778968.1U patent/CN205879132U/zh active Active
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CN113483728A (zh) * | 2021-07-03 | 2021-10-08 | 东华理工大学 | 一种用于高精度电子经纬仪的纳米级干涉条纹测角*** |
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