CN205752119U - 一种防止喷嘴堵塞的喷淋装置 - Google Patents

Abstract

本实用新型公开了一种防止喷嘴堵塞的喷淋装置，包括喷淋管路和供液管路，所述喷淋管路上连接多个喷嘴，所述供液管路与所述喷淋管路连通，所述喷淋装置中还设有与所述喷淋管路连通的供气管路，所述供液管路上设有控制所述喷淋管路进液的第一控制阀，所述供气管路上设有控制所述喷淋管路进气的第二控制阀。本实用新型提供的喷淋装置是通过在目前的喷淋管路上增加一个供气管路，在供液管路作业结束后，即喷淋停止后，关闭第一控制阀，开启第二控制阀，利用空气的压力将残留在喷淋管路中的药液强制排出，没有了残留的药液，喷嘴处就不会有晶体或胶状物生成，自然不会发生堵塞。

Description

一种防止喷嘴堵塞的喷淋装置

技术领域

本实用新型涉及湿法刻蚀技术领域，具体涉及一种防止喷嘴堵塞的喷淋装置。

背景技术

目前部分湿法刻蚀设备所使用的药液有较为粘稠的磷酸，也有易结晶的草酸，这些药液在喷淋结束后会有一部分残留在喷嘴中，经过一段时间就会生成一种胶状物以及晶体将喷嘴堵上，影响了后续作业的喷淋效果，进而影响了刻蚀的均一性。因此，当喷淋完成后需要人为定期对喷嘴所残留的药液进行清理，效率低下，所需清理时间较长，同时影响喷嘴的使用寿命。

实用新型内容

因此，本实用新型要解决的技术问题是延长喷嘴寿命，减少人工清洁强大的工作量，从而提供一种防止喷嘴堵塞的喷淋装置。

一种防止喷嘴堵塞的喷淋装置，包括喷淋管路和供液管路，所述喷淋管路上设有多个喷嘴，所述供液管路与所述喷淋管路连通，所述喷淋装置上还设有与所述喷淋管路连通的供气管路，所述供液管路上设有控制所述喷淋管路进液的第一控制阀，所述供气管路上设有控制所述喷淋管路进气的第二控制阀。

所述喷淋装置中还设有一主控制器，所述主控制器分别控制所述第一控制阀和第二控制阀的启闭。

所述主控制器为PLC控制器。

所述主控制器呈间歇式控制所述第二控制阀的启闭。

所述主控制器在控制所述第一控制阀关闭后，连续控制所述第二控制阀的启闭次数为2-4次。

所述第一控制阀和第二控制阀分别为气动控制阀。

所述供气管路设置于所述供液管路上。

所述供气管路直接与所述喷淋管路相连接。

本实用新型技术方案，具有如下优点：

A.本实用新型提供的喷淋装置是通过在目前的喷淋管路上增加一个供气管路，在供液管路作业结束后，即喷淋停止后，关闭第一控制阀，开启第二控制阀，利用空气的压力将残留在喷淋管路中的药液强制排出，没有了残留的药液，喷嘴处就不会有晶体或胶状物生成，自然不会发生堵塞。

B.本实用新型有效延长了喷嘴寿命，提高了刻蚀均一性，还省去了人工清洁所带来的强大工作量，避免了人工清洁潜在的危险。

附图说明

为了更清楚地说明本实用新型具体实施方式或现有技术中的技术方案，下面将对具体实施方式或现有技术描述中所需要使用的附图作简单地介绍，显而易见地，下面描述中的附图是本实用新型的一些实施方式，对于本领域普通技术人员来讲，在不付出创造性劳动的前提下，还可以根据这些附图获得其他的附图。

图1是本实用新型所提供的第一种喷淋装置结构示意图；

图2是本实用新型所提供的第二种喷淋装置结构示意图；

图3是本实用新型所提供的第三种喷淋装置结构示意图。

附图标记说明：

1-喷淋管路；2-供液管路；3-喷嘴；4-供气管路；5-第一控制阀；6-第二控制阀；7-主控制器。

具体实施方式

下面将结合附图对本实用新型的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例是本实用新型一部分实施例，而不是全部的实施例。基于本实用新型中的实施例，本领域普通技术人员在没有做出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例，都属于本实用新型保护的范围。

在本实用新型的描述中，需要说明的是，除非另有明确的规定和限定，术语“安装”、“相连”、“连接”应做广义理解，例如，可以是固定连接，也可以是可拆卸连接，或一体地连接；可以是机械连接，也可以是电连接；可以是直接相连，也可以通过中间媒介间接相连，可以是两个元件内部的连通。对于本领域的普通技术人员而言，可以结合具体情况理解上述术语在本实用新型中的具体含义。

实施例1

如图1所示，本实用新型提供了一种防止喷嘴堵塞的喷淋装置，包括喷淋管路1和供液管路2，在喷淋管路1上连接有多个喷嘴3，供液管路2与喷淋管路1连通，其中的供气管路4直接连接在供液管路2上，供液管路2上设有控制喷淋管路1进液的第一控制阀5，供气管路4上设有控制喷淋管路1进气的第二控制阀6。

本实用新型仅对现有的喷淋装置进行稍加改进，即可实现喷嘴免堵塞。通过在现有的喷淋管路1上增加一个供气管路4，在使用时，在供液管路2作业结束后，即喷淋停止后，关闭第一控制阀5，开启第二控制阀6，利用空气的压力将残留在喷淋管路1中的药液强制排出，没有了残留的药液，喷嘴3处就不会有晶体或胶状物生成，避免喷嘴3处发生堵塞。

实施例2

如图2所示，与实施例1相比，实施例2增加了喷淋装置的自动化程度，本实用新型在喷淋装置中还设有一主控制器7，主控制器7分别控制第一控制阀5和第二控制阀6的启闭。当然，这里优选的主控制器7为PLC控制器，第一控制阀5和第二控制阀6分别优选为气动控制阀，可通过PLC控制器定期对喷淋管路1和喷嘴3进行清洁，大大提高了喷嘴的清洁效率。

本实用新型中主控制器7呈间歇式控制第二控制阀6的启闭，即通过一脉冲形式将喷嘴3和喷淋管路1中的残留液体进行快速清洁。

在一次清洁中，即主控制器7在控制第一控制阀5关闭后，连续控制第二控制阀6的启闭次数为2-4次，快速将喷嘴3中的残留物质排出。

当设备停止运转，喷淋结束时，主控制器7通过PLC程序控制第一控制阀5关闭，第二控制阀6打开，将空气充入管道，管道内的空气压力会将残留在喷嘴3处的药液排出，从而杜绝了药液结晶或生成胶状物质的可能性，避免喷嘴3被堵。

实施例3

与实施例2不同的是，本实用新型可以将供气管路4直接连接在喷淋管路1上，如图3所示。喷淋结束时，主控制器7通过PLC程序控制第一控制阀5关闭，即供液管路2停止供液，与喷淋管路1直接相连通的供气管路4上的第二控制阀6打开，将空气直接充入喷淋管路1中，喷淋管路1内的空气压力会将残留在喷嘴3处的药液排出，从而杜绝了药液结晶或生成胶状物质的可能性，避免喷嘴3被堵。

本实用新型通过对喷嘴进行清理，有效延长了喷嘴寿命，提高了刻蚀均一性，还省去了人工清洁喷嘴所带来的强大工作量，避免了人工清洁潜在的危险。

显然，上述实施例仅仅是为清楚地说明所作的举例，而并非对实施方式的限定。对于所属领域的普通技术人员来说，在上述说明的基础上还可以做出其它不同形式的变化或变动。这里无需也无法对所有的实施方式予以穷举。而由此所引伸出的显而易见的变化或变动仍处于本实用新型创造的保护范围之中。

Claims (8)

1.一种防止喷嘴堵塞的喷淋装置，包括喷淋管路(1)和供液管路(2)，所述喷淋管路(1)上设有多个喷嘴(3)，所述供液管路(2)与所述喷淋管路(1)连通，其特征在于，所述喷淋装置上还设有与所述喷淋管路(1)连通的供气管路(4)，所述供液管路(2)上设有控制所述喷淋管路(1)进液的第一控制阀(5)，所述供气管路(4)上设有控制所述喷淋管路(1)进气的第二控制阀(6)。

2.根据权利要求1所述的喷淋装置，其特征在于，所述喷淋装置中还设有一主控制器(7)，所述主控制器(7)分别控制所述第一控制阀(5)和第二控制阀(6)的启闭。

3.根据权利要求2所述的喷淋装置，其特征在于，所述主控制器(7)为PLC控制器。

4.根据权利要求3所述的喷淋装置，其特征在于，所述主控制器(7)呈间歇式控制所述第二控制阀(6)的启闭。

5.根据权利要求4所述的喷淋装置，其特征在于，所述主控制器(7)在控制所述第一控制阀(5)关闭后，连续控制所述第二控制阀(6)的启闭次数为2-4次。

6.根据权利要求1所述的喷淋装置，其特征在于，所述第一控制阀(5)和第二控制阀(6)分别为气动控制阀。

7.根据权利要求1-6任一所述的喷淋装置，其特征在于，所述供气管路(4)设置于所述供液管路(2)上。

8.根据权利要求1-6任一所述的喷淋装置，其特征在于，所述供气管路(4)直接与所述喷淋管路(1)相连接。