CN205436449U - 一种改进型太阳能多晶硅片清洗设备 - Google Patents
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Abstract
本实用新型公开了一种改进型太阳能多晶硅片清洗设备，涉及半导体清洗设备技术领域，包括转筒装置，动力装置和清洗装置，转筒装置包括扭簧，外筒和内筒，扭簧连接有内筒，内筒连接有外筒，外筒内表面设有超声波装置，外表面设有齿条；动力装置包括动力机滑轨，动力机和动力齿轮，动力机滑轨内连接有动力机，动力机连接有动力齿轮，动力齿轮与齿条连接；本实用新型设有转筒装置和清洗装置，采用先将多晶硅片在碱溶液中浸泡，再在去离子水中往复旋转，利用多晶硅片惯性进行海绵擦洗，并同时采用超声波清洁的清洗方式，清洗效果好，同时海绵具有缓冲作用，避免损伤多晶硅片。
Description
技术领域
本实用新型涉及半导体清洗设备技术领域，具体涉及一种太阳能多晶硅片清洗设备。
背景技术
多晶硅片是指将多晶材料切割和研磨后获得的一定平面的硅材料产品，因为切割和研磨通常采用机械加工方式，加上硅片表面因化学键影响具有较强的表面吸附力，所以硅片表面容易吸附切割砂浆、研磨砂、有机杂质、无机杂质、金属离子和硅粉等污染物，现有的多晶硅片清洗设备，清洗方式过于简单，难以同时清除多种吸附污染物，清洗不够彻底，同时清洗过程易划伤硅片，造成硅片表面杂质清洗不彻底导致的发生边花、发蓝、发黑或因清洗不当产生的清洗损伤的问题，严重影响后续生产。
实用新型内容
(一)解决的技术问题
本实用新型所要解决的技术问题是提供了一种改进型太阳能多晶硅片清洗设备，以克服现有的多晶硅片清洗设备，清洗方式过于简单，难以同时清除多种吸附污染物，清洗不够彻底，清洗过程易划伤硅片，造成硅片表面杂质清洗不彻底导致的发生边花、发蓝、发黑或因清洗不当产生的清洗损伤的问题。
(二)技术方案
为实现以上目的，本实用新型通过以下技术方案予以实现：一种改进型太阳能多晶硅片清洗设备，包括转筒装置(1)和动力装置(2)，还包括清洗装置(3)，所述转筒装置(1)连接有动力装置(2)，所述转筒装置(1)上方设有清洗装置(3)；所述转筒装置(1)包括扭簧(101)，外筒(102)和内筒(103)，所述扭簧(101)连接有内筒(103)，所述内筒(103)连接有外筒(102)，所述外筒(102)内表面设有超声波装置(1021)，外表面设有齿条(1022)；所述动力装置(2)包括动力机滑轨(201)，动力机(202)和动力齿轮(203)，所述动力机滑轨(201)内连接有动力机(202)，所述动力机(202)连接有动力齿轮(203)，所述动力齿轮(203)与齿条(1022)连接。
进一步的，所述清洗装置(3)包括伸缩装置(301)，伸缩连杆(302)，清洗连板(303)和网篮装置(304)，所述伸缩装置(301)连接有伸缩连杆(302)，所述伸缩连杆(302)连接有清洗连板(303)，所述清洗连板(303)连接有网篮装置(304)。
进一步的，所述网篮装置(304)包括网篮伸缩杆(3041)，网篮连板(3042)，网篮(3043)和缓冲清洗海绵(3044)，所述清洗连板(303)连接有网篮伸缩杆(3041)，所述网篮伸缩杆(3041)连接有网篮连板(3042)，所述网篮连板(3042)连接有网篮(3043)，所述网篮(3043)内设有缓冲清洗海绵(3044)。
进一步的，所述清洗连板(303)均布连接有至少四个网篮装置(304)。
(三)有益效果
本实用新型提供了一种改进型太阳能多晶硅片清洗设备，设有转筒装置和清洗装置，采用先将多晶硅片在碱溶液中浸泡，再在去离子水中往复旋转，利用多晶硅片惯性进行海绵擦洗，并同时采用超声波清洁的清洗方式，清洗效果好，同时海绵具有缓冲作用，避免损伤多晶硅片。
附图说明
图1为本实用新型的结构示意图；
图2为本实用新型转筒装置的结构示意图；
图3为本实用新型动力装置的结构示意图；
图4为本实用新型清洗装置的结构示意图；
图5为本实用新型网篮装置的结构示意图。
图中：
1、转筒装置；101、扭簧；102、外筒；1021、超声波装置；1022、齿条；103、内筒；2、动力装置；201、动力机滑轨；202、动力机；203、动力齿轮；3、清洗装置；301、伸缩装置；302、伸缩连杆；303、清洗连板；304、网篮装置；3041、网篮伸缩杆；3042、网篮连板；3043、网篮；3044、缓冲清洗海绵。
具体实施方式
为使本实用新型实施例的目的、技术方案和优点更加清楚，下面将结合本实用新型实施例，对本实用新型实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例是本实用新型一部分实施例，而不是全部的实施例。基于本实用新型中的实施例，本领域普通技术人员在没有作出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例，都属于本实用新型保护的范围。
如图1～图5所示，其结构关系为：包括转筒装置1和动力装置2，还包括清洗装置3，所述转筒装置1连接有动力装置2，所述转筒装置1上方设有清洗装置3；所述转筒装置1包括扭簧101，外筒102和内筒103，所述扭簧101连接有内筒103，所述内筒103连接有外筒102，所述外筒102内表面设有超声波装置1021，外表面设有齿条1022；所述动力装置2包括动力机滑轨201，动力机202和动力齿轮203，所述动力机滑轨201内连接有动力机202，所述动力机202连接有动力齿轮203，所述动力齿轮203与齿条1022连接。
优选的，所述清洗装置3包括伸缩装置301，伸缩连杆302，清洗连板303和网篮装置304，所述伸缩装置301连接有伸缩连杆302，所述伸缩连杆302连接有清洗连板303，所述清洗连板303连接有网篮装置304。
优选的，所述网篮装置304包括网篮伸缩杆3041，网篮连板3042，网篮3043和缓冲清洗海绵3044，所述清洗连板303连接有网篮伸缩杆3041，所述网篮伸缩杆3041连接有网篮连板3042，所述网篮连板3042连接有网篮3043，所述网篮3043内设有缓冲清洗海绵3044。
优选的，所述清洗连板303均布连接有至少四个网篮装置304。
具体使用时，内筒103中盛放浸泡多晶硅片的碱性溶液，外筒102中盛放清洗用去离子水，将需要清洗的多晶硅片至于网篮3043的缓冲清洗海绵3044中，网篮伸缩杆3041处于缩短状态，伸缩装置301带动网篮装置304向下运动，直至网篮304及其中放置的多晶硅片浸入内筒103中盛放的碱性溶液中。
浸泡一段时间后，伸缩装置301带动网篮装置304向上运动，直至网篮304移动至转筒装置1上方，网篮伸缩杆3041伸长，伸缩装置301带动网篮装置304向下运动，直至网篮304及其中放置的多晶硅片浸入外筒102中盛放的去离子水中，超声波装置1021进行超声波清洁。
同时，动力装置2和转筒装置1重复以下过程多次：动力机滑轨201带动动力机202靠近外筒102，直至动力齿轮203与齿条1022连接，动力机202工作，带动外筒102转动，直至扭簧101扭紧，动力机滑轨201带动动力机202远离外筒102，直至动力齿轮203与齿条1022脱离连接，外筒102在扭簧101的作用下反向转动；网篮304中的多晶硅片在去离子水的冲击作用下，产生于缓冲清洗海绵3044的往复相对位移，多晶硅片表面被擦洗干净，同时缓冲清洗海绵3044具有缓冲作用，避免多晶硅片受损。
综上，本实用新型实施例具有如下有益效果：设有转筒装置和清洗装置，采用先将多晶硅片在碱溶液中浸泡，再在去离子水中往复旋转，利用多晶硅片惯性进行海绵擦洗，并同时采用超声波清洁的清洗方式，清洗效果好，同时海绵具有缓冲作用，避免损伤多晶硅片。
需要说明的是，在本文中，诸如第一和第二等之类的关系术语仅仅用来将一个实体或者操作与另一个实体或操作区分开来，而不一定要求或者暗示这些实体或操作之间存在任何这种实际的关系或者顺序。而且，术语“包括”、“包含”或者其任何其他变体意在涵盖非排他性的包含，从而使得包括一系列要素的过程、方法、物品或者设备不仅包括那些要素，而且还包括没有明确列出的其他要素，或者是还包括为这种过程、方法、物品或者设备所固有的要素。在没有更多限制的情况下，由语句“包括一个……”限定的要素，并不排除在包括所述要素的过程、方法、物品或者设备中还存在另外的相同要素。
以上实施例仅用以说明本实用新型的技术方案，而非对其限制；尽管参照前述实施例对本实用新型进行了详细的说明，本领域的普通技术人员应当理解：其依然可以对前述各实施例所记载的技术方案进行修改，或者对其中部分技术特征进行等同替换；而这些修改或者替换，并不使相应技术方案的本质脱离本实用新型各实施例技术方案的精神和范围。
Claims (4)
1.一种改进型太阳能多晶硅片清洗设备，包括转筒装置(1)和动力装置(2)，其特征在于：还包括清洗装置(3)，所述转筒装置(1)连接有动力装置(2)，所述转筒装置(1)上方设有清洗装置(3)；所述转筒装置(1)包括扭簧(101)，外筒(102)和内筒(103)，所述扭簧(101)连接有内筒(103)，所述内筒(103)连接有外筒(102)，所述外筒(102)内表面设有超声波装置(1021)，外表面设有齿条(1022)；所述动力装置(2)包括动力机滑轨(201)，动力机(202)和动力齿轮(203)，所述动力机滑轨(201)内连接有动力机(202)，所述动力机(202)连接有动力齿轮(203)，所述动力齿轮(203)与齿条(1022)连接。
2.根据权利要求1所述的一种改进型太阳能多晶硅片清洗设备，其特征在于：所述清洗装置(3)包括伸缩装置(301)，伸缩连杆(302)，清洗连板(303)和网篮装置(304)，所述伸缩装置(301)连接有伸缩连杆(302)，所述伸缩连杆(302)连接有清洗连板(303)，所述清洗连板(303)连接有网篮装置(304)。
3.根据权利要求2所述的一种改进型太阳能多晶硅片清洗设备，其特征在于：所述网篮装置(304)包括网篮伸缩杆(3041)，网篮连板(3042)，网篮(3043)和缓冲清洗海绵(3044)，所述清洗连板(303)连接有网篮伸缩杆(3041)，所述网篮伸缩杆(3041)连接有网篮连板(3042)，所述网篮连板(3042)连接有网篮(3043)，所述网篮(3043)内设有缓冲清洗海绵(3044)。
4.根据权利要求2或3中任意一项所述的一种改进型太阳能多晶硅片清洗设备，其特征在于：所述清洗连板(303)均布连接有至少四个网篮装置(304)。
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