CN204417655U - 晶体生长炉电源用水循环装置 - Google Patents
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Abstract
本实用新型涉及晶体生长炉电源用水循环装置，包括：内循环纯水冷却装置、外循环水冷却装置、热交换装置，所述内循环纯水冷却装置的水路与热交换装置的容水器组成水路的联通器，在热交换装置的容水器内部设置有外循环水冷却装置的冷凝器，冷凝器的水路与热交换装置的容水器是相互隔离的；晶体炉电源的内部水路、内循环纯水冷却装置、热交换装置的容水器构成一个封闭的内循环纯水***，外循环水冷却装置的水路自身为一个封闭的外循环水***。其可广泛应用于晶体生长炉电源等可靠性要求高、需要长时间提供水冷却的各种电源设备。
Description
技术领域
本实用新型涉及到一种晶体生长炉电源用水循环装置，可应用于晶体生长炉电源等可靠性要求高、需要长时间提供水冷却的各种电源设备。
背景技术
目前所使用的晶体生长炉电源用水循环装置，通常使用外循环水直接通入电源内部进行冷却，这种冷却方式受水质、水的温度影响较大。因电源内部结构限制水路管径较小，在使用外循环水的水质较差的情况下，容易在电源内部的水路内结垢导致堵塞影响电源的散热；因电源内部大多使用水冷的铝散热器或水冷的铜排，在使用外循环水温度较低的情况下，则容易产生结露的现象影响电源的绝缘。另外晶体生长炉电源是需要长时间高精度稳定运行的设备，这种直接使用外循环水进行冷却的方式受到的制约条件较多很难满足长时间稳定工作的要求。
实用新型内容
本实用新型所要解决的技术问题是：提供一种能针对晶体生长炉内结构，采用不同的冷却***的晶体生长炉电源用水循环装置。
为解决上述问题，本实用新型采用的技术方案是：晶体生长炉电源用水循环装置，包括：内循环纯水冷却装置、外循环水冷却装置、热交换装置，所述内循环纯水冷却装置的水路与热交换装置的容水器组成水路的联通器，在热交换装置的容水器内部设置有外循环水冷却装置的冷凝器，冷凝器的水路与热交换装置的容水器是相互隔离的；晶体炉电源的内部水路、内循环纯水冷却装置、热交换装置的容水器构成一个封闭的内循环纯水***，外循环水冷却装置的水路自身为一个封闭的外循环水***；晶体炉电源工作时产生的热量由内循环纯水***带至热交换装置的容水器内，容水器内的热量再由设置在容水器内的外循环水冷却装置的冷凝器通过流经冷凝器的水将热量带至外循环冷却***进行冷却。
在热交换装置的出水口与晶体生长炉电源的进水口的水路上设置有水泵、流量调节阀、电接点压力表，热交换装置的进水口与晶体长长炉电源的出水口的水路上设置有电磁阀；在晶体炉生长炉电源的进水口设置有旁路与外循环水冷却装置的回水口连通，在该旁路上设置有2个电磁阀；在晶体炉生长炉电源的回水口设置有旁路与外循环水冷却装置的进水口连通，在该旁路上设置有1个电磁阀。
***监测到***故障时，可自动切换电磁阀，内循环纯水装置应急打开旁路，晶体生长炉电源的冷却改由外循环水装置进行冷却，故障排除后给出复位信号自动切换电磁阀，重新恢复内循环水冷却装置的工作。
热交换装置的冷凝器为多组直铜管焊接在上部法兰盖和下部法兰座之间；热交换装置的容水器设置有加纯净水的加水口和放水口。
本实用新型的有益效果是：上述结构的晶体生长炉电源用水循环装置将电源使用的水循环分成了内循环纯水***和外循环冷却***两个相互隔离的水***，对水质要求高的晶体生长炉电源使用纯水作为水循环的介质，对水质要求不高的外循环装置使用普通的工业用水，从而降低了使用成本和设备水循环故障率。
附图说明
图1是本实用新型所述晶体生长炉电源用水循环装置的水路原理图；
图2是本实用新型所述晶体生长炉电源用水循环装置的正视外形图；
图3是本实用新型所述晶体生长炉电源用水循环装置的侧视外形图；
图4是本实用新型所述晶体生长炉电源用水循环装置的俯视外形图；
图5是本实用新型所述晶体生长炉电源用水循环装置的冷凝器结构示意图；
图6是图5是俯视结构示意图；
图中：1、内循环纯水冷却装置，111、内循环纯水装置的进水口，112、内循环纯水装置的出水口，12、水路，13、电接点压力表，2、热交换装置，211、热交换装置的出水口，212、内循环纯水装置的旁路进水口，213、内循环纯水装置的旁路出水口，214、热交换装置的进水口，215、外循环水冷却装置的旁路进水口，217、外循环水冷却装置的回水口，22、冷凝器，23、容水器，24、水泵，25、流量调节阀，261、262、263、264、电磁阀，271、电接点温度液位计，281、加水口，282、放水口，283、上部法兰盖，284、下部法兰座，3、外循环水冷却装置。
具体实施方式
下面通过具体实施例对本实用新型所述的晶体生长炉电源用水循环装置作进一步的详细描述。
如图1、图2、图3、图4所示，本实施例中，所述的晶体生长炉电源用水循环装置，包括：内循环纯水冷却装置1、外循环水冷却装置3、热交换装置2，内循环纯水冷却装置1的水路12与热交换装置2的容水器23通过接口组成水路的联通器，在热交换装置2的容水器23内部设置有外循环水冷却装置3的冷凝器22，冷凝器22的水路与热交换装置的容水器23是相互隔离的。内循环纯水装置1的内部水路12、热交换装置2的容水器23构成一个封闭的内循环纯水***，外循环水冷却装置3的水路和热交换装置2的冷凝器22构成一个外循环水***，外循环***可以是开放式，也可以是封闭式的。晶体炉电源工作时产生的热量由内循环纯水***带至热交换装置2的容水器23内，容水器23内的热量再由设置在容水器23内的冷凝器22通过流经冷凝器22的水将热量带至外循环水冷却装置3进行冷却。
在热交换装置的出水口211与内循环纯水装置的进水口111的水路上设置有水泵24、流量调节阀25、电接点压力表13，热交换装置的进水口214与内循环纯水装置的出水口112的水路上设置有电磁阀262。在内循环纯水装置1的旁路进水口212和外循环水冷却装置3的回水口217连通，在该旁路上设置有1个电磁阀263。在内循环纯水装置的旁路出水口213和外循环水冷却装置3的旁路进水口215连通，在该旁路上设置有1个电磁阀261。
所述的晶休生长炉电源用水循环装置，热交换装置2装有电接点温度液位计271，可监测水路的温度和水位是否有异常，内循环纯水装置1装有电接点压力表13，可监测水路的压力是否异常。如果内循环纯水装置1、热交换装置2或水泵24故障时，可自动切换电磁阀261、262、263、264，内循环纯水装置应急打开旁路，晶体生长炉电源的冷却改由外循环水装置3进行冷却，故障排除后给出复位信号自动切换电磁阀261、262、263、264，重新恢复内循环水冷却装置的工作。正常工作状态时，电磁阀的工作状态：电磁阀261为截止状态，电磁阀262为开通状态，电磁阀263为截止状态，电磁阀264为开通状态。应急工作状态时，电磁阀的工作状态：电磁阀261为开通状态，电磁阀262为截止状态，电磁阀263为开通状态，电磁阀264为截止状态。
如图5、图6所示，所述的晶休生长炉电源用水循环装置，热交换装置2的冷凝器为多组直铜管焊接在上部法兰盖283和下部法兰座284之间，直铜管便于清洗，法兰盖便于维护。热交换装置2的容水器23设置有加纯净水的加水口281和放水口282，便于更换和补充纯净水。
上述结构的晶体生长炉电源用水循环装置结构紧凑，可靠性高，热稳定性好，冷却效果好，可应用于晶体生长炉电源等可靠性要求高、需要长时间提供水冷却的各种电源设备。
上述的实施例仅例示性说明本实用新型创造的原理及其功效，以及部分运用的实施例，而非用于限制本实用新型；应当指出，对于本领域的普通技术人员来说，在不脱离本实用新型创造构思的前提下，还可以做出若干变形和改进，这些都属于本实用新型的保护范围。
Claims (4)
1.晶体生长炉电源用水循环装置，包括：内循环纯水冷却装置、外循环水冷却装置、热交换装置，其特征在于：所述内循环纯水冷却装置的水路与热交换装置的容水器组成水路的联通器，在热交换装置的容水器内部设置有外循环水冷却装置的冷凝器，冷凝器的水路与热交换装置的容水器是相互隔离的；晶体炉电源的内部水路、内循环纯水冷却装置、热交换装置的容水器构成一个封闭的内循环纯水***，外循环水冷却装置的水路自身为一个封闭的外循环水***；晶体炉电源工作时产生的热量由内循环纯水***带至热交换装置的容水器内，容水器内的热量再由设置在容水器内的外循环水冷却装置的冷凝器通过流经冷凝器的水将热量带至外循环冷却***进行冷却。
2.根据权利要求1所述的晶体生长炉电源用水循环装置，其特征在于：在热交换装置的出水口与晶体生长炉电源的进水口的水路上设置有水泵、流量调节阀、电接点压力表，热交换装置的进水口与晶体长长炉电源的出水口的水路上设置有电磁阀；在晶体炉生长炉电源的进水口设置有旁路与外循环水冷却装置的回水口连通，在该旁路上设置有2个电磁阀；在晶体炉生长炉电源的回水口设置有旁路与外循环水冷却装置的进水口连通，在该旁路上设置有1个电磁阀。
3.根据权利要求1或2所述的晶体生长炉电源用水循环装置，其特征在于：***监测到***故障时，可自动切换电磁阀，内循环纯水装置应急打开旁路，晶体生长炉电源的冷却改由外循环水装置进行冷却，故障排除后给出复位信号自动切换电磁阀，重新恢复内循环水冷却装置的工作。
4.根据权利要求1或2所述的晶体生长炉电源用水循环装置，其特征在于：热交换装置的冷凝器为多组直铜管焊接在上部法兰盖和下部法兰座之间；热交换装置的容水器设置有加纯净水的加水口和放水口。
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|---|---|---|---|---|
| CN104593869A (zh) * | 2015-01-06 | 2015-05-06 | 江苏东方四通科技股份有限公司 | 晶体生长炉电源用水循环装置 |
| WO2019015554A1 (zh) * | 2017-07-17 | 2019-01-24 | 上海微电子装备（集团）股份有限公司 | 热交换装置及其热交换方法与气相沉积设备 |
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| JP2020527219A (ja) * | 2017-07-17 | 2020-09-03 | シャンハイ マイクロ エレクトロニクス イクイプメント（グループ）カンパニー リミティド | 熱交換装置及びその熱交換方法並びに蒸着装置 |
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