CN204008077U - 一种光学检测平台的多自由度试件姿态调节对焦装置 - Google Patents
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Abstract
本实用新型涉及一种光学检测平台的多自由度试件姿态调节对焦装置，包括支撑框架，所述支撑框架底部的固定设置有光学检测主机，所述光学检测主机的上方设置有光学测试件，所述支撑框架的底部为底座，所述光学检测主机设置于底座上，所述底座的两侧设置有两个向上延伸的支撑臂；所述两个支撑臂之间设置有运动调节平台，所述运动调节平台包括呈板状的运动平台支撑座；所述运动平台支撑座的上方设置有X轴运动平台，采用这样的结构，能够对位于支撑框架上试件的空间位置进行精确、方便调节，具有调节方便、调节机构结构简单等有益效果。
Description
技术领域
本实用新型涉及一种光学检测平台领域，特别是一种光学检测平台的多自由度试件姿态调节对焦装置。
背景技术
光学检测平台是安装光学检测主机及试件的关键性基础承载装置，其主要作用是实现检测过程中的重心稳定与姿态平衡，现有的光学检测平台通常包括位于底部的支撑框架，在检测过程中，试件和光学检测主机分别固定于支撑框架的上、下两端，并通过安装在其上的驱动***、传动***、传感***等附属装置实现检测过程中试件位置的精密对焦调整，以完成整个光学检测操作。
然而，现有的光学检测平台存在的不足之处在于：试件直接连接于支撑框架上，其定位精度和可调整性差，仅仅能够的满足试件的安装定位需求，难以对试件的空间位置及姿态进行多自由度的精确调整。
实用新型内容
本实用新型的发明目的在于：针对现有技术存在的问题，提供一种能够对位于支撑框架上试件的空间位置进行精确、方便调节的光学检测平台的多自由度试件姿态调节对焦装置。
为了实现上述目的，本实用新型采用的技术方案为：
一种光学检测平台的多自由度试件姿态调节对焦装置，包括支撑框架，所述支撑框架底部的固定设置有光学检测主机，所述光学检测主机的上方设置有光学测试件，所述支撑框架的底部为底座，所述光学检测主机设置于底座上，所述底座的两侧设置有两个向上延伸的支撑臂；所述两个支撑臂之间设置有运动调节平台，所述运动调节平台包括呈板状的运动平台支撑座；所述运动平台支撑座的上方设置有X轴运动平台，所述X轴运动平台与运动平台支撑座之间设置有沿X轴延伸的第一直线传动机构，所述X轴运动平台的上方设置有Y轴运动平台，所述Y轴运动平台与X轴运动平台之间设置有沿Y轴延伸的第二直线传动机构；所述底座、X轴运动平台、Y轴运动平台上均同轴设置有透光孔，所述光学检测主机位于透光孔的正下方。
优选的，所述两个支撑臂的相向侧设置有托架，所述托架通过螺栓与支撑臂连接，所述运动平台支撑座的两侧通过托架与支撑臂连接。
优选的，所述运动平台支撑座的底部设置有Z轴微调机构，所述Z轴微调机构包括驱动电机，所述驱动电机的输出轴沿Z轴延伸，所述驱动电机的输出轴上同轴设置有螺杆，所述螺杆上设置有底部支撑块，所述底部支撑块上设置有与螺杆相适配的内螺纹形成丝杆螺母副。
优选的，所述第一直线传动机构包括设置于运动平台支撑座上表面的第一丝杠，所述丝杠连接有第一伺服马达，所述第一丝杠上设置有第一滚珠套管，所述第一滚珠套管的外壁与X轴运动平台固定连接；所述第二直线传动机构包括设置于X轴运动平台上表面的第二丝杠，所述第二丝杠连接有第二伺服马达，所述第二丝杠上设置有第二滚珠套管，所述第二滚珠套管的外壁与Y轴运动平台固定连接。
优选的，所述第一丝杠和第二丝杠的行程两端设置有限位挡块，所述限位挡块上设置有光电传感器，所述光电传感器的信号输出端与伺服马达连接。
综上所述，由于采用了上述技术方案，本实用新型的有益效果是：能够对位于支撑框架上试件的空间位置进行精确、方便调节，具有调节方便、调节机构结构简单等有益效果。
附图说明
图1是本实用新型的结构示意图。
图2为本实用新型中第一直线传动机构的结构示意图；
图3为本实用新型中运动平台支撑座的结构示意图；
图中标记：支撑框架—1；运动平台支撑座—2；X轴运动平台—3；第一直线传动机构—4；Y轴运动平台—5；第二直线传动机构—6；透光孔—7；托架—8；Z轴微调机构—9；第一丝杠—10；第一滚珠套管—11。
具体实施方式
下面结合附图，对本实用新型作详细的说明。
为了使本实用新型的目的、技术方案及优点更加清楚明白，以下结合附图及实施例，对本实用新型进行进一步详细说明。应当理解，此处所描述的具体实施例仅用以解释本实用新型，并不用于限定本实用新型。
如图1和图2所示，一种光学检测平台的多自由度试件姿态调节对焦装置，包括支撑框架1，支撑框架1底部的固定设置有光学检测主机，光学检测主机的光学信号采集口朝向上方设置，光学检测主机的上方设置有光学测试件，支撑框架1的底部为底座，光学检测主机设置于底座上，底座的两侧设置有两个向上延伸的支撑臂，本实施例中，为了进一步提升支撑框架1的稳定性，两个支撑臂的上端设置有连接梁，两个支撑臂之间设置有运动调节平台，本实施例中，两个支撑臂的相向侧设置有托架8，托架8通过螺栓与支撑臂连接，运动平台支撑座2的两侧通过托架8与支撑臂连接。
运动调节平台包括呈板状的运动平台支撑座2，运动平台支撑座2的结构如图3所示，在运动平台支撑座2上设置有透光孔7，以避免遮挡光学测试件，为了进一步减少产品自重、降低整体重心，在运动平台支撑座2上设置有若干个减重孔，减重孔环形阵列于透光孔7的周围，运动平台支撑座2的上方设置有X轴运动平台3，X轴运动平台3与运动平台支撑座2之间设置有沿X轴延伸的第一直线传动机构4，第一直线传动机构4包括设置于运动平台支撑座2上表面的第一丝杠10，丝杠连接有第一伺服马达，第一丝杠10上设置有第一滚珠套管11，第一滚珠套管11的外壁与X轴运动平台3固定连接；X轴运动平台3的上方设置有Y轴运动平台5，Y轴运动平台5与X轴运动平台3之间设置有沿Y轴延伸的第二直线传动机构6，第二直线传动机构6包括设置于X轴运动平台3上表面的第二丝杠，第二丝杠连接有第二伺服马达，第二丝杠上设置有第二滚珠套管，第二滚珠套管的外壁与Y轴运动平台5固定连接；X轴运动平台3、Y轴运动平台5上均同轴设置有透光孔7，光学检测主机位于透光孔7的正下方，在第一丝杠10、第二丝杠的行程两端均设置有限位挡块，所述限位挡块上设置有光电传感器，所述光电传感器的信号输出端与伺服马达连接。
本实施例中，所述运动平台支撑座2的底部设置有Z轴微调机构9，所述Z轴微调机构9包括驱动电机，所述驱动电机的输出轴沿Z轴延伸，所述驱动电机的输出轴上同轴设置有螺杆，所述螺杆上设置有底部支撑块，所述底部支撑块上设置有与螺杆相适配的内螺纹形成丝杆螺母副，通过这样的结构，使得运动平台支撑座2能够沿竖向相对于支撑框架1进行位置微调。
以上所述仅为本实用新型的较佳实施例而已，并不用以限制本实用新型，凡在本实用新型的精神和原则之内所作的任何修改、等同替换和改进等，均应包含在本实用新型的保护范围之内。
Claims (5)
1.一种光学检测平台的多自由度试件姿态调节对焦装置，包括支撑框架，所述支撑框架底部的固定设置有光学检测主机，所述光学检测主机的上方设置有光学测试件，其特征在于：所述支撑框架的底部为底座，所述光学检测主机设置于底座上，所述底座的两侧设置有两个向上延伸的支撑臂；所述两个支撑臂之间设置有运动调节平台，所述运动调节平台包括呈板状的运动平台支撑座，所述运动平台支撑座的上方设置有X轴运动平台，所述X轴运动平台与运动平台支撑座之间设置有沿X轴延伸的第一直线传动机构，所述X轴运动平台的上方设置有Y轴运动平台，所述Y轴运动平台与X轴运动平台之间设置有沿Y轴延伸的第二直线传动机构；所述底座、X轴运动平台、Y轴运动平台上均同轴设置有透光孔，所述光学检测主机位于透光孔的正下方。
2.根据权利要求1所述的光学检测平台的多自由度试件姿态调节对焦装置，其特征在于：所述两个支撑臂的相向侧设置有托架，所述托架通过螺栓与支撑臂连接，所述运动平台支撑座的两侧通过托架与支撑臂连接。
3.根据权利要求2所述的光学检测平台的多自由度试件姿态调节对焦装置，其特征在于：所述运动平台支撑座的底部设置有Z轴微调机构，所述Z轴微调机构包括驱动电机，所述驱动电机的输出轴沿Z轴延伸，所述驱动电机的输出轴上同轴设置有螺杆，所述螺杆上设置有底部支撑块，所述底部支撑块上设置有与螺杆相适配的内螺纹形成丝杆螺母副。
4.根据权利要求3所述的光学检测平台的多自由度试件姿态调节对焦装置，其特征在于：所述第一直线传动机构包括设置于运动平台支撑座上表面的第一丝杠，所述丝杠连接有第一伺服马达，所述第一丝杠上设置有第一滚珠套管，所述第一滚珠套管的外壁与X轴运动平台固定连接；所述第二直线传动机构包括设置于X轴运动平台上表面的第二丝杠，所述第二丝杠连接有第二伺服马达，所述第二丝杠上设置有第二滚珠套管，所述第二滚珠套管的外壁与Y轴运动平台固定连接。
5.根据权利要求4所述的光学检测平台的多自由度试件姿态调节对焦装置，其特征在于：所述第一丝杠和第二丝杠的行程两端设置有限位挡块，所述限位挡块上设置有光电传感器，所述光电传感器的信号输出端与伺服马达连接。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
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| CN201420497339.2U CN204008077U (zh) | 2014-08-29 | 2014-08-29 | 一种光学检测平台的多自由度试件姿态调节对焦装置 |
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| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
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| CN201420497339.2U CN204008077U (zh) | 2014-08-29 | 2014-08-29 | 一种光学检测平台的多自由度试件姿态调节对焦装置 |
Publications (1)
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Family
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Family Applications (1)
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| CN (1) | CN204008077U (zh) |
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Assignee: SICHUAN WINDOM PHOTOELECTRIC TECHNOLOGY Co.,Ltd. Assignor: CHENGDU FUYU TECHNOLOGY Co.,Ltd. Contract record no.: 2015510000005 Denomination of utility model: A multi-degree-of-freedom test piece attitude adjusting focusing apparatus for an optical detection platform Granted publication date: 20141210 License type: Exclusive License Record date: 20150205 |
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