CN203929640U - 一种可用于粉尘和高温环境的激光诱导击穿光谱测量*** - Google Patents

一种可用于粉尘和高温环境的激光诱导击穿光谱测量*** Download PDF

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王秋平
潘从元
杜学维
曾强
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Abstract

一种可用于粉尘和高温环境的激光诱导击穿光谱测量***，包括激光器、计算机、时序控制***、光谱探测***、光路***以及快门***，其中激光器作为光源发出脉冲激光；计算机用于设定时序控制和光谱分析；时序控制***通过脉冲输出控制激光器、快门***和光谱探测***；光谱探测***用于获得激光诱导击穿光谱信号；光路***用于激光聚焦和等离子体信号光采集；快门***由时序控制***进行控制，实现对光学***的保护；快门在样品激发和信号测量的短时间内打开，在其他时间段关闭，使光学***与粉尘和高温环境物理隔离。本实用新型对光学元件保护性强，测量安全性好，适用探测波段范围广，同时易于维护。可用于冶炼炉体、粉尘管道等检测环境。

Description

一种可用于粉尘和高温环境的激光诱导击穿光谱测量***
技术领域
本实用新型属于光谱检测技术领域，具体是一种可用于粉尘和高温环境的激光诱导击穿光谱测量***。本实用新型对光学元件保护性强，测量安全性好，适用探测波段范围广，同时易于维护，可用于冶炼炉体、粉尘管道等检测等环境。
背景技术
激光诱导击穿光谱技术利用高能脉冲激光聚焦烧蚀样品产生等离子体，通过对所获得的等离子体发射光谱信号进行分析得到样品的成分和含量信息。该技术无须样品预处理，可实现远程测量，测量时间短，可同时分析多种元素，应用于在线实时原位检测具有传统分析方法难以比拟的优越性。激光诱导击穿光谱技术已应用于冶金生产、煤质检测和污染检测等。
一般情况下光谱分析***为防止环境中粉尘污染光学元件，采用观察窗隔离光学***实现对光学元件的保护，如火花光谱检测***等，所采用的隔离窗在一定时间后需要更换或进行清洗。同时为了削弱高温辐射对光学元件影响，可选的采用工业隔热窗进行隔热保护。由于普通观察窗和隔热窗会降低光谱透过率，减弱了所能探测到的光谱信号强度，因此限制了***对部分波段的光谱探测。以冶金环境为例，由于C、P、S等非金属元素特征谱线多处于真空紫外波段光谱，因此在真空紫外波段探测具有重要意义。而采用观察窗，不仅限制了光谱探测范围，也削弱了光谱信号强度。
实用新型内容
本实用新型技术解决问题：克服现有技术的不足，提供一种可用于粉尘和高温环境的激光诱导击穿光谱测量***及应用，具有保护光学元件和保证光学测量***的性能，延长测量***的使用寿命，同时对光谱透过率无影响。
本实用新型技术解决方案：一种可用于粉尘和高温环境的激光诱导击穿光谱测量***，如图1所示，包括：激光器、计算机、时序控制***、光谱探测***、光路***以及快门***；计算机分别与时序控制***和光谱探测***连接；时序控制***与激光器、光谱探测***及快门***连接；光路***位于激光器与快门***之间，与光谱探测***相连，并通过快门***与测量腔体相连接。激光器作为光源发出脉冲激光；计算机用于设定时序控制和光谱分析；时序控制***通过脉冲输出控制激光器、快门***和光谱探测***；光谱探测***用于获得激光诱导击穿光谱信号；光路***用于激光聚焦和等离子体信号光采集；快门***由时序控制***进行控制，实现对光学***的保护。
快门在样品激发和信号测量的短时间内(毫秒量级)打开，在其他时间段关闭(光学***与粉尘和高温环境物理隔离)。通过对装置中的激光器、快门***和光谱探测***的精确时序控制(可达10纳秒量级)，可以达到最大限度的防止应用场合中粉尘对光学元件的污染，降低高温辐射对光学元件和光学***性能的影响。由于等离子体存在时间为几百纳秒到十几微秒，光谱采集***最短积分时间可根据设备性能进行优选，即光谱探测***最优积分时间为大于等离子体存在时间的光谱探测设备最短积分时间。
上述的激光器可以为脉冲激光器，时序控制***采用脉冲触发器；光谱探测***可以采用光谱仪。
本实用新型工作时具体步骤为：
1.开始测量时，通过计算机发送指令到时序控制***，发出脉冲触发并打开快门；
2.时序控制***发出脉冲触发激光器，发出的脉冲激光经过光路***聚焦到样品表面，产生的等离子体信号经光路***采集并传输到光谱探测***；
3.时序控制***发出脉冲触发光谱探测***，获得相应延迟时间和积分时间的激光诱导击穿光谱信号；
4.时序控制***发出脉冲触发并关闭快门；
5.重复步骤1到步骤4，获得相应的光谱信号，送入计算机中用于后续成份分析。
作为上述方案的应用，即用于真空环境熔融金属成份检测的激光诱导击穿光谱***，包括：激光器、计算机、时序控制***、光谱探测***、光路***、快门***、辅助真空***和插板阀；其中激光器作为光源发出脉冲激光；计算机用于设定时序控制和光谱分析；时序控制***通过脉冲输出控制激光器、快门***、光谱探测***和插板阀；光谱探测***用于获得激光诱导击穿光谱信号；光路***用于激光聚焦和等离子体信号光采集；快门***由时序控制***进行控制，用于在测量期间尽可能的保护光学元件不受真空腔体中飘浮粉尘污染；插板阀用于在无须测量时处于关闭状态以保护光学元件；所述辅助真空***用于平衡和保护光路***和真空腔体之间真空度，包括机械泵及相关阀门；所述光路***包括凹面反射镜13、凸面反射镜、用于调节凸面反射镜位置的精密电控平移台、介质膜反射镜、光纤馈入法兰和光纤；介质膜反射镜用于反射激光同时透过信号光；透镜用于汇聚信号光通过光纤馈入法兰和光纤导出到光谱探测***；整个光路***与真空腔体上的标准法兰接口7进行连接；冶金过程开始前，插板阀处于关闭状态，真空辅助***开始工作，等真空度达到一定要求时，等待冶炼开始；冶炼开始后，需要进行成分测量时，通过计算机1发送指令到时序控制***，时序控制***发出脉冲触发并打开插板阀，快门***处于关闭状态；开始测量时，时序控制***发出脉冲触发并打开快门；时序控制***发出脉冲触发激光器，发出的脉冲激光经过真空腔体上的观察窗进入光路接入***真空腔体内，通过介质膜反射镜反射到凸面反射镜上，由凹面反射镜聚焦到熔融金属液上；熔融金属液产生的等离子体信号沿原光路返回，透过介质膜反射镜，由透镜聚焦并通过光纤馈入法兰和光纤导出到光谱探测***，通光谱探测***获得激光诱导击穿光谱信号；单次测量结束后，时序控制系触发并关闭快门***，通过精密电控平移台自动调节焦距，直到确认光谱信号最佳位置；在最佳聚焦位置处，获得激光诱导击穿光谱信号；通过计算机对光谱探测***所测得激光诱导击穿光谱信号进行分析，得到当前熔融金属液的成分信息；冶炼过程中需要成分测量时，重复上述过程；完成测量过程后，时序控制***触发并关闭插板阀。
本实用新型与现有技术相比的优点在于：本实用新型公开一种采用快门进行光学***保护的激光诱导击穿光谱***，核心在于采用时序控制的快门***实现光学元件保护及高温辐射防护，同时避免了对光谱传输效率的影响。本实用新型对光学元件保护性强，测量安全性好，适用探测波段范围广，同时易于维护。可用于冶炼炉体、粉尘管道等检测环境。
附图说明
图1为本实用新型公开的一种激光诱导击穿光谱***原理图；
图2为本实用新型实施例真空环境的熔融金属成份检测装置原理图；
图3为本实用新型实施例真空环境的熔融金属成份检测装置测量时序控制示意图。
具体实施方式
本实用新型的应用提供一种用于真空环境熔融金属成份检测的激光诱导击穿光谱***，其结构示意图如图2所示。本***中计算机1用于进行时序控制和光谱分析；光谱探测***采用光谱仪2；激光器为脉冲激光器4；辅助真空***5用于平衡和保护光路***和真空腔体之间真空度，包括机械泵及相关阀门；光路***中激光远程聚焦以及信号光远程采集采用望远镜结构，包括凹面反射镜13、凸面反射镜14和用于调节凸面反射镜位置的精密电控平移台8；介质膜反射镜12用于反射激光同时透过信号光；透镜11用于汇聚信号光通过光纤馈入法兰10和光纤9导出到光谱仪2；机械快门15用于在测量期间尽可能的保护光学元件不受腔体中飘浮粉尘污染；插板阀16用于在无须测量时关闭阀门，保护光学元件；整个光路接入***与真空腔体6上的标准法兰接口7进行连接。装置中时序控制***为脉冲触发器3，用于控制和触发激光器4、光谱仪2、快门15和插板阀16。
本实用新型应用的具体工作流程为：
1.冶金过程开始前，插板阀处于关闭状态，真空辅助***5开始工作，等真空度达到一定要求时，等待冶炼开始。
2.冶炼开始后，需要进行成分测量时，通过计算机1发送指令到时序控制***3，发出脉冲触发并打开插板阀16，快门15处于关闭状态；
3.开始测量时，时序控制***3发出脉冲触发并打开快门15；
4.时序控制***3发出脉冲触发激光器，发出的脉冲激光经过观察窗进入光路***真空腔体，通过介质膜反射镜12反射到凸面反射镜14上，由凹面反射镜13聚焦到熔融金属液17上；产生的等离子体信号沿原光路返回，透过介质膜反射镜12，由透镜11聚焦并通过光纤馈入法兰10和光纤9导出到光谱仪2，获得激光诱导击穿光谱信号；
5.单次测量结束后，时序控制***3触发并关闭快门15；
6.通过精密电控平移台8自动调节焦距，重复步骤3到步骤5，确认光谱信号最佳位置；
7.在最佳聚焦位置处，重复步骤3到步骤5，获得激光诱导击穿光谱信号；
8.对所测得激光诱导击穿光谱信号进行分析，得到当前熔融金属液17的成分信息；
9.冶炼过程中需要成分测量时，重复步骤3到步骤8；
10.完成测量过程后，时序控制***3触发并关闭插板阀16。
测量流程中时序示意图如图3所示。若采用激光脉冲频率为10Hz，光谱仪积分时间为0.5ms，延迟时间为0.5ms，快门开启和关闭响应时间约为2ms，则单次测量时光学***暴露时间约为3ms，快门***遮挡效率约为97％。采用性能更佳的光谱仪和快门，遮挡效率可以进一步提高。

Claims (3)

1.一种可用于粉尘和高温环境的激光诱导击穿光谱测量***，其特征在于：包括激光器、计算机、时序控制***、光谱探测***、光路***以及快门***；计算机分别与时序控制***和光谱探测***连接；时序控制***与激光器、光谱探测***及快门***连接；光路***位于激光器与快门***之间，与光谱探测***相连，并通过快门***与测量腔体相连接。
2.根据权利要求1所述的可用于粉尘和高温环境的激光诱导击穿光谱测量***，其特征在于：所述快门***可以实现与激光器脉冲频率相关的单脉冲或多脉冲时序控制。
3.根据权利要求1所述的可用于粉尘和高温环境的激光诱导击穿光谱测量***，其特征在于：所述快门***选用任意驱动方式机械快门或类似的挡光元件。
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Cited By (2)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
CN105973872A (zh) * 2016-06-06 2016-09-28 中国科学技术大学 一种同时对熔融金属的元素含量和温度进行无接触测量的***
CN111426689A (zh) * 2019-01-10 2020-07-17 武汉光谷航天三江激光产业技术研究院有限公司 一种线激光层析检测***

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