CN203754435U - 无关联塔差压热耦合提纯氯硅烷的*** - Google Patents

Abstract

本实用新型公开了无关联塔差压热耦合提纯氯硅烷的***，包括：第一和第二精馏塔，每一个精馏塔均具有进料口、出气口、出液口、进液口和进气口；第一和第二再沸器，每一个再沸器均具有进液口、出气口、蒸汽进口和冷凝液出口，第一和第二回流泵，每一个回流泵均具有进口和泵出口；第一和第二回流罐，每一个回流罐均具有罐进口和罐出口；一个冷凝器，一个冷凝器具有进气口、出液口、冷源进口和冷源出口。与常规串联或并联差压热耦合精馏塔相比，采用本实用新型的提纯氯硅烷的***可以实现不同塔组之间的塔差压热耦合，扩大了差压热耦合的使用范围，解决了多晶硅***中提纯工序高能耗的问题。

Description

无关联塔差压热耦合提纯氯硅烷的***

技术领域

本实用新型涉及多晶硅领域，具体而言，本实用新型涉及无关联塔差压热耦合提纯氯硅烷的***。

背景技术

多晶硅是一种超高纯材料，用于集成电路、电子器件和太阳能电池，是信息和新能源产业的基石，是国家鼓励优先发展的战略材料，也是国家重点鼓励发展的产品和产业。

2012年，受全球经济危机和欧盟双反影响，多晶硅市场持续低迷，如何降低多晶硅生产成本，如何提升企业的核心竞争力，成为各多晶硅企业长期持续发展的首要任务。

目前国内多晶硅的主要生产方法是改良西门子法，主要包括三氯氢硅合成、精馏提纯、还原、还原尾气干法回收和氢化五个工序。其中，精馏提纯与各工序密切相关，处理各工序物料或为各工序提供原料，因此提纯***包括处理各种物料的不同塔组，且提纯产品纯度和杂质含量要求较高，必然需要相对较高的热量消耗，提纯工序的能耗是多晶硅***的主要能耗之一，因此降低提纯工序的能耗是降低多晶硅成本的最有效途径之一。

目前精馏提纯有些塔组虽已采用差压热耦合，降低了能耗，但均采用串联方式，不能保证塔组内每个塔都差压热耦合，且有些塔组不具备差压热耦合条件，因此不能最大程度的降低能耗。

实用新型内容

本实用新型旨在至少在一定程度上解决相关技术中的技术问题之一。为此，本实用新型的一个目的在于提出一种无关联塔差压热耦合提纯氯硅烷的***。

根据本实用新型的一个方面，本实用新型提出了一种无关联塔差压热耦合提纯氯硅烷的***，包括：

第一精馏塔和第二精馏塔，所述第一精馏塔和第二精馏塔中的每一个精馏塔均具有位于该精馏塔上的进料口、出气口、出液口、进液口和进气口；

第一再沸器和第二再沸器，所述第一再沸器和第二再沸器中的每一个再沸器均具有位于该再沸器上进液口、出气口、蒸汽进口和冷凝液出口，

第一回流泵和第二回流泵，所述第一回流泵和第二回流泵中的每一个回流泵均具有位于该回流泵上的进口和泵出口；

第一回流罐和第二回流罐，所述第一回流罐和第二回流罐中的每一个回流罐均具有位于该回流罐上的罐进口和罐出口；

一个冷凝器，所述一个冷凝器具有进气口、出液口、冷源进口和冷源出口；

其中，

所述第一精馏塔的出气口与所述冷凝器的进气口相连，所述冷凝器的出液口与所述第一回流罐的罐进口相连，所述第一回流罐的罐出口与所述第一回流泵的泵进口相连，所述第一回流泵的泵出口与所述第一精馏塔的进液口相连，以便将一部分氯硅烷冷凝液回流至所述第一精馏塔；

所述第一再沸器和第二再沸器的进液口与所述第一精馏塔和第二精馏塔的出液口相连，以便对氯硅烷塔底液的一部分进行加热再沸；所述第一再沸器和第二再沸器的出气口与所述第一精馏塔和第二精馏塔的进气口相连；

所述第二精馏塔的出气口与所述第一再沸器的蒸汽进口相连，所述第一再沸器的冷凝液出口与所述第二回流罐的罐进口相连，所述第二回流罐的罐出口与所述第二回流泵的泵进口相连，所述第二回流泵的泵出口与所述第二精馏塔的进液口相连，以便将氯硅烷冷凝液的一部分回流至所述第二精馏塔；

其中，

所述冷凝器的冷源进口与冷源相连；

所述第二再沸器的蒸汽进口与热源相连。

本实用新型上述实施例的无关联塔差压热耦合提纯氯硅烷的***，第一和第二精馏塔各自有进料、塔顶采出、塔底采出，且物料之间无任何关系，进而实现了不同塔组之间的塔差压热耦合，扩大了常规串联差压热耦合塔的使用范围，在生产高纯度多晶硅的同时，将精馏提纯的能耗降到最低。

在本实用新型的一些实施例中，所述第一精馏塔和第二精馏塔的进料口分别与不同的氯硅烷供给装置相连。

附图说明

图1是根据本实用新型一个实施例的无关联塔差压热耦合提纯氯硅烷的***的结构示意图。

图2是根据本实用新型另一个实施例的无关联塔差压热耦合提纯氯硅烷的***的结构示意图。

图3是根据本实用新型再一个实施例的无关联塔差压热耦合提纯氯硅烷的***的结构示意图。

具体实施方式

下面详细描述本实用新型的实施例，所述实施例的示例在附图中示出，其中自始至终相同或类似的标号表示相同或类似的元件或具有相同或类似功能的元件。下面通过参考附图描述的实施例是示例性的，旨在用于解释本实用新型，而不能理解为对本实用新型的限制。

下面参考图1详细描述本实用新型实施例的无关联塔差压热耦合提纯氯硅烷的***。

根据本实用新型实施例的无关联塔差压热耦合提纯氯硅烷的***包括：

第一精馏塔T01、第二精馏塔T02、第一再沸器E02、第二再沸器E03、第一回流泵P01、第二回流泵P02、第一回流罐V01、第二回流罐V02以及一个冷凝器E01；

其中，第一精馏塔T01和第二精馏塔T02中的每一个精馏塔均具有位于该精馏塔上的进料口T11和进料口T21、出气口T12和出气口T22、出液口T13和出液口T23、进液口T14和进液口T24，进气口T15和进气口T25；

第一再沸器E02和第二再沸器E03中的每一个均具有位于该再沸器上的进液口E21和E31、出气口E22和E32、蒸汽进口E23和E33和冷凝液出口E24和E34，

第一回流泵P01和第二回流泵P02中的每一个回流泵均具有位于该回流泵上的进口P11和P21和泵出口P12和P22；

第一回流罐V01和第二回流罐V02中的每一个回流罐均具有位于该回流罐上的罐进口V11和V21和罐出口V12和V22；

冷凝器E01具有进气口E11、出液口E12、冷源进口和冷源出口（未示出）；

根据本实用新型的具体实施例，上述组成可以按照下列方式进行连接：

第一精馏塔的出气口T12与冷凝器的进气口E11相连，冷凝器的出液口E12与第一回流罐的罐进口V11相连，第一回流罐的罐出口V12与第一回流泵的泵进口P11相连，第一回流泵的泵出口P12与第一精馏塔的进液口T14相连，以便将一部分氯硅烷冷凝液回流至第一精馏塔T01，另一部氯硅烷冷凝液可以采出；

第一再沸器和第二再沸器的进液口E21、E31依次分别与第一精馏塔和第二精馏塔的出液口T13、T23相连，以便对氯硅烷塔底液的一部分进行加热再沸；第一再沸器和第二再沸器的出气口T22、T32依次分别与第一精馏塔和第二精馏塔的进气口T15、T25相连；

第二精馏塔的出气口T22与第一再沸器的蒸汽进口E23相连，第一再沸器的冷凝液出口E24与第二回流罐的罐进口V21相连，第二回流罐的罐出口V22与第二回流泵的泵进口P21相连，第二回流泵的泵出口P22与第二精馏塔的进液口T24相连，以便将氯硅烷冷凝液的一部分回流至第二精馏塔；

其中，

冷凝器的冷源进口与冷源相连；

第二再沸器的蒸汽进口与热源相连。

根据本实用新型的具体实施例，具有上述结构的无关联塔差压热耦合提纯氯硅烷的***中的每个精馏塔各自有进料、塔顶采出、塔底采出，且物料之间无任何关系，实现了不同塔组之间的塔差压热耦合，扩大了常规串联差压热耦合塔的使用范围，尤其在生产高纯度多晶硅的同时，将精馏提纯的能耗降到最低。与简单耦合精馏工艺相比，能耗降低最高达到50%，解决了多晶硅***中提纯工序高能耗的问题，降低企业生产成本，提升企业的核心竞争力。

根据本实用新型的具体实施例，与冷凝器E01的冷源进口（未示出）相连的冷源的温度可以为32～42摄氏度。冷源具体类型并不受特别限制，例如可以为32～42摄氏度的循环水。与第二再沸器E03的蒸汽进口E23相连的热源的温度可以为150摄氏度。热源的类型并不受特别限制，例如热源可以采用多晶硅***中还原工序的作为冷源使用后得到的150摄氏度的高温水。在多晶硅***中还原工序中的冷源，经还原工序后由130摄氏度升高到150摄氏度，因此可以将其直接作为上述第二再沸器的热源使用，经第二再沸器降温后温度约为130度，又可以将其再利用返回还原工序作为冷源。由此，对整个多晶硅***做到热量合理利用，显著节省了能耗。

因此，本实用新型上述实施例的无关联塔差压热耦合提纯氯硅烷的***只需要为冷凝器E01和第二再沸器E03两个装置提供冷源和热源即可，并通过***内部冷量和热量相互充分利用。根据本实用新型的上述实施例的氯硅烷提纯***，可以充分利用热量匹配，节省了与第一精馏塔的匹配的第一再沸器的热源和第二精馏塔的所需冷凝器及冷源，因此，利用上述实施例的无关联塔差压热耦合提纯氯硅烷的***可以最大节省50%的能耗。

根据本实用新型的具体实施例，第一精馏塔的塔顶温度不小于55摄氏度，第二精馏塔的塔顶温度不高于120摄氏度。根据本实用新型的另一个具体实施例，第一精馏塔内的压力为0.05～0.7MPa；第二精馏塔内的压力为0.3～1.2MPa。由此可以使得第一精馏塔和第二精馏塔之间能够很好地耦合，最大程度的降低多晶硅提纯工序中的能耗。

根据本实用新型的具体实施例，第一精馏塔的塔釜与第二精馏塔的塔顶温差为10～50摄氏度。若温差不在该范围内将就不能进行耦合或着显著影响耦合效果，通常若第二精馏塔塔顶与第一精馏塔塔釜温差低于10摄氏度，将会导致两物料换热困难，同时导致第一再沸器面积较大，进而增加投资。若温差过大，比如超过50度会导致第二精馏塔的塔釜温度较高甚至超过120摄氏度，进而会导致第二精馏塔釜与第二再沸器的热源（150度进-130度出）的温差较小，使换热困难，导致第二精馏塔再沸器面积较大。例如，若第一精馏塔塔顶60摄氏度，塔釜可能65摄氏度，如果温差50摄氏度，则第二组精馏塔塔顶为110摄氏度，则第二精馏塔塔釜115摄氏度，与130摄氏度的热源出口温度差别较小，第二再沸器面积较大，进而设备配置困难，成本高。

根据本实用新型的具体实施例，第一精馏塔内的塔顶与塔底的压差为0.01～0.1MPa；第二精馏塔内的塔顶与塔底的压差为0.01～0.1MPa。由此可以进一步提高第一和第二精馏塔精馏效率，同时保持上述压差可以使得第一和第二精馏塔内具有适宜的温度，进而提高压差热耦合的稳定性。避免压差较大，比如固定第一精馏塔塔顶温度和压力，则第一精馏塔塔底压力较高，则对应温度较高，再固定第一精馏塔塔釜与第二精馏塔塔顶温差，则第二精馏塔的塔顶温度较高，对此第二精馏塔塔顶压力较高，根据塔顶塔底压差，则第二组精馏塔塔釜压力较高，对应温度较高，则第二组精馏塔再沸器面积较大或温度过高进而使得不能用普通热源加热，导致热源能耗较高，成本显著提高。因此根据本实用新型实施例的无关联塔差压热耦合提纯氯硅烷的***中的第一精馏塔和第二精馏塔具有上述压差可以进一步提高精馏效率、降低能耗，维持差压热耦合的稳定性。

根据本实用新型的具体实施例，第一精馏塔和第二精馏塔的进料口分别与不同的氯硅烷供给装置相连。也就是说第一精馏塔和第二精馏塔可以为无关联塔。例如，第一精馏塔为粗馏塔组中的脱轻塔，第二精馏塔为回收塔。只需要利用第二精馏塔的塔顶气体冷凝的热量；与第一精馏塔塔釜液体汽化的热量相当；且第二精馏塔塔顶温度与第一精馏塔的塔釜温度符合差压热耦合需要。

根据本实用新型实施例的无关联塔差压热耦合提纯氯硅烷的***中的两个精馏塔的压力可以是依次升高或者是依次降低的，每个精馏塔的功能可以根据该塔所在塔组的功能而定，例如可以脱轻或脱重。

下面参考图2以两个精馏塔塔压依次升高为例详细描述无关联塔差压热耦合提纯氯硅烷的***的具体操作流程：首先，不同组成、不同流量的两股物料S01、S10分别进入第一精馏塔T01、第一精馏塔T02，第一精馏塔的塔顶蒸汽S02经过冷凝器E01冷凝，冷凝液S03进入回流罐V01，冷凝液S04进入回流泵P01，泵后液体一部分作为回流液S05返回第一精馏塔塔T01，回流液的流量按照回流进料比为1～10，泵后另一部分液体S06可以作为产品、轻组分采出或者作为其它塔的进料，塔底采出液S07，按照一定的比例，一部分进入冷凝再沸器E02，经冷凝再沸器加热汽化后气体S08返回第一精馏塔T01，一部分采出液S09作为产品或重组分采出；第二精馏塔T02的塔顶蒸汽S11进入冷凝再沸器E02的壳程加热介质入口，经冷凝后的物料S12进入回流罐V02，冷凝液S13进入回流泵P02，泵后液体一部分作为回流液S14返回第二精馏塔塔T02，回流液的流量按照回流进料比为1～10，泵后另一部分液体S15作为轻组分或产品采出，塔底采出液S16，按照一定的比例，一部分进入再沸器E03，经再沸器加热汽化后气体S17返回第二精馏塔T02，一部分采出液S18可以作为产品、重组分采出或者作为其它塔的进料。

根据本实用新型实施例的无关联塔差压热耦合提纯氯硅烷的***中的第一精馏塔T01的塔釜冷凝液经第一再沸器E02加热气化，无需外加热源，热源负荷降低50%；第二精馏塔T02塔顶蒸汽经第一再沸器E02冷凝后已完全冷凝或过冷，因此取消了第二精馏塔T02的辅助冷凝器，故第二精馏塔T02塔顶蒸汽冷凝无需外加冷源，冷源负荷降低50%。因此使第二精馏塔T02塔顶蒸汽冷凝至过冷状态所需的冷负荷与第一精馏塔T01塔釜液体汽化所需的热负荷相当，可节省50的冷源能耗和50%的热源能耗，因此整个***可降低50%能耗，进而可以显著降低多晶硅提纯工艺成本。

通常采用常规的差压热耦合连接方式，为防止塔波动，导致第二精馏塔塔顶气体冷凝的热量与第一精馏塔塔釜液体汽化的热量不相当，所以第二精馏塔需要配置冷凝器，当出现热量不相当时，用冷凝器将第二精馏塔塔顶的物料进一步冷凝。例如，以第二精馏塔为例，第二精馏塔塔顶蒸汽的流程应为第二精馏塔→冷凝再沸器→辅助冷凝器→回流罐→回流泵，当塔顶蒸汽经冷凝再沸器冷凝成饱和状态时，为防止管路中不凝气存在，要求管路中不能出现U型弯，这就要求该系列设备高度逐步降低，从而导致冷凝再沸器的安装位置较高，第一精馏塔的塔釜高度较高，这必然增加设备投资和土建风险。

而本实用新型的无关联塔差压热耦合提纯氯硅烷的***可以达到第二精馏塔的塔顶蒸汽经第一再沸器后冷凝成过冷状态，取消第二精馏塔T02塔的辅助冷凝器，进而使设备配置和管路配置可不受上述限制，可以降低设备配置和管路配置难度，扩大了差压热耦合塔的使用范围，尤其是针对改造项目的塔组。

与现有技术相比，根据本实用新型上述实施例的无关联塔差压热耦合提纯氯硅烷的***具有以下优点：

（1）差压热耦合的两塔或三塔之间无关联，各自有进料、塔顶采出、塔底采出，且物料之间无任何关系，实现了不同塔组之间的塔差压热耦合，扩大了常规串联差压热耦合塔的使用范围，实现整个精馏提纯***的最低能耗。

（2）第二精馏塔外塔顶蒸汽冷凝至过冷状态所需的冷负荷与第一精馏塔塔釜液体汽化所需的热负荷相当，实现差压热耦合，匹配换热。当两塔耦合时，能耗降低50%；当三塔耦合时，能耗降低75%，且第二精馏塔的热源采用还原工序的冷却介质高温水，实现提纯工序和还原工序冷热负荷的交换，最大程度降低多晶硅成本。

（3）精馏塔塔顶蒸汽经冷凝再沸器冷凝后已完全冷凝或过冷，无冷凝器，降低了设备投资，降低了设备配置和管路配置难度，扩大了差压热耦合塔的使用范围，尤其是针对改造项目的塔组。

实施例

多晶硅***中包括处理冷氢化料的粗馏塔组和处理各组塔高低沸的回收塔。粗馏塔组的进料量为60m³/h，进料组成为三氯氢硅20wt%，二氯二氢硅2wt%，四氯化硅78wt%，物料中夹带有部分硅粉、金属化合物等颗粒杂质，且含有大量的氢气、氯化氢等不凝气；回收塔的进料量为35m³/h，进料组成为三氯氢硅93wt%，二氯二氢硅3wt%，四氯化硅4wt%。

按照常规串联差压热耦合，粗馏塔组不具备串联差压热耦合条件。粗馏塔组不具备串联差压热耦合原因：物料中二氯二氢硅和四氯化硅含量均较大，且含有冷氢化料的颗粒杂质，粗馏塔组采用筛板塔，筛板塔的塔顶塔底压差较大，如果采用差压热耦合，则导致塔底温度超过120度，与加热介质高温水温差过小，且冷氢化料中大量的氢气、氯化氢等不凝气引起塔波动，进而影响差压热耦合的稳定性。

本方案是粗馏塔组先脱重后脱轻，首先通过脱重塔塔顶尾气排出大量不凝气，减少对后续塔的波动影响，通过脱重塔除去原料中78%的四氯化硅，大大降低脱轻塔负荷，并保证脱轻塔的物料中是90wt%以上的三氯氢硅；通过调整回流进料比和塔压，将粗馏塔组的脱轻塔与回收塔的脱轻塔采用无关联塔差压热耦合。

具体流程为如图3所示：氢化冷凝料S01进入粗馏脱重塔T01，塔顶蒸汽S02经过冷凝器E01冷凝，冷凝液S03进入回流罐V01，冷凝液S04进入回流泵P01，泵后液体一部分作为回流液S05返回粗馏脱重塔T01，一部分液体S06进入粗馏脱轻塔T02，塔底采出液S07，按照一定的比例，一部分进入再沸器E02，经再沸器加热汽化后气体S08返回粗馏脱重塔T01，一部分采出液S09作为残液采出，四氯化硅是S10由侧线采出；粗馏脱轻塔T02的塔顶蒸汽S11经过冷凝器E03冷凝，冷凝液S12进入回流罐V02，冷凝液S13进入回流泵P02，泵后液体一部分作为回流液S14返回粗馏脱轻塔T02，一部分液体S15作为轻组分采出，出塔底采出液S16，按照一定的比例，一部分进入冷凝再沸器E04，经冷凝再沸器加热汽化后气体S17返回粗馏脱轻塔T02，一部分采出液S18作为产品采出；回收料S19进入回收塔1塔T03，塔顶蒸汽S20进入冷凝再沸器E04的壳程加热介质入口，经冷凝再沸器冷凝后的物料S21进入回流罐V03，冷凝液S22进入回流泵P03，泵后液体一部分作为回流液S23返回回收塔1塔T03，一部分液体S24采出，采出塔底采出液S25，按照一定的比例，一部分进入冷凝再沸器或普通再沸器E05，经加热汽化后气体S26回收塔1塔T03，一部分液体S27采出，回收塔1塔再根据所在塔组特点确定流程，此处不再详述。

粗馏塔的脱轻塔T02的塔顶压力为0.25MPa，塔顶温度为55℃，塔顶塔底压差为0.06MPa，塔釜压力和温度分别为0.31MPa和69℃，回流进料比为5.3；回收塔1塔T03的塔顶压力为0.65MPa，塔顶温度为81℃，塔顶塔底压差为0.02MPa，塔釜压力和温度分别为0.67MPa和100℃，回流进料比为2.16。具体各塔冷热负荷见表1。

表1

	冷却负荷/M.kcal/hr	加热负荷/M.kcal/hr
			粗馏塔脱轻塔	3.88	0(4.23)
回收塔1塔	0（4.27）	5.51
			合计（无耦合）	8.15	10.58
合计（无关联塔热耦合）	3.88	5.51

由表1可知，当粗馏塔脱轻塔与回收塔1塔无耦合时，冷却和加热负荷分别8.15M.kcal/hr和10.58M.kcal/hr；

当二塔采用无关联塔差压热耦合，冷却和加热负荷分别3.88M.kcal/hr和5.51M.kcal/hr，与无耦合相比，冷却和加热负荷分分别节能52%和48%，节能效果显著。

此外，术语“第一”、“第二”仅用于描述目的，而不能理解为指示或暗示相对重要性或者隐含指明所指示的技术特征的数量。由此，限定有“第一”、“第二”的特征可以明示或者隐含地包括一个或者更多个该特征。在本实用新型的描述中，“多个”的含义是两个或两个以上，除非另有明确具体的限定。

在本实用新型中，除非另有明确的规定和限定，术语“安装”、“相连”、“连接”、“固定”等术语应做广义理解，例如，可以是固定连接，也可以是可拆卸连接，或成一体；可以是机械连接，也可以是电连接；可以是直接相连，也可以通过中间媒介间接相连，可以是两个元件内部的连通或两个元件的相互作用关系。对于本领域的普通技术人员而言，可以根据具体情况理解上述术语在本实用新型中的具体含义。

在本说明书的描述中，参考术语“一个实施例”、“一些实施例”、“示例”、“具体示例”、或“一些示例”等的描述意指结合该实施例或示例描述的具体特征、结构、材料或者特点包含于本实用新型的至少一个实施例或示例中。在本说明书中，对上述术语的示意性表述不必针对的是相同的实施例或示例。而且，描述的具体特征、结构、材料或者特点可以在任一个或多个实施例或示例中以合适的方式结合。此外，在不相互矛盾的情况下，本领域的技术人员可以将本说明书中描述的不同实施例或示例以及不同实施例或示例的特征进行结合和组合。

尽管上面已经示出和描述了本实用新型的实施例，可以理解的是，上述实施例是示例性的，不能理解为对本实用新型的限制，本领域的普通技术人员在本实用新型的范围内可以对上述实施例进行变化、修改、替换和变型。

Claims (2)

1.一种无关联塔差压热耦合提纯氯硅烷的***，其特征在于，包括：

第一精馏塔和第二精馏塔，所述第一精馏塔和第二精馏塔中的每一个精馏塔均具有位于该精馏塔上的进料口、出气口、出液口、进液口和进气口；

第一再沸器和第二再沸器，所述第一再沸器和第二再沸器中的每一个再沸器均具有位于该再沸器上进液口、出气口、蒸汽进口和冷凝液出口，

第一回流泵和第二回流泵，所述第一回流泵和第二回流泵中的每一个回流泵均具有位于该回流泵上的进口和泵出口；

第一回流罐和第二回流罐，所述第一回流罐和第二回流罐中的每一个回流罐均具有位于该回流罐上的罐进口和罐出口；

一个冷凝器，所述一个冷凝器具有进气口、出液口、冷源进口和冷源出口；

其中，

所述第一精馏塔的出气口与所述冷凝器的进气口相连，所述冷凝器的出液口与所述第一回流罐的罐进口相连，所述第一回流罐的罐出口与所述第一回流泵的泵进口相连，所述第一回流泵的泵出口与所述第一精馏塔的进液口相连，以便将一部分氯硅烷冷凝液回流至所述第一精馏塔；

所述第一再沸器和第二再沸器的进液口依次分别与所述第一精馏塔和第二精馏塔的出液口相连，以便对氯硅烷塔底液的一部分进行加热再沸；所述第一再沸器和第二再沸器的出气口依次分别与所述第一精馏塔和第二精馏塔的进气口相连；

所述第二精馏塔的出气口与所述第一再沸器的蒸汽进口相连，所述第一再沸器的冷凝液出口与所述第二回流罐的罐进口相连，所述第二回流罐的罐出口与所述第二回流泵的泵进口相连，所述第二回流泵的泵出口与所述第二精馏塔的进液口相连，以便将氯硅烷冷凝液的一部分回流至所述第二精馏塔；

其中，

所述冷凝器的冷源进口与冷源相连；

所述第二再沸器的蒸汽进口与热源相连。

2.根据权利要求1所述的无关联塔差压热耦合提纯氯硅烷的***，其特征在于，所述第一精馏塔和第二精馏塔的进料口分别与不同的氯硅烷供给装置相连。