CN203294731U - 密闭式自洁净搬运*** - Google Patents
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- 238000004140 cleaning Methods 0.000 title claims abstract description 19
- 230000003749 cleanliness Effects 0.000 abstract 2
- 238000010408 sweeping Methods 0.000 abstract 2
- 238000000746 purification Methods 0.000 description 9
- 238000000034 method Methods 0.000 description 6
- 239000000758 substrate Substances 0.000 description 6
- 239000000126 substance Substances 0.000 description 5
- 238000010586 diagram Methods 0.000 description 3
- 238000005516 engineering process Methods 0.000 description 3
- 238000012423 maintenance Methods 0.000 description 3
- 238000010926 purge Methods 0.000 description 3
- 238000004519 manufacturing process Methods 0.000 description 2
- 230000009286 beneficial effect Effects 0.000 description 1
- 238000005520 cutting process Methods 0.000 description 1
- 230000007812 deficiency Effects 0.000 description 1
- 238000011161 development Methods 0.000 description 1
- 239000000463 material Substances 0.000 description 1
- 238000004377 microelectronic Methods 0.000 description 1
- 238000012986 modification Methods 0.000 description 1
- 230000004048 modification Effects 0.000 description 1
- 238000012545 processing Methods 0.000 description 1
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Abstract
本实用新型公开一种密闭式自洁净搬运***，包括：能够在指定位置之间往复移动的可移动装置以及安装于可移动装置上的搬运舱，其中，密闭式自洁净搬运***进一步包括装载于可移动装置上的洁净气源、通过管线连接于洁净气源的吹扫装置、安装于搬运舱的舱门处的洁净探测器、设置在搬运舱内并能够伸出搬运舱的机械手以及安装在机械手上的用于承载货物的可转动托盘。
Description
技术领域
本实用新型涉及一种工件搬运***，尤其涉及适合于平板显示和微电子加工生产中基底材料搬运技术领域。
背景技术
随着平板显示行业的快速发展和进一步技术要求，自动化搬运技术得到不断提升。目前平板显示生产货物搬运过程中，存在着这样一个客观事实，储料器(Stocker)之间的货物搬运采用AGV或RGV等非密闭搬运***，由于基板直接与周围环境接触，因此对环境的净化等级要求极高，同时上道工序残留在基板上的化学物质容易直接扩散至开敞的环境中，形成交叉污染，降低良品率。
同时，随着技术提升的要求，基板的加工尺寸不断增大，维持高净化等级的设备投入和运维费用亦巨幅增加。因此，对平板显示生产中自动化搬运***的自净化技术提出革命性的要求。
因此，业内急需解决如下问题：以储料器之间的货物搬运为例，利用密闭式自洁净搬运***来替代开敞式搬运***，以降低对周围环境的洁净等级要求，削减净化***的初始投资和运维费用，降低产品的生产成本；同时利用密闭的搬运***，避免基板上残留的化学物质向环境扩散，避免交叉污染，提高良品率。
发明内容
针对现有技术的不足，本实用新型的首要目的在于：提供一种密闭式自洁净搬运***，在较低的的净化等级环境下进行储料器之间的货物搬运，同时避免残留的化学物质扩散至环境中，从而实现避免交叉污染，提高良品率的目的。
本实用新型解决其技术问题所采用的技术方案是：利用一种封闭式自净化搬运***，将储料器中的货物搬运至微净化的搬运舱内，通过搬运舱的气体保护和自带的净化吹扫装置，形成局部净化微环境，保证搬运路径的净化要求，从而降低整个生产环境的净化等级，同时利用本搬运***的封闭特性，防止残留在基板上的化学物质向环境扩散。
根据本实用新型，提供一种密闭式自洁净搬运***，其包括：能够在指定位置之间往复移动的可移动装置以及安装于可移动装置上的搬运舱。该密闭式自洁净搬运***进一步包括装载于可移动装置上的洁净气源、通过管线连接于洁净气源的吹扫装置、安装于搬运舱的舱门处的洁净探测器、设置在搬运舱内并能够伸出搬运舱的机械手、以及安装在机械手上的用于承载货物的可转动托盘。
可选择地，可进一步设有用于控制搬运舱的舱门自动开闭的舱门开关装置。
优选地，吹扫装置可以设置在搬运舱的舱门的外侧并位于舱门的上方。
本实用新型的有益效果是：利用密闭式自洁净搬运***来替代开敞式搬运***，以降低对周围环境的洁净等级要求，最大程度上实现削减净化***的初始投资和运维费用，降低产品的生产成本；同时利用密闭的搬运***，避免基板上残留的化学物质向环境扩散，避免交叉污染，提高良品率。
附图说明
下面结合附图对本实用新型进一步说明。
图1是本实用新型的原理图。
图2是搬运***工作流程图。
图3A、3B、3C、3D、3E是搬运***工作示意图。
图中：1.可移动装置，2.洁净气源，3.搬运舱，4.吹扫装置，5.洁净探测器，6.舱门开关装置，7.机械手，8.可转动托盘，9.货物
具体实施方式
本实用新型提出一种密闭式自洁净搬运***，包括：能够在指定位置之间往复移动的可移动装置1、以及安装于可移动装置1上的搬运舱3、装载于可移动装置1上的洁净气源2、通过管线连接于洁净气源2的吹扫装置4、安装于搬运舱3的舱门处的洁净探测器5、设置在搬运舱3内并能够伸出搬运舱的机械手7、以及安装在机械手7上的用于承载货物9的可转动托盘8。
例如，可移动装置1可以为各种类型的车辆。密闭式自洁净搬运***可进一步设有用于控制搬运舱3的舱门自动开闭的舱门开关装置6。吹扫装置4可以优选地设置在搬运舱3的舱门的外侧并位于舱门的上方。
作为一种非限制性示例实施方式，在图1中，可以清楚的看到本实用新型的***包括：洁净气源2、搬运舱3、吹扫装置4、舱门开关装置6和机械手7。
首先，当可移动装置1到达指定位置后，***发送开启信号至吹扫装置4。吹扫装置4接收到开启信号后，打开洁净气源2对附近环境进行洁净吹扫。当洁净探测器5探测附近环境满足净化要求后，发送开启信号至舱门开关装置6。舱门开关装置6接收到开启信号后，洁净搬运舱3舱门打开，同时机械手7伸出搬运舱3。接收到货物9后，机械手7收回搬运舱3内，同时发出关闭信号至舱门开关装置6。舱门开关装置6接收到关闭信号后，舱门关闭，使搬运舱3完全封闭。待搬运舱3完全封闭后，发出关闭信号至吹扫装置4。吹扫装置4接收到关闭信号后，切断洁净气源2，完成搬运过程。
在图2中可以看到本实用新型工作流程，货物搬运主要分为8个步骤S10-S80。在步骤S10中，***发送开启信号至吹扫装置。在步骤S20中，吹扫装置接收到开启信号后，打开洁净气源对附近环境进行洁净吹扫。在步骤S30中，当洁净探测器探测附近环境满足净化要求后，发送开启信号至舱门开关装置。在步骤S40中，舱门开关装置接收到开启信号后，搬运舱舱门打开，同时机械手伸出搬运舱。在步骤S50中，接收到货物后，机械手收回搬运舱内，同时发出关闭信号至舱门开关装置。在步骤S60中，舱门开关装置接收到关闭信号后，舱门关闭，使搬运舱完全封闭。在步骤S70中，待搬运舱完全封闭后，发出关闭信号至吹扫装置。在步骤S80中，吹扫装置接收到关闭信号后，切断洁净气源。
在图3中可以看到本实用新型搬运过程。首先，当可移动装置1到达指定位置后，***发送开启信号至吹扫装置4。吹扫装置4利用自带洁净气源2对附近环境进行洁净吹扫，保证搬运舱3和周边环境净化等级。搬运舱3内气压略高于周边环境，但略小于储料器室内气压，以保证搬运搬运过程中搬运舱不被污染，同时不污染Storker。当洁净探测器5探测附近环境满足净化要求后，发送开启信号至舱门开关装置6。舱门开关装置6接收到开启信号后，洁净搬运舱3舱门打开，同时机械手7伸出搬运舱3，机械手7上安装的可转动托盘8可以调整货物9摆放角度。接收到货物9后，机械手7收回搬运舱3内，同时发出关闭信号至舱门开关装置6。舱门开关装置6接收到关闭信号后，舱门关闭，使搬运舱3完全封闭。待搬运舱3完全封闭后，发出关闭信号至吹扫装置4。吹扫装置4接收到关闭信号后，切断洁净气源2，完成搬运过程。
尽管在此已详细描述本实用新型的优选实施方式，但要理解的是本实用新型并不局限于这里详细描述和示出的具体结构，在不偏离本实用新型的实质和范围的情况下可由本领域的技术人员实现其它的变型和变体。
Claims (3)
1.一种密闭式自洁净搬运***，包括：能够在指定位置之间往复移动的可移动装置以及安装于所述可移动装置上的搬运舱，其特征在于，所述密闭式自洁净搬运***进一步包括装载于所述可移动装置上的洁净气源、通过管线连接于所述洁净气源的吹扫装置、安装于所述搬运舱的舱门处的洁净探测器、设置在所述搬运舱内并能够伸出所述搬运舱的机械手、以及安装在所述机械手上的用于承载货物的可转动托盘。
2.如权利要求1所述的密闭式自洁净搬运***，其特征在于，进一步设有用于控制所述搬运舱的舱门自动开闭的舱门开关装置。
3.如权利要求1或2所述的密闭式自洁净搬运***，其特征在于，所述吹扫装置设置在所述搬运舱的舱门的外侧并位于所述舱门的上方。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| CN2013200337209U CN203294731U (zh) | 2013-01-23 | 2013-01-23 | 密闭式自洁净搬运*** |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| CN2013200337209U CN203294731U (zh) | 2013-01-23 | 2013-01-23 | 密闭式自洁净搬运*** |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| CN203294731U true CN203294731U (zh) | 2013-11-20 |
Family
ID=49570762
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| CN2013200337209U Expired - Lifetime CN203294731U (zh) | 2013-01-23 | 2013-01-23 | 密闭式自洁净搬运*** |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| CN (1) | CN203294731U (zh) |
-
2013
- 2013-01-23 CN CN2013200337209U patent/CN203294731U/zh not_active Expired - Lifetime
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Legal Events
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|---|---|---|---|
| C14 | Grant of patent or utility model | ||
| GR01 | Patent grant | ||
| CX01 | Expiry of patent term | ||
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|
| DD01 | Delivery of document by public notice | ||
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