CN203069521U - 光学影像检测装置 - Google Patents
光学影像检测装置 Download PDFInfo
- Publication number
- CN203069521U CN203069521U CN 201320025257 CN201320025257U CN203069521U CN 203069521 U CN203069521 U CN 203069521U CN 201320025257 CN201320025257 CN 201320025257 CN 201320025257 U CN201320025257 U CN 201320025257U CN 203069521 U CN203069521 U CN 203069521U
- Authority
- CN
- China
- Prior art keywords
- measured
- mirror slip
- optical mirror
- optical
- taking unit
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Expired - Fee Related
Links
- 230000003287 optical effect Effects 0.000 title claims abstract description 97
- 238000001514 detection method Methods 0.000 title abstract description 11
- 238000005286 illumination Methods 0.000 claims abstract description 47
- 150000001875 compounds Chemical class 0.000 claims description 43
- 239000000178 monomer Substances 0.000 claims description 14
- 230000035515 penetration Effects 0.000 claims description 7
- 239000002131 composite material Substances 0.000 abstract 2
- 238000010586 diagram Methods 0.000 description 7
- 239000000463 material Substances 0.000 description 6
- 238000005516 engineering process Methods 0.000 description 3
- 230000007547 defect Effects 0.000 description 2
- 230000003760 hair shine Effects 0.000 description 2
- 238000007630 basic procedure Methods 0.000 description 1
- 230000009286 beneficial effect Effects 0.000 description 1
- 230000002950 deficient Effects 0.000 description 1
- 230000000694 effects Effects 0.000 description 1
- 238000005259 measurement Methods 0.000 description 1
- NHDHVHZZCFYRSB-UHFFFAOYSA-N pyriproxyfen Chemical compound C=1C=CC=NC=1OC(C)COC(C=C1)=CC=C1OC1=CC=CC=C1 NHDHVHZZCFYRSB-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 239000004065 semiconductor Substances 0.000 description 1
Images
Landscapes
- Investigating Or Analysing Materials By Optical Means (AREA)
- Investigating Materials By The Use Of Optical Means Adapted For Particular Applications (AREA)
Abstract
一种光学影像检测装置，包含第一光源与第二光源，第一光学镜片与第二光学镜片，以及第一、第二与第三取像器，第一光源与第二光源分别设置于复合待测体的两侧，藉由第一光学镜片与第二光学镜片反射照明光束，就可以对复合待测体进行多层次的检测作业。
Description
技术领域
本实用新型有关于一种检测装置，特别是一种可进行多层多面的光学影像检测装置。
背景技术
机器视觉(Machine Vision)是结合机械的物理运动控制与计算机影像辨识的综合技术，应用层面广泛。一般比较常见的是在半导体产业的应用，例如对各类芯片、集成电路等电子组件、印刷电路板，或是LCD 屏幕等，进行表面刮伤、瑕疵、异物等各种缺陷检测。
当料件(或称待测物)经由传输带进入检测设备后，藉由摄影机取得料件影像，再透过计算机设备的图学运算，进行比对量测，找出具有缺陷的料件而警示，以上就是机器视觉检测设备的基本流程。
然而料件的缺陷种类有很多种，除了前面提到的种类之外，还有凹凸、压痕、波纹等等，虽然藉由光源的照射能够取得影像，但一般检测设备所取得的影像大多从料件的正上方拍摄，聚焦于待测物的顶侧或称第一侧而进行检测。但是LCD等类的待测体，实际上是由多层透明的板状物所构成，每一层都要进行检测，传统的作法是装配多套检测仪器针对不同层面的材质进行检测，但是如此一来必须挪出空间加以安置，而造成设计上的困难与整体体积上的增加，以及成本上的负担与维护作业的不便。
发明内容
有鉴于此，本实用新型目的在于提供一种光学影像检测装置，能对多层合并的复合待测物进行检测，也就是对复合待测物中的各个层面，同时进行检测，检测作业更加全面而并有效降低成本并大幅减小所需的安装空间。
因此，本实用新型第一方面提供一种光学影像检测装置，用于撷取并检测一复合待测体的影像，该复合待测体由至少一可透光的第一待测物与一可透光的第二待测物叠合而成，该第一待测物具有一第一待测面，该第二待测物具有一第二待测面，以及相对于该第二待测面的第三待测面，该光学影像检测装置包含有：一光源单体，设置于该复合待测体的一侧，产生一照明光束发射至该待测物；一第一取像单元，一第二取像单元及一第三取像单元，设置于该复合待测体的一侧，该光源单***于该复合待测体与该第一取像单元之间；一第一光学镜片，设置于该光源单体与该第一取像单元之间，并位于该第一取像单元的前侧；以及一第二光学镜片，设置于该光源单体与该第二取像单元之间，并位于该第二取像单元与该第三取像单元的前侧；其中该照明光束照射于该复合待测体，并反射至该第一光学镜片后，部分穿透该第一光学镜片而产生一第一照明反射光束，该第一取像单元利用该第一照明反射光束而取得该第一待测面的影像；该第一光学镜片部分反射该照明光束而入射到该第二光学镜片，该第二光学镜片部分反射入射的照明光束而产生一第二照明反射光束，该第二取像单元利用该第二照明反射光束而取得该第二待测面的影像；该第一光学镜片部分反射该照明光束并穿透该第二光学镜片，而产生一第三照明光束，该第三取像单元利用该第三照明反射光束而取得该第三待测面的影像。
本实用新型第二方面提供一种光学影像检测装置，用于撷取并检测一复合待测体的影像，该复合待测体由至少一可透光的第一待测物与一可透光的第二待测物叠合而成，该第一待测物具有一第一待测面，该第二待测物具有一第二待测面，以及相对于该第二待测面的第三待测面，该光学影像检测装置包含有：一第一取像单元，一第二取像单元，一第三取像单元，设置于该复合待测体的一侧；一光源单体，设置于该复合待测体的另一侧，产生一照明光束发射至该待测物；一第一光学镜片，设置于该复合待测体与该第一取像单元之间，并位于该第一取像单元的前侧；以及一第二光学镜片，设置于该复合待测体与该第二取像单元之间，并位于该第二取像单元与该第三取像单元的前侧；其中该照明光束照射穿透该复合待测体，而入射至该第一光学镜片后，部分穿透该第一光学镜片而产生一第一照明反射光束，该第一取像单元利用该第一照明反射光束而取得该第一待测面的影像；该第一光学镜片部分反射该照明光束而入射到该第二光学镜片，该第二光学镜片将部分反射入射的照明光束而产生一第二照明反射光束，该第二取像单元利用该第二照明反射光束而取得该第二待测面的影像；该第一光学镜片部分反射该照明光束并穿透该第二光学镜片，而产生一第三照明光束，该第三取像单元利用该第三照明反射光束而取得该第三待测面的影像。
根据本实用新型第二方面的光学影像检测装置，其中该光源单体设置于该复合待测体的下侧，该复合待测***于该光源单体与该第一待测物之间。
本实用新型光学影像检测装置，其中该第一光学镜片为一光学分光镜；该第二光学镜片为一光学分光镜。又根据本实用新型光学影像检测装置，其中该照明光束的前进方向，概略与该第一待测面垂直。
与现有技术相比，本实用新型所具有的有益效果为：本实用新型藉由第一、二光学分光镜、第一、二、三取像单元及第一、二光源的设置，因而能对多层合并的复合待测物进行检测，也就是对复合待测物中的各个层面，同时进行检测，检测作业更加全面而并有效降低成本并大幅减小所需的安装空间。
为了让本实用新型上述和其它目的、特征、和优点能更明显易懂，下文特举一较佳实施例，并配合所附图示，作详细说明如下。
附图说明
图1为本实用新型第一照明反射光束的光路前进示意图。
图2为本实用新型第一照明反射光束的另一光路前进示意图。
图3为本实用新型第一照明反射光束的再一光路前进示意图。
图4为本实用新型第二照明反射光束的光路前进示意图。
图5为本实用新型第二照明反射光束的另一光路前进示意图。
图6为本实用新型第二照明反射光束的再一光路前进示意图。
主要组件符号说明：
10 第一待测物；
11 第一待测面；
20 第二待测物；
21 第二待测面；
22 第三待测面；
30 第一光源；
40 第一光学镜片；
50 第二光学镜片；
60 第一取像器；
61 第一镜头；
70 第二取像器；
71 第二镜头；
80 第三取像器；
81 第三镜头；
90 第二光源；
100 第一照明光束；
110 第一照明反射光束；
120 第二照明反射光束；
130 第三照明反射光束；
200 第二照明光束；
210 第四照明反射光束；
220 第五照明反射光束；
230 第六照明反射光束。
具体实施方式
有关本实用新型前述内容以及其它技术内容、特点与功效，在以下配合参考图示并特举一较佳实施例并详细说明。
请参考图1、图2与图3，本实用新型所揭露的光学影像检测装置，包含有第一光源30、第一光学镜片40、第二光学镜片50、第一取像器60、第二取像器70以及第三取像器80，上述组件皆位于复合待测体的一侧，或称前侧，而复合待测体的下侧还配置有第二光源90。第一光源30位于复合待测体与第一取像器60之间，第一光学镜片40设置于第一光源30与第一取像器60之间，第二光学镜片50设置于第一光源30与第二取像器70之间，并位于第二取像器70与第三取像器80的前侧。第一光学镜片40与第二光学镜片50可以选用光学分光镜。第一镜头61、第二镜头71、第三镜头81分别设置于上述各个取像器的前方，藉以调整各取像器的取像焦距。复合待测体由第一待测物10与第二待测物20所构成，其中第一待测物具有第一待测面11，第二待测物具有对应于第一待测面11的第二待测面21，以及相对于第二待测面21的第三待测面22。补充说明，本实用新型所使用的复合待测体为由两层组成，实际上本实用新型揭露的技术可以适用于多层面的复合待测体，并未限制仅能使用于两层组合的复合待测体。
接下来说明光路的行进与取像。第一光源30朝下发出第一照明光束100而照射于第一待测物10与第二待测物20，并反射朝上前进至第一光学镜片40，其中第一照明光束100的前进方向，概略与第一待测面11垂直。第一照明光束100将部分穿透第一光学镜片40而产生第一照明反射光束110，第一取像器60就可以利用这个第一照明反射光束110，取得第一待测物10的第一待测面11影像，而进行后续的检测作业。同时，如图2所示，第一光学镜片40也会部分反射第一照明光束100而前进至第二光学镜片50。第二光学镜片50会部分反射光束而产生第二照明反射光束120，第二取像器70可以接收到第二照明反射光束120而取得第二待测面21的影像，而进行后续的检测作业。
另如图3所示，也有部分光束穿透第二光学镜片50，而入射到第三取像器80，第三取像器80就可以接收取得第二待测物20的第三待测面的影像，让连接于各个取像器的检测仪器(图中未示)进行后续的影像检测判定作业。
请参考图4、图5与图6，说明本实用新型第二照明光束200的前进方向与取像作业。
第二光源90位于复合待测体的下方并照射之，第二光源90产生第二照明光束200穿透复合待测体而向外射出，第二照明光束200概略与第一待测面11垂直。第二照明光束200入射到第一光学镜片40后，将部分穿透而产生第四照明反射光束210，第一取像器60就可以利用此第四照明反射光束210而取得第一待测物10的第一待测面11的影像而进行后续的检测。如图5所示，第一光学镜片40会部分反射第二照明光束200，到达第二光学镜片50。第二光学镜片50又部分反射而产生第五照明反射光束220，第二取像器70就可以利用此第五照明反射光束220而取得第二待测面21的影像。如图6所示，第二照明光束200也会部分穿透第二光学镜片50，而产生第六照明反射光束230。第三取像器80可以利用第六照明反射光束230而取得第三待测面22的影像，藉以进行后续的检测作业。
虽然本实用新型已以较佳实施例揭露如上，然其并非用以限定本实用新型，任何熟习此技艺者，在不脱离本实用新型精神和范围内，当可作些许的更动与润饰，本实用新型保护范围当以权利要求书所界定者为准。
Claims (9)
1.一种光学影像检测装置，用于撷取并检测一复合待测体的影像，该复合待测体由至少一可透光的第一待测物与一可透光的第二待测物叠合而成，该第一待测物具有一第一待测面，该第二待测物具有一第二待测面，以及相对于该第二待测面的第三待测面，其特征在于，该光学影像检测装置包含有：
一光源单体，设置于该复合待测体的一侧，产生一照明光束发射至该待测物；
一第一取像单元，一第二取像单元及一第三取像单元，设置于该复合待测体的一侧，该光源单***于该复合待测体与该第一取像单元之间；
一第一光学镜片，设置于该光源单体与该第一取像单元之间，并位于该第一取像单元的前侧；以及
一第二光学镜片，设置于该光源单体与该第二取像单元之间，并位于该第二取像单元与该第三取像单元的前侧；
其中该照明光束照射于该复合待测体，并反射至该第一光学镜片后，部分穿透该第一光学镜片而产生一第一照明反射光束，该第一取像单元利用该第一照明反射光束而取得该第一待测面的影像；该第一光学镜片部分反射该照明光束而入射到该第二光学镜片，该第二光学镜片部分反射入射的照明光束而产生一第二照明反射光束，该第二取像单元利用该第二照明反射光束而取得该第二待测面的影像；该第一光学镜片部分反射该照明光束并穿透该第二光学镜片，而产生一第三照明光束，该第三取像单元利用该第三照明反射光束而取得该第三待测面的影像。
2.根据权利要求1所述的光学影像检测装置，其特征在于，该第一光学镜片为一光学分光镜。
3.根据权利要求1所述的光学影像检测装置，其特征在于，该第二光学镜片为一光学分光镜。
4.根据权利要求1所述的光学影像检测装置，其特征在于，该照明光束的前进方向，概略与该第一待测面垂直。
5.一种光学影像检测装置，用于撷取并检测一复合待测体的影像，该复合待测体由至少一可透光的第一待测物与一可透光的第二待测物叠合而成，该第一待测物具有一第一待测面，该第二待测物具有一第二待测面，以及相对于该第二待测面的第三待测面，其特征在于，该光学影像检测装置包含有：
一第一取像单元，一第二取像单元，一第三取像单元，设置于该复合待测体的一侧；
一光源单体，设置于该复合待测体的另一侧，产生一照明光束发射至该待测物；
一第一光学镜片，设置于该复合待测体与该第一取像单元之间，并位于该第一取像单元的前侧；以及
一第二光学镜片，设置于该复合待测体与该第二取像单元之间，并位于该第二取像单元与该第三取像单元的前侧；
其中该照明光束照射穿透该复合待测体，而入射至该第一光学镜片后，部分穿透该第一光学镜片而产生一第一照明反射光束，该第一取像单元利用该第一照明反射光束而取得该第一待测面的影像；该第一光学镜片部分反射该照明光束而入射到该第二光学镜片，该第二光学镜片将部分反射入射的照明光束而产生一第二照明反射光束，该第二取像单元利用该第二照明反射光束而取得该第二待测面的影像；该第一光学镜片部分反射该照明光束并穿透该第二光学镜片，而产生一第三照明光束，该第三取像单元利用该第三照明反射光束而取得该第三待测面的影像。
6.根据权利要求5所述的光学影像检测装置，其特征在于，该光源单体设置于该复合待测体的下侧，该复合待测***于该光源单体与该第一待测物之间。
7.根据权利要求5所述的光学影像检测装置，其特征在于，该第一光学镜片为一光学分光镜。
8.根据权利要求5所述的光学影像检测装置，其特征在于，该第二光学镜片为一光学分光镜。
9.根据权利要求5所述的光学影像检测装置，其特征在于，该照明光束的前进方向，概略与该第一待测面垂直。
Applications Claiming Priority (2)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| TW101203758U TWM434205U (en) | 2012-03-02 | 2012-03-02 | Optical image inspection device |
| TW101203758 | 2012-03-02 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| CN203069521U true CN203069521U (zh) | 2013-07-17 |
Family
ID=46882564
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| CN 201320025257 Expired - Fee Related CN203069521U (zh) | 2012-03-02 | 2013-01-18 | 光学影像检测装置 |
Country Status (2)
| Country | Link |
|---|---|
| CN (1) | CN203069521U (zh) |
| TW (1) | TWM434205U (zh) |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| CN104034735A (zh) * | 2014-02-28 | 2014-09-10 | 金东纸业（江苏）股份有限公司 | 一种多层物料的检测设备 |
-
2012
- 2012-03-02 TW TW101203758U patent/TWM434205U/zh not_active IP Right Cessation
-
2013
- 2013-01-18 CN CN 201320025257 patent/CN203069521U/zh not_active Expired - Fee Related
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| CN104034735A (zh) * | 2014-02-28 | 2014-09-10 | 金东纸业（江苏）股份有限公司 | 一种多层物料的检测设备 |
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| TWM434205U (en) | 2012-07-21 |
Similar Documents
| Publication | Publication Date | Title |
|---|---|---|
| WO2013008392A1 (ja) | 錠剤検査装置及び錠剤検査方法 | |
| CN102095736B (zh) | 双光学放大倍率图像采集装置及图像采集控制处理*** | |
| JP2017215277A (ja) | 欠陥検査システム、フィルム製造装置及び欠陥検査方法 | |
| CN104279456A (zh) | 用于光学检测的照明***及使用其的检测***、检测方法 | |
| JP5660810B2 (ja) | 部品実装機の吸着ノズル検査装置 | |
| JP6379088B2 (ja) | 錠剤検査装置及び錠剤検査方法 | |
| CN102384908A (zh) | 基板内部缺陷检查装置及方法 | |
| JP6967131B2 (ja) | 偏光板の検査方法および検査装置 | |
| KR101672523B1 (ko) | 카메라용 렌즈모듈 외관 검사공법 | |
| CN102128838A (zh) | 基板内部缺陷检查装置及方法 | |
| CN203069521U (zh) | 光学影像检测装置 | |
| JP2006300875A (ja) | 液面検出方法、液量検出方法、液面検出装置、液量検出装置および分注装置 | |
| KR20140081261A (ko) | 패널 검사장치 | |
| WO2013035524A1 (ja) | 透明電極の観察装置および透明電極の観察方法 | |
| CN104655653A (zh) | 印刷电路板的检测方法及其设备 | |
| TWI638415B (zh) | 晶圓盒的檢測方法及晶圓盒的檢測系統 | |
| KR100749954B1 (ko) | 편광필름의 검사방법 및 이에 적용되는 편광필름의 검사장치 | |
| KR101409217B1 (ko) | 합착기판의 검사장치 및 검사방법 | |
| KR100971081B1 (ko) | 편광필름의 검사방법 | |
| KR101351000B1 (ko) | 복수 개의 검사 모드를 가지는 인라인 카메라 검사 장치 | |
| TW201710664A (zh) | 瑕疵檢測裝置 | |
| CN202583075U (zh) | 具有照明光源之缺陷检测*** | |
| JP2015194348A (ja) | 検査システム、検査方法 | |
| CN111024707A (zh) | 光学膜检测装置及光学膜的检测方法 | |
| CN1327326C (zh) | 光学感应组件及其搭配组件的快速检测法 |
Legal Events
| Date | Code | Title | Description |
|---|---|---|---|
| C14 | Grant of patent or utility model | ||
| GR01 | Patent grant | ||
| CF01 | Termination of patent right due to non-payment of annual fee |
Granted publication date: 20130717 Termination date: 20150118 |
|
| EXPY | Termination of patent right or utility model |