CN202323024U - 一种化学气相沉积炉用沉积室 - Google Patents
一种化学气相沉积炉用沉积室 Download PDFInfo
- Publication number
- CN202323024U CN202323024U CN2012200755830U CN201220075583U CN202323024U CN 202323024 U CN202323024 U CN 202323024U CN 2012200755830 U CN2012200755830 U CN 2012200755830U CN 201220075583 U CN201220075583 U CN 201220075583U CN 202323024 U CN202323024 U CN 202323024U
- Authority
- CN
- China
- Prior art keywords
- deposition chamber
- chamber body
- sediment chamber
- cover plate
- upper cover
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Expired - Fee Related
Links
Images
Landscapes
- Chemical Vapour Deposition (AREA)
Abstract
本实用新型涉及一种化学气相沉积炉用沉积室，属于炭/炭复合材料制造技术领域，其包括沉积室本体及上盖板，其特征在于，所述沉积室本体为圆筒状结构；所述上盖板设置在所述沉积室本体的顶部，且与所述沉积室本体密闭连接，所述上盖板上设有排气孔；所述沉积室本体的套装在发热体内，所述沉积室本体设置在沉积炉底座上。所述沉积室本体采用石墨或炭/炭复合材料材质。本实用新型结构简单，避免了工作气体与石墨加热器的接触，增加了工作气体的利用率，同时减少了热解炭在石墨加热器上以及引电连接部位上的不断生长而造成的设备短路等故障，降低了设备检修维护工作量。
Description
技术领域
本实用新型涉及一种沉积室，尤其涉及一种化学气相沉积炉用沉积室，属于炭/炭复合材料制造技术领域。
背景技术
化学气相沉积（CVI）是制造炭/炭复合材料的传统工艺方法，它是将烃类气体通入沉积炉内，在1000℃左右条件下，热解炭在炭纤维表面不断生长，最终使纤维编织体致密化形成炭纤维增强热解炭基体复合材料。沉积炉一般采用中频感应加热或石墨电阻加热，在石墨电阻加热沉积炉中，根据炉膛的大小石墨加热器可设计成管状、棒状、板状等不同的结构形式，在气相沉积过程中热解炭除了在炭纤维表面不断生长使炭纤维预制体致密外，还会在石墨加热器上以及引电连接部位上生长，既浪费了大量的原料气体造成沉积效率降低，而且由于热解炭在石墨加热器上以及引电连接部位上的不断生长，极易造成设备短路等故障，影响设备利用效率，增加设备检修维护工作量。因此亟需一种在沉积炉内可以避免工作气体与石墨加热器的接触，还能增加工作气体的利用率的沉积室。
实用新型内容
本实用新型针对上述现有技术中石墨电阻加热沉积炉内存在的不足，提供一种结构简单在石墨电阻加热沉积炉内不但可以避免工作气体与石墨加热器的接触，而且增加了工作气体的利用率的沉积室。
本实用新型解决上述技术问题的技术方案如下：一种化学气相沉积炉用沉积室，包括沉积室本体及上盖板，其特点是，所述沉积室本体为圆筒状结构，所述上盖板设置在所述沉积室本体的顶部，且与所述沉积室本体密闭连接，所述上盖板上设有排气孔；所述沉积室本体套装在发热体内，所述沉积室本体设置在沉积炉底座上。
在石墨电阻加热沉积炉内安装本实用新型，在本实用新型内装入准备气相沉积的预制体并由沉积炉底座上的进气孔通入烃类气体，预制体在沉积室内不断增密，反应后的废气由顶部排气孔排出。
进一步，所述沉积室本体采用石墨或炭/炭复合材料材质。
进一步，上盖板上的排气孔为圆孔，其直径为100mm。便于工作时气相沉积炉炉内沉积室内部已反应气体排放。
进一步，所述排气孔为5个。保证大量的气体能随时排除沉积室。
本实用新型的有益效果是：在石墨电阻加热沉积炉中安装本实用新型后，避免了工作气体与石墨加热器的接触，增加了工作气体的利用率，同时减少了热解炭在石墨加热器上以及引电连接部位上的不断生长而造成的设备短路等故障，降低了设备检修维护工作量。
附图说明
图1为本实用新型剖面结构示意图；
图2为图1沿A-A方向的俯视图。
图1-图2所示，1、沉积室本体；2、发热体；3、上盖板；4、排气孔；5、沉积炉底座；6、进气孔。
具体实施方式
以下结合附图对本实用新型的原理和特征进行描述，所举实例只用于解释本实用新型，并非用于限定本实用新型的范围。
如图1和图2所示，一种化学气相沉积炉用沉积室，包括沉积室本体1及上盖板3，所述沉积室本体1为圆筒状结构，位于所述沉积炉底座5的上方；所述上盖板3设置在所述沉积室本体1的顶部，且与所述沉积室本体1密闭连接，所述上盖板3上设有排气孔4，所述上盖板3上的排气孔4为圆孔，所述圆孔的直径为100mm；所述沉积室本体1套装在发热体2内。
所述沉积室本体1采用石墨或炭/炭复合材料材质。所述炭/炭复合材料是一种由高强度碳素纤维和碳素基质经过石墨化增强处理后构成的材料，可以广泛应用在高温环境下的各类结构件，加热器和容器。
在石墨电阻加热沉积炉内安装本实用新型，在本实用新型沉积室内装入准备气相沉积的预制体，然后通过沉积炉底座5上的进气孔6通入烃类气体，预制体在沉积室内不断增密，反应后的废气由顶部排气孔4排出，避免工作气体与石墨加热器接触。
以上所述仅为本实用新型的较佳实施例，并不用以限制本实用新型，凡在本实用新型的精神和原则之内，所作的任何修改、等同替换、改进等，均应包含在本实用新型的保护范围之内。
Claims (4)
1.一种化学气相沉积炉用沉积室，包括沉积室本体及上盖板，其特征在于，所述沉积室本体为圆筒状结构，所述上盖板设置在所述沉积室本体的顶部，且与所述沉积室本体密闭连接，所述上盖板上设有排气孔。
2.根据权利要求1所述的化学气相沉积炉用沉积室，其特征在于，所述沉积室本体采用石墨或炭/炭复合材料制成。
3.根据权利要求1或2所述的化学气相沉积炉用沉积室，其特征在于，所述上盖板上的排气孔为圆孔，其直径为100mm。
4.根据权利要求3所述的化学气相沉积炉用沉积室，其特征在于，所述排气孔为5个。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| CN2012200755830U CN202323024U (zh) | 2012-03-02 | 2012-03-02 | 一种化学气相沉积炉用沉积室 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| CN2012200755830U CN202323024U (zh) | 2012-03-02 | 2012-03-02 | 一种化学气相沉积炉用沉积室 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| CN202323024U true CN202323024U (zh) | 2012-07-11 |
Family
ID=46435011
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| CN2012200755830U Expired - Fee Related CN202323024U (zh) | 2012-03-02 | 2012-03-02 | 一种化学气相沉积炉用沉积室 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| CN (1) | CN202323024U (zh) |
Cited By (4)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| CN103103493A (zh) * | 2012-11-07 | 2013-05-15 | 山东鑫汇铜材有限公司 | 一种石墨烯铜线生产装置 |
| CN109371379A (zh) * | 2018-12-03 | 2019-02-22 | 湖南顶立科技有限公司 | 一种沉积装置及制备热解炭的方法 |
| CN112723898A (zh) * | 2020-12-30 | 2021-04-30 | 内蒙古栢特新材料科技有限公司 | 一种天然气化学气相沉积炉用炭/炭内胆的制备方法 |
| CN112830807A (zh) * | 2021-03-19 | 2021-05-25 | 中南大学 | 一种气相沉积装置及碳/碳复合材料的制备方法 |
-
2012
- 2012-03-02 CN CN2012200755830U patent/CN202323024U/zh not_active Expired - Fee Related
Cited By (7)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| CN103103493A (zh) * | 2012-11-07 | 2013-05-15 | 山东鑫汇铜材有限公司 | 一种石墨烯铜线生产装置 |
| CN103103493B (zh) * | 2012-11-07 | 2015-05-06 | 山东鑫汇铜材有限公司 | 一种石墨烯铜线生产装置 |
| CN109371379A (zh) * | 2018-12-03 | 2019-02-22 | 湖南顶立科技有限公司 | 一种沉积装置及制备热解炭的方法 |
| CN109371379B (zh) * | 2018-12-03 | 2021-05-11 | 湖南顶立科技有限公司 | 一种沉积装置及制备热解炭的方法 |
| CN112723898A (zh) * | 2020-12-30 | 2021-04-30 | 内蒙古栢特新材料科技有限公司 | 一种天然气化学气相沉积炉用炭/炭内胆的制备方法 |
| CN112830807A (zh) * | 2021-03-19 | 2021-05-25 | 中南大学 | 一种气相沉积装置及碳/碳复合材料的制备方法 |
| CN112830807B (zh) * | 2021-03-19 | 2022-05-20 | 中南大学 | 一种气相沉积装置及碳/碳复合材料的制备方法 |
Similar Documents
| Publication | Publication Date | Title |
|---|---|---|
| CN202323024U (zh) | 一种化学气相沉积炉用沉积室 | |
| CN102126721A (zh) | 石墨材料的纯化和石墨化方法 | |
| CN201495102U (zh) | 小型立式高温石墨化炉 | |
| KR101528411B1 (ko) | 다중관 외열식 석탄물질 분해 장치 | |
| CN204429254U (zh) | 一种连续全密闭流化床二硫化碳生产装置 | |
| US20170297917A1 (en) | Equipment And Process For Preparing Silicon Oxides | |
| CN203794966U (zh) | 一种废汞触媒汞回收干馏装置 | |
| CN202323014U (zh) | 一种气相沉积炉 | |
| CN103723719B (zh) | 石墨提纯设备 | |
| CN204324896U (zh) | 一种高纯石墨高温石墨化炉 | |
| CN104451204B (zh) | 一种废汞触媒汞回收干馏装置 | |
| CN201785196U (zh) | 真空温控调压碳化硅冶炼炉 | |
| CN1241878C (zh) | 自热法制备炭/炭复合材料实心圆柱体制件 | |
| CN202968142U (zh) | 石英砂提纯装置的高温气化反应管 | |
| CN206278918U (zh) | 一种热解炉和耙式炉联合制备活性炭的*** | |
| CN205115375U (zh) | 干馏装置 | |
| CN104830350A (zh) | 一种生物质有机炭制备装置 | |
| CN211570551U (zh) | 一种生物质热解炭化炉气体均匀分布装置 | |
| CN203021302U (zh) | 还原炉电极石英绝缘构件 | |
| CN206014422U (zh) | 一种活性炭生产设备 | |
| CN205974389U (zh) | 一种蓄热式移动床热解和裂解反应器 | |
| CN204676132U (zh) | 一种红土镍矿高温焙砂保温仓结构 | |
| CN204625550U (zh) | 一种生物质有机炭制备装置的换热及催化剂导流机构 | |
| CN104591119A (zh) | 热解石墨制备方法 | |
| CN204625546U (zh) | 一种生物质有机炭制备装置 |
Legal Events
| Date | Code | Title | Description |
|---|---|---|---|
| C14 | Grant of patent or utility model | ||
| GR01 | Patent grant | ||
| CF01 | Termination of patent right due to non-payment of annual fee |
Granted publication date: 20120711 Termination date: 20150302 |
|
| EXPY | Termination of patent right or utility model |