CN202116321U - 多晶硅生产废料全回收*** - Google Patents

Abstract

本实用新型公开了一种多晶硅生产废料全回收***，它包括SiCl₄及氯硅烷高聚物回收单元，其底料输出口连接萃取剂与杂质分离单元的输入口，萃取剂与杂质分离单元的杂质输出口连接硅粉回收单元的杂质输入口，萃取剂与杂质分离单元的萃取剂输出口连接萃取剂回流单元的输入口，萃取剂回流单元的输出口分别连接SiCl₄及氯硅烷高聚物回收单元的萃取剂输入口、金属氯化物回收单元的含金属氯化物的萃取剂输入口，硅粉回收单元的含金属氯化物的洗涤剂输出口连接金属氯化物回收单元的含金属氯化物的洗涤剂输入口。本实用新型可从废料中回收硅粉、金属氯化物、SiCl₄以及氯硅烷高聚物，既节约了能源，又无废渣、废水排出，不会对环境造成污染。

Description

多晶硅生产废料全回收***

技术领域

本实用新型涉及一种废料回收***，尤指一种对多晶硅生产过程中产生的废料进行全回收的***。

背景技术

由于全球能源日趋紧张，绿色能源——太阳能便被大规模开发利用。太阳能的电池原材料为多晶硅，因此，多晶硅的需求量日趋增大，多晶硅生产被作为绿色经济行业而得到了迅猛地发展。

但是，多晶硅在生产过程中会排出一些废水、废渣、稀盐酸等废料，会给人类生存环境带来一定的污染，并且这些废料在排出的同时还会损失很多其它有用的原料，造成了一定的资源浪费。

目前，许多生产厂家多采用水解方法来处理多晶硅生产过程中排出的废料，但是采用这种水解方法处理废料的同时还会继续产生废水和废渣，造成严重的二次污染。另外，在处理废料的过程中也会出现堵塞工艺管道，磨损、腐蚀设备的情况，会给多晶硅的生产造成不良的影响。

实用新型内容

本实用新型的目的在于提供一种多晶硅生产废料全回收***，该***从多晶硅生成过程中排放的废料中回收了生产原料，节约了能源，且无废渣、废水排出，不会对环境造成污染。

为了实现上述目的，本实用新型采用了以下技术方案：

一种多晶硅生产废料全回收***，其特征在于：它包括废料罐、SiCl₄及氯硅烷高聚物回收单元、硅粉回收单元、金属氯化物回收单元，其中：多晶硅生产过程中产生的废料从该废料罐的输入口输入，该废料罐的输出口连接该SiCl₄及氯硅烷高聚物回收单元的废料输入口，该SiCl₄及氯硅烷高聚物回收单元的底料输出口连接萃取剂与杂质分离单元的输入口，该萃取剂与杂质分离单元的杂质输出口连接该硅粉回收单元的杂质输入口，该萃取剂与杂质分离单元的萃取剂输出口连接萃取剂回流单元的输入口，该萃取剂回流单元的输出口分别连接该SiCl₄及氯硅烷高聚物回收单元的萃取剂输入口、该金属氯化物回收单元的含金属氯化物的萃取剂输入口，该硅粉回收单元的含金属氯化物的洗涤剂输出口连接该金属氯化物回收单元的含金属氯化物的洗涤剂输入口，洗涤剂罐的输出口分别连接该硅粉回收单元、该金属氯化物回收单元的洗涤剂输入口，该金属氯化物回收单元的洗涤剂输出口、还原的萃取剂输出口分别连接该洗涤剂罐的输入口、萃取剂回收罐的输入口，该萃取剂回收罐、萃取剂罐的输出口连接该SiCl₄及氯硅烷高聚物回收单元的萃取剂输入口。

所述SiCl₄及氯硅烷高聚物回收单元包括萃取蒸馏塔釜；该萃取蒸馏塔釜的废料输入口连接所述废料罐的输出口；该萃取蒸馏塔釜的萃取剂输入口连接所述萃取剂罐、所述萃取剂回收罐、所述萃取剂回流单元的输出口；该萃取蒸馏塔釜底部的底料输出口连接所述萃取剂与杂质分离单元的输入口；位于该萃取蒸馏塔釜顶部的SiCl₄输出口经由一个开关阀、一个冷凝器连接一个回流罐的输入口，该回流罐的回流输出口连接该萃取蒸馏塔釜顶部的SiCl₄回流口，该回流罐的产品输出口连接SiCl₄产品输出罐的输入口；位于该萃取蒸馏塔釜顶部的高聚物输出口经由一个开关阀、一个冷凝器连接一个回流罐的输入口，该回流罐的回流输出口连接该萃取蒸馏塔釜顶部的高聚物回流口，该回流罐的产品输出口连接高聚物产品输出罐的输入口。

所述萃取剂与杂质分离单元包括塔底料罐，所述萃取剂回流单元包括萃取剂回流罐，所述萃取蒸馏塔釜的底料输出口连接该塔底料罐的输入口，该塔底料罐的输出口连接一个过滤器的输入口，该过滤器的萃取剂输出口连接该萃取剂回流罐的输入口，该萃取剂回流罐的输出口连接所述萃取蒸馏塔釜的萃取剂输入口和所述金属氯化物回收单元的含金属氯化物的萃取剂输入口，该过滤器的杂质输出口连接所述硅粉回收单元的杂质输入口。

所述硅粉回收单元包括硅粉洗涤罐，该硅粉洗涤罐的杂质输入口、洗涤剂输入口分别连接所述萃取剂与杂质分离单元的杂质输出口、所述洗涤剂罐的输出口，该硅粉洗涤罐的输出口连接硅粉过滤器的输入口，该硅粉过滤器的液相输出口连接含金属氯化物的洗涤剂罐的输入口，该含金属氯化物的洗涤剂罐的输出口分两路，一路经由一个回流开关阀连接该硅粉洗涤罐的洗涤剂输入口，另一路经由一个输送开关阀连接所述金属氯化物回收单元的含金属氯化物的洗涤剂输入口，该硅粉过滤器的固相输出口经由干燥器连接硅粉产品输出罐的输入口。

所述金属氯化物回收单元包括萃取剂洗涤罐，该萃取剂洗涤罐的洗涤剂输入口、含金属氯化物的萃取剂输入口分别连接所述洗涤剂罐的输出口、所述萃取剂回流单元的输出口，该萃取剂洗涤罐的输出口连接分离器的输入口，该分离器的上层输出口、下层输出口分别连接浓缩蒸发器的输入口、脱除金属氯化物的萃取剂罐的输入口，该脱除金属氯化物的萃取剂罐的输出口连接蒸发器的输入口，该蒸发器的洗涤剂输出口、萃取剂输出口分别连接一个冷凝器的输入口、所述萃取剂回收罐的输入口，该浓缩蒸发器的输入口连接所述硅粉回收单元的含金属氯化物的洗涤剂输出口，该浓缩蒸发器的洗涤剂输出口、金属氯化物输出口分别连接该冷凝器的输入口、结晶器的输入口，该结晶器的洗涤剂输出口、金属氯化物输出口分别连接该冷凝器的输入口、金属氯化物产品输出罐的输入口，该冷凝器的输出口连接所述洗涤剂罐的输入口。

本实用新型的优点是：

本实用新型可从多晶硅生成过程中排放的废料中完全回收硅粉、金属氯化物、SiCl₄以及氯硅烷高聚物，该金属氯化物包括AlCl₃、FeCl₃、CuCl₂，该SiCl₄和氯硅烷高聚物中不含硅粉和金属氯化物，并且，本实用新型无废渣、废水排出，不会对环境造成二次污染。

在本实用新型中，洗涤剂和萃取剂可再生重复使用，从而节省了洗涤剂和萃取剂的用量。

总之，本实用新型从多晶硅生成过程中排放的废料中回收了生产原料，节约了能源，且无废渣、废水排出，不会对环境造成污染，有利于多晶硅行业的发展，特别适用于多晶硅生产、四氯化硅生产等企业。

附图说明

图1是本实用新型的组成框图；

图2是本实用新型中的SiCl₄及氯硅烷高聚物回收单元、萃取剂与杂质分离单元、萃取剂回流单元的组成示意图；

图3是本实用新型中的硅粉回收单元的组成示意图；

图4是本实用新型中的金属氯化物回收单元的组成示意图。

具体实施方式

如图1所示，本实用新型多晶硅生产废料全回收***包括废料罐100、SiCl₄及氯硅烷高聚物回收单元200、硅粉回收单元600、金属氯化物回收单元500，其中：多晶硅生产过程中产生的废料从该废料罐100的输入口输入，该废料罐100的输出口连接该SiCl₄及氯硅烷高聚物回收单元200的废料输入口，该SiCl₄及氯硅烷高聚物回收单元200的底料输出口连接萃取剂与杂质分离单元400的输入口，该萃取剂与杂质分离单元400的杂质输出口连接该硅粉回收单元600的杂质输入口，该萃取剂与杂质分离单元400的萃取剂输出口连接萃取剂回流单元300的输入口，该萃取剂回流单元300的输出口分别连接该SiCl₄及氯硅烷高聚物回收单元200的萃取剂输入口、该金属氯化物回收单元500的含金属氯化物的萃取剂输入口，该硅粉回收单元600的含金属氯化物的洗涤剂输出口连接该金属氯化物回收单元500的含金属氯化物的洗涤剂输入口，洗涤剂罐700的输出口分别连接该硅粉回收单元600、该金属氯化物回收单元500的洗涤剂输入口，该金属氯化物回收单元500的洗涤剂输出口、还原的萃取剂输出口分别连接该洗涤剂罐700的输入口、萃取剂回收罐900的输入口，该萃取剂回收罐900、萃取剂罐800的输出口连接该SiCl₄及氯硅烷高聚物回收单元200的萃取剂输入口。

如图2所示，SiCl₄及氯硅烷高聚物回收单元200包括萃取蒸馏塔釜201；该萃取蒸馏塔釜201的废料输入口连接废料罐100的输出口；该萃取蒸馏塔釜201的萃取剂输入口连接萃取剂罐800的输出口、萃取剂回收罐900的输出口、萃取剂回流单元300的输出口(即萃取剂回流罐301的输出口)；该萃取蒸馏塔釜201底部的底料输出口连接萃取剂与杂质分离单元400的输入口(即塔底料罐401的输入口)；位于该萃取蒸馏塔釜201顶部的SiCl₄输出口经由一个开关阀(图中未示出)、一个冷凝器202连接一个回流罐203的输入口，该回流罐203的回流输出口经由一个罐泵连接该萃取蒸馏塔釜201顶部的SiCl₄回流口，该回流罐203的产品输出口连接SiCl₄产品输出罐204的输入口；位于该萃取蒸馏塔釜201顶部的高聚物输出口经由一个开关阀(图中未示出)、一个冷凝器205连接一个回流罐206的输入口，该回流罐206的回流输出口经由一个罐泵连接该萃取蒸馏塔釜201顶部的高聚物回流口，该回流罐206的产品输出口连接高聚物产品输出罐207的输入口。

如图2，萃取剂与杂质分离单元400包括塔底料罐401，萃取剂回流单元300包括萃取剂回流罐301，萃取蒸馏塔釜201的底料输出口经由一个罐泵连接该塔底料罐401的输入口，该塔底料罐401的输出口经由一个罐泵连接一个过滤器402的输入口，该过滤器402的萃取剂输出口连接该萃取剂回流罐301的输入口，该萃取剂回流罐301的输出口经由一个罐泵连接萃取蒸馏塔釜201的萃取剂输入口和金属氯化物回收单元500的含金属氯化物的萃取剂输入口(即萃取剂洗涤罐501的含金属氯化物的萃取剂输入口)，该过滤器402的杂质输出口连接硅粉回收单元600的杂质输入口(即硅粉洗涤罐601的杂质输入口)。

如图3所示，硅粉回收单元600包括硅粉洗涤罐601，该硅粉洗涤罐601的杂质输入口、洗涤剂输入口分别连接萃取剂与杂质分离单元400的杂质输出口(即过滤器402的杂质输出口)、洗涤剂罐700的输出口，该硅粉洗涤罐601的输出口连接硅粉过滤器602的输入口，该硅粉过滤器602的液相输出口经由一个罐泵连接含金属氯化物的洗涤剂罐603的输入口，该含金属氯化物的洗涤剂罐603的输出口分两路，一路经由一个回流开关阀607连接该硅粉洗涤罐601的洗涤剂输入口，另一路经由一个输送开关阀605连接金属氯化物回收单元500的含金属氯化物的洗涤剂输入口(即浓缩蒸发器505的输入口)，该硅粉过滤器602的固相输出口经由干燥器604连接硅粉产品输出罐606的输入口。

如图4所示，金属氯化物回收单元500包括萃取剂洗涤罐501，该萃取剂洗涤罐501的洗涤剂输入口、含金属氯化物的萃取剂输入口分别连接洗涤剂罐700的输出口、萃取剂回流单元300的输出口(即萃取剂回流罐301的输出口)，该萃取剂洗涤罐501的输出口连接分离器502的输入口，该分离器502的上层输出口(位于分离器502上部)、下层输出口(位于分离器502下部)分别连接浓缩蒸发器505的输入口、脱除金属氯化物的萃取剂罐503的输入口，该脱除金属氯化物的萃取剂罐503的输出口连接蒸发器504的输入口，该蒸发器504的洗涤剂输出口、萃取剂输出口分别连接一个冷凝器506的输入口、萃取剂回收罐900的输入口，该浓缩蒸发器505的输入口连接硅粉回收单元600的含金属氯化物的洗涤剂输出口(即输送开关阀605的输出口)，该浓缩蒸发器505的洗涤剂输出口、金属氯化物输出口分别连接该冷凝器506的输入口、结晶器507的输入口，该结晶器507的洗涤剂输出口、金属氯化物输出口分别连接该冷凝器506的输入口、金属氯化物产品输出罐508的输入口，该冷凝器506的输出口连接洗涤剂罐700的输入口。

本实用新型中涉及到的冷凝器202、205、506、回流罐203、206、萃取蒸馏塔釜201、过滤器402、硅粉过滤器602、硅粉洗涤罐601、干燥器604、萃取剂洗涤罐501、分离器502、蒸发器504、结晶器507、浓缩蒸发器505等均为公知设备，在本实用新型中不再详述。

如图2至图4，本实用新型的工作过程为：

萃取剂罐800中的萃取剂经由罐泵送至萃取蒸馏塔釜201内后，加热萃取蒸馏塔釜201，使其内部温度达到并控制在提取SiCl₄所需的温度范围内，控制SiCl₄输出口处的开关阀为打开状态，而高聚物输出口处的开关阀为关闭状态(并且回流罐206连接的罐泵停止工作)。废料罐100中存储的废料经由罐泵送至萃取蒸馏塔釜201的底部，当废料进入萃取蒸馏塔釜201内后，废料中的SiCl₄被汽化蒸出，经萃取蒸馏塔釜201顶部的SiCl₄输出口输出，然后进入冷凝器202冷凝为液态后大部分液态SiCl₄经由回流罐203输出至SiCl₄产品输出罐204，而少部分液态SiCl₄经由回流罐203回到萃取蒸馏塔釜201内，以利于后续SiCl₄的提取。当人工检测萃取蒸馏塔釜201内的氯硅烷高聚物累积到一设定量时，关闭SiCl₄输出口处的开关阀(并且回流罐203连接的罐泵停止工作)，打开高聚物输出口处的开关阀，使萃取蒸馏塔釜201内的温度提升到提取氯硅烷高聚物所需的温度范围内，随即蒸出氯硅烷高聚物，蒸出的氯硅烷高聚物经由萃取蒸馏塔釜201顶部的高聚物输出口输出，然后进入冷凝器205冷凝为液态后大部分液态氯硅烷高聚物经由回流罐206输出至高聚物产品输出罐207，而少部分液态氯硅烷高聚物经由回流罐206回到萃取蒸馏塔釜201内，以利于后续氯硅烷高聚物的提取。

当SiCl₄和氯硅烷高聚物从废料中被提取出后，废料中的硅粉和金属氯化物这些杂质被留在了萃取蒸馏塔釜201底部的液态萃取剂中。当人工检测萃取蒸馏塔釜201底部的液态萃取剂中的硅粉、金属氯化物累积到一设定值时，掺杂有硅粉、金属氯化物的萃取剂经由罐泵抽出输入塔底料罐401中，再经由罐泵送至过滤器402中进行固液过滤。被过滤出的固态硅粉带有少量金属氯化物被送入硅粉洗涤罐601内，被过滤出的液态萃取剂带有大量金属氯化物被送入萃取剂回流罐301内，并经由罐泵被分别送至萃取蒸馏塔釜201内、萃取剂洗涤罐501内。被送至萃取蒸馏塔釜201内的带有大量金属氯化物的液态萃取剂再次进行过滤处理。送入硅粉洗涤罐601的硅粉带有少量氯化铝、氯化铁、氯化铜金属氯化物杂质，这种硅粉既不能直接应用，也不能直接排放，因为这些金属氯化物在空气中极易吸收水分并部分水解放出氯化氢而形成酸雾，对环境会造成污染，必须进行进一步处理。

在硅粉回收单元600中，洗涤剂罐700向硅粉洗涤罐601内提供洗涤剂，对硅粉洗涤罐601内的带有少量金属氯化物的硅粉进行洗涤，然后输出至硅粉过滤器602中进行过滤，硅粉过滤器602将过滤出的带有金属氯化物的液态洗涤剂输出至含金属氯化物的洗涤剂罐603内，然后经由罐泵再次送入硅粉洗涤罐601内进行洗涤(此时回流开关阀607打开，输送开关阀605关闭)，经数次洗涤、过滤后，当人工检测含金属氯化物的洗涤剂罐603内的金属氯化物达到一设定程度后，关闭回流开关阀607，打开输送开关阀605，将含金属氯化物的洗涤剂送至金属氯化物回收单元500的浓缩蒸发器505。而从硅粉过滤器602过滤出的固态硅粉则经由干燥器604干燥后输出至硅粉产品输出罐606。

在金属氯化物回收单元500中，带有金属氯化物的萃取剂以及洗涤剂罐700输送的洗涤剂被送入萃取剂洗涤罐501内进行洗涤，然后送入分离器502，在分离器502内分层。处于上层的含有金属氯化物的洗涤剂被送入浓缩蒸发器505。处于下层的萃取剂(含有少量洗涤剂)被送入脱除金属氯化物的萃取剂罐503内，然后输入蒸发器504内进行蒸发分离，蒸发器504将蒸发出的气态洗涤剂、萃取剂分别送至冷凝器506、萃取剂回收罐900。萃取剂回收罐900内存储的是还原了的萃取剂，这种还原了的萃取剂被送入萃取蒸馏塔釜201内循环使用。在本实用新型中，脱除其内大量金属氯化物的萃取剂已不会对环境造成污染，可与新的萃取剂一起使用。含有金属氯化物的洗涤剂被送入浓缩蒸发器505进行蒸发处理后，浓缩蒸发器505将气态洗涤剂送至冷凝器506，并将液态金属氯化物(含有少量洗涤剂)送入结晶器507内进行结晶处理，结晶器507将得到的固态金属氯化物送至金属氯化物产品输出罐508，并将蒸发出的洗涤剂送至冷凝器506。冷凝器506对送来的气态洗涤剂进行冷凝后将液态洗涤剂送入洗涤剂罐700，以使洗涤剂循环使用。

本实用新型的优点是：

本实用新型可从多晶硅生成过程中排放的废料中完全回收硅粉、金属氯化物、SiCl₄以及氯硅烷高聚物，该金属氯化物包括AlCl₃、FeCl₃、CuCl₂，该SiCl₄和氯硅烷高聚物中不含硅粉和金属氯化物，并且，本实用新型无废渣、废水排出，不会对环境造成二次污染。

在本实用新型中，洗涤剂和萃取剂可再生重复使用，从而节省了洗涤剂和萃取剂的用量。

总之，本实用新型从多晶硅生成过程中排放的废料中回收了生产原料，节约了能源，且无废渣、废水排出，不会对环境造成污染，有利于多晶硅行业的发展，特别适用于多晶硅生产、四氯化硅生产等企业。

在本实用新型中，标号P1.1、P2.1等为连接标识。例如，图2中的P1.1表示连接至图4中的P1.1。

以上所述是本实用新型的较佳实施例及其所运用的技术原理，对于本领域的技术人员来说，在不背离本实用新型的精神和范围的情况下，任何基于本实用新型技术方案基础上的等效变换、简单替换等显而易见的改变，均属于本实用新型保护范围之内。

Claims (5)

1.一种多晶硅生产废料全回收***，其特征在于：它包括废料罐、SiCl₄及氯硅烷高聚物回收单元、硅粉回收单元、金属氯化物回收单元，其中：

多晶硅生产过程中产生的废料从该废料罐的输入口输入，该废料罐的输出口连接该SiCl₄及氯硅烷高聚物回收单元的废料输入口，该SiCl₄及氯硅烷高聚物回收单元的底料输出口连接萃取剂与杂质分离单元的输入口，该萃取剂与杂质分离单元的杂质输出口连接该硅粉回收单元的杂质输入口，该萃取剂与杂质分离单元的萃取剂输出口连接萃取剂回流单元的输入口，该萃取剂回流单元的输出口分别连接该SiCl₄及氯硅烷高聚物回收单元的萃取剂输入口、该金属氯化物回收单元的含金属氯化物的萃取剂输入口，该硅粉回收单元的含金属氯化物的洗涤剂输出口连接该金属氯化物回收单元的含金属氯化物的洗涤剂输入口，洗涤剂罐的输出口分别连接该硅粉回收单元、该金属氯化物回收单元的洗涤剂输入口，该金属氯化物回收单元的洗涤剂输出口、还原的萃取剂输出口分别连接该洗涤剂罐、萃取剂回收罐的输入口，该萃取剂回收罐、萃取剂罐的输出口连接该SiCl₄及氯硅烷高聚物回收单元的萃取剂输入口。

2.如权利要求1所述的多晶硅生产废料全回收***，其特征在于：

所述SiCl₄及氯硅烷高聚物回收单元包括萃取蒸馏塔釜；该萃取蒸馏塔釜的废料输入口连接所述废料罐的输出口；该萃取蒸馏塔釜的萃取剂输入口连接所述萃取剂罐、所述萃取剂回收罐、所述萃取剂回流单元的输出口；该萃取蒸馏塔釜底部的底料输出口连接所述萃取剂与杂质分离单元的输入口；位于该萃取蒸馏塔釜顶部的SiCl₄输出口经由一个开关阀、一个冷凝器连接一个回流罐的输入口，该回流罐的回流输出口连接该萃取蒸馏塔釜顶部的SiCl₄回流口，该回流罐的产品输出口连接SiCl₄产品输出罐的输入口；位于该萃取蒸馏塔釜顶部的高聚物输出口经由一个开关阀、一个冷凝器连接一个回流罐的输入口，该回流罐的回流输出口连接该萃取蒸馏塔釜顶部的高聚物回流口，该回流罐的产品输出口连接高聚物产品输出罐的输入口。

3.如权利要求2所述的多晶硅生产废料全回收***，其特征在于：

所述萃取剂与杂质分离单元包括塔底料罐，所述萃取剂回流单元包括萃取剂回流罐，所述萃取蒸馏塔釜的底料输出口连接该塔底料罐的输入口，该塔底料罐的输出口连接一个过滤器的输入口，该过滤器的萃取剂输出口连接该萃取剂回流罐的输入口，该萃取剂回流罐的输出口连接所述萃取蒸馏塔釜的萃取剂输入口和所述金属氯化物回收单元的含金属氯化物的萃取剂输入口，该过滤器的杂质输出口连接所述硅粉回收单元的杂质输入口。

4.如权利要求1所述的多晶硅生产废料全回收***，其特征在于：

所述硅粉回收单元包括硅粉洗涤罐，该硅粉洗涤罐的杂质输入口、洗涤剂输入口分别连接所述萃取剂与杂质分离单元的杂质输出口、所述洗涤剂罐的输出口，该硅粉洗涤罐的输出口连接硅粉过滤器的输入口，该硅粉过滤器的液相输出口连接含金属氯化物的洗涤剂罐的输入口，该含金属氯化物的洗涤剂罐的输出口分两路，一路经由一个回流开关阀连接该硅粉洗涤罐的洗涤剂输入口，另一路经由一个输送开关阀连接所述金属氯化物回收单元的含金属氯化物的洗涤剂输入口，该硅粉过滤器的固相输出口经由干燥器连接硅粉产品输出罐的输入口。

5.如权利要求1所述的多晶硅生产废料全回收***，其特征在于：

所述金属氯化物回收单元包括萃取剂洗涤罐，该萃取剂洗涤罐的洗涤剂输入口、含金属氯化物的萃取剂输入口分别连接所述洗涤剂罐的输出口、所述萃取剂回流单元的输出口，该萃取剂洗涤罐的输出口连接分离器的输入口，该分离器的上层输出口、下层输出口分别连接浓缩蒸发器的输入口、脱除金属氯化物的萃取剂罐的输入口，该脱除金属氯化物的萃取剂罐的输出口连接蒸发器的输入口，该蒸发器的洗涤剂输出口、萃取剂输出口分别连接一个冷凝器的输入口、所述萃取剂回收罐的输入口，该浓缩蒸发器的输入口连接所述硅粉回收单元的含金属氯化物的洗涤剂输出口，该浓缩蒸发器的洗涤剂输出口、金属氯化物输出口分别连接该冷凝器的输入口、结晶器的输入口，该结晶器的洗涤剂输出口、金属氯化物输出口分别连接该冷凝器的输入口、金属氯化物产品输出罐的输入口，该冷凝器的输出口连接所述洗涤剂罐的输入口。

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