CN202063557U - 玻璃基板台车搬运*** - Google Patents

玻璃基板台车搬运*** Download PDF

Info

Publication number
CN202063557U
CN202063557U CN2011201347124U CN201120134712U CN202063557U CN 202063557 U CN202063557 U CN 202063557U CN 2011201347124 U CN2011201347124 U CN 2011201347124U CN 201120134712 U CN201120134712 U CN 201120134712U CN 202063557 U CN202063557 U CN 202063557U
Authority
CN
China
Prior art keywords
module
chassis
unusual
bridge joint
outlet
Prior art date
Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
Expired - Lifetime
Application number
CN2011201347124U
Other languages
English (en)
Inventor
陈招睦
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
TCL China Star Optoelectronics Technology Co Ltd
Original Assignee
Shenzhen China Star Optoelectronics Technology Co Ltd
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by Shenzhen China Star Optoelectronics Technology Co Ltd filed Critical Shenzhen China Star Optoelectronics Technology Co Ltd
Priority to CN2011201347124U priority Critical patent/CN202063557U/zh
Priority to US13/318,356 priority patent/US20120273349A1/en
Priority to PCT/CN2011/076201 priority patent/WO2012145961A1/zh
Application granted granted Critical
Publication of CN202063557U publication Critical patent/CN202063557U/zh
Anticipated expiration legal-status Critical
Expired - Lifetime legal-status Critical Current

Links

Images

Classifications

    • H—ELECTRICITY
    • H01—ELECTRIC ELEMENTS
    • H01L—SEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
    • H01L21/00—Processes or apparatus adapted for the manufacture or treatment of semiconductor or solid state devices or of parts thereof
    • H01L21/67—Apparatus specially adapted for handling semiconductor or electric solid state devices during manufacture or treatment thereof; Apparatus specially adapted for handling wafers during manufacture or treatment of semiconductor or electric solid state devices or components ; Apparatus not specifically provided for elsewhere
    • H01L21/677—Apparatus specially adapted for handling semiconductor or electric solid state devices during manufacture or treatment thereof; Apparatus specially adapted for handling wafers during manufacture or treatment of semiconductor or electric solid state devices or components ; Apparatus not specifically provided for elsewhere for conveying, e.g. between different workstations
    • H01L21/67703—Apparatus specially adapted for handling semiconductor or electric solid state devices during manufacture or treatment thereof; Apparatus specially adapted for handling wafers during manufacture or treatment of semiconductor or electric solid state devices or components ; Apparatus not specifically provided for elsewhere for conveying, e.g. between different workstations between different workstations
    • H01L21/67724—Apparatus specially adapted for handling semiconductor or electric solid state devices during manufacture or treatment thereof; Apparatus specially adapted for handling wafers during manufacture or treatment of semiconductor or electric solid state devices or components ; Apparatus not specifically provided for elsewhere for conveying, e.g. between different workstations between different workstations by means of a cart or a vehicule

Landscapes

  • Engineering & Computer Science (AREA)
  • Physics & Mathematics (AREA)
  • Condensed Matter Physics & Semiconductors (AREA)
  • General Physics & Mathematics (AREA)
  • Manufacturing & Machinery (AREA)
  • Computer Hardware Design (AREA)
  • Microelectronics & Electronic Packaging (AREA)
  • Power Engineering (AREA)
  • Container, Conveyance, Adherence, Positioning, Of Wafer (AREA)
  • Physical Vapour Deposition (AREA)

Abstract

本实用新型公开了一种玻璃基板台车搬运***。所述玻璃基板台车搬运***包括设备出口模组、卡匣模组、桥接模组以及异常台车返回模组；所述异常台车返回模组包括接收来自设备出口模组的异常台车的第一操作机构、以及将所述异常台车移至桥接模组的第二操作机构；所述桥接模组包括接收来自异常台车返回模组的异常台车的第三操作机构、以及将所述异常台车移至卡匣模组的第四操作机构。通过上述方式，本实用新型能够使空车搬运的成本零化、生产损失零化，并且能够降低基板背面镀膜可能性、减少加热器的纳米铟锡金属氧化物膜披覆量，并增加零件寿命。

Description

玻璃基板台车搬运***
技术领域
本实用新型涉及液晶显示器制造领域，特别是涉及一种玻璃基板台车搬运***。
背景技术
现有技术液晶显示器中，其玻璃基板需要专门的运输处理***进行处理，比如在基板背面镀膜工艺***中，需要一套运输处理***来实现。
如图1所示，所述运输处理***包括循环依次连接的设备入口模组96、入口旋转模组99、真空溅镀机97、出口暂存模组90、出口返回模组98、搬送模组94、设备出口模组93以及入口返回模组95。此外，还包括卡匣模组91和桥接模组92。如图2所示，是所述运输处理***异常台车搬运流程示意图。异常台车从设备出口模组93返回到卡匣模组91中间还需要经过设备入口模组96、真空溅镀机97、出口返回模组98以及桥接模组92，异常台车要实现返回到卡匣模组91需要完整运行一周。
其中，所述设备入口模组96用于将制程前的基板与台车结合、组立。所述入口旋转模组99用于将台车转至正确方向并送入设备进行制程处理。所述真空溅镀机97用于进行ITO(Indium Tin Oxides，纳米铟锡金属氧化物)镀膜制程处理。所述出口暂存模组90是制程完成的台车暂时存放区域。所述出口返回模组98用于回转台车至搬送模组94中。所述搬送模组94用于搬运台车至设备出口模组93。所述设备出口模组93用于将制程后的基板从台车上分离，并搬出设备。所述入口返回模组95用于回转台车至设备入口模组96中。所述卡匣模组91用于收纳空台车或作为异常台车的存放空间。所述桥接模组92连接卡匣模组91，用于转移正常或异常台车。
上述运输处理***中，异常台车由于不能继续搬运基板，必须要作为空台车进入真空溅镀机97后再传到卡匣模组91回收，此项作法会有以下4项缺点产生：
1)浪费空车搬运所造成的纳米铟锡金属氧化物镀膜线的生产成本(Cost Up Issue)；
2)由于进行空车搬运，因此减少月产量(Capacity Loss Issue)；
3)空车进入真空溅镀机可能造成基板背面镀膜(Product DamageIssue)；
4)增加加热器遮盖板(Heater Cover)的负担，减少加热器遮盖板的寿命(Cost Up Issue)。
相关的玻璃基板运输技术可参阅2005年7月27日公开的中国发明专利申请第200510007600.1号所揭示的液晶显示器的玻璃废材搬运***。
实用新型内容
本实用新型主要解决的技术问题是提供一种玻璃基板台车搬运***，能够使空车搬运的成本零化、生产损失零化、降低基板背面镀膜可能性、减少加热器的纳米铟锡金属氧化物膜披覆量，并延长零件寿命。
为解决上述技术问题，本实用新型实施例采用的一个技术方案是：提供一种玻璃基板台车搬运***，包括：设备出口模组、卡匣模组、桥接模组以及异常台车返回模组；所述异常台车返回模组包括接收来自设备出口模组的异常台车的第一操作机构、以及将所述异常台车移至桥接模组的第二操作机构；所述桥接模组包括接收来自异常台车返回模组的异常台车的第三操作机构、以及将所述异常台车移至卡匣模组的第四操作机构。
作为对本实用新型实施例的进一步改进，所述***包括：接收来自设备出口模组的正常台车的设备入口模组。
作为对本实用新型实施例的进一步改进，所述***包括：入口返回模组、真空溅镀模组、出口返回模组；所述入口返回模组设置于所述设备出口模组与设备入口模组之间；所述真空溅镀模组设置于所述设备入口模组与桥接模组之间；所述出口返回模组设置于所述真空溅镀模组与桥接模组之间。
作为对本实用新型实施例的进一步改进，所述***包括：入口旋转模组，所述入口旋转模组设置于设备入口模组与真空溅镀模组之间。
作为对本实用新型实施例的进一步改进，所述***还包括：出口暂存模组，所述出口暂存模组设置于真空溅镀模组与出口返回模组之间。
作为对本实用新型实施例的进一步改进，所述***还包括：搬送模组，所述搬送模组设置于出口返回模组与桥接模组之间。
作为对本实用新型实施例的进一步改进，所述桥接模组包括：在桥接模组将异常台车移至卡匣模组之前将异常台车调整至正确方向的旋转模组。
作为对本实用新型实施例的进一步改进，所述桥接模组包括桥接轨道单元，所述卡匣模组与异常台车交换单元通过桥接轨道单元转移异常台车或正常台车。
作为对本实用新型实施例的进一步改进，所述异常台车返回模组包括：在接收来自设备出口模组的异常台车时、将存放在预定位置的正常台车移入所述玻璃基板台车搬运***中的设备入口模组、替代所述异常台车执行搬运任务的异常台车交换单元。
作为对本实用新型实施例的进一步改进，所述异常台车交换单元还包括设置于入口返回模组与桥接模组之间用于暂存正常或异常台车的第五操作机构。
本实用新型的有益效果是：区别于现有技术异常台车空车也必须进入真空溅镀模组进行真空溅镀而造成：生产成本高、月产量少、基板背面镀膜和增加加热器负担，并减少零件寿命的情况，本实用新型通过设备出口模组、卡匣模组、桥接模组以及异常台车返回模组，因为在异常台车再次进入流水线之前，将其直接返回卡匣模组，能够减少空车搬运的成本、降低生产损失、降低基板背面镀膜可能性、减少加热器的纳米铟锡金属氧化物膜披覆量，并能够增加零件寿命。
附图说明
图1是现有技术玻璃基板台车搬运***实施例的结构示意图；
图2是现有技术玻璃基板台车搬运***异常台车搬运流程图；
图3是本实用新型玻璃基板台车搬运***第一实施例的结构示意图；
图4是本实用新型玻璃基板台车搬运***第二实施例的结构示意图；
图5是本实用新型玻璃基板台车搬运***第三实施例的结构示意图；
图6是本实用新型玻璃基板台车搬运***第三实施例的台车搬运示意图。
具体实施方式
下面结合附图和实施例对本实用新型进行说明。
参阅图3，是本实用新型玻璃基板台车搬运***第一实施例的结构示意图。本实用新型实施例包括：卡匣模组1、桥接模组2、设备出口模组3以及异常台车返回模组4。
所述异常台车返回模组4包括接收来自设备出口模组3的异常台车的第一操作机构(图未示)、以及将所述异常台车移至桥接模组2的第二操作机构(图未示)。
所述桥接模组2包括接收来自异常台车返回模组4的异常台车的第三操作机构(图未示)、以及将所述异常台车移至卡匣模组1的第四操作机构(图未示)。
本实用新型实施例，通过设置卡匣模组1、桥接模组2、设备出口模组3及异常台车返回模组4，正常台车从卡匣模组1出发，经桥接模组2转移到设备出口模组3，再经转移、镀膜、搬送，重新回到设备出口模组3。当在一系列的台车中发现异常台车时，该异常台车在设备出口模组3卸载基板之后，可以经异常台车返回模组4，再经桥接模组2直接返回卡匣模组1，而不必空车再经过转移、镀膜、搬送之后才能回收到卡匣模组1中，从而能够使空车搬运的成本零化、生产损失零化、降低基板背面镀膜可能性、减少加热器遮盖板的负担，增加加热器遮盖板的寿命。
请参阅图4，是本实用新型玻璃基板台车搬运***第二实施例的结构示意图。所述玻璃基板台车搬运***还包括：入口返回模组5、设备入口模组6、真空溅镀模组7、出口返回模组8、入口旋转模组9、出口暂存模组10和搬送模组11。
所述入口返回模组5设置于设备出口模组3与设备入口模组6之间，用于将正常台车回转搬运至设备入口模组6。同时，所述入口返回模组5还能够用于接收异常台车，并将所述异常台车回转搬运至异常台车返回模组4，但也并不仅限于此。根据实际情况，本实施例的入口返回模组5可以与设备出口模组3集成一体。
所述设备入口模组6设置于入口返回模组5与真空溅镀模组7之间，用于接收所述设备出口模组3中卸下玻璃基板后经入口返回模组5回转移动过来的正常台车，并用于装运玻璃基板。
所述真空溅镀模组7设置于设备入口模组6与桥接模组2之间，用于接收由设备入口模组6移动过来的正常台车，并对所述正常台车装运的玻璃基板进行镀膜处理。
所述出口返回模组8设置于真空溅镀模组7与桥接模组2之间，用于接收装运有经过真空溅镀模组7镀膜的玻璃基板的正常台车。
在设备入口模组6与真空溅镀模组7之间进一步设置有所述入口旋转模组9，所述入口旋转模组9用于将设备入口模组6移动过来的装有玻璃基板的正常台车旋转至正确方向后，再送入所述真空溅镀模组7。
设置于在真空溅镀模组7与出口返回模组8之间进一步设置有所述出口暂存模组10，所述出口暂存模组10用于接收并暂存来自真空溅镀模组7的正常台车。
所述搬送模组11设置于出口返回模组8与桥接模组2之间用于从出口返回模组8搬运正常台车至设备出口模组3。
参阅图5，是本实用新型玻璃基板台车搬运***第三实施例的结构示意图。所述桥接模组2还包括：旋转模组21。所述旋转模组21具体用于：在桥接模组2将异常台车移至卡匣模组1之前将异常台车调整至正确方向，确保异常台车存放的方向一致。在其他实施例中，旋转模组21可进一步用于将移送到异常台车返回模组4临时存放的正常台车调整至正确方向。当然旋转模组21和桥接模组2可以集成于一体。本实施例通过增加旋转模组21，确保正常台车或异常台车都能够方向一致性的存放于卡匣模组1中，避免以后投玻璃基板时因为方向错误而导致的玻璃基板破裂。
所述桥接模组2包括桥接轨道单元210。所述桥接模组2通过桥接轨道单元210将异常台车回收到卡匣模组1以及将正常台车移至异常台车返回模组4。在本实施例中，通过在桥接模组2上增加桥接轨道单元210，可以自动地将所述异常台车返回模组4中的异常台车转移至卡匣模组1。
在本使用新型另一实施例中，所述异常台车返回模组4还包括：异常台车交换单元(图未示)，所述异常台车交换单元还包括设置于入口返回模组5与桥接模组2之间用于暂存正常或异常台车的第五操作机构(图未示)。所述异常台车交换单元用于在接收到来自设备出口模组3的异常台车时，将存放在预定位置的正常台车替换掉接收到的异常台车，使正常台车在***中继续执行搬送任务。例如，将所述第五操作机构的正常台车经入口返回模组5移至设备入口模组6，替换该异常台车继续执行搬送任务。所述第五操作机构还可以接收并暂存来自所述异常台车返回模组4中的第一操作机构中的异常台车。本实施例利用异常台车交换单元，能够用正常台车替换异常台车，保证生产线运作流畅，不会导致空闲。
参阅图6，是本实用新型玻璃基板台车搬运***第三实施例的台车搬运示意图。包括两个阶段：
阶段一：移走异常台车。经工程师判定、设备检测或经其它规则判定为异常台车的，所述异常台车在设备出口模组3卸下玻璃基板后被搬运至入口返回模组5，再经由入口返回模组5回转搬运至异常台车返回模组4中的第五操作机构暂存，然后所述异常台车经所述异常台车交换单元，最后由桥接模组2，返回至卡匣模组1。所述流程能够减短异常台车返回卡匣模组1的路径，使空车搬运的成本零化、生产损失零化、降低基板背面镀膜可能性、减少加热器遮盖板的负担，增加热器遮盖板的寿命。
阶段二，补充正常台车。补充正常台车又包括两种方式：
补充正常台车的第一方式：当异常台车被搬运到所述异常台车交换单元中的第五操作机构时，同时间所述异常台车交换单元也会搬运正常台车到入口返回模组5中，并通过所述入口返回模组5将正常台车回转搬送至设备入口模组6中。通过所述方法，当出现异常台车时，可以立刻补充正常台车到玻璃基板台车搬运***中衔接生产，不让生产出现断层。另外维持设备内正常台车的数量，减少生产变异，确保产品质量。
补充正常台车的第二方式：当所述异常台车交换单元的第五操作机构没有正常台车时，玻璃基板台车搬运***会在所述桥接模组2等待或者空闲状态时，补充一部或多部正常台车到所述第五操作机构中存放。通过所述方法，确保缩短正常台车和异常台车交换的时间。同时，当出现异常台车时，可以在回收异常台车的同时立刻将存放在第五操作机构中的正常台车补充到玻璃基板台车搬运***中衔接生产，不让生产出现断层。另外，维持设备内正常台车的数量，减少生产变异，确保产品质量。
以上所述仅为本实用新型的实施例，并非因此限制本实用新型的专利范围，凡是利用本实用新型说明书及附图内容所作的等效结构或等效流程变换，或直接或间接运用在其他相关的技术领域，均同理包括在本实用新型的专利保护范围内。

Claims (10)

1.一种玻璃基板台车搬运***，其特征在于，包括：
设备出口模组、卡匣模组、桥接模组以及异常台车返回模组；
所述异常台车返回模组包括接收来自设备出口模组的异常台车的第一操作机构、以及将所述异常台车移至桥接模组的第二操作机构；
所述桥接模组包括接收来自异常台车返回模组的异常台车的第三操作机构、以及将所述异常台车移至卡匣模组的第四操作机构。
2.根据权利要求1所述的***，其特征在于，所述***包括：
接收来自设备出口模组的正常台车的设备入口模组。
3.根据权利要求2所述的***，其特征在于，所述***包括：
入口返回模组、真空溅镀模组、出口返回模组；
所述入口返回模组设置于所述设备出口模组与设备入口模组之间；
所述真空溅镀模组设置于所述设备入口模组与桥接模组之间；
所述出口返回模组设置于所述真空溅镀模组与桥接模组之间。
4.根据权利要求3所述的***，其特征在于，所述***包括：
入口旋转模组，所述入口旋转模组设置于设备入口模组与真空溅镀模组之间。
5.根据权利要求4所述的***，其特征在于，所述***还包括：
出口暂存模组，所述出口暂存模组设置于真空溅镀模组与出口返回模组之间。
6.根据权利要求5所述的***，其特征在于，所述***还包括：
搬送模组，所述搬送模组设置于出口返回模组与桥接模组之间。
7.根据权利要求6所述的***，其特征在于，所述桥接模组包括：
在桥接模组将异常台车移至卡匣模组之前将异常台车调整至正确方向的旋转模组。
8.根据权利要求7所述的***，其特征在于，所述桥接模组包括桥接轨道单元，所述卡匣模组与异常台车交换单元通过桥接轨道单元转移异常台车或正常台车。
9.根据权利要求8所述的***，其特征在于，所述异常台车返回模组包括：
在接收来自设备出口模组的异常台车时、将存放在预定位置的正常台车移入所述玻璃基板台车搬运***中的设备入口模组、替代所述异常台车执行搬运任务的异常台车交换单元。
10.根据权利要求9所述的***，其特征在于，所述异常台车交换单元还包括设置于入口返回模组与桥接模组之间用于暂存正常或异常台车的第五操作机构。
CN2011201347124U 2011-04-29 2011-04-29 玻璃基板台车搬运*** Expired - Lifetime CN202063557U (zh)

Priority Applications (3)

Application Number Priority Date Filing Date Title
CN2011201347124U CN202063557U (zh) 2011-04-29 2011-04-29 玻璃基板台车搬运***
US13/318,356 US20120273349A1 (en) 2011-04-29 2011-06-23 Glass Substrate Trolley Handling System
PCT/CN2011/076201 WO2012145961A1 (zh) 2011-04-29 2011-06-23 玻璃基板台车搬运***

Applications Claiming Priority (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
CN2011201347124U CN202063557U (zh) 2011-04-29 2011-04-29 玻璃基板台车搬运***

Publications (1)

Publication Number Publication Date
CN202063557U true CN202063557U (zh) 2011-12-07

Family

ID=45057428

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
CN2011201347124U Expired - Lifetime CN202063557U (zh) 2011-04-29 2011-04-29 玻璃基板台车搬运***

Country Status (2)

Country Link
CN (1) CN202063557U (zh)
WO (1) WO2012145961A1 (zh)

Cited By (3)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
WO2017161675A1 (zh) * 2016-03-23 2017-09-28 深圳市华星光电技术有限公司 玻璃基板的分流方法、分流装置及加工***
CN111482780A (zh) * 2019-01-25 2020-08-04 本田技研工业株式会社 搬送***
CN118248608A (zh) * 2024-05-28 2024-06-25 华芯智上半导体设备(上海)有限公司 自动化物料搬送***

Family Cites Families (6)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP3055522B2 (ja) * 1998-03-19 2000-06-26 日本電気株式会社 無人搬送車異常処理制御方法
JP2001031221A (ja) * 1999-07-27 2001-02-06 Canon Inc カセット、カセット排出装置、カセット管理システム、カセットへのデータ登録方法
CN100392841C (zh) * 2004-08-12 2008-06-04 友达光电股份有限公司 自动化物料搬运***
KR101236179B1 (ko) * 2005-12-30 2013-02-22 엘지디스플레이 주식회사 자동반송장치
JP2010010430A (ja) * 2008-06-27 2010-01-14 Murata Mach Ltd 搬送システム
JP2010086978A (ja) * 2008-09-29 2010-04-15 Toshiba Corp 半導体製造システム

Cited By (5)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
WO2017161675A1 (zh) * 2016-03-23 2017-09-28 深圳市华星光电技术有限公司 玻璃基板的分流方法、分流装置及加工***
US10287106B2 (en) 2016-03-23 2019-05-14 Shenzhen China Star Optoelectronics Technology Co., Ltd Distribution method and distribution apparatus for distributing glass substrates and related processing system
CN111482780A (zh) * 2019-01-25 2020-08-04 本田技研工业株式会社 搬送***
CN111482780B (zh) * 2019-01-25 2022-03-15 本田技研工业株式会社 搬送***
CN118248608A (zh) * 2024-05-28 2024-06-25 华芯智上半导体设备(上海)有限公司 自动化物料搬送***

Also Published As

Publication number Publication date
WO2012145961A1 (zh) 2012-11-01

Similar Documents

Publication Publication Date Title
CN202063557U (zh) 玻璃基板台车搬运***
Fthenakis End-of-life management and recycling of PV modules
CN103771064A (zh) 集中供电***、集中充电站及电池输送流水线
CN202967263U (zh) 集中供电***、集中充电站及电池输送流水线
CN205893384U (zh) 连续式真空镀膜设备
CN207058880U (zh) 生产连体座便器高压成型坯体的自动化输送集成***
CN208249200U (zh) 一种转运装置
CN205733650U (zh) 自动化全贴合设备
CN115817263A (zh) 电池交换方法、装置、控制器和换电站
CN110240416A (zh) 一种玻璃深加工车间连线
Fthenakis et al. Recycling strategies to enhance the commercial viability of CIS photovoltaics
CN207020766U (zh) 一种快递柜的控制***
CN111784911A (zh) 基于履带式货斗智能零售终端的退货***及方法
CN110068788B (zh) 兼容多种电能表检定的柔性智能检定装置及方法
US20120273349A1 (en) Glass Substrate Trolley Handling System
CN102662311A (zh) 一种化学品输送装置、显影设备和显影***
CN217731923U (zh) 一种硅酮胶静置装置及***
CN220202064U (zh) 压敏胶涂覆***
CN201506471U (zh) 自动化装置
CN201080507Y (zh) 用于电镀机的传送***
CN101624137B (zh) 具旁通机构的连续式输送***及其方法
CN205687997U (zh) 一种二合一镀膜机的连接转换结构
CN209583859U (zh) 一种工业清洗废液模块化处理装置
CN217599825U (zh) 一种小片玻璃自动下料机
CN212862721U (zh) 一种用于口罩机的接料装置及口罩生产设备

Legal Events

Date Code Title Description
C14 Grant of patent or utility model
GR01 Patent grant
CX01 Expiry of patent term

Granted publication date: 20111207

CX01 Expiry of patent term