CN201884240U - 一种多级干式真空泵用排气装置 - Google Patents

一种多级干式真空泵用排气装置 Download PDF

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张振厚
王光玉
秦柏林
张健
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Abstract

本实用新型涉及真空泵用排气设备，具体地说是一种多级干式真空泵用排气装置，包括主机连接管、进气法兰、排气管、出气法兰及尾管，其中主机连接管的一端与真空泵相连，另一端通过进气法兰与排气管的一端连接，排气管的另一端通过出气法兰接有尾管；所述进气法兰上设有消音管，该消音管位于排气管内；所述出气法兰内设有控制排气管排气的单向密封装置。本实用新型内部焊接消音管，尾气排出至排气口后形成的粉尘能够有足够的空间堆积，有效降低干泵噪音的同时，方便粉尘清理；整个装置体积小，重量轻，由两个内六角螺钉连接悬挂于泵体上即可，与泵体连接方便，拆卸维修简单。

Description

一种多级干式真空泵用排气装置
技术领域
本实用新型涉及真空泵用排气设备，具体地说是一种多级干式真空泵用排气装置。
背景技术
国产真空泵经过二十年的快速发展，其主要性能指标(如抽速、极限压力、能耗、零流量压缩比、压差)均达到或接近国外先进水平。但泵的噪音较大，维护周期短，与国外同类产品差距较大。现有的干式真空泵除噪音大外，粉尘堆积严重，排气口拆卸复杂，不便于维修，而且排气口胶圈容易老化，经常发生泄漏危险。
实用新型内容
为了解决现有真空泵存在的上述问题，本实用新型的目的在于提供一种多级干式真空泵用排气装置。
本实用新型的目的是通过以下技术方案来实现的：
本实用新型包括主机连接管、进气法兰、排气管、出气法兰及尾管，其中主机连接管的一端与真空泵相连，另一端通过进气法兰与排气管的一端连接，排气管的另一端通过出气法兰接有尾管；所述进气法兰上设有消音管，该消音管位于排气管内；所述出气法兰内设有控制排气管排气的单向密封装置。
其中：所述单向密封装置包括阀芯及弹簧，其中弹簧的一端抵接于尾管，另一端设有阀芯；所述主机连接管为中空的弯管结构，主机连接管的内表面为光滑表面，涂覆有防腐涂层；主机连接管与真空泵的连接处设有O形密封圈，该O形密封圈的一侧设有隔热垫；尾管为中空结构，其一端设有凹槽，弹簧的一端抵接于凹槽内；主机连接管与进气法兰之间、排气管与出气法兰之间、出气法兰与尾管之间均设有O形密封圈；所述排气管为中空结构，两端分别设有进气法兰及出气法兰；所述消音管的一端焊接在进气法兰上，另一端位于排气管内部的排气腔内；所述排气管及尾管的外部缠有加热带。
本实用新型的优点与积极效果为：
1.本实用新型在排气管内设置了消音器，彻底解决了真空泵噪音大的问题；同时，通过单向密封装置使真空泵不会连续排气，增强了真空泵的稳定性及运行寿命。
2.本实用新型在排气管后连接了尾管，尾气排出至排气口后形成的粉尘能够有足够的空间堆积，在有效降低干式真空泵噪音的同时，降低了工厂尾气处理***内部粉尘，可以方便地进行拆卸，进行粉尘清理。
3.本实用新型体积小，重量轻，由两个内六角螺钉连接悬挂于真空泵体上即可，与泵体连接方便，拆卸维修简单。
附图说明
图1为本实用新型的主视图；
图2为图1的A-A剖视图；
图3为图2中B处的局部放大图；
其中：1为主机连接管，2为进气法兰，3为消音管，4为排气管，5为排气腔，6为出气法兰，7为尾管，8为阀芯，9为弹簧，10为O型密封圈，11为隔热垫。
具体实施方式
下面结合附图对本实用新型作进一步详述。
如图1所示，本实用新型包括主机连接管1、进气法兰2、排气管4、出气法兰6及尾管7，主机连接管1为中空的弯管结构，其一端与真空泵的真空室连通，另一端通过进气法兰2与排气管4的一端相连，排气管4的另一端通过出气法兰6接有尾管7；主机连接管1为球墨铸铁铸造而成的过渡零件，内表面为光滑表面，并涂覆有环氧树脂防腐涂层，避免工艺气体腐蚀，增大流导，形成的粉尘不会粘连凝结。主机连接管1与真空泵的连接处设有O形密封圈10，该O形密封圈10靠近排气的一侧设有隔热垫11，该隔热垫11为聚四氟环，避免工艺气体腐蚀造成胶圈老化失效。排气管4为中空结构，两端分别设有进气法兰2及出气法兰6，在进气法兰2上焊接有消音管3，消音管3的一端与进气法兰2焊接，另一端位于排气管4内部的排气腔5内。尾管7为中空结构，其一端设有凹槽；在出气法兰6内设有控制排气管4排气的单向密封装置，该单向密封装置包括阀芯8及弹簧9，其中弹簧9的一端抵接于尾管7的凹槽内，另一端设有阀芯8。排气管4及尾管7的外部缠有加热带，维持整个排出气体温度恒温在80℃，保证大部分气体不至于低温固化，避免堵塞排气口。本实用新型的各部件之间为螺钉连接，主机连接管1与进气法兰2之间、排气管4与出气法兰6之间、出气法兰6与尾管7之间均设有O形密封圈10，O形密封圈为氟橡胶O形密封圈，不会产生泄漏***危险，方便打开进行清理维护及密封圈的更换。
本实用新型的工作原理为：
当真空泵正常运转时，真空室内气体排放至主机连接管1内的光滑通道，气体通过消音管3进入排气管4内的排气腔5中，当排气腔5内的气体压力逐渐提高、大于大气压与弹簧9的预紧力时，弹簧9被压缩，带动阀芯8向图1中的右侧移动，排气口打开，气体通过排气口排出至尾管7；当***稳定后，真空室内无气体排出至真空泵时，排气腔5内的气体压力减小，弹簧9通过弹力及大气压复位，阀芯8压紧排气口、将排气口关闭，降低能耗及真空泵的噪音。
本实用新型在焊接消音管3后及安装后均进行检漏，漏率必须≤5.0X10E-8Pa·L/S。
本实用新型适用于半导体、石化、冶金、食品、医药、电子、包装、印刷等行业。

Claims (8)

1.一种多级干式真空泵用排气装置，其特征在于：包括主机连接管(1)、进气法兰(2)、排气管(4)、出气法兰(6)及尾管(7)，其中主机连接管(1)的一端与真空泵相连，另一端通过进气法兰(2)与排气管(4)的一端连接，排气管(4)的另一端通过出气法兰(6)接有尾管(7)；所述进气法兰(2)上设有消音管(3)，该消音管(3)位于排气管(4)内；所述出气法兰(6)内设有控制排气管(4)排气的单向密封装置。
2.按权利要求1所述的多级干式真空泵用排气装置，其特征在于：所述单向密封装置包括阀芯(8)及弹簧(9)，其中弹簧(9)的一端抵接于尾管(7)，另一端设有阀芯(8)。
3.按权利要求1或2所述的多级干式真空泵用排气装置，其特征在于：所述主机连接管(1)为中空的弯管结构，主机连接管(1)的内表面为光滑表面，涂覆有防腐涂层。
4.按权利要求3所述的多级干式真空泵用排气装置，其特征在于：所述主机连接管(1)与真空泵的连接处设有O形密封圈(10)，该O形密封圈(10)的一侧设有隔热垫(11)。
5.按权利要求2所述的多级干式真空泵用排气装置，其特征在于：所述尾管(7)为中空结构，其一端设有凹槽，弹簧(9)的一端抵接于凹槽内。
6.按权利要求2所述的多级干式真空泵用排气装置，其特征在于：所述主机连接管(1)与进气法兰(2)之间、排气管(4)与出气法兰(6)之间、出气法兰(6)与尾管(7)之间均设有O形密封圈(10)。
7.按权利要求1或2所述的多级干式真空泵用排气装置，其特征在于：所述排气管(4)为中空结构，两端分别设有进气法兰(2)及出气法兰(6)；所述消音管(1)的一端焊接在进气法兰(2)上，另一端位于排气管(4)内部的排气腔(5)内。
8.按权利要求1或2所述的多级干式真空泵用排气装置，其特征在于：所述排气管(4)及尾管(7)的外部缠有加热带。
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* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
CN102304702A (zh) * 2011-09-23 2012-01-04 深圳市华星光电技术有限公司 用于化学气相沉积机台的真空泵的排气管及相应的真空泵
CN103586250B (zh) * 2013-05-10 2015-09-02 上海御流包装机械有限公司 一种封口机负压吸排废料装置及其排废方法
CN105781932A (zh) * 2014-12-25 2016-07-20 陈闺艳 一种高真空抽气***

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