CN201807210U - 一种三氯氢硅尾气加压处理装置 - Google Patents
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Abstract
本实用新型公开了一种三氯氢硅尾气加压处理装置，该装置包括缓冲罐、压缩机、换热器、5℃水冷凝器和-35℃盐水冷凝器，所述缓冲罐的出口和所述压缩机的进口与一换热器的壳程相连，所述换热器的管程与压缩机的出口和5℃水冷凝器的气相进口相连，5℃水冷凝器气相出口与-35℃盐水冷凝器气相进口相连。该装置的有益效果在于：一方面，不再有三氯氢硅冷凝液进入压缩机，延长了压缩机的使用寿命。另一方面，降低了后续冷凝的冷媒消耗。
Description
技术领域
本实用新型涉及一种加压处理装置，尤其是一种三氯氢硅尾气加压处理装置。
背景技术
三氯氢硅生产的尾气含有氯化氢、氢气、二氯二氢硅、三氯氢硅、四氯化硅等成分。目前，回收尾气初步采用加压冷凝回收技术，即将尾气压力通过压缩机提升至600~700KPa，再经5℃水冷凝器、-35℃盐水冷凝器将尾气中大部分的三氯氢硅、四氯化硅等物质冷凝下来。加压设备通常采用活塞式压缩机，机前压力一般为0~10Kpa，温度-10~0℃；机后压力为600~700 Kpa，温度为120~130℃。三氯氢硅沸点为31.5℃，在压缩机前低温低压环境下，三氯氢硅尾气在管道内极易被冷凝，并跟随气体进入压缩机内,该冷凝液主要是三氯氢硅，三氯氢硅遇水极易发生反应生成氯化氢气体和二氧化硅固体，严重损坏压缩机各零部件，最终导致压缩机停运检修。气体通过压缩机加压后，温度升至120~130℃，加压后的气体再通过5℃水冷凝器、-35℃盐水冷凝器回收三氯氢硅、四氯化硅等物质，机后气体太高的温度，被冷凝器冷凝时，必将消耗大量的冷媒。
实用新型内容
针对现有技术中的问题，本实用新型提供了一种压缩机机前机后气体换热的三氯氢硅尾气加压处理装置。
本实用新型的技术方案是：一种三氯氢硅尾气加压处理装置，该装置包括缓冲罐、压缩机、换热器、5℃水冷凝器和-35℃盐水冷凝器，所述缓冲罐的出口和所述压缩机的进口与一换热器的壳程相连，所述换热器的管程与压缩机的出口和5℃水冷凝器的气相进口相连，5℃水冷凝器气相出口与-35℃盐水冷凝器气相进口相连。
改造后的三氯氢硅尾气加压处理装置的有益效果在于：一方面，不再有三氯氢硅冷凝液进入压缩机，延长了压缩机的使用寿命。另一方面，降低了后续冷凝的冷媒消耗。
附图说明
图1为本实用新型的结构示意图。
图中：缓冲罐1、压缩机2、换热器3，5℃水冷凝器4，-35℃盐水冷凝器5。
具体实施方式
下面结合附图和实施例对本实用新型进行进一步说明。
如图1所示，一种三氯氢硅尾气加压处理装置，该装置包括缓冲罐1、压缩机2、换热器3、5℃水冷凝器4和-35℃盐水冷凝器5，所述缓冲罐1的出口和所述压缩机2的进口与一换热器3的壳程相连，所述换热器3的管程与压缩机2的出口和5℃水冷凝器4的气相进口相连，5℃水冷凝器气相出口与-35℃盐水冷凝器气相进口相连。
来自合成和精馏工序的所有尾气先进入缓冲罐1内，尾气在罐内得到缓冲，使气体流出时更平稳，有利于***压力稳定和保护压缩机2。气体经换热器3的壳程进入压缩机2，经过压缩机2加压后，压力和温度同时得到提高，然后经过换热器3的管程气体温度得到降低，并且压缩机2前的气体温度得到提高。最后，气体经过5℃水冷凝器4和-35℃盐水冷凝器5将其中的三氯氢硅和四氯化硅等物质冷凝下来。
Claims (1)
1.一种三氯氢硅尾气加压处理装置，包括缓冲罐、换热器、压缩机、5℃水冷凝器、-35℃盐水冷凝器，其特征在于：所述缓冲罐的出口和所述压缩机的进口与一换热器的壳程相连，所述换热器的管程与压缩机的出口和5℃水冷凝器的气相进口相连，5℃水冷凝器气相出口与-35℃盐水冷凝器气相进口相连。
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Cited By (2)
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|---|---|---|---|---|
| CN103611385A (zh) * | 2013-11-05 | 2014-03-05 | 新特能源股份有限公司 | 一种改进的多晶硅生产尾气冷凝分离装置 |
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| CN103611385B (zh) * | 2013-11-05 | 2016-02-17 | 新特能源股份有限公司 | 一种改进的多晶硅生产尾气冷凝分离装置 |
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