CN201559121U - 一种使用空气轴承的砂轮主轴 - Google Patents

一种使用空气轴承的砂轮主轴 Download PDF

Info

Publication number
CN201559121U
CN201559121U CN2009202588760U CN200920258876U CN201559121U CN 201559121 U CN201559121 U CN 201559121U CN 2009202588760 U CN2009202588760 U CN 2009202588760U CN 200920258876 U CN200920258876 U CN 200920258876U CN 201559121 U CN201559121 U CN 201559121U
Authority
CN
China
Prior art keywords
main shaft
communicated
thrust bearing
bearing
spindle
Prior art date
Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
Expired - Lifetime
Application number
CN2009202588760U
Other languages
English (en)
Inventor
储湘华
蒋书运
朱金虎
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
Wuxi Machine Tools Co Ltd
Original Assignee
Wuxi Machine Tools Co Ltd
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by Wuxi Machine Tools Co Ltd filed Critical Wuxi Machine Tools Co Ltd
Priority to CN2009202588760U priority Critical patent/CN201559121U/zh
Application granted granted Critical
Publication of CN201559121U publication Critical patent/CN201559121U/zh
Anticipated expiration legal-status Critical
Expired - Lifetime legal-status Critical Current

Links

Images

Landscapes

  • Magnetic Bearings And Hydrostatic Bearings (AREA)

Abstract

本实用新型提供了一种使用空气轴承的砂轮主轴。可大大提高精度、同时可以降低振动和噪声。其包括转子主轴、主轴壳体、主轴法兰、电机、旋变器、主轴后盖、主轴前盖、冷却水接头，其特征在于：空气轴承主轴套装于所述主轴壳体和转子主轴所形成的空腔内，所述轴承套的内圆面上均布有径向节流孔，各个所述径向节流孔通过所述空气轴承主轴和所述主轴壳体内部的气路相互连通，所述主轴壳体上开有连通所述径向节流孔的进气口、出气口。

Description

一种使用空气轴承的砂轮主轴
(一)技术领域
本实用新型涉及半导体晶片制造设备领域，具体为一种使用空气轴承的砂轮主轴。
(二)背景技术
国内现有电主轴主要通过机械轴承支承，高速旋转振动、噪声大，同时其精度要求不能达到晶圆磨床砂轮主轴的使用要求。
(三)发明内容
针对上述问题，本实用新型提供了一种使用空气轴承的砂轮主轴，可大大提高精度、同时可以降低振动和噪声。
其技术方案是这样的：其包括转子主轴、主轴壳体、主轴法兰、电机、旋变器、主轴后盖、主轴前盖、冷却水接头，其特征在于：空气轴承主轴套装于所述主轴壳体和转子主轴所形成的空腔内，所述轴承套的内圆面上均布有径向节流孔，各个所述径向节流孔通过所述空气轴承主轴和所述主轴壳体内部的气路相互连通，所述主轴壳体上开有连通所述径向节流孔的进气口、出气口。
其进一步特征在于：所述主轴法兰上圆端面装有轴承套、下圆端面装有上止推轴承，所述上止推轴承与所述主轴前盖间安装有止推轴承气盖，所述轴承套、上止推轴承内部均开有上下位置对称的轴向节流孔，所述轴承套、上止推轴承内部的气路分别连通其内部的各个所述轴向节流孔，所述主轴法兰外圆面端套装有止推轴承间隙调整环，所述上止推轴承内部的气路通过所述止推轴承间隙调整环内部的气路连通所述轴承套内部的气路，所述轴承套内部的气路连通所述主轴壳体内的气路，所述上止推轴承内部的气路连通所述上止推轴承、止推轴承气盖与所述转子主轴的安装间隙，所述上止推轴承、止推轴承气盖与所述转子主轴的围成的间隙连通所述止推轴承气盖与所述主轴前盖的安装间隙，所述止推轴承气盖与所述主轴前盖的安装间隙连通外部空气；
所述径向节流孔、轴向节流孔内均安装有节流器；
所述电机具体为永磁体无刷直流电机，所述主轴壳体开有注水孔连通所述电机的定子，所述定子外壁开有螺旋槽，所述电机连接有所述旋变器；
所述主轴后盖中心处套装有冷却水接头，所述冷却水接头内部开有气路，所述气路连通所述主轴后盖的进气口，所述冷却水接头与所述转子主轴的安装间隙连通所述冷却水接头内部的气路，所述冷却水接头与所述转子主轴的安装间隙连通所述转子主轴与所述主轴后盖的安装间隙，所述转子主轴与所述主轴后盖的安装间隙连通所述转子主轴与所述旋变器的安装间隙，所述转子主轴与所述旋变器的安装间隙连通其下部所述电机的安装空隙，所述电机的安装空隙连通所述主轴后盖内部的排气孔；
所述主轴壳体为硬铝材质。
本实用新型的上述结构中，径向节流孔的设置保证通入各个径向节流孔的压缩空气作用于所述转子主轴，此时由于气体与所述转子主轴接触，通过均化作用提高电主轴的加工精度，同时由于无机械接触，降低噪声和振动。
(四)附图说明
图1是本实用新型的主视图的结构示意图；
图2是图1的A向放大图；
图3是图1的B向放大图。
(五)具体实施方式
见图1、图2、图3，本实用新型包括转子主轴1、主轴壳体2、主轴法兰3、电机4、旋变器5、主轴后盖6、主轴前盖7、冷却水接头8，空气轴承主轴9套装于主轴壳体2和转子主轴1所形成的空腔内，空气轴承主轴9的外圆面上均布有径向节流孔10，各个径向节流孔10通过空气轴承主轴9的气路21和主轴壳体2内部的气路22相互连通，主轴壳体2上开有连通径向节流孔10的进气口11、出气口12。
主轴法兰3上圆端面装有轴承套13、下圆端面装有上止推轴承14，上止推轴承14与主轴前盖7间安装有止推轴承气盖15，轴承套13、上止推轴承14内部均开有上下位置对称的轴向节流孔16，轴承套13内部的气路17连通其内部的各个轴向节流孔16，上止推轴承14内部的气路18连通其内部的各个轴向节流孔16，主轴法兰3外圆面端套装有止推轴承间隙调整环19，上止推轴承14内部的气路18通过止推轴承间隙调整环19内部的气路20连通轴承套13内部的气路17，轴承套13内部的气路17连通主轴壳体2内的气路22，上止推轴承14内部的气路18连通上止推轴承14、止推轴承气盖15与转子主轴1的安装间隙23，上止推轴承14、止推轴承气盖15与转子主轴的围成的间隙23连通止推轴承气盖15与主轴前盖7的安装间隙24，止推轴承气盖15与主轴前盖7的安装间隙24连通外部空气；
径向节流孔10、轴向节流孔16内均安装有节流器25；
电机4具体为永磁体无刷直流电机，主轴壳体2开有注水孔26连通电机4的定子27，定子27外壁开有螺旋槽28，电机4连接旋变器5；
主轴后盖6中心处装有冷却水接头8，冷却水接头8内部开有气路29，气路29连通主轴后盖6的进气口30，冷却水接头8与转子主轴1的安装间隙31连通冷却水接头8内部的气路29，冷却水接头8与转子主轴1的安装间隙31连通转子主轴1与主轴后盖6的安装间隙32，转子主轴1与主轴后盖6的安装间隙32连通转子主轴1与旋变器5的安装间隙33，转子主轴1与旋变器5的安装间隙33连通其下部电机4的安装空隙34，电机4的安装空隙34连通主轴后盖6内部的排气孔35；主轴壳体2为硬铝材质。图1、图3中的36为进水腔。
由于空气轴承主轴9套装于主轴壳体2和转子主轴1所形成的空腔内，空气轴承主轴9的外圆面上均布有径向节流孔10，径向节流孔10通过安装于空气轴承主轴9和主轴壳体2内的气路相互导通，主轴壳体2上开有连通径向节流孔10的进气口、出气口，其通过向进气口输入的压缩空气通道各个径向节流孔10，径向节流孔10内的气压力作用于转子主轴1，此时由于气体与转子主轴1接触，不存在机械接触，故其振动和噪音大大降低，同时由于均化作用大大提高了电主轴的加工精度。

Claims (6)

1.一种使用空气轴承的砂轮主轴，其包括转子主轴、主轴壳体、主轴法兰、电机、旋变器、主轴后盖、主轴前盖、冷却水接头，其特征在于：空气轴承主轴套装于所述主轴壳体和转子主轴所形成的空腔内，所述轴承套的内圆面上均布有径向节流孔，各个所述径向节流孔通过所述空气轴承主轴和所述主轴壳体内部的气路相互连通，所述主轴壳体上开有连通所述径向节流孔的进气口、出气口。
2.根据权利要求1所述一种使用空气轴承的砂轮主轴，其特征在于：所述主轴法兰上圆端面装有轴承套、下圆端面装有上止推轴承，所述上止推轴承与所述主轴前盖间安装有止推轴承气盖，所述轴承套、上止推轴承内部均开有上下位置对称的轴向节流孔，所述轴承套、上止推轴承内部的气路分别连通其内部的各个所述轴向节流孔，所述主轴法兰外圆面端套装有止推轴承间隙调整环，所述上止推轴承内部的气路通过所述止推轴承间隙调整环内部的气路连通所述轴承套内部的气路，所述轴承套内部的气路连通所述主轴壳体内的气路，所述上止推轴承内部的气路连通所述上止推轴承、止推轴承气盖与所述转子主轴的安装间隙，所述上止推轴承、止推轴承气盖与所述转子主轴的围成的间隙连通所述止推轴承气盖与所述主轴前盖的安装间隙，所述止推轴承气盖与所述主轴前盖的安装间隙连通外部空气。
3.根据权利要求2所述一种使用空气轴承的砂轮主轴，其特征在于：所述径向节流孔、轴向节流孔内均安装有节流器；
4.根据权利要求3所述一种使用空气轴承的砂轮主轴，其特征在于：所述电机具体为永磁体无刷直流电机，所述主轴壳体开有注水孔连通所述电机的定子，所述定子外壁开有螺旋槽，所述电机连接有所述旋变器。
5.根据权利要求4所述一种使用空气轴承的砂轮主轴，其特征在于：所述主轴后盖中心处套装有冷却水接头，所述冷却水接头内部开有气路，所述气路连通所述主轴后盖的进气口，所述冷却水接头与所述转子主轴的安装间隙连通所述冷却水接头内部的气路，所述冷却水接头与所述转子主轴的安装间隙连通所述转子主轴与所述主轴后盖的安装间隙，所述转子主轴与所述主轴后盖的安装间隙连通所述转子主轴与所述旋变器的安装间隙，所述转子主轴与所述旋变器的安装间隙连通其下部所述电机的安装空隙，所述电机的安装空隙连通所述主轴后盖内部的排气孔。
6.根据权利要求5所述一种使用空气轴承的砂轮主轴，其特征在于：所述主轴壳体为硬铝材质。
CN2009202588760U 2009-11-20 2009-11-20 一种使用空气轴承的砂轮主轴 Expired - Lifetime CN201559121U (zh)

Priority Applications (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
CN2009202588760U CN201559121U (zh) 2009-11-20 2009-11-20 一种使用空气轴承的砂轮主轴

Applications Claiming Priority (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
CN2009202588760U CN201559121U (zh) 2009-11-20 2009-11-20 一种使用空气轴承的砂轮主轴

Publications (1)

Publication Number Publication Date
CN201559121U true CN201559121U (zh) 2010-08-25

Family

ID=42624267

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
CN2009202588760U Expired - Lifetime CN201559121U (zh) 2009-11-20 2009-11-20 一种使用空气轴承的砂轮主轴

Country Status (1)

Country Link
CN (1) CN201559121U (zh)

Cited By (10)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
CN102729146A (zh) * 2012-06-29 2012-10-17 无锡机床股份有限公司 砂轮电主轴结构
CN102962766A (zh) * 2012-12-03 2013-03-13 东南大学 一种用于磨削小直径深孔的超高速精密电主轴结构
CN103122944A (zh) * 2013-02-28 2013-05-29 上海大学 自供气源气体轴承
CN103121112A (zh) * 2013-02-28 2013-05-29 上海大学 自供气源气体轴承支承电主轴
CN103182712A (zh) * 2011-12-29 2013-07-03 沈阳新松机器人自动化股份有限公司 具有导气环的机械手
CN103286679A (zh) * 2013-06-17 2013-09-11 东南大学 一种超高速空气轴承电主轴
CN103817594A (zh) * 2013-12-31 2014-05-28 广州市昊志机电股份有限公司 内圆磨主轴
CN103991029A (zh) * 2014-05-30 2014-08-20 广州市昊志机电股份有限公司 一种磨削电主轴
CN110513393A (zh) * 2019-08-13 2019-11-29 珠海格力电器股份有限公司 一种轴向间隙可调的止推轴承
CN111230619A (zh) * 2020-03-09 2020-06-05 扬州大学 一种有色金属内孔磨削装置及装置组件的制造方法

Cited By (15)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
CN103182712B (zh) * 2011-12-29 2015-02-11 沈阳新松机器人自动化股份有限公司 具有导气环的机械手
CN103182712A (zh) * 2011-12-29 2013-07-03 沈阳新松机器人自动化股份有限公司 具有导气环的机械手
CN102729146A (zh) * 2012-06-29 2012-10-17 无锡机床股份有限公司 砂轮电主轴结构
CN102962766A (zh) * 2012-12-03 2013-03-13 东南大学 一种用于磨削小直径深孔的超高速精密电主轴结构
CN103122944A (zh) * 2013-02-28 2013-05-29 上海大学 自供气源气体轴承
CN103121112A (zh) * 2013-02-28 2013-05-29 上海大学 自供气源气体轴承支承电主轴
CN103286679B (zh) * 2013-06-17 2015-12-02 东南大学 一种超高速空气轴承电主轴
CN103286679A (zh) * 2013-06-17 2013-09-11 东南大学 一种超高速空气轴承电主轴
CN103817594A (zh) * 2013-12-31 2014-05-28 广州市昊志机电股份有限公司 内圆磨主轴
CN103991029A (zh) * 2014-05-30 2014-08-20 广州市昊志机电股份有限公司 一种磨削电主轴
CN103991029B (zh) * 2014-05-30 2017-06-13 广州市昊志机电股份有限公司 一种磨削电主轴
CN110513393A (zh) * 2019-08-13 2019-11-29 珠海格力电器股份有限公司 一种轴向间隙可调的止推轴承
CN110513393B (zh) * 2019-08-13 2020-11-27 珠海格力电器股份有限公司 一种轴向间隙可调的止推轴承
CN111230619A (zh) * 2020-03-09 2020-06-05 扬州大学 一种有色金属内孔磨削装置及装置组件的制造方法
CN111230619B (zh) * 2020-03-09 2021-10-01 扬州大学 一种有色金属内孔磨削装置及装置组件的制造方法

Similar Documents

Publication Publication Date Title
CN201559121U (zh) 一种使用空气轴承的砂轮主轴
CN101786256B (zh) 一种改进的使用空气轴承的砂轮主轴
CN203707948U (zh) 吊扇马达
CN102489726A (zh) 一种气浮高速电主轴
WO2021239055A1 (zh) 一种离子束刻蚀旋转平台
CN105703520B (zh) 带空气轴承辅助的磁悬浮轴承高速电机
CN102886534B (zh) 高速高刚性动静压内置式电主轴
CN209324520U (zh) 一种燃气轮机发电机组
CN101786261B (zh) 一种改进的使用空气轴承的工作台主轴
CN210189449U (zh) 一种卧式永磁同步动静压电主轴
US9853577B2 (en) Multi-flap standing wave type ultrasonic motor
CN202334080U (zh) 一种隔爆型电动机
CN106369055A (zh) 一种基于磁气混合球面轴承的气动双向输出轴
CN201044389Y (zh) 电机内装式动静压电主轴
CN112139986A (zh) 高密封性电主轴
CN211343737U (zh) 一种转轴轴向止推结构
CN201559122U (zh) 一种使用空气轴承的工作台主轴
CN108614211B (zh) 防止分装式永磁力矩电机定转子碰撞的通用型测试装置
CN101702544A (zh) 可倾瓦轴承内置式电机
CN106323550A (zh) 一种新型旋转式密封圈性能试验机
CN204532859U (zh) 一种新型离心泵
CN205154402U (zh) 微型燃气轮机用电机安装座与进气道的融合式结构
JP2009303379A (ja) スピンドル装置及びスピンドル装置の製造方法
CN201563017U (zh) 可倾瓦轴承内置式电机
WO2020125114A1 (zh) 一种将转子内部冷却空气引出冷却径向磁轴承的结构

Legal Events

Date Code Title Description
C14 Grant of patent or utility model
GR01 Patent grant
AV01 Patent right actively abandoned

Granted publication date: 20100825

Effective date of abandoning: 20091120