CN201350598Y - 晶片改圆加工磨轮 - Google Patents
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Abstract
本实用新型公开了一种晶片改圆加工磨轮。其解决了现有晶片改圆加工磨轮只有单纯的主研磨面,在对晶片半成品进行加工时,加工速度慢、晶片成品的品质不易得到保证的问题。结构为:一种晶片改圆加工磨轮,包括磨轮本体,磨轮本体的外周面上具有环形的主研磨面,其特征在于,所述主研磨面的周缘处设有环形的倒角面,倒角面向着主研磨面外侧斜向突出设置。
Description
技术领域
本实用新型涉及一种磨轮,尤其涉及一种用于晶片半成品进行改圆加工的磨轮。
背景技术
滤光片的最终成品一般均是圆形的,但在晶片的实际生产过程中,晶片的半成品一般是方形或其它的不规则形状,这些半成品需要通过改圆加工磨轮来进行改圆加工。在对半成品晶片进行加工的过程中,可以使发生自转的磨轮绕滤光片发生公转,或者是发生自转的磨轮位置固定,晶片在其它夹紧装置的带动下发生与磨轮同向的转动。经过改圆加工后的晶片,其外形成为圆形。现有的磨轮结构为圆柱体,其外周面为环形的主研磨面,通过主研磨面的研磨,半成品晶片上形成有环形的周面,从而使半成品晶片变成为圆形。为了便于晶片的装配,圆形晶片的外缘处还需要进行倒角作业,以在其外缘处形成倒角面,这需要另外夹紧圆形晶片,使其周缘与磨轮的主研磨相接触并保持转动状态。由于现有普通结构的磨轮只有一个主研磨面,导致在对晶片进行成品加工时显得麻烦,而且成品晶片的两个倒角面会出现差别较大的缺陷,影响到晶片的品质。
发明内容
为克服上述缺陷,本实用新型需要解决的技术问题是:提供一种晶片改圆加工磨轮,它可以快速地对晶片半成品进行加工,且晶片成品的品质能够得到保证。
为解决所述问题,本实用新型的技术方案:一种晶片改圆加工磨轮,包括磨轮本体,磨轮本体的外周面上具有环形的主研磨面,其特征在于,所述主研磨面的周缘处设有环形的倒角面,倒角面向着主研磨面外侧斜向突出设置。在利用本晶片改圆加工磨轮对晶片的半成品进行加工时,磨轮在动力装置的带动下发生自转,晶片半成品在其它的夹紧装置的带动下发生同向的转动。这样,磨轮上的主研磨面用于加工出晶片成品上的外周面,而倒角面则加工出晶片成品上的倒角面。
作为优选,所述的主研磨面的两侧对称地设有两个所述的倒角面。设有两个倒角面,可以一次性地在晶片成品的两个外缘处均加工出倒角面。
作为优选,所述主研磨面为多个,它们并列地设置在本体上。相应地,主研磨面的两侧均设有所述的倒角面,这样,可以一次性加工出多个并列层叠、粘接在一起的晶片半成品,进一步提高了加工效率。
作为优选,所述相邻的两个倒角面相交,该相交的两个倒角面之间形成山脊形的凸体。两个倒面相交,可以效地减小并列粘接在一起的、相邻的两片滤光片之间的粘接层的厚度。在加工过程中,所述的凸***于所述粘接层的位置处。
作为优选,所述凸体的截面呈等腰三角形。凸体的截面呈等腰三角形,所述的倒角面为平面,可以在晶片成品的两个周缘处加工出平面倒角面。
作为优选,所述倒角面与所述本体轴线之间的夹角为45度。它们之间具有45度的夹角,符合成品晶片上倒角面的加工要求。
作为优选,所述倒角面为内凹的弧形面。这样,就可以在成品晶片上加工出弧形的倒角面。
与现有技术相比,本实用新型具有的有益效果:
1、由于在磨轮上设有主研磨面和斜向突出的倒角面,利用本磨轮对晶片半成品进行加工时,既可以把晶片半成品加工成圆形,完成改圆作业。
2、同时也可以在晶片的周缘处加工出倒角面。
3不需要另行对晶片重新进行夹持操作,加工操作方便,加工速度快,且便于一次性加工出多片晶片成品,便于进一步提高加工速度。
4在保证所述倒角面在磨轮上处于合格的位置时,便于在成品晶片上加工出合格的倒角面。
附图说明
图1是本实用新型晶片改圆加工磨轮的使用状态参考图。
具体实施方式
见图中,本实用新型晶片改圆加工磨轮的主体结构为一圆柱形的磨轮本体6,本体6的外周面上设有环形的主研磨面8。
在主研磨面8的两侧周缘处对称地设有斜向上突出的、环状的倒角面9,上述的主研磨面8用于加工晶片的外圆周面,倒角面9用于加工滤光片周缘处的倒角面。
所述的主研磨面8可以有多道,它们并列地设置本体6上,与此相应,每道主研磨面8的两侧周缘处均设有上述的倒角面9。相邻的两个倒角面9相交,从而在本体6上、想邻的两个倒角面9之间形成有突出的三脊形凸体7。倒角面9可以是平面,也可以是内凹的弧面。当倒角面9是平面时,所述的凸体7的截断面呈等腰三角形,优选倒角面9与本体6轴线之间的夹角为45度。
带有多个主研磨面8的磨轮在实际的使用时,晶片3的数目一般与磨轮上的主研磨面8的数目一致,这些晶片3通过粘接层4被层叠粘接在一起。这些被粘接在一起的晶片3被改圆装置中的顶针2从两端固定住,顶针2被固定在支架1上,顶针2的端部与层叠在一起的晶片3之间设有垫块5。磨轮本体6平行于层叠在一起的晶片3,本体6与晶片3相接触,本体6上所述的凸体7位于所述相邻两片晶片3之间的粘接层4的位置处。所述的顶针2带动粘接在一起的晶片3转动,所述的磨轮本体6在动力装置的带动下发生同向转动。这样,利用研磨轮本体6上的主研磨面8加工出晶片3上的外周面,利用倒角面9加工出晶片3周缘处的倒角面。
Claims (7)
1.一种晶片改圆加工磨轮,包括磨轮本体,磨轮本体的外周面上具有环形的主研磨面,其特征在于,所述主研磨面(8)的周缘处设有环形的倒角面(9),倒角面(9)向着主研磨面(8)外侧斜向突出设置。
2.根据权利要求1所述的晶片改圆加工磨轮,其特征在于,所述的主研磨面(8)的两侧对称地设有两个所述的倒角面(9)。
3.根据权利要求2所述的晶片改圆加工磨轮,其特征在于,所述主研磨面(8)为多个,它们并列地设置在本体(6)上。
4.根据权利要求3所述的晶片改圆加工磨轮,其特征在于,所述相邻的两个倒角面(9)相交,该相交的两个倒角面(9)之间形成山脊形的凸体(7)。
5.根据权利要求4所述的晶片改圆加工磨轮,其特征在于,所述凸体(7)的截面呈等腰三角形。
6.根据权利要求1或2或3或4或5所述的晶片改圆加工磨轮,其特征在于,所述倒角面(9)与所述本体(6)轴线之间的夹角为45度。
7.根据权利要求1或2或3或4所述的晶片改圆加工磨轮,其特征在于,所述倒角面(9)为内凹的弧形面。
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Cited By (4)
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CN103180098A (zh) * | 2010-07-30 | 2013-06-26 | Memc电子材料有限公司 | 用于晶片的梯形磨削的磨削工具 |
CN109623553A (zh) * | 2018-12-25 | 2019-04-16 | 西安奕斯伟硅片技术有限公司 | 一种倒角磨轮、倒角研磨装置及研磨方法 |
CN111360660A (zh) * | 2018-12-07 | 2020-07-03 | 中科钢研节能科技有限公司 | 激光陀螺镜片外圆倒角抛光装置 |
CN112059739A (zh) * | 2020-10-15 | 2020-12-11 | 北京石晶光电科技股份有限公司 | 一种光学波片光轴角度精磨生产工艺 |
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Cited By (5)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
CN103180098A (zh) * | 2010-07-30 | 2013-06-26 | Memc电子材料有限公司 | 用于晶片的梯形磨削的磨削工具 |
CN111360660A (zh) * | 2018-12-07 | 2020-07-03 | 中科钢研节能科技有限公司 | 激光陀螺镜片外圆倒角抛光装置 |
CN111360660B (zh) * | 2018-12-07 | 2021-06-04 | 国宏华业投资有限公司 | 激光陀螺镜片外圆倒角抛光装置 |
CN109623553A (zh) * | 2018-12-25 | 2019-04-16 | 西安奕斯伟硅片技术有限公司 | 一种倒角磨轮、倒角研磨装置及研磨方法 |
CN112059739A (zh) * | 2020-10-15 | 2020-12-11 | 北京石晶光电科技股份有限公司 | 一种光学波片光轴角度精磨生产工艺 |
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Legal Events
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GR01 | Patent grant | ||
EE01 | Entry into force of recordation of patent licensing contract |
Assignee: Jiangxi Crystal-Optech Co.,Ltd. Assignor: Zhejiang Quartz Crystal Optoelectronic Technology Co., Ltd. Contract record no.: 2012360000074 Denomination of utility model: Processing abrasive wheel for rounding wafer Granted publication date: 20091125 License type: Exclusive License Record date: 20120829 |
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CX01 | Expiry of patent term |
Granted publication date: 20091125 |
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CX01 | Expiry of patent term |