CN201183292Y - 具有对称弧形的切割工作台及夹具结构 - Google Patents
具有对称弧形的切割工作台及夹具结构 Download PDFInfo
- Publication number
- CN201183292Y CN201183292Y CNU2008200047737U CN200820004773U CN201183292Y CN 201183292 Y CN201183292 Y CN 201183292Y CN U2008200047737 U CNU2008200047737 U CN U2008200047737U CN 200820004773 U CN200820004773 U CN 200820004773U CN 201183292 Y CN201183292 Y CN 201183292Y
- Authority
- CN
- China
- Prior art keywords
- arc
- cutting workbench
- anchor clamps
- symmetrical
- workbench
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Expired - Fee Related
Links
Images
Landscapes
- Processing Of Stones Or Stones Resemblance Materials (AREA)
Abstract
本实用新型公开了一种具有对称弧形的切割工作台及夹具结构，用以解决公知夹具与切割工作台呈圆形或矩形状，无法有效利用设备与增加产量，及加工设备数量需求多，设备成本高的问题；所述切割工作台的主要工作空间至少一组相对边所对称的周边向外突出一弧状，主要工作空间该边增加一弧形工作空间，夹具的透空孔对称外周边设有配合的向外突出弧状，对称边增加有弧形透部；所述切割工作台的主要工作空间与弧形工作空间分别配合夹具的透空孔与弧形透部穿过，夹具受切割工作台的固定装置所限制而定位。本实用新型能有效利用设备与增加产量及降低设备成本。
Description
技术领域
实用新型涉及一种切割工作台，尤其涉及一种具有对称弧形的切割工作台及夹具结构。
背景技术
一般的半导体等IC晶圆组件，其使用的设置与设计越来越小，以便于使用于各式的电子产品上，令电子产品设计也能大幅缩小，从而方便携带，但半导体等IC晶圆组件在加工时，为了制程方便与提高产量，半导体等IC晶圆组件多个排列一次生产，待生产完后的一片多个的半成品半导体再经切割方式，将其一一切割开，令多个半成品的半导体成为独立的成品半导体使用，而以往的半导体组件的切割，都利用于一滑座上设置一切割工作台用以固定一夹具，再以夹具利用胶带将晶圆固定，使晶圆能够以切割工作台上设置的切割刀具一一切割分离成独立小块，滑座可带动切割工作台产生位移，而切割工作台呈现圆形或矩形状，并于周边设置有固定装置，该固定装置要固定会更换的夹具使用，故通常使用可快速拆换的真空吸嘴设计，利用真空吸嘴的吸力使夹具能够被吸附固定，夹具配合切割工作台的圆形或矩形状，中央具有一透空孔，该透空孔利用胶带由下而上黏附，晶圆再放置于该透空孔的胶带上，使夹具与晶圆随切割工作台移动，让晶圆能够依序移动被切割刀具切割开。
然而，这种夹具与切割工作台呈现圆形或矩形状，其中圆形在矩形工件进行多片贴附时，无法有效利用空间；而矩形则在圆形或不规则工件进行贴附时，无法有效利用空间；因此，无法有效利用设备与增加产量，及存在加工设备数量多与设备成本高的问题，不符合经济效益。
实用新型内容
本实用新型的目的提供一种具有对称弧形的切割工作台及夹具结构，用以解决的问题是公知夹具与切割工作台呈圆形或矩形状，为圆形在矩形工件进行多片贴附时，无法有效利用空间，而矩形则是在圆形或不规则工件进行贴附时，无法有效利用空间，因此无法有效利用设备与增加产量，及加工设备数量需求多，设备成本高。
为解决上述技术问题，本实用新型采用如下技术方案：
本实用新型提供的具有对称弧形的切割工作台及夹具结构，所述切割工作台上固定有所述夹具，而切割工作台上对应设置有一切割刀具，其中切割工作台为基本的四边形，中央具有一概为四边形的主要工作空间，且切割工作台于外周边分布设置有固定装置，夹具配合切割工作台的形状设置，中央具有一概为四边形的透空孔；
所述切割工作台的主要工作空间至少一组相对边所对称的周边向外突出一弧状，主要工作空间该边增加一弧形工作空间，夹具的透空孔对称外周边设有配合的向外突出弧状，对称边增加有弧形透部；
所述切割工作台的主要工作空间与弧形工作空间分别配合夹具的透空孔与弧形透部穿过，夹具受切割工作台的固定装置所限制而定位。
本实用新型通过将切割工作台的概为四边形主要工作空间至少一对称边增加设置弧形工作空间，而配合的夹具的透空孔也配合设置弧形透部，借此，能更有效的提供圆形与矩形的多个晶圆，具有扩大工作空间的效果，使用的共享性佳，不局限于圆形或矩形的晶圆，有效利用设备与增加产量及降低设备成本。
附图说明
图1为本实用新型具有对称弧形的切割工作台及夹具结构的立体分解图；
图2为本实用新型具有对称弧形的切割工作台及夹具结构的立体半组合图；
图3为本实用新型具有对称弧形的切割工作台及夹具结构的立体组合图；
图4为本实用新型具有对称弧形的切割工作台及夹具结构的夹具与切割工作台提供矩形晶圆排列的平面图；
图5为本实用新型具有对称弧形的切割工作台及夹具结构的夹具与切割工作台提供圆形晶圆排列的平面图。
具体实施方式
为了使本技术领域的人员更好地理解本实用新型方案，并使本实用新型的上述目的、特征和优点能够更加明显易懂，下面结合附图和实施例对本实用新型作进一步详细的说明。
请参阅图1所示，本实用新型具有对称弧形的切割工作台及夹具结构的较佳实施例，本实施例适用于切割晶圆10，其包括一设置在滑座上的切割工作台20，一夹具30固定于切割工作台20上，夹具30提供晶圆10以专用的胶带40黏合固定，而滑座与切割工作台20上并对应设置有一切割刀具，其中，滑座可控制产生定向的适度移动，滑座上并供切割工作台20的承载，切割工作台20呈现基本的四边形，中央具有一概为四边形的主要工作空间21突出，且所对称的外周边向外突出一弧状，使四周各边沿着长边分别增加一弧形工作空间22，而切割工作台20在弧形工作空间22外周边并分布设置有固定装置23，该同定装置23用于固定夹具30，通常为真空吸嘴的设计，利用真空吸嘴的吸力使夹具30能够被吸附固定，而切割工作台20的弧形工作空间22外周边其它位置至少一处还设置有定位柱24，夹具30配合切割工作台20的形状设置，中央具有一概为四边形的透空孔31，且透空孔31所对称的外周边为向外突出弧状，使四周各边沿着长边分别增加一弧形透部32，另夹具30的外周缘并设置有对应切割工作台20的定位柱24的定位槽部33，胶带40一面具有黏附性配合于夹具30下方。
本实施例使用时，如图2所示，胶带40先由下而上黏合于夹具30下方，使夹具30的整个透空孔31连同弧形透部32都被胶带40所布满，晶圆10则由夹具30的透空孔31与弧形透部32放入，并落于胶带40上黏固，如图3所示，夹具30以胶带40连同晶圆10放置于切割工作台20上，使晶圆10能够位在切割工作台20的主要工作空间21与弧形工作空间22，且切割工作台20的固定装置23会将夹具30所吸固，而夹具30的定位槽部33并对应切割工作台20的定位柱24，晶圆10利用胶带40的黏固与张力作用，可稳稳的固定于切割工作台20顶面，而夹具30并会因此被吸附下沉，以此即可使用切割刀具进行晶圆10的切割，且因夹具30吸附下沉，因此仅有晶圆10位于切割工作台20最顶部，可令夹具30不会被割损而重复使用。
如图4所示，该提供矩形形状的晶圆10排列切割使用，以切割工作台20的主要工作空间21与弧形工作空间22及夹具30的透空孔31与弧形透部32配合，能提供若干矩形形状的晶圆10排列。
如图5所示，该提供圆形形状的晶圆10排列切割使用，以切割工作台20的主要工作空间21与弧形工作空间22及夹具30的透空孔31与弧形透部32配合，能扩大工作空间21的空间以提供一个以上的圆形形状晶圆10设置。
其切割工作台20的弧形工作空间22与配合的夹具30弧形透部32，该至少其中二边为一组方式对称，可仅有二边设置，或四边二组对称设置，也可其中一对称边为一尺寸的弧形变化，另一对称边为其它尺寸的弧形变化。
本实用新型具有如下有益效果：
本实用新型通过将切割工作台20的概为四边形的主要工作空间21对称周边增加设置弧形工作空间22，而配合的夹具30概为四边形的透空孔31与弧形透部32配合，不仅能提供多个的晶圆10的放置，也能扩大工作空间21的四边中央空间，以提供一个以上的圆形形状晶圆10设置，使用共享性佳，不局限于圆形或矩形的晶圆10，且能够在有效的空间内提供多个的任意形状晶圆10排列，可有效利用设备与增加产量，不需要过多的加工设备，相对可以降低设备成本。
以上所述，仅为本实用新型较佳的具体实施方式，但本实用新型的保护范围并不局限于此，任何熟悉本技术领域的技术人员在本实用新型揭露的技术范围内，可轻易想到的变化或替换，都应涵盖在本实用新型的保护范围之内。因此，本实用新型的保护范围应该以权利要求的保护范围为准。
Claims (7)
1、一种具有对称弧形的切割工作台及夹具结构，所述切割工作台上固定有所述夹具，而切割工作台上对应设置有一切割刀具，其中切割工作台为基本的四边形，中央具有一概为四边形的主要工作空间，且切割工作台于外周边分布设置有固定装置，夹具配合切割工作台的形状设置，中央具有一概为四边形的透空孔，其特征在于，
所述切割工作台的主要工作空间至少一组相对边所对称的周边向外突出一弧状，主要工作空间该边增加一弧形工作空间，夹具的透空孔对称外周边设有配合的向外突出弧状，对称边增加有弧形透部；
所述切割工作台的主要工作空间与弧形工作空间分别配合夹具的透空孔与弧形透部穿过，夹具受切割工作台的固定装置所限制而定位。
2、根据权利要求1所述的具有对称弧形的切割工作台及夹具结构，其特征在于，所述切割工作台的固定装置为真空吸嘴。
3、根据权利要求1所述的具有对称弧形的切割工作台及夹具结构，其特征在于，所述切割工作台的外周边位置至少一处设置有定位柱，另夹具的外周缘并设置有对应所述定位柱的定位槽部。
4、根据权利要求1所述的具有对称弧形的切割工作台及夹具结构，其特征在于，所述切割工作台的弧形工作空间与配合的夹具的弧形透部，以一组二边对称方式设置。
5、根据权利要求1所述的具有对称弧形的切割工作台及夹具结构，其特征在于，所述切割工作台的弧形工作空间与配合的夹具的弧形透部，以二组四边对称方式设置。
6、根据权利要求5所述的具有对称弧形的切割工作台及夹具结构，其特征在于，所述切割工作台的弧形工作空间与夹具的弧形透部，其二组的弧形规格相同。
7、根据权利要求5所述的具有对称弧形的切割工作台及夹具结构，其特征在于，所述切割工作台的弧形工作空间与夹具的弧形透部，其二组的弧形规格不相同。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| CNU2008200047737U CN201183292Y (zh) | 2008-01-29 | 2008-01-29 | 具有对称弧形的切割工作台及夹具结构 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| CNU2008200047737U CN201183292Y (zh) | 2008-01-29 | 2008-01-29 | 具有对称弧形的切割工作台及夹具结构 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| CN201183292Y true CN201183292Y (zh) | 2009-01-21 |
Family
ID=40271028
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| CNU2008200047737U Expired - Fee Related CN201183292Y (zh) | 2008-01-29 | 2008-01-29 | 具有对称弧形的切割工作台及夹具结构 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| CN (1) | CN201183292Y (zh) |
Cited By (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| CN102903679A (zh) * | 2012-11-09 | 2013-01-30 | 日月光半导体制造股份有限公司 | 切割固定治具 |
| CN104129002A (zh) * | 2013-04-30 | 2014-11-05 | 三星钻石工业股份有限公司 | 裂断用治具 |
| CN106370679A (zh) * | 2016-11-02 | 2017-02-01 | 中国电子科技集团公司第四十六研究所 | 一种半导体晶片notch槽晶向测量装置及使用方法 |
-
2008
- 2008-01-29 CN CNU2008200047737U patent/CN201183292Y/zh not_active Expired - Fee Related
Cited By (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| CN102903679A (zh) * | 2012-11-09 | 2013-01-30 | 日月光半导体制造股份有限公司 | 切割固定治具 |
| CN104129002A (zh) * | 2013-04-30 | 2014-11-05 | 三星钻石工业股份有限公司 | 裂断用治具 |
| CN106370679A (zh) * | 2016-11-02 | 2017-02-01 | 中国电子科技集团公司第四十六研究所 | 一种半导体晶片notch槽晶向测量装置及使用方法 |
Similar Documents
| Publication | Publication Date | Title |
|---|---|---|
| CN201183292Y (zh) | 具有对称弧形的切割工作台及夹具结构 | |
| CN206066730U (zh) | 硅棒开方机 | |
| CN206763927U (zh) | 可自由装夹的振动切削装置 | |
| CN206200620U (zh) | 一种cnc加工用夹具 | |
| CN208196537U (zh) | 磨床用真空吸附夹具 | |
| CN106455338A (zh) | 自动贴板专用夹具及自动贴板装置 | |
| CN201720704U (zh) | 可调平面式慢走丝加工夹具 | |
| CN208343071U (zh) | 一种集成式木工加工*** | |
| CN208945663U (zh) | 一种l形工件夹具 | |
| CN2864981Y (zh) | 精密真空切割吸盘 | |
| CN204471191U (zh) | 一种玻璃磨边机 | |
| CN213498763U (zh) | 真空吸附治具 | |
| CN103785953B (zh) | 激光切割装置 | |
| CN209394117U (zh) | 线切割用磁吸式装载治具组件 | |
| CN210499659U (zh) | 一种加工膨胀材料的复合平面磨光机组 | |
| CN108015434A (zh) | 一种新型数控激光切割机 | |
| CN205904784U (zh) | 磨刀架 | |
| CN208680793U (zh) | 一种切割治具*** | |
| CN214602634U (zh) | 一种激光切割磁性治具 | |
| CN207223051U (zh) | 一种用于波刃型铣刀的组合夹具 | |
| CN203295356U (zh) | 玻璃切割机 | |
| CN205488084U (zh) | 具有高稳定性的晶片切割用吸附式治具 | |
| CN208277116U (zh) | 一种基于楔形块的非直角板材用手动封边机装置 | |
| CN212472007U (zh) | 一种石材切割机基座 | |
| CN201185184Y (zh) | 高压大功率晶闸管双正角成形设备 |
Legal Events
| Date | Code | Title | Description |
|---|---|---|---|
| C14 | Grant of patent or utility model | ||
| GR01 | Patent grant | ||
| ASS | Succession or assignment of patent right |
Owner name: DEJI PRECISION MACHINERY CO., LTD. Free format text: FORMER OWNER: QIYI TECHNOLOGY INTERNATIONAL CO., LTD. Effective date: 20090724 |
|
| C41 | Transfer of patent application or patent right or utility model | ||
| TR01 | Transfer of patent right |
Effective date of registration: 20090724 Address after: Lane 16, Lane 296, Lane 50, Taiping Road, Taiping County, Taichung County, Taiwan Province, china: Patentee after: DEJI PRECISION MACHINERY CO., LTD. Address before: Taiping County, Taichung City, China 16 Industrial Road, No. 19, Taiwan: Patentee before: Qiyi Technology International Co., Ltd. |
|
| CF01 | Termination of patent right due to non-payment of annual fee |
Granted publication date: 20090121 Termination date: 20130129 |
|
| CF01 | Termination of patent right due to non-payment of annual fee |