CN1993614A - 荧光x线分析方法以及荧光x线分析装置 - Google Patents
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- 238000000034 method Methods 0.000 title claims description 70
- 238000002441 X-ray diffraction Methods 0.000 title claims description 38
- 239000000463 material Substances 0.000 claims abstract description 69
- 238000005259 measurement Methods 0.000 claims abstract description 35
- 229910052751 metal Inorganic materials 0.000 claims description 35
- 239000002184 metal Substances 0.000 claims description 28
- 229910052755 nonmetal Inorganic materials 0.000 claims description 25
- 230000005855 radiation Effects 0.000 claims description 25
- 229910052742 iron Inorganic materials 0.000 claims description 13
- 229910052801 chlorine Inorganic materials 0.000 claims description 11
- 229910052802 copper Inorganic materials 0.000 claims description 10
- 229910052718 tin Inorganic materials 0.000 claims description 10
- 229910052794 bromium Inorganic materials 0.000 claims description 9
- 229910052725 zinc Inorganic materials 0.000 claims description 8
- 238000001514 detection method Methods 0.000 claims description 6
- 239000004615 ingredient Substances 0.000 claims description 4
- 238000004458 analytical method Methods 0.000 abstract description 14
- 239000011573 trace mineral Substances 0.000 abstract description 10
- 235000013619 trace mineral Nutrition 0.000 abstract description 10
- 229910052793 cadmium Inorganic materials 0.000 abstract description 3
- 229910052745 lead Inorganic materials 0.000 abstract description 3
- 229910052753 mercury Inorganic materials 0.000 abstract description 2
- 238000004876 x-ray fluorescence Methods 0.000 abstract 2
- 239000007769 metal material Substances 0.000 abstract 1
- 230000016776 visual perception Effects 0.000 abstract 1
- 239000000523 sample Substances 0.000 description 102
- 239000000460 chlorine Substances 0.000 description 28
- XEEYBQQBJWHFJM-UHFFFAOYSA-N Iron Chemical compound [Fe] XEEYBQQBJWHFJM-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 20
- 238000007689 inspection Methods 0.000 description 17
- 239000004033 plastic Substances 0.000 description 12
- 229920003023 plastic Polymers 0.000 description 12
- 230000014509 gene expression Effects 0.000 description 11
- 239000010949 copper Substances 0.000 description 10
- 239000011135 tin Substances 0.000 description 10
- 239000000203 mixture Substances 0.000 description 8
- ZAMOUSCENKQFHK-UHFFFAOYSA-N Chlorine atom Chemical compound [Cl] ZAMOUSCENKQFHK-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 7
- 239000011701 zinc Substances 0.000 description 7
- 230000008569 process Effects 0.000 description 6
- 238000004513 sizing Methods 0.000 description 6
- 238000001228 spectrum Methods 0.000 description 6
- WKBOTKDWSSQWDR-UHFFFAOYSA-N Bromine atom Chemical compound [Br] WKBOTKDWSSQWDR-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 5
- 238000002083 X-ray spectrum Methods 0.000 description 5
- GDTBXPJZTBHREO-UHFFFAOYSA-N bromine Substances BrBr GDTBXPJZTBHREO-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 5
- 238000004364 calculation method Methods 0.000 description 5
- 230000003595 spectral effect Effects 0.000 description 5
- RYGMFSIKBFXOCR-UHFFFAOYSA-N Copper Chemical compound [Cu] RYGMFSIKBFXOCR-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 4
- ATJFFYVFTNAWJD-UHFFFAOYSA-N Tin Chemical compound [Sn] ATJFFYVFTNAWJD-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 4
- 239000004411 aluminium Substances 0.000 description 4
- 229910052782 aluminium Inorganic materials 0.000 description 4
- XAGFODPZIPBFFR-UHFFFAOYSA-N aluminium Chemical compound [Al] XAGFODPZIPBFFR-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 4
- 238000013459 approach Methods 0.000 description 4
- 238000010586 diagram Methods 0.000 description 4
- 230000007246 mechanism Effects 0.000 description 4
- 239000000088 plastic resin Substances 0.000 description 4
- FYYHWMGAXLPEAU-UHFFFAOYSA-N Magnesium Chemical compound [Mg] FYYHWMGAXLPEAU-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 3
- 230000003321 amplification Effects 0.000 description 3
- 230000007613 environmental effect Effects 0.000 description 3
- 239000011521 glass Substances 0.000 description 3
- 239000011777 magnesium Substances 0.000 description 3
- 229910052749 magnesium Inorganic materials 0.000 description 3
- 239000011159 matrix material Substances 0.000 description 3
- 230000005055 memory storage Effects 0.000 description 3
- 238000003199 nucleic acid amplification method Methods 0.000 description 3
- 238000002360 preparation method Methods 0.000 description 3
- HCHKCACWOHOZIP-UHFFFAOYSA-N Zinc Chemical compound [Zn] HCHKCACWOHOZIP-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- 230000009471 action Effects 0.000 description 2
- 230000004069 differentiation Effects 0.000 description 2
- 238000011156 evaluation Methods 0.000 description 2
- 230000003760 hair shine Effects 0.000 description 2
- 150000002739 metals Chemical class 0.000 description 2
- 238000004445 quantitative analysis Methods 0.000 description 2
- 238000003860 storage Methods 0.000 description 2
- RRWFUWRLNIZICP-UHFFFAOYSA-N 1-bromo-2-phenoxybenzene Chemical compound BrC1=CC=CC=C1OC1=CC=CC=C1 RRWFUWRLNIZICP-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- KTADSLDAUJLZGL-UHFFFAOYSA-N 1-bromo-2-phenylbenzene Chemical group BrC1=CC=CC=C1C1=CC=CC=C1 KTADSLDAUJLZGL-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 235000014698 Brassica juncea var multisecta Nutrition 0.000 description 1
- CPELXLSAUQHCOX-UHFFFAOYSA-M Bromide Chemical compound [Br-] CPELXLSAUQHCOX-UHFFFAOYSA-M 0.000 description 1
- VYZAMTAEIAYCRO-UHFFFAOYSA-N Chromium Chemical compound [Cr] VYZAMTAEIAYCRO-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 235000016936 Dendrocalamus strictus Nutrition 0.000 description 1
- 241000251184 Rajiformes Species 0.000 description 1
- BZHJMEDXRYGGRV-UHFFFAOYSA-N Vinyl chloride Chemical compound ClC=C BZHJMEDXRYGGRV-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 239000000654 additive Substances 0.000 description 1
- 230000000996 additive effect Effects 0.000 description 1
- 230000015572 biosynthetic process Effects 0.000 description 1
- BDOSMKKIYDKNTQ-UHFFFAOYSA-N cadmium atom Chemical compound [Cd] BDOSMKKIYDKNTQ-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 229910052799 carbon Inorganic materials 0.000 description 1
- 230000008859 change Effects 0.000 description 1
- 229910052804 chromium Inorganic materials 0.000 description 1
- 150000001875 compounds Chemical class 0.000 description 1
- 230000001143 conditioned effect Effects 0.000 description 1
- 230000000694 effects Effects 0.000 description 1
- 238000005516 engineering process Methods 0.000 description 1
- 238000002474 experimental method Methods 0.000 description 1
- 239000012467 final product Substances 0.000 description 1
- 239000003063 flame retardant Substances 0.000 description 1
- 230000006870 function Effects 0.000 description 1
- 229910052739 hydrogen Inorganic materials 0.000 description 1
- 230000008676 import Effects 0.000 description 1
- 239000012535 impurity Substances 0.000 description 1
- 238000004519 manufacturing process Methods 0.000 description 1
- QSHDDOUJBYECFT-UHFFFAOYSA-N mercury Chemical compound [Hg] QSHDDOUJBYECFT-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 238000005457 optimization Methods 0.000 description 1
- 229910052760 oxygen Inorganic materials 0.000 description 1
- 238000012545 processing Methods 0.000 description 1
- 238000011002 quantification Methods 0.000 description 1
- 238000012113 quantitative test Methods 0.000 description 1
- 230000009467 reduction Effects 0.000 description 1
- 230000035945 sensitivity Effects 0.000 description 1
- 238000004904 shortening Methods 0.000 description 1
- 238000005476 soldering Methods 0.000 description 1
- 238000010183 spectrum analysis Methods 0.000 description 1
- 239000000126 substance Substances 0.000 description 1
- JBQYATWDVHIOAR-UHFFFAOYSA-N tellanylidenegermanium Chemical compound [Te]=[Ge] JBQYATWDVHIOAR-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 238000012360 testing method Methods 0.000 description 1
Classifications
-
- G—PHYSICS
- G01—MEASURING; TESTING
- G01N—INVESTIGATING OR ANALYSING MATERIALS BY DETERMINING THEIR CHEMICAL OR PHYSICAL PROPERTIES
- G01N23/00—Investigating or analysing materials by the use of wave or particle radiation, e.g. X-rays or neutrons, not covered by groups G01N3/00 – G01N17/00, G01N21/00 or G01N22/00
- G01N23/22—Investigating or analysing materials by the use of wave or particle radiation, e.g. X-rays or neutrons, not covered by groups G01N3/00 – G01N17/00, G01N21/00 or G01N22/00 by measuring secondary emission from the material
- G01N23/223—Investigating or analysing materials by the use of wave or particle radiation, e.g. X-rays or neutrons, not covered by groups G01N3/00 – G01N17/00, G01N21/00 or G01N22/00 by measuring secondary emission from the material by irradiating the sample with X-rays or gamma-rays and by measuring X-ray fluorescence
-
- G—PHYSICS
- G01—MEASURING; TESTING
- G01N—INVESTIGATING OR ANALYSING MATERIALS BY DETERMINING THEIR CHEMICAL OR PHYSICAL PROPERTIES
- G01N2223/00—Investigating materials by wave or particle radiation
- G01N2223/07—Investigating materials by wave or particle radiation secondary emission
- G01N2223/076—X-ray fluorescence
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- Physics & Mathematics (AREA)
- Health & Medical Sciences (AREA)
- Life Sciences & Earth Sciences (AREA)
- Chemical & Material Sciences (AREA)
- Analytical Chemistry (AREA)
- Biochemistry (AREA)
- General Health & Medical Sciences (AREA)
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- Immunology (AREA)
- Pathology (AREA)
- Analysing Materials By The Use Of Radiation (AREA)
Abstract
一种荧光X线分析方法，可以测量未知试样中含有的元素浓度，而不需要依赖于人的视觉等判别试样，或不需要预先得到来自试样提供方的信息。(1)通过对试样照射X线来判定试样的种类是非金属类材料还是金属类材料的任一种，(2)根据判定的试样种类，选择荧光X线分析的测量条件，(3)根据所选择的测量条件，通过荧光X线分析，测量试样中含有的一种或多种元素的浓度，由此，例如可测量电子/电气设备的部件中含有的Cd、Pb、Hg等微量元素的浓度。
Description
技术领域
本发明涉及荧光X线分析方法以及荧光X线分析装置，特别涉及一种适合对构成电子设备以及电气设备的具有各种组成的部件中混入的环境负载物质进行高速检测的荧光X线分析方法。
背景技术
近年来，构成电子/电气设备的部件内所含有的环境负载物质的危险性已被指出，出现了一些国家和州通过法律或条令来限制环境负载物质的含有量。而且，在EU各国中，RoHS指令(Restriction of the use of certainHazardous Substances in electrical and electronic equipment)预定从2006年7月开始生效。该RoHS指令禁止使用含有超过阈值量的镉(Cd)、铅(Pb)、水银(Hg)、特定溴系阻燃剂(两个种类)(聚溴代联苯(PBB)、聚溴代二苯醚(PBDE))、六价铬(Cr(VI))的部件。对于Pb、Hg、PBB、PBD以及Cr(VI)而言，阈值为1000ppm，对于Cd而言阈值为100ppm。因此，在电气/电子设备制造企业中，确认各部件中不含有规定值以上的环境负载物质是不可缺少的。
作为测量微量元素含有量的方法之一，一般采用具有几十ppm的灵敏度，且能够以不破坏方式进行测量的荧光X线分析方法。利用荧光X线分析方法对试样(sample)中含有的元素浓度进行定量的步骤一般是公知的，例如，在日本国专利公开特开平8-43329号公报中举出了一个例子。
下面，参照图3对荧光X线分析方法的一般步骤进行说明。在图3中，首先在步骤301中进行X射线管的电压和电流条件以及定量分析法等的设定、测量时间t的设定。然后开始测量(参照步骤302)。接着，花费t时间进行测量(参照步骤303)，然后结束测量(参照步骤304)。在测量结束之后，进行试样中含有的元素浓度计算以及该计算结果的精度(标准偏差)计算，得到浓度与精度的结果。于是，通过LCD等显示机构显示浓度与精度的结果，并利用打印机等将结果打印输出(参照步骤306)。
此时，对试样中所含有的元素浓度(即含有量)进行计算的方法即定量法，大致分为两种。一种是预先对目标元素的含有量和光谱形状进行检量并生成检量线，将样品(sample)光谱的形状与检量线进行对照，来决定浓度的方法(检量线法)。另一种是假设所有的含有元素都反映在光谱中，根据光谱确定全部含有成分并计算各成分的含有率(即对试样中的所有元素进行定量(总计100％))的方法(基本参数法(FP法))。
由于C、H、O等轻元素其荧光X线产生量小，所以，由大量含有这些元素的塑料等构成的试样中所含有的上述微量元素的定量，通常利用检量线法来实施。与之相对，由铁、锌、铜以及锡等中等原子量元素或重元素构成的试样所含有的上述微量元素的定量，通常利用FP法来实施。
但是，现有的分析方法具有如下所述的问题。
(1)如在步骤301中所执行那样，若没有正确输入测量条件，则无法得到正确的浓度结果。
(2)为了尽量对试样中所含有的元素浓度进行高精度测量，增长设定了必要以上的测量时间。
为了适应RoHs指令，在需要迅速分析多种多样的部件时，特别希望解决上述(1)的问题。一般，进行分析的人通过观察试样，基于经验或预先得到的信息等来判断试样是由塑料构成的还是由金属构成的，并根据该判断，进行测量时间的决定以及定量法(检量线法或FP法)的选择。根据经验判断未知试样的种类需要熟练，否则效率不高。特别是在试样由铝或镁等轻金属构成的情况下，当需要通过检量线法对上述元素进行定量时，有时由铝等构成的试样的外观与由铁等重元素构成的试样相同，所以，即使是熟练的人员也会判断错误。这种错误判断将以不恰当的测量条件测量试样会得到错误的结果，由于不仅将招致混乱而且需要重新测量，所以，成为分析效率降低的一个原因。这样的错误判断可以通过在测量之前预先得到试样相关的信息来防止。但是，预先得到信息之后执行的分析，从严格的意义而言不能认为是未知试样分析，结果，为了得到信息需要劳力，导致分析效率的降低。
接着，举一个例子对上述(2)的问题进行说明。以往，在利用荧光X线分析方法来测量塑料树脂中的Cd含有量(下面也称作Cd浓度)时，如上所述，在测量之初实施测量时间t的设定(图3的步骤301)。此时，为了尽量地高精度进行测量，考虑到Cd以外元素存在的可能性，需要设定例如200秒的极长测量时间t。但是，由于该试样以塑料为基材(base)，所以，尽管能够将X射线管的电压以及电流设定得较高，在适应RoHs指令而需要分析大量部件的情况下，一个试样甚至需要花费200秒的测量时间，这也将成为效率降低的一个原因。因此，根据发明者们反复试验的结果得知：对于以塑料为基材的试样而言，在测量20ppm左右的Cd浓度时，测量时间t为10秒左右即可。即，知道了在正确得到由塑料材料构成的试样的Cd浓度是否在RoHs指令所规定的上限值以下的判断时，无论测量时间t是10秒还是200秒，所得到的结果都是相同的。另一方面，在以铁为主成分的的试样中的Cd浓度测量中，由于作为主成分的铁的荧光X线大量产生，所以，需要限制X射线管的电压以及电流。因此，为了以充分的精度得到因该试样中的Cd而由来的荧光X线的计数，需要足够长的测量时间。在发明者们的实验中已得知：对于以铁为主成分的试样而言，在测量20ppm左右的Cd浓度时，需要测量时间为100秒左右。
发明内容
本发明鉴于上述课题以及本发明者们所得到的见解而提出，其目的在于提供一种缩短未知试样中含有的微量元素的定量所需要的测量时间，并能够根据试样自动使测量条件最佳化，由此提高操作性的荧光X线分析方法。为了达成上述课题，本发明提供一种荧光X线分析方法，包括以下步骤：
(1)通过对试样照射X线(X射线)，来判定试样的种类是非金属类材料还是金属类材料的任意一种，
(2)根据判定的试样种类，选择荧光X线分析的测量条件，以及
(3)根据所选择的测量条件，通过荧光X线分析来测量试样所含有的一种或多种元素的浓度。
本发明的分析方法，其特征在于，根据对试样照射X线后由试样发光的荧光X线光谱，判别试样的大致种类(即，是非金属类材料或还是金属类材料)，并基于该判别来进行荧光X线分析。因此，根据该荧光X线分析方法，能够测量未知试样所含有的微量元素(特别是Cd、Pb、Hg、Br以及Cr)的含有量，而不需要实施分析的人员决定定量方法以及测量时间的作业。
这里，“非金属类材料”的术语是指：其主要成分基于X线照射不辐射荧光X线或仅辐射少量的荧光X线的材料。非金属类材料除了塑料类材料之外，还包括以铝及镁等轻金属(原子序号为15以下的元素)为主成分的材料。虽然铝和镁是金属元素，但为了方便起见，请留意这里将其称为非金属类材料。而且，在含有氯或溴(严格而言，这些元素的原子序号为15以上，不是轻元素)的材料中，虽然从氯或溴能够以较高的强度辐射荧光X线，但只要这样的材料不含有其他的中等原子量元素或重元素，则为了方便起见，这里请留意其包含于非金属类材料。
“金属类材料”的术语是指，主要成分基于X线的照射会大量辐射荧光X线的中等原子量元素或重元素(具体而言是原子序号为16以上)的材料。具体而言，以铁、锌、铜以及锡等为主成分的材料，包含于金属类材料。
在上述(1)中，可以通过短时间(例如1～10秒左右)照射X线来判别试样的种类。金属类材料通过短时间的X线照射会以较高光谱强度辐射出荧光X线，与此相对，非金属类材料除了含有Cl或Br的情况之外，不会辐射荧光X线或仅辐射少量的荧光X线，因此，通过对光谱的能量以及强度进行解析，可以迅速确定试样是非金属材料还是金属类材料。
在上述(2)中选择而得到的测量条件，并非仅限定于非金属类材料用的条件和金属类材料用的条件这两种。请留意在上述(2)中，除了试样是非金属类材料还是金属类材料之外，还考虑了上述(1)中具体检测出的元素种类以及浓度等，由此能够从各种测量条件中选择测量条件。测量条件例如优选通过访问规定的列表，从相应列表进行选择。
如上所述，几个非金属类材料包括Cl及/或Br。针对这样的非金属类材料优选增长测量时间，针对不含有Cl及/或Br的非金属类材料，优选采用与用于定量微量元素的检量线不同的检量线，对微量元素进行定量。因此，上述(1)的操作在判定试样是非金属类还是金属类的基础上，还包括判定试样是否含有Cl及/或Br的步骤。具体而言，在针对某试样而得到的荧光X线光谱中，当来自Cl的荧光X线的强度比来自其他元素的荧光X线的强度高，可以判断Cl含有量的等级时，能够判定该试样含有Cl。另外，对含有Cl的材料而使用的检量线不限定于一个种类，可以准备多个含有量不用的检量线，从其中选择恰当的来使用。而且，也可以根据针对含有Cl的材料的检量线和针对不含有Cl的材料的检量线，生成假想的中间的检量线来使用。这对于Br而言也是同样的。
在上述(1)的操作中，当从试样中检测出由Fe、Zn、Cu以及Sn选择的至少一种元素时，可以通过将该试样判定为金属类材料的方法来实施试样的判定。由于Fe、Zn、Cu以及Sn发射出大量的荧光X线，所以，在从含有这些元素的试样得到的荧光X线光谱中，能够以较高的光谱强度得到由来于Fe、Zn、Cu以及Sn的荧光X线的光谱。具体而言，在所得到的荧光X线光谱中，当由来于这四种元素任意一种的荧光X线的强度，比由来于其他元素的荧光X线的强度高很多的情况下，可以从该试样中检测出该金属元素。
本发明还提供一种用于实施上述本发明的方法的荧光X线分析装置。本发明的荧光X线分析装置具有试样载物台、X射线管、检测器以及运算装置，该运算装置具有：
根据对试样照射X线而从试样辐射出的荧光X线，判定试样的种类是非金属类材料还是金属类材料的任意一种的机构；
根据所判定的试样种类，选择荧光X线分析的测量条件的机构；以及
按照根据所选择的测量条件，通过荧光X线分析来测量试样中所含有的一种或多种元素浓度的方式，对分析装置内的各要素进行控制的机构。
上述运算装置，换言之是用于控制X射线管，且根据所检测的被辐射的荧光X线接收来自检测器的信息的运算装置，其执行下述工序：
(1)根据从检测器接收的信息，将试样分类为非金属类材料或金属类材料的工序，
(2)根据样品的分类，从测量条件的规定列表选择测量条件的工序，
(3)为以所选择的条件测量试样所含有的至少一种元素的浓度而控制X射线管的工序，以及
(4)测量试样所含有的至少一种元素的浓度的工序。
根据该荧光X线分析装置，能够连续且自动地执行下述步骤：根据以预备的方式对试样照射X线而得到的荧光X线光谱，判定试样的种类；根据判定的结果，决定最佳的测量条件(具体是测量时间等的X线照射条件以及元素的定量方法)等；以及用于根据所决定的测量条件来实施荧光X线分析的控制。即，该荧光X线分析装置是使以往手动执行的操作自动化的设备，从而能够高效地实施荧光X线分析。
本发明的荧光X线分析方法包括：通过实施预备的荧光X线分析，判定未知试样是非金属类材料还是金属类材料。这样的处理不需要预先得到试样相关的信息，或不需要由实施测量的人员判定试样的种类，由此减轻了该人员的劳力，从而可提高整体测量的效率。而且，通过本发明的荧光X线分析方法，由于可以根据判别结果选择最佳的测量条件，所以，不需要将测量时间延长至必要以上，由此，也能够提高测量的效率。
附图说明
图1是用于说明本发明方法的一个方式的流程图。
图2是用于实施本发明方法的一个方式的装置的示意图。
图3是用于说明现有方法的一个例子的流程图。
具体实施方式
本发明不是由测量者预先设定试样的测量条件，而是通过开始测量，并在测量初始阶段进行短时间的X线照射，且对所产生的荧光X线进行检测以及解析，来实施试样大致的组成分析。然后，将所得到的组成例如与荧光X线装置所持有的数据库对照，根据所得到的组成从该数据库中选择最佳的测量条件，并继续测量，对试样所含有的一种或多种特定元素的浓度及其精度进行显示或输出。用于选择测量条件的分析被称作预备测量，根据选择的测量条件所实施的测量也被称作正式测量或主要测量。这样，参照附图，对实施预备测量以及正式测量的本发明的方法以及用于实施该方法的装置进行说明。
图1是说明本发明方法的一个方式的流程图。图2是用于实施本发明方法的荧光X线分析装置的示意图。在图2中，符号201表示键盘等的输入部。输入部201用于输入样品名称、评估条件、以及对控制器进行控制的指示。符号202表示运算部，其用于执行将评估条件信号处理化、以及将光谱定量化等的运算处理。符号203表示对X射线管的施加电压以及电流进行控制的控制器，符号204表示以X射线发光以及辐射X射线的X射线管，符号205表示所发光的初级射线，符号206表示作为被测量物的试样。符号207表示荧光X线，符号208表示检测荧光X线的检测器，符号209表示放大检测信号的放大器，符号210表示显示运算结果等的显示装置。符号211表示对试样的信息以及运算结果等进行存储的外部存储装置，符号212表示放置试样的载物台。
接着，对利用该装置测量未知试样的Cd浓度(XWt％：X重量百分比)的方法进行说明。首先，在步骤101中将未知试样设置于样品室之后，开始测量(步骤102)。具体而言如图2所示，将试样206设置于载物台212，通过输入部201进行按键操作开始测量。将测量开始的信号发送给控制器203不限定于按键输入的方法，也可以通过其他方法来实施。例如，可考虑采用在感应到试样被设置到载物台上的时刻产生某种信号的方法，以及在载物台上部设置盖的情况下，利用对盖关闭进行感应的来自传感器的信号的方法等各种方法。
利用按键输入从运算部202向控制器203发送指示，控制器203根据该指示控制X射线管204的电压以及电流量，由此从X射线管204向试样206照射初级射线205。从被照射了初级射线的试样206产生荧光X线207，由检测器208检测其能量以及强度。由检测器208检测的荧光X线信号被放大器209放大，并发送给运算部202。运算部202执行运算处理，基于得到的荧光X线光谱分析其大致的组成，从而判别试样206是非金属类材料还是金属类材料(图1的步骤103)。
在步骤103中，通过例如对从作为金属元素的铁(Fe)、锌(Zn)、铜(Cu)以及锡(Sn)中选择的至少一种元素所辐射的荧光X线的强度进行测量，来判断是否包括试样中所含有的这些元素，根据该判断，可以判别试样材料206是非金属类材料还是金属类材料。这是因为在构成电子/电气设备的部件由金属类材料构成的情况下，大多以这四种元素的任意一种为主成分。因此，在步骤103中，为了判断是否是金属类材料而选择的元素不限定于上述四种，也可以是其它的金属元素。在任意的情况下，当含有中等原子量元素或重元素为主成分时，从该元素辐射的荧光X线的光谱强度在有意义的程度上高于从其他元素辐射的荧光X线的光谱强度。
当在步骤103中判断试样是非金属类材料的情况下，还包括对从氯(Cl)发射出的荧光X线的强度进行测量，判定试样是否包括构成以Cl为主要成分(即，并非作为杂质，而是作为构成主要材料的一种元素而包含)的物质的步骤。这是因为，当在试样206中作为主成分的化合物例如象氯乙烯那样含有Cl时，由于从Cl辐射的荧光X线的强度大，所以希望测量条件与其他的非金属类材料不同。在步骤103中，可以与Cl一同或替代Cl，测量从溴(Br)发射出的荧光X线的强度。其原因在于Br与Cl同样，由其发射出的荧光X线的强度均较大。在来自Br的荧光X线的强度较大时，例如可以采用对溴系的塑料树脂的测量条件(例如，测量时间以及检量线)，实施该测量。也可以在判别试样是非金属类材料还是金属类材料的时候，同时检测Cl(即，一次性地)。
步骤103是以检测未知试样的主成分为目的而实施的步骤，由于对如Fe、Zn、Cu、Sn、Cl以及Br等可通过比较短时间的X线照射就能够选出成分的元素进行测量，所以，不需要详细限定X线的照射条件。可以在电压为一般的电压范围(5KV到50KV左右)且电流值设定为由进入到检测器的荧光X线量自动调整的电流值(几μA到1mA左右)的条件下实施步骤103。将测量时间(照射X线的时间)也设定为判断主成分是否是金属所需要的时间。具体而言，只要将X线205向试样206照射例如1秒至10秒左右即可。
根据步骤103的分析结果，决定试样206的测量条件。所决定的测量条件例如是测量时间以及定量法。在图示的方式中，将试样206的测量条件选择为下述三个中的任一个。
A.塑料树脂用测量条件(没有检测到上述四种金属元素的情况下)
X线照射时间30秒、定量法：塑料基质(plastic base)检量线
B.氯系塑料树脂基质(实质没有检测到上述四种金属元素，且仅检测到Cl的情况下)
X线照射时间：60秒、定量法：氯系塑料基质检量线
C.金属基质(上述四种金属元素中至少一种作为主成分被检测到的情况下)
X线照射时间：100秒、定量法：FP法
这里，将测量时间的参数作为实际时间的X线照射时间，但测量条件的参数不限定于此。决定测量条件的其他参数还有：X射线管的电压以及电流量、滤波器种类、有效的测量时间(live time)、死时间(dead time)等，通过与X线照射时间一同或替代X线照射时间而采用这些参数，能够进一步实现正确且高速的分析。
例如通过利用运算部202，将步骤103的结果与外部存储装置212中存储的数据进行对照而实施测量条件的决定。在外部存储装置212中，存储有针对各种材料与其预备测量的结果数据以及最佳的测量条件相关的数据。存储于外部存储装置212的数据数量越多，越能够选择更低的测量条件。这些数据也可以存储于运算部202。
接着，根据所决定的测量条件，从运算部202向控制器203发送正式测量开始的指示(图1的步骤104)。控制器203将X射线管204的照射条件控制成所期望那样，以使初级射线205仅照射试样206期望的时间。由试样206发出的荧光X线207被检测器208检测出，在被放大器209放大之后，在运算部202中被实施运算处理。当规定的测量结束之后，通过运算部202进行试样中所含有的Cd浓度(XWt％)和其精度(误差)的计算(图1的步骤105)。
作为结束测量的方法，包括：通过控制控制器203来中止由X射线管204发出的初级射线205的照射的方法、中止检测器208的检测的方法、以及对初级射线205或荧光X线207的光路设置遮光器的方法等，但不限定于这些方法。另外，也可以继续实施运算，固定运算结果的显示或输出，还可以多个并行实施这些动作。
步骤105的运算结果(具体而言，是Cd浓度、精度(误差)以及实际的测量时间等)被显示于显示装置210，并且，由打印机以及其他的输出装置输出(图1的步骤106)。
如以上所说明那样，根据该实施方式，不需要依赖于测量者的五官感觉等来判别试样的种类，能够连续且自动地实施试样的大致判定、最佳测量条件的选择、以及微量元素含有量的测量。因此，根据本发明的方法，可以实现测量时间的缩短和操作性的提高。
这里，为了判定试样，在预备测量中实施了Fe、Cu、Zn以及Sn这四种元素中的一种或多种元素的检测，以及针对非金属系元素的Cl检测。预备测量中所检测的元素，需要根据未知试样种类、被要求的分析精度以及分析速度，来选择最佳的元素，不限定于这里所列举的元素。另外，除了测量时间之外，还优选变更X射线管的电压以及电流值的条件，以更恰当的测量条件实施正式测量。对于测量时间而言，可以采用根据浓度与精度的比率来决定测量结束时间等的方法。
结果，可以在显示装置210上进行显示的同时在外部存储装置211上进行记录。由此，能够实现数据库的充实化。除了Cd浓度、测量精度以及测量时间等的测量结果之外，优选在外部存储装置211中还存储大小、形状以及材质等试样的信息。
测量结束后需要取出试样206。此时，由于在初级射线205辐射的状态下无法确保作业者的安全性，所以，优选在测量结束后迅速停止初级射线205的辐射。具体而言，优选当在步骤106中结束测量，并确认了结果显示于显示装置210时，从运算部202向控制器203发送停止信号。该情况下，控制器203具有使X射线管204的动作停止的功能。
另外，作为确保作业者安全的方法，除了控制控制器203来中止从X射线管204发出的初级射线205的照射的方法之外，还有中止基于检测器208的检测的方法以及在初级射线205的光路上设置遮光器的方法等，不特别限定为某一方法。
在该实施方式中，对采用了上述A、B、C三种测量条件的某一种来测量Cd元素浓度的方法进行了说明。也可以在Cd元素的基础上同时测量其他元素的浓度，该情况下，可以将存储于外部存储装置的测量条件进一步细分化，从更多的测量条件中选择测量条件。另外，通过与微量元素的浓度测量同时并行实施简单的定量分析，并将其结果作为数据进行蓄积，可以对测量条件进一步细致分类，由此，在之后测量其他的试样时，能够在选择更详细的条件下进行设定。
选择条件，例如按照分类成不含有氯的塑料、含有氯的塑料、含有溴的塑料、铁、铜、焊锡材料、Si玻璃、F玻璃、P玻璃以及橡胶等的方式，可以预先决定。通过预备测量，判断试样属于这些材料的哪一种，根据分配给所判断的种类的测量条件来实施正式测量。这里只是对分类进行了举例说明，不是对本发明进行限定。
在可以预先得到试样信息的情况下，通过输入以其为基准的测量条件，并按照吻合基于预备测量的结果而决定的测量条件来实施，由此，能够实现测量进一步的高精度化以及高速化。请特别留意本发明的特征在于这样的信息未必是必要的(即，能够测量没有信息的未知试样)。
(工业上的可利用性)
本发明的荧光X线分析方法不需要依赖于人的视觉等判别试样，或者预先得到来自试样提供方的信息，能够以预备的方式实施荧光X线分析来判别试样的种类，并采用与所判别出的试样种类相适应的测量条件，实施微量元素的定量分析。因此，本发明的方法能够迅速且高精度地测量出构成电子/电气设备的各种部件中所含有的微量元素，优选用于判断是否满足法律等所规定的特定元素的浓度基准。
Claims (9)
1、一种荧光X线分析方法，包括：
(1)对试样照射X线的工序；
(2)将试样分类为非金属类材料或金属类材料的工序；
(3)对荧光X线分析用的测量条件的规定列表进行访问的工序；
(4)根据样品的分类，从该规定列表选择测量条件的工序；
(5)根据所选择的测量条件，控制向试样的X线照射的工序；以及
(6)根据所选择的测量条件照射X线，测量试样中所含有的至少一种元素的浓度的工序。
2、根据权利要求1所述的荧光X线分析方法，其特征在于，
在所述工序(1)中，还包括：对试样是否含有Cl以及Br的任一种进行检测的工序。
3、根据权利要求2所述的荧光X线分析方法，其特征在于，
与所述工序(1)同时实施所述检测工序。
4、根据权利要求1所述的荧光X线分析方法，其特征在于，
当检测到从由Fe、Zn、Cu以及Sn构成的组中选择的至少一种元素时，将试样分类为金属类材料。
5、根据权利要求1所述的荧光X线分析方法，其特征在于，
在工序(1)之后，当试样的主要成分实质上没有辐射荧光X线时，将试样分类为非金属类材料。
6、根据权利要求5所述的荧光X线分析方法，其特征在于，
当辐射比权利要求5的试样所得到的量多的荧光X线时，将试样分类为金属类材料。
7、根据权利要求1所述的荧光X线分析方法，其特征在于，
当试样含有原子序号至少为16的元素时，将试样分类为金属类材料。
8、一种荧光X线分析装置，包括：
保持试样的试样载物台；
相对试样载物台被定位的、用于照射X线的X射线管；
相对试样载物台被定位的、用于检测所辐射的荧光X线的检测器；和
控制X射线管，且根据所检测的被辐射的荧光X线接收来自检测器的信息的运算装置，其构成为执行下述工序的操作设备：
(1)根据从检测器接收的信息，将试样分类为非金属类材料或金属类材料的工序，
(2)根据样品的分类，从测量条件的规定列表选择测量条件的工序，
(3)为按照所选择的条件来测量试样所含有的至少一种元素的浓度而控制X射线管的工序，以及
(4)测量试样中所含有的至少一种元素的浓度的工序。
9、根据权利要求8所述的荧光X线分析装置，其特征在于，
还包括用于保存所述规定列表的存储器。
Applications Claiming Priority (3)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP230441/2004 | 2004-08-06 | ||
| JP2004230441 | 2004-08-06 | ||
| PCT/JP2005/013386 WO2006013728A1 (ja) | 2004-08-06 | 2005-07-21 | 蛍光ｘ線分析方法および蛍光ｘ線分析装置 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| CN1993614A true CN1993614A (zh) | 2007-07-04 |
| CN1993614B CN1993614B (zh) | 2010-12-22 |
Family
ID=35757403
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| CN200580026554.8A Expired - Fee Related CN1993614B (zh) | 2004-08-06 | 2005-07-21 | 荧光x线分析方法以及荧光x线分析装置 |
Country Status (5)
| Country | Link |
|---|---|
| US (1) | US7170970B2 (zh) |
| EP (1) | EP1783483A4 (zh) |
| JP (1) | JP4755594B2 (zh) |
| CN (1) | CN1993614B (zh) |
| WO (1) | WO2006013728A1 (zh) |
Cited By (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
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| CN103575757A (zh) * | 2012-08-10 | 2014-02-12 | 日本株式会社日立高新技术科学 | 荧光x射线分析方法和荧光x射线分析装置 |
| CN105259196A (zh) * | 2014-07-08 | 2016-01-20 | 日本株式会社日立高新技术科学 | X射线分析用试样板以及荧光x射线分析装置 |
| CN105486708A (zh) * | 2015-12-01 | 2016-04-13 | 中国建材检验认证集团股份有限公司 | Xrf分析试样化学成分的方法及其工作曲线的制作方法 |
Families Citing this family (15)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
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| JP4794848B2 (ja) * | 2004-09-24 | 2011-10-19 | 富士通株式会社 | 分析装置 |
| JP2006132945A (ja) * | 2004-11-02 | 2006-05-25 | Sii Nanotechnology Inc | 蛍光ｘ線分析装置の検出下限モニタ |
| JP4814579B2 (ja) * | 2005-08-23 | 2011-11-16 | パナソニック株式会社 | 特定物質の含有判定方法 |
| JP4777114B2 (ja) * | 2006-03-30 | 2011-09-21 | 富士通株式会社 | 臭素化化合物を分析する方法及び装置 |
| JP4930874B2 (ja) * | 2006-06-22 | 2012-05-16 | エスアイアイ・ナノテクノロジー株式会社 | エネルギー分散型放射線検出システム及び対象元素の含有量測定方法 |
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| DE102015221323B3 (de) | 2015-10-30 | 2016-08-04 | Airbus Defence and Space GmbH | Verfahren zum Nachweis von Oberflächenverunreinigungen mittels Röntgenfluoreszenzanalyse |
| JP6638537B2 (ja) | 2016-04-21 | 2020-01-29 | 株式会社島津製作所 | 試料解析システム |
| JP6683111B2 (ja) | 2016-11-28 | 2020-04-15 | 株式会社島津製作所 | 試料解析システム |
| CN108802085B (zh) * | 2018-06-15 | 2020-09-11 | 国网辽宁省电力有限公司电力科学研究院 | 一种电气支撑设备的状态评估方法 |
| EP3997440A4 (en) | 2019-07-08 | 2023-07-26 | Thermo Scientific Portable Analytical Instruments Inc. | DEVICES AND METHODS FOR DETECTING ELEMENTS IN A SAMPLE |
| JP7130267B2 (ja) * | 2020-09-03 | 2022-09-05 | 株式会社リガク | 全反射蛍光ｘ線分析装置及び推定方法 |
| WO2023027097A1 (ja) * | 2021-08-25 | 2023-03-02 | 国立大学法人大阪大学 | 計測システム |
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| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US3562525A (en) * | 1967-06-29 | 1971-02-09 | Minnesota Mining & Mfg | X-ray fludrescence gauging employing a single x-ray source and a reference sample for comparative measurements |
| US3980568A (en) * | 1975-10-17 | 1976-09-14 | Hankison Corporation | Radiation detection system |
| JPH0749319A (ja) | 1993-08-05 | 1995-02-21 | Horiba Ltd | 蛍光ｘ線分析方法 |
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| US5570408A (en) | 1995-02-28 | 1996-10-29 | X-Ray Optical Systems, Inc. | High intensity, small diameter x-ray beam, capillary optic system |
| US6266390B1 (en) * | 1998-09-21 | 2001-07-24 | Spectramet, Llc | High speed materials sorting using x-ray fluorescence |
| JP3108683B2 (ja) * | 1998-10-15 | 2000-11-13 | 理学電機工業株式会社 | 蛍光ｘ線分析装置 |
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| JP2000199749A (ja) * | 1998-12-29 | 2000-07-18 | Rigaku Industrial Co | 蛍光ｘ線分析装置 |
| DE10064768B4 (de) * | 2000-12-22 | 2006-12-07 | Siemens Ag | Verfahren zur Untersuchung eines Lebewesens mittels eines bildgebenden Verfahrens |
| JP2002340822A (ja) | 2001-05-16 | 2002-11-27 | Rigaku Industrial Co | 蛍光ｘ線分析装置 |
-
2005
- 2005-07-21 EP EP05761705A patent/EP1783483A4/en not_active Withdrawn
- 2005-07-21 JP JP2006531377A patent/JP4755594B2/ja not_active Expired - Fee Related
- 2005-07-21 CN CN200580026554.8A patent/CN1993614B/zh not_active Expired - Fee Related
- 2005-07-21 WO PCT/JP2005/013386 patent/WO2006013728A1/ja active Application Filing
- 2005-08-05 US US11/197,303 patent/US7170970B2/en active Active
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Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| EP1783483A4 (en) | 2010-01-06 |
| JP4755594B2 (ja) | 2011-08-24 |
| CN1993614B (zh) | 2010-12-22 |
| WO2006013728A1 (ja) | 2006-02-09 |
| US7170970B2 (en) | 2007-01-30 |
| JPWO2006013728A1 (ja) | 2008-05-01 |
| US20060029182A1 (en) | 2006-02-09 |
| EP1783483A1 (en) | 2007-05-09 |
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Legal Events
| Date | Code | Title | Description |
|---|---|---|---|
| C06 | Publication | ||
| PB01 | Publication | ||
| C10 | Entry into substantive examination | ||
| SE01 | Entry into force of request for substantive examination | ||
| C14 | Grant of patent or utility model | ||
| GR01 | Patent grant | ||
| CF01 | Termination of patent right due to non-payment of annual fee |
Granted publication date: 20101222 |