CN1951691A - 印刷装置及其控制方法以及平板显示器的制造方法 - Google Patents

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Abstract

本发明提供了一种印刷装置，其能够使掩模与薄膜的分离更容易。掩模与薄膜的分离对于在基板上形成薄膜是很重要的。印刷装置包括：工作台，基板放置于其上；用于丝网印刷的掩模，位于工作台上；提升部分，用于朝向以及远离基板移动掩模的至少一侧；以及控制部分，用于控制提升部分。本发明还披露了一种控制印刷装置的方法以及一种利用该印刷装置制造平板显示器的方法。

Description

印刷装置及其控制方法以及平板显示器的制造方法
相关申请交叉参考
本发明要求2005年10月17日向韩国知识产权局提交的韩国专利申请No.2005-0097762的优先权，其公开内容结合于此作为参考。
技术领域
本发明涉及一种印刷装置及其控制方法以及一种平板显示器的制造方法，更具体地说，涉及能够使基板上的薄膜与掩模更易于分离的印刷装置及其控制方法以及平板显示器的制造方法。
背景技术
目前，在平板显示器行业领域中OLED(有机发光二极管)的作用日益重要。OLED日益重要的原因至少部分归因于其诸如所需驱动电压低、重量轻、厚度薄、视角宽、以及响应时间快的有利特点。
OLED包括第一基板，在第一基板上设置有诸如有机发光层的有机层、空穴注入层、空穴运输层、以及沉积在基板上的类似的层。第一和第二基板设置在基本上平行的平面中。薄膜置于第一基板与第二基板之间，用于连接两个基板并防止湿气或氧气进入OLED，并且这样的薄膜涂覆在基板的整个表面上。薄膜可以是利用丝网印刷方法形成的有机膜。
丝网印刷方法需要通过使用掩模而在基板上均匀地形成薄膜。掩模具有：网孔部分，待置于基板上方；掩模部分，构成网孔部分的边框；以及掩模框架，设置在掩模部分的至少一侧上，以在网孔部分上维持所需的张力水平。通过在基板上方移动刮板(squeegee)的同时将刮板按压到网孔部分上，膜材料滴落或流入到网孔部分内。当刮板被按压到网孔部分上时，网孔部分受到拉伸，以接触沉积在基板上的薄膜。当刮板在掩模上移动并越过掩模时，掩模部分的先前与薄膜相接触的部分变为与薄膜分离。
随着OLED通用尺寸的变大，形成在基板上的薄膜的面积也变大了，而且结合至薄膜上的网孔部分的接触面积也变大了。在这种情况下，因为网孔部分与掩模框架之间的张力弱于网孔部分与薄膜之间的由于薄膜的粘性引起的粘性力，所以存在着网孔部分与薄膜的分离较慢或无法实现分离的分离失败所导致的问题。
发明内容
本发明提供了用于使基板上的薄膜与掩模之间的分离更容易的印刷装置及其控制方法以及平板显示器的制造方法。
本发明的其它特点将在随后的描述中进行阐述，并且其部分将从该描述中变得显而易见，或者可以从本发明的实践中获知。
在一个方面，本发明是一种印刷装置，其包括：工作台，基板放置于其上；掩模，放置在工作台上；提升部分，其朝向基板和远离基板而移动掩模的至少一侧；以及控制部分，其控制提升部分。
根据本发明，印刷装置还包括保持部分，其保持掩模的至少一侧，其中，提升部分支撑保持部分，以朝向基板和远离基板而移动掩模。
根据本发明，掩模包括：网孔部分，设置在基板上方；掩模部分，构成网孔部分的边框；以及掩模框架，设置在掩模部分的至少一侧上，以在网孔部分中施加所需的张力水平，其中，保持部分支撑掩模框架的至少一侧。
根据本发明，印刷装置还包括刮板，该刮板由被控制部分控制，以移动越过掩模，其中，控制部分控制提升部分，以在移动刮板越过掩模的同时移动掩模远离基板。
根据本发明，掩模的提升与刮板的移动是同步进行的。
根据本发明，控制部分控制提升部分，以在刮板前进预定距离之后移动掩模远离基板。
根据本发明，控制部分控制提升部分，以在刮板被驱动越过掩模的同时停止掩模远离基板的运动。
根据本发明，控制部分控制提升部分，以沿基本上垂直于基板表面的方向以恒速移动掩模远离基板。
根据本发明，控制部分控制提升部分，以在刮板移动越过掩模的同时改变掩模远离基板移动的速度。
根据本发明，控制部分控制提升部分，以在刮板移动越过掩模的同时增大掩模远离基板移动的速度。
根据本发明，控制部分以如下方式控制提升部分，即掩模与基板之间的距离与刮板的移动距离成比例。
根据本发明，与掩模部分的一侧邻接的掩模框架被固定，而与掩模部分的另一侧邻接的掩模框架在被保持部分保持的同时沿基本上垂直于基板表面的方向移动。
根据本发明，提升部分包括：驱动部分；以及支撑轴，其由驱动部分移动并支撑保持部分。
根据本发明，印刷装置还包括掩模支撑部分，其支撑掩模框架的至少一部分，其中，掩模支撑部分具有L形横截面。
根据本发明，掩模支撑部分包括第一掩模支撑部分和从第一掩模支撑部分越过掩模而定位的第二掩模支撑部分，其中，第二掩模支撑部分具有2层结构，并且包括支撑掩模框架的至少一部分的保持部分以及支撑保持部分的支撑部分。
根据本发明，刮板在垂直于刮板最长边的方向与刮板的移动方向之间保持预定角度的同时，移动越过掩模。
根据本发明，掩模与工作台离开一间隙，并且刮板在将膜材料沉积到网孔部分内并朝向基板按压网孔部分的同时，移动越过掩模。
在另一方面，本发明是一种控制印刷装置的方法。该方法需要：将掩模布置在基板上，该掩模包括位于基板上方的网孔部分、构成网孔部分的边框的掩模部分、以及设置在掩模部分的至少一侧上以在网孔部分中保持张力的掩模框架；将膜材料放置在掩模部分的第一侧上；将刮板定位在掩模部分的第一侧上，其中，刮板能够移动越过掩模；以及提升掩模部分的第二侧，并从掩模部分的第一侧朝向掩模部分的第二侧移动刮板越过掩模，其中，刮板在移动时朝向基板按压网孔部分。
根据本发明，掩模的第二侧在刮板移动越过掩模的同时被提升。
根据本发明，掩模的第二侧在刮板越过掩模前进预定距离之后被提升。
根据本发明，掩模第二侧的提升与刮板的移动是同步进行的。
根据本发明，掩模第二侧的提升运动在刮板移动越过掩模的同时被停止。
根据本发明，掩模的第二侧以恒速被提升。
根据本发明，掩模第二侧的提升速度随着刮板前进越过掩模的过程而改变。
根据本发明，掩模第二侧的提升速度随着刮板前进越过掩模的过程而增大。
根据本发明，掩模第二侧被提升的距离与刮板移动越过掩模的距离成比例。
在再一方面，本发明是一种制造平板显示器的方法。该方法需要：设置基板；将掩模布置在基板上，该掩模包括位于基板上方的网孔部分、构成网孔部分的边框的掩模部分、以及设置在掩模部分的至少一侧上以在网孔部分上保持张力的掩模框架；以及将刮板布置在掩模上的掩模部分的第一侧上，并在将刮板从掩模部分的第二侧朝向掩模部分的第二侧移动的同时提升掩模的第二侧，以在基板的由网孔部分覆盖的区域上形成薄膜。
根据本发明，基板或者是包括有机发光层的第一基板或者是可连接至第一基板的第二基板。
根据本发明，该方法还包括将第一基板结合至第二基板，并在将薄膜涂覆到第一基板和第二基板中的至少一个上之后，固化薄膜。
根据本发明，在第一基板上形成的薄膜上执行部分或完全固化操作之后，具有薄膜的第一基板以及第二基板通过堆置结合。
根据本发明，通过热或光中的至少任何一种对薄膜进行固化。
根据本发明，薄膜是有机膜和无机膜中的任何一种。
可以理解，上述的一般性描述及下面的详细描述都是例示性和说明性的，其目的如所宣称的一样是为了对本发明提供进一步的解释。
附图说明
通过以下结合附图对例示性实施例的描述，本发明的上述和/或其它方面和优点将变得明显且更易于理解，附图中：
图1是根据本发明实施例的印刷装置的平面视图；
图2是沿线II-II截取的印刷装置的横截面视图；
图3是沿线III-III截取的印刷装置的横截面视图；
图4是示出了网孔部分与薄膜分离的状态的横截面视图；
图5是根据本发明实施例的印刷装置的控制方框图；
图6是示出了根据本发明实施例的印刷装置的控制方法的流程图；
图7是示出了根据本发明另一实施例的印刷装置的控制方法的流程图；
图8是由根据本发明实施例的印刷装置制造的OLED的横截面视图。
具体实施方式
现在将对本发明的实施例进行详细说明，其实例在附图中示出，其中整个附图中相同参考标号表示相同元件。下面参照附图对实施例进行描述以解释本发明。
在下文中将参照附图详细描述本发明的实施例。
图1是根据本发明实施例的印刷装置的平面视图，图2是沿线II-II截取的印刷装置的横截面视图，图3是沿线III-III截取的印刷装置的横截面视图。
根据本发明实施例的印刷装置1包括：工作台10，基板100安装在其上；掩模20，放置在工作台10上；掩模支撑部分30，用于支撑掩模20的至少一侧，并将掩模20从工作台10上分离；刮板40，其扫过掩模20；第一驱动电机部分51，用于将刮板40从掩模20的一侧线性地移动至掩模20的另一侧；第二驱动电机部分55，用于上下升降刮板40；提升部分60，用于将掩模20的至少一侧上下移动；以及控制部分70，用于控制刮板驱动部分51、55和提升部分60。
工作台10是安装基板100(其为待处理的对象)的地方。至少一个安装销11设置在工作台10中。当基板100由机器人放置在工作台10上时，工作台10中的安装销11被提升，以安全地支撑基板100。当安装销11向下降低时，基板100下降，并留下待由工作台10支撑的基板100。
掩模20布置在工作台10上。掩模20包括：网孔部分21，与基板100对应；掩模部分23，包围网孔部分21；以及掩模框架25，设置在掩模部分23的至少一侧上，以在网孔部分21上维持张力。网孔部分21是具有矩形或梯形开口的网孔。网孔部分21的尺寸小于或等于基板100的尺寸，并且其可以形成为基本上矩形的形状。掩模部分23由包括塑料的柔性材料形成，并被结合到网孔部分21的周缘，以张紧网孔部分21使其不松弛。此外，掩模部分23与掩模20一起上下移动，将刮板40按压到掩模20上。掩模框架25安装在掩模支撑部分30(在下文中进行描述)上，以固定并支撑掩模20，使其在刮板40被驱动时不会移动。另外，在掩模框架25中，掩模部分23和网孔部分21彼此结合，并且掩模框架25通过张紧网孔部分21来维持掩模20的形状。而且，刮板40从掩模部分的一侧23a朝向掩模部分的另一侧23b扫过掩模20。与掩模部分的一侧23a相结合的掩模框架25被固定，因此它最多只能轻微地移动，而不会随着与掩模部分的另一侧23b相结合的掩模框架25在由掩模支撑部分30支撑的同时进行上下移动而上下移动。
掩模支撑部分30包括沿工作台10的两个平行侧部设置的两个支撑部分30b。掩模支撑部分30支撑掩模框架25的至少一部分，并固定掩模20，从而当刮板40被驱动时掩模20不会移动。此外，掩模支撑部分30在将掩模20与基板100分隔预定间隙的同时还起到支撑掩模20的作用。掩模支撑部分30沿掩模框架25的边缘延伸，并且垂直于最长尺寸截取的截面具有L形横截面，如图3所示。掩模支撑部分30被布置成，其最长边与刮板40的移动方向平行，并且掩模框架25由L形部分容纳并支撑。邻接掩模部分23b的掩模支撑部分30具有2层结构，其包括支撑部分30a，防止掩模20滑动；以及保持部分30b，在与提升部分60一起上下移动时支撑掩模框架25。掩模20与基板100之间的间隙(d1)可以根据基板100的尺寸而改变，但通常在大约5-30cm范围内。当基板100具有730mm*920mm的尺寸时，间隙d1为大约10cm。
刮板40在扫过掩模20的同时将膜材料105填充到网孔部分21内，以在基板100上形成薄膜110。更具体地，刮板40从掩模部分23a朝向掩模部分23b移动，并用膜材料105填充网孔部分21。最初，膜材料105保持在掩模部分的一侧23a上。当刮板40以按压到掩模20上的方式移动越过掩模20时，具有预定厚度的薄膜110形成在基板100上。网孔部分21由刮板40朝向基板100按压。由刮板40在其上按压的网孔部分21在被按压的同时伸展以接触薄膜110。网孔部分21的伸展部分在刮板40越过它之后与薄膜110分离。
但是，由于基板100随着显示器尺寸的增加而变大，那么形成在基板100上的薄膜110的面积也变大。网孔部分21的接触薄膜110的接触面积也变大。具体地说，由于网孔部分21与薄膜分离的速度慢于刮板40的移动速度，网孔部分21与薄膜110之间的接触面积随着丝网印刷工艺的进行而变得更大。类似的情况是成问题的，这是因为网孔部分21与掩模框架25之间的张力弱于网孔部分21与薄膜110之间的由薄膜粘性引起的“粘附力”。如果网孔部分21需要很长时间与薄膜110分离，或者如果网孔部分21根本无法适当地与薄膜110分离，那么薄膜110的均匀性将受到危及，甚至掩模20可能受损。
为了避免出现这种有问题的情况，网孔部分21与掩模框架25之间的张力需增大。然而，存在的局限性是网孔部分21与掩模框架25之间的张力所产生的力可以被加强多少，而又不改变在按压网孔部分21的同时扫过掩模20的刮板40的基本功能。根据本发明，网孔部分21与掩模框架25之间的张力所产生的力通过提升掩模20的至少一侧而得以加强。更具体地，网孔部分21与薄膜110之间的的连接力(随着丝网印刷工艺的进行而增加)通过提升掩模20的一侧而降低。结果是，薄膜110与网孔部分21之间的力可以适合于网孔部分21与掩模框架25之间的张力水平以及刮板40的移动方向和位置，以实现薄膜110的均匀施加。
刮板40的与网孔部分21相接触的部分扫过掩模20，并在垂直于刮板40长边的方向与刮板40的移动方向之间保持预定角度“a”。这可以通过在网孔部分21中均匀地沉积膜材料105而形成均匀的薄膜。可以理解，可以根据网孔部分21的设计图案而对角度“a”进行不同地设定。例如，在实施例中，角度“a”可以是大约5-50度。刮板40可以是具有与涂覆有或以其它方式覆盖有诸如橡胶之类软质材料的网孔部分21相接触的部分的杆件形式。刮板40的长度等于或小于网孔部分21的宽度，驱动轴41穿过刮板40，而轴承43设置在驱动轴41的相对的端部上。
刮板驱动部分51、55被构造成，第一驱动电机部分51将刮板40从掩模20的一侧直接移动到掩模20的另一侧，并且第二驱动电机55移动刮板40。
在第一驱动电机部分51中，如图1所示，形成有柱螺杆(spinalscrew)的旋转轴52被布置成在掩模20的相对侧上分离预定距离，并且电机53连接至一个旋转轴52，以转动旋转轴52。此外，未直接连接至电机53的另一旋转轴52通过带54间接连接至电机53。因此，两个旋转轴52可以以相同速度同时转动。旋转轴52***到轴承43中，并且旋转轴52的螺杆旋入到轴承43中，以线性移动刮板40。在其它实施例中，电机53可以连接至两个旋转轴52，以驱动它们。在一些实施例中，旋转轴52可以形成有支架，该支架能够与设置在刮板40的驱动轴41的两端上的小齿轮接合，以线性移动刮板40。
第二驱动电机部分55被布置在穿过刮板40的驱动轴41上，并与刮板40连接，以控制刮板40的上/下移动。第二驱动电机部分55使驱动轴41转动一预定角度，以向上或向下移动刮板40。换句话说，具有盘形或杆形形状的刮板40转动预定角度，从而刮板40的底表面与网孔部分21相接触，然后通过第一驱动电机部分51的操纵而移动越过掩模20。在其它实施例中，第一驱动电机部分51可以构造成无需借助于电机、齿轮、轴承等的转动就可以上下移动刮板40。
如图所示，第二驱动电机部分55可以设置在两侧，或者可以仅设置在一侧。第二驱动电机部分55将膜材料105朝向基板100按压在网孔部分21上，以在基板100上形成薄膜110。
如图3和图4所示，提升部分60设置在掩模部分23b的底部。作为起到提升掩模20一侧作用的部件，提升部分60包括：驱动部分61，用于移动掩模20的一侧；以及支撑轴63，通过驱动驱动部分61而上下移动，用于支撑掩模20的一侧。支撑轴63的端部可以支撑连接至掩模部分23b的掩模框架25。如图3和图4所示，支撑轴63还可以支撑保持部分30b，用于支撑掩模框架25的至少一部分，以上下移动掩模20。
如图5所示，在对应于印刷装置1一侧的区域中，设置有用于控制刮板驱动部分51和55以及提升部分60的控制部分70。控制部分70控制刮板驱动部分51和55，以调节线性及上/下移动，并且还控制提升部分60，以提升掩模20的一侧。当刮板40扫过掩模20时，控制部分70控制提升部分60，以提升与掩模20的一侧结合的掩模框架25，更具体地说是掩模部分23b。因此，网孔部分21与掩模框架25之间地连接被加强了，并且可以根据刮板40的移动方向和位置在薄膜110与网孔部分21之间均匀地施加分离力。这样，薄膜110与掩模20之间的分离易于进行，并且均匀的薄膜110形成在基板100上。
这里，控制部分70可以以如下方式控制第一和第二驱动电机部分51、55，即掩模20的上-下运动与刮板40的驱动同步进行，并且控制部分70可以控制提升部分60，以在刮板40越过掩模20前进预定距离之后提升掩模20的一侧。而且，控制部分70可以控制提升部分60，以当刮板40在网孔部分21上停止前进时停止掩模20的上-下运动，并且可以控制提升部分60，以在刮板40被驱动的同时停止掩模20的提升运动。而且，控制部分70可以控制提升部分60，以便以恒速上下移动掩模20的一侧，并且可以控制提升部分60，以当刮板40前进时降低或提高掩模20的提升速度。在另外一些实施例中，控制部分70可以以如下方式控制提升部分60，即掩模20上下移动的距离与刮板40的移动距离成比例。在这样的不同控制方法中，薄膜110与网孔部分21之间的分离力可以根据待形成的薄膜110的尺寸、网孔部分21与薄膜110之间的粘性、以及网孔部分21与掩模框架25之间的张力而被统一调整至刮板40的移动方向和位置。上述各种方法可以同时或个别使用，并且通过反复试验可以找到用于每种环境的最佳控制方法。
现在将描述使用具有这种构造的印刷装置1而使薄膜与掩模之间的分离易于进行的操作和原理。图6是示出了根据本发明实施例的印刷装置的控制方法的流程图，而图7是示出了根据本发明另一实施例的印刷装置的控制方法的流程图。对于图7，将仅对与图6所示不同的特点进行描述。
控制部分70驱动刮板驱动部分51和55，以使刮板40从掩模部分23a朝向掩模部分23b扫过基板100，进而控制提升部分60，以提升掩模20的一侧(操作S200)。与掩模部分的一侧23a结合的掩模框架25被固定，并且与掩模部分的另一侧23b结合的掩模框架25被提升部分60提升。这时，刮板40在朝向基板100按压网孔部分21的同时在基板100上形成薄膜110。这里，掩模20的另一侧的提升速度可以是恒定的，或者可以随着刮板40的前进而增大或减小。
随后，控制部分70确定网孔部分21是否与薄膜110分离(操作S300)。当网孔部分21与薄膜110未完全分离时，通过进一步提升掩模20的一侧以增加网孔部分21与掩模框架25之间的张力，掩模20可以容易地与薄膜分离。掩模20的提升速度被控制，以便在考虑刮板40的移动方向和位置的同时在薄膜110与网孔部分21之间均匀地施加分离力。
随后，当网孔部分21与薄膜110完全分离或者网孔部分21与薄膜110之间的张力足以分离时，控制部分70控制提升部分60，以停止掩模20的提升，并控制刮板驱动部分51和55，以停止刮板40(操作S400)。但是，在一些实施例中，可以在首先停止刮板40之后停止掩模20的提升，或者相反。
根据另一实施例，如图7所示，控制部分70控制刮板驱动部分51和55，以使刮板40扫过掩模20(操作S210)。
控制部分70确定刮板40是否移动预定距离(操作S310)，并且在刮板40移动预定距离之后提升掩模20的一侧。考虑到刮板40的移动方向和位置，通过以适当的提升速度调整掩模一侧的提升，可以获得薄膜110与网孔部分21之间的所需的分离力水平。结果是，薄膜110与掩模20之间的分离实现了，并且薄膜110可以均匀地形成在基板100上。刮板40的移动距离可以通过利用电机53的转数和/或传感器来计算。
当刮板40还未行进预定距离时，它将继续被驱动以到达预定距离。当刮板40到达预定距离时，控制部分70控制提升部分60，以升高掩模20的一侧(操作S410)。预定距离是考虑到刮板40的移动方向和位置，为了在薄膜110与网孔部分21之间均匀地获得所需的分离力而由计算得到的距离。当选择预定距离时，薄膜110的待形成在基板100上的面积、粘度、以及网孔部分21与掩模框架25之间的张力也可以被考虑进来。掩模20的另一侧的提升速度可以是恒定的，并且也可以随着刮板40的前进而增大或减小。
控制部分70确定网孔部分21是否与薄膜110分离(操作S510)。
此外，当网孔部分21与薄膜110完全分离时，或者当网孔部分21与薄膜110之间的即时张力足以使网孔部分21分离时，控制部分70控制提升部分60，以停止掩模20的提升，并且控制刮板驱动部分51和55，以停止刮板40(操作S610)。
在下文中，将描述利用上述印刷装置1制造平板显示器的方法。虽然该实施例将在OLED的上下文中进行描述，但应该认识到，本发明不限于OLED应用，它可以适用于诸如液晶显示器和PDP的其它平板显示器。此外，被设置在另一薄膜或层“上”的薄膜或层不仅表示两个薄膜/层彼此相接触的情况，还可以表示两个薄膜/层之间存在着另一薄膜或层的情况。
图8是通过根据本发明的印刷装置制造的OLED 5的横截面视图。OLED 5是使用有机材料的自发光型元件，其响应电信号而发光。OLED的缺陷通常在于其对于湿气和氧气的脆弱性，湿气和氧气都会不利地影响OLED的性能和寿命。因此，采用了用于有效地防止氧气和湿气渗透进有机材料(如有机发光层)中的密封方法。
根据图8实施例的OLED 5包括：第一基板100a，其设置有用于显示图像的有机元件120；第二基板100b，其被结合至第一基板100a上，以防止氧气或湿气流入到有机元件120中；以及薄膜110a、110b，其被置于第一基板100a与第二基板100b之间。
第一基板100a是透明基板，并且可以是有机基板或塑料基板。虽然未示出，阻挡层(barrier layer)可以形成在第一基板100a的上表面上，即在有机元件120与第一基板100a之间。阻挡层将阻挡可能通过第一基板100a扩散到有机元件120中的氧气或湿气，并且阻挡层可以包含SiON、SiO2、SiNx、A12O3等。阻挡层可以通过溅射方法形成。
通过使用适合的公知方法准备有机元件120，并且其通常包括有机发光层、空穴注入层、和空穴运输层。有机元件120显示与从信息处理装置中接收到的图像信号相对应的图像。
第二基板100b可以用与第一基板100a相同的材料、钠钙玻璃基板、硼硅酸盐玻璃基板、硅酸盐玻璃基板、铅玻璃基板等材料形成。第二基板100b可以具有大约0.1-10mm的厚度，且优选地具有大约1-10mm的厚度，以防止氧气或湿气通过第二基板100b渗透进有机元件120中。
薄膜110a和110b置于第一基板100a与第二基板100b之间。薄膜110a和110b用作密封材料，以防止氧气或湿气通过第一基板100a与第二基板100b之间形成的空间流入。设置薄膜110a和110b甚至起到将第一和第二基板100a和100b彼此连接起来的作用。这样的薄膜110a和110b可以是有机或无机膜，或者是同时具有有机或无机材料的复合膜。适合的有机材料的实例包括聚乙炔、聚酰亚胺、环氧树脂等，而适合的无机材料的实例包括氧化硅、氮化硅、氧化镁、氧化铝、氮化铝、氧化钛等。此外，对于薄膜110a和110b，可以使用：自由基粘结剂，其使用如下树脂，诸如热固性树脂体系(包括脲醛树脂、三聚氰胺树脂、酚醛树脂、间苯二酚树脂、环氧树脂、不饱和聚酯树脂、聚氨酯树脂、丙烯酸树脂等)、热塑性树脂体系(包括醋酸乙烯树脂、乙烯-乙酸乙烯共聚物树脂(ethyleneacetate vinyl copolymer resin)、丙烯酸树脂、氰基丙烯酸酯树脂、聚乙烯醇树脂、聚酰胺树脂、聚烯烃树脂、热塑性聚氨酯树脂、饱和聚脂树脂、纤维素等)、各种丙烯酸脂(包括脂丙烯酸脂、聚氨酯丙烯酸酯、环氧丙烯酸酯、三聚氰胺丙烯酸酯、丙烯酸树脂丙烯酸酯等)、以及氨基甲酸乙酯聚酯；使用诸如环氧、乙烯基乙荃等树脂的阳离子基粘结剂；硫醇/N添加树脂基粘结剂(thiol/N additiveresin-based adhesive)；以及合成聚合物粘结剂，其使用橡胶体系(包括氯丁二烯橡胶、丁腈橡胶、丁苯橡胶、天然橡胶、丁基橡胶、硅酮等)以及合成体系(包括乙烯酚醛树脂、氯丁二烯酚醛树脂、丁腈酚醛树脂、尼龙酚醛树脂、环氧酚醛树脂等)，虽然这并不是适合材料的完整列表。薄膜110a和110b的这些材料中可以添加填料。可以用作填料的材料包括但不限于诸如SiOx、SiON、SiN等的无机材料或诸如Ag、Ni、Al等的金属材料。对于固化薄膜110a和110b的方法，可以采用UV固化、可见光固化、UV+固化、热固化、以及后固化UV材料。
图8的实施例包括：薄膜110a和110b，其用有机材料形成在第一和第二基板100a、100b上；以及保护层130，其由无机材料形成薄膜110a上。这里所提供的密封材料的组合不是为了限制本发明，并且本发明可以使用任何适当的组合。在示出密封方法的段落中将详细描述更多的实施例。薄膜110a和110b可以包括热固化材料或辐射固化材料。
在下文中，将描述使用丝网印刷方法的OLED的密封方法。首先，将参照图8的实施例描述该方法。首先，将设置有有机元件120的第一基板100a安装在工作台10上，并且通过利用刮板40扫过掩模20来形成包含有机材料的薄膜110a。薄膜110a覆盖有机元件120。对于薄膜110a和110b，优选地采用上述印刷装置的控制方法，以将不均匀沉积的机率或由网孔薄膜分离失效造成的缺陷降到最小。
薄膜100a通过向其施加热和/或光而被半固化或固化。提前半固化或固化薄膜100a的原因将在下文中说明。固化薄膜110a期间所产生的气体或有毒物质可能渗透进有机元件120中，导致其恶化。而且，这些气体或有毒物质通过产生在屏幕上可视觉识别的气泡而导致图像质量下降。但是，因为第一和第二基板100a、100b在彼此结合之前被固化，在固化期间产生的气体等易于被释放到空气中，而不会被限制在装置内部。因此，通过在结合两个基板100a、100b之前进行固化，可以将有机元件120恶化以及在OLED 5被驱动时可能出现的图像质量下降的机率最小化。优选地采用半固化方法，由于基板100a、100b是易于固化的，因此即使仅使用半固化方法，固化时产生的气体等也会被充分地释放到空气中。此外，具有无机材料的保护层130形成在第一基板100a的薄膜110a上。可替换地，保护层130可以包括与湿气和/或氧气起化学反应的材料，诸如钙、钡、氧化钙、氧化钡等。此外，在另一实施例中，薄膜110a还可以包括吸收剂。
通过使用印刷装置1，在与第一基板100a上形成薄膜110a相同的时间或不同的时间，在第二基板100b上形成薄膜110b。这里，薄膜110b可以是有机膜，但其仍然处于未固化状态。
当两个基板100a和100b都准备好时，通过将其布置在基本上平行的平面中并使薄膜110a和110b固化，将两个基板100a和100b结合在一起。固化过程可能需要在将两薄膜110a、110b压紧到一起的同时施加热和/或光。优选地，这种固化过程是在真空箱体中进行的，并且施加的压力为大约760托(torr)。固化过程的结果是，可以有效地保护有机元件120免受湿气和氧气的损害。该密封过程很简单，因此可以容易地应用到批量生产中。
根据另一实施例，在两个基板100a和100b上分别形成包含有机材料的薄膜110a和110b，然后对定位在另一基板的顶部上的一个基板进行固化操作。根据再一实施例，在对彼此堆置在对方顶部的两个基板100a、100b进行第二阶段的固化操作之前，对设置在第一基板100a上的薄膜110a进行半固化或全固化。
根据再一实施例，在基板100a和100b上分别形成包含有机材料的薄膜110a和110b，并且在无机膜另外形成在第一基板100a的薄膜110a上之后执行固化操作。然后，通过彼此堆置在对方顶部而将两个基板100a和100b结合。在该实施例中，可以省略对第一基板100a的薄膜110a的半固化或全固化操作。
根据再一实施例，有机膜、无机膜、和有机膜以该顺序被堆置到第一基板100a上，然后再与第二基板100b结合在一起。在两个基板100a、100b结合之后，可以进行固化操作。可替换地，对第一基板100a上的有机膜进行半固化或全固化，然后通过彼此堆置在对方顶部的方式与第二基板100b结合。可以进行固化操作以完成OLED 5。
如上所述，根据本发明，提供了能够使基板上的薄膜与掩模之间的分离更易进行的印刷装置及其控制方法以及平板显示器的制造方法。
虽然已经示出并描述了本发明的一些例示性实施例，本领域技术人员可以认识到，在不背离本发明原则和精神的前提下，这些实施例可以具有各种更改，本发明的范围由所附权利要求及其等同物限定。

Claims (32)

1.一种印刷装置，包括：
工作台，其上设置有基板；
掩模，位于所述工作台上；
提升部分，其朝向以及远离所述基板移动所述掩模的至少一侧；以及
控制部分，其控制所述提升部分。
2.根据权利要求1所述的印刷装置，还包括保持部分，其保持所述掩模的至少一侧，其中，所述提升部分支撑所述保持部分，以朝向以及远离所述基板移动所述掩模。
3.根据权利要求2所述的印刷装置，其中，所述掩模包括：
网孔部分，位于所述基板上方；
掩模部分，构成所述网孔部分的边框；以及
掩模框架，设置在所述掩模部分的至少一侧上，以在所述网孔部分中施加所需的张力水平，
其中，所述保持部分支撑所述掩模框架的至少一侧。
4.根据权利要求3所述的印刷装置，还包括刮板，其由所述控制部分控制，以移动越过所述掩模，其中，所述控制部分控制所述提升部分，以在移动所述刮板越过所述掩模的同时移动所述掩模远离所述基板。
5.根据权利要求4所述的印刷装置，其中，所述掩模的提升与所述刮板的移动是同步进行的。
6.根据权利要求4所述的印刷装置，其中，所述控制部分控制所述提升部分，以在所述刮板前进预定距离之后移动所述掩模远离所述基板。
7.根据权利要求4所述的印刷装置，其中，所述控制部分控制所述提升部分，以在所述刮板被驱动越过所述掩模的同时移动所述掩模远离所述基板。
8.根据权利要求1所述的印刷装置，其中，所述控制部分控制所述提升部分，以沿基本上垂直于所述基板的表面的方向以恒速移动所述掩模远离所述基板。
9.根据权利要求4所述的印刷装置，其中，所述控制部分控制所述提升部分，以在所述刮板移动越过所述掩模的同时改变所述掩模被移动远离所述基板的速度。
10.根据权利要求4所述的印刷装置，其中，所述控制部分控制所述提升部分，以在所述刮板移动越过所述掩模的同时增大所述掩模被移动远离所述基板的速度。
11.根据权利要求4所述的印刷装置，其中，所述控制部分以如下方式控制所述提升部分，即所述掩模与所述基板之间的距离与所述刮板的移动距离成比例。
12.根据权利要求4所述的印刷装置，其中，与所述掩模部分的一侧邻接的所述掩模框架被固定，而与所述掩模部分的另一侧邻接的所述掩模框架在被保持部分保持的同时沿基本上垂直于所述基板的表面的方向移动。
13.根据权利要求2所述的印刷装置，其中，所述提升部分包括：
驱动部分；以及
支撑轴，其被所述驱动部分移动，并支撑所述保持部分。
14.根据权利要求3所述的印刷装置，还包括掩模支撑部分，其支撑所述掩模框架的至少一部分，其中，所述掩模支撑部分具有L形横截面。
15.根据权利要求14所述的印刷装置，其中，所述掩模支撑部分包括第一掩模支撑部分和从所述第一掩模支撑部分越过所述掩模而定位的第二掩模支撑部分，其中，所述第二掩模支撑部分具有2层结构，并且包括支撑所述掩模框架的至少一部分的所述保持部分以及支撑所述保持部分的支撑部分。
16.根据权利要求4所述的印刷装置，其中，所述刮板在垂直于所述刮板的最长边的方向与所述刮板的移动方向之间保持预定角度的同时，移动越过所述掩模。
17.根据权利要求4所述的印刷装置，其中，所述掩模与所述工作台离开一间隙，并且所述刮板将膜材料沉积到所述网孔部分内并朝向所述基板按压所述网孔部分的同时，移动越过所述掩模。
18.一种控制印刷装置的方法，所述方法包括：
将掩模布置在基板上，所述掩模包括位于所述基板上方的网孔部分、构成所述网孔部分的边框的掩模部分、以及设置在所述掩模部分的至少一侧上以在所述网孔部分中保持张力的掩模框架；
将膜材料放置在所述掩模部分的第一侧上；
将刮板定位在所述掩模部分的第一侧上，其中，所述刮板能够移动越过所述掩模；以及
提升所述掩模部分的第二侧，并从所述掩模部分的第一侧朝向所述掩模部分的第二侧移动所述刮板越过所述掩模，其中，所述刮板在其移动时朝向所述基板按压所述网孔部分。
19.根据权利要求18所述的印刷装置的方法，其中，在所述刮板移动越过所述掩模的同时，所述掩模的第二侧被提升。
20.根据权利要求18所述的印刷装置的方法，其中，在所述刮板越过所述掩模前进预定距离之后，所述掩模的第二侧被提升。
21.根据权利要求18所述的方法，其中，所述掩模的第二侧的提升与所述刮板的移动是同步进行的。
22.根据权利要求18所述的方法，其中，所述掩模的第二侧的提升运动在所述刮板移动越过所述掩模的同时被停止。
23.根据权利要求18所述的方法，其中，所述掩模的第二侧以恒速被提升。
24.根据权利要求18所述的方法，其中，所述掩模的第二侧的提升速度随着所述刮板前进越过所述掩模而改变。
25.根据权利要求18所述的方法，其中，所述掩模的第二侧的提升速度随着所述刮板前进越过所述掩模而增大。
26.根据权利要求18所述的方法，其中，所述掩模的第二侧被提升的距离与所述刮板移动越过所述掩模的距离成比例。
27.一种制造平板显示器的方法，包括：
设置基板；
将掩模布置在所述基板上，所述掩模包括位于所述基板上方的网孔部分、构成所述网孔部分的边框的掩模部分、以及设置在所述掩模部分的至少一侧上以在所述网孔部分中保持张力的掩模框架；以及
将刮板设置在所述掩模上的所述掩模部分的第一侧上，并在从所述掩模部分的第一侧朝向所述掩模部分的第二侧移动所述刮板的同时提升所述掩模的第二侧，以在所述基板的由所述网孔部分覆盖的区域上形成薄膜。
28.根据权利要求27所述的方法，其中，所述基板或者是包括有机发光层的第一基板，或者是可连接至所述第一基板的第二基板。
29.根据权利要求27所述的方法，还包括将所述第一基板结合至所述第二基板，并在将所述薄膜涂覆到所述第一基板和所述第二基板中的至少一个上之后固化所述薄膜。
30.根据权利要求27所述的方法，其中，在所述第一基板上形成的所述薄膜上进行部分或完全固化操作之后，具有所述薄膜的所述第一基板以及第二基板通过堆置结合在一起。
31.根据权利要求27所述的方法，其中，所述薄膜通过热或光中的任何一种被固化。
32.根据权利要求27所述的方法，其中，所述薄膜是有机膜和无机膜中的任何一种。
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