CN1913982A - 板材的洗涤设备 - Google Patents
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Abstract
本发明的板材的清洗剂洗涤装置，是对大型化、薄型化的玻璃板等板材谋求进一步提高其质量，迅速、有效地进行洗涤处理的所述洗涤装置，具备：支持竖立状态的板材的下端的传送带(2)、使流体压力作用于玻璃板(G)的侧面，从而以竖立的状态支持玻璃板的流体导向装置(8)、从流体导向装置(8)向玻璃板表面提供清洗液的清洗剂洗涤装置(3)、可上下移动地具备从玻璃板的两个侧面喷射高压液体的高压液体喷射构件(19)的高压液体喷射洗涤装置(4)、以及具有从玻璃板的两个侧面向上下方向延伸的，射出作为膜状气流的气刀的除水构件(30)的除水装置(6)。
Description
技术领域
本发明涉及板材的洗涤设备。更详细地说，涉及用清洗剂清洗稀有金属、硅、以及平面型显示器用玻璃等板材的表面，利用高压液体喷射器清洗板材表面，且去除清洗后的板材表面的水分用的板材洗涤设备。
背景技术
向来，在各领域上使用玻璃板。尤其是液晶显示器或等离子体显示器等使用的玻璃板(也称为玻璃基板)非常薄。大量生产出例如厚度0.7mm左右、大小550mm×650mm左右的玻璃板。这样的玻璃基板的修剪或截断等加工通常是将玻璃板置于水平状态(横向状态)，利用传送带等进行输送，在各个装置中以水平状态进行。加工后的玻璃板的清洗也在水平状态下进行(参考例如日本特开平11-44877号公报以及日本专利第2699911号公报)。另外，也提出了即使在这样的水平状态进行清洗的装置中，也以进一步提高清洗效果为目标的具有超声波洗涤装置的洗涤设备(参考例如日本特开平9-19667号公报)。
又提出了以使玻璃板竖着放在辊列上的姿势进行输送，在该竖立放置的状态下对玻璃板的各端边进行研磨的装置(参考例如日本专利第2623476号公报)。
另一方面，近年来，在玻璃基板等领域内，出于使材料利用率良好以提高生产效率的目的，又以应对更大型的显示器等为目的，产生了使成为多个玻璃基板的原材料的母玻璃板的尺寸大型化的愿望。若使母玻璃板的尺寸增大，则从一片母玻璃板获取的玻璃基板的张数增多，从而材料利用率得以提高。而且也可以制造大型显示器用的玻璃基板。除此之外，还要求使玻璃基板做得更薄，从而提高显示器等的性能，母玻璃板有进一步薄化的趋势。而且对玻璃基板的质量要求逐年趋向严格，并且也有低成本化的要求。
然而，若采用以上述的水平状态输送并清洗玻璃板的技术、以及以竖立放置于某些结构部件上的状态进行输送的技术，则有可能在加工大型化、薄型化的玻璃板的情况下因其自重而发生弯曲等情况导致产生裂缝，以及来自支持玻璃板面的结构部件的反作用力导致产生裂缝等。当然，在清洗玻璃板的情况下，也产生同样的问题。另外，在玻璃板与结构构件接触的状态下，难以清洗该接触的部分。而且还要求得到高于超声波清洗的净化程度的玻璃板。
发明内容
本发明是为了解决这样的课题而作出的，其目的在于，提供一种板材洗涤设备，可以对包括大型化、薄型化的玻璃板的板材进行能够防止发生裂缝等损伤且进一步提高板材的质量的洗涤处理。
本发明的板材的清洗剂洗涤装置具有支持竖立状态的板材的下端的支持装置、使流体压力作用于上述板材的侧面，从而以竖立的状态非接触地支持该板材的流体导向装置、以及对竖立状态的板材供给清洗液用的清洗液供给部，该清洗液供给部包含上述流体导向装置的至少一部分，该至少一部分流体导向装置形成能够对板材的侧面提供清洗液流的结构。
利用这样的结构，不受到板材自重的影响或来自构件的大的反作用力，就可以用清洗剂普遍地清洗板材的两面和边缘。因此，不局限于尘埃，甚至油脂也可以去除。
构成上述清洗液供给部的流体导向装置具有在水平方向上延伸的上下多级的第一流体喷出部，在该第一流体喷出部排列多个清洗液喷嘴而成的清洗剂洗涤装置是理想的装置。因为可以利用重力对板材的整个面提供清洗剂。这样的作用利用简易的结构就能够得到。
构成上述清洗液供给部的流体导向装置还具有在水平方向上相互保持间隔设置的，在上下方向上延伸的第二流体喷出部，在该第二流体喷出部排列多个清洗液喷嘴而成的清洗剂洗涤装置是理想的装置。因为在输送板材那样的装置的情况下，即使提高输送速度，也可以对板材的面普遍地提供清洗液。
又，上述支持装置具有以竖立的状态在水平方向上进行板材的输送的输送部，上述流体导向装置沿着输送部的输送路径配置而成的清洗剂洗涤装置是理想的。因为可以利用该输送部以及流体导向装置，以竖立的状态将板材送入并送出清洗剂洗涤装置。
在上述清洗液供给部中的从板材的输送方向观察时的上游侧和下游侧，沿竖立状态的板材的上下方向配置风帘部，该风帘部具有在上下方向上排列的多个空气喷嘴而形成的清洗剂洗涤装置是理想的。这是因为可以利用上述风帘部防止水分向上游工序和下游工序转移，还可以防止来自上游工序和下游工序的水分进入。利用这样的方法，也可以尽可能抑制例如清洗液浓度的变动。
本发明的高压液体喷射洗涤装置，具有支持竖立状态的板材的下端的支持装置、使流体压力作用于上述板材的侧面，从而以竖立的状态非接触地支持该板材的流体导向装置、以及对着竖立状态的板材，从其两个侧面分别喷射高压液体用的高压液体喷射部。
利用这样的结构，可以不受板材的自重的影响和来自构件的大的反作用力的作用，用高压液体喷射器清洗板材的两面。因此，能够不使大型化、薄型化的板材产生裂缝等损伤地高质量地进行清洗。另外，即使利用来自流体导向装置的流体，也可以去除从板材的面剥离下来，悬浮于水中的尘埃等。
上述支持装置具有以竖立的状态沿水平方向输送板材的输送部，上述流体导向装置沿着输送部的输送路径配置而成的高压液体喷射洗涤装置是理想的。因为利用该输送部以及流体导向装置，能够以竖立的状态将板材送入并送出高压液体喷射洗涤装置。
还有，上述高压液体喷射部具有可以在上下方向上移动的高压液体喷嘴，配置在板材两个侧面的各高压液体喷嘴夹着板材支持位置对置而形成的高压液体喷射洗涤装置是理想的。这是因为板材保持竖立状态由上述输送部输送，同时从两面对其喷射高压液体，因此，仅仅使高压液体喷嘴在上下方向上移动，就可以清洗板材的整个面。另外，使两侧的高压液体喷嘴对置，从而可以防止高压液体造成板材损伤。
又，上述高压液体喷射部具有沿上下方向排列的多个高压液体喷嘴，配置在板材两个侧面的各高压液体喷嘴夹着板材支持位置对置而形成的高压液体喷射洗涤装置是理想的。这是因为板材以保持竖立的状态由上述输送部输送，同时一边从两面对齐喷射高压液体，因此，仅仅预先使多个高压液体喷嘴沿上下方向排列，就可以清洗板材的整个面。
形成上述高压液体喷嘴围绕实际上与作为洗涤对象的板材面垂直的方向的旋转轴心旋转的结构的高压液体喷射洗涤装置是理想的。因为可以清洗更大范围的板材面。
另外，能够与高压液体喷嘴成一整体地沿上下方向移动的移动式流体导向装置与该高压液体喷嘴相邻配设形成的高压液体喷射洗涤装置是理想的。这是因为，虽然是水流以比较高的压力对板材喷射，但通过相邻的移动式流体导向装置的作用，能够使高压液体喷射引发的板材振动等衰减。
而且，在本发明的板材的输送方向上看的上游端侧，沿竖立状态的板材的上下方向配置水洗部，该水洗部具有沿上下方向排列的多个水喷嘴而形成的高压液体喷射洗涤装置是理想的。这是因为可以利用水洗部洗掉上游工序中的附着物、例如清洗液等。
本发明的板材的除水装置，具有支持竖立状态的板材的下端在水平方向上输送的输送装置、使流体压力作用于上述板材的侧面，从而以竖立的状态非接触地支持该板材的流体导向装置、以及竖立状态的板材的两侧分别从板材上方到下方对应地延伸设置的，对板材喷射膜状气流的除水部。
利用这样的结构，一边利用上述输送部以及流体导向装置就板材保持竖立状态地加以输送，一边对其外表面喷射膜状气流，以此吹掉水分，能够不受到板材自重的影响，不受来自构件的大的反作用力地，有效地将水分从板材的两面和边缘去除。换句话说，可以使其实现干燥状态。
在上述两个除水部的上游侧，在竖立状态的板材的两个侧面上，分别沿上下方向设置水洗部，该水洗部具有在上下方向上排列的多个水喷嘴形成的除水装置是理想的。因为能够防止尘埃等再次附着。
或是，上述除水部向板材的输送方向观察时的上游方向倾斜着配置而形成的除水装置是理想的。这是因为可以没有遗漏地对往输送方向移动的板材表面供给新的水。
或是，上述水洗部向板材的输送方向观察时的上游方向倾斜着配置而形成的除水装置是理想的。这是因为可以向下方且是上游方向吹掉板材表面的水分。
本发明的板材洗涤设备，具有支持并输送竖立状态的板材的下端的输送装置、使流体压力作用于上述板材的侧面，从而以竖立的状态非接触地支持该板材的流体导向装置、设置在上述输送装置的输送路径上的，所述清洗剂洗涤装置中的任一清洗剂洗涤装置、设置在上述输送路径中的该清洗剂洗涤装置的下游侧的，上述高压液体喷射洗涤装置中的任一高压液体喷射洗涤装置、以及设置在上述输送路径中的该高压液体喷射洗涤装置的下游侧的，上述除水装置中的任一除水装置。采用这样的结构，板材能够不受其自重的影响或来自构件的大的反作用力的作用地，高效率地洗涤、除水。
而且，在上述高压液体喷射洗涤装置与除水装置之间设置精洗装置，该精洗装置在上述输送装置的两侧具有上述流体导向装置而形成的洗涤设备是理想的。这是因为在高压液体喷射洗涤装置中，脱离板材悬浮于水中的尘埃等被来自上述流体导向装置的流体洗下来。
以下参考附图对本发明的板材洗涤设备、以及适用于该洗涤设备的清洗剂洗涤装置、高压液体喷射洗涤装置、除水装置的实施形态进行说明。
附图说明
图1是表示本发明的洗涤设备的一个实施形态的正视图。
图2是图1的洗涤设备的俯视图。
图3(a)是表示图1的洗涤设备中的清洗剂洗涤装置的一个实施形态的俯视图，图3(b)是图3(a)的正视图，为了便于理解，显示出去除眼前一侧的流体导向装置的状态。
图4是图3(a)的IV-IV线截面图。
图5是图3的清洗剂洗涤装置的侧面图，是图3(b)的V-V线向视图。
图6是表示图1的洗涤设备中的高压液体喷射洗涤装置的一个实施形态去除一部分的正视图。
图7是图6的高压液体喷射洗涤装置的俯视图。
图8(a)是表示图6的高压液体喷射洗涤装置中的高压液体喷嘴之一例的正视图，图8(b)是图8(a)的VIII-VIII的截面图。
图9是表示图6的高压液体喷射洗涤装置中的水洗构件之一例的侧视图，相当于图6中的IX-IX线的向视图。
图10是表示图1的洗涤设备中的精洗装置之一例的正视图。
图11是表示图1的洗涤设备中的除水装置的一个实施形态的正视图。
图12是图11的除水装置的俯视图。
图13是表示图11的除水装置中的水洗构件的侧视图，相当于图11中的XIII-XIII线的截面图。
图14(a)是表示图11的除水装置中的除水构件的侧视图，相当于图11中的XIV-XIV线的截面图，图14(b)是图14(a)的俯视图。
具体实施方式
在图1和图2所示的洗涤设备1上设置以使矩形玻璃板G竖立的状态对其底边加以支持，且在水平方向上进行输送用的传送带2。也可以采用例如辊式输送机等众所周知的传送机而不局限于传送带。将用清洗剂清洗玻璃板G的表面用的清洗剂洗涤装置3、用高压液体喷射(也称为水力喷射)清洗玻璃板G的表面用的高压液体喷射洗涤装置4、用高压液体喷射洗涤装置4洗掉脱离玻璃板G悬浮于水中的尘埃等用的精洗装置5、以及将水分从清洗后的玻璃板G的表面去除用的除水装置6沿着传送带2的输送方向、即沿着玻璃板的经过路线L，从上游开始依此次序进行配置。再者，本实施形态的除水装置6形成在除水动作之前进一步进行精洗的结构。但并不限于此。
又，沿着传送带2的输送方向(经过路线L)，在其两侧竖立设置非接触地支持玻璃板G的面用的流体导向装置8。流体导向装置8沿输送方向分为上述装置3、4、5、6各个部分。再者，如后文所述除水装置6中其流体导向装置的结构与其他装置3、4、5不同，因此用符号27表示除水装置6的流体导向装置。
如果同时参考作为清洗剂洗涤装置3的侧视图的图4，可以清楚了解到，流体导向装置8具有框架构件9和安装在该框架构件9上的导向板10。在导向板10构成的平面上设置有使支持用的流体压力作用于玻璃板G的面上用的流体喷出部11。
可以将流体喷出部11调节成在整体上与玻璃板G的面平行。在流体喷出部11上，保持间隔配置对着玻璃板的面喷射流体的流体喷嘴11c。
在经过路线L的左右两侧设置流体导向装置8，因此从玻璃板的两面作用的流体压力取得平衡，所以玻璃板不与结构构件接触就可以维持大致铅直的状态。本实施形态把水用作支持用的流体。通过将液体用作支持用的流体，可以有效地从玻璃板上去除碎玻璃粒子或其他尘埃。该水根据需要可以选择自来水、纯水、清洗剂溶液等。
又可以设置使用多孔材料以使液体渗出到导向件面上的多孔流体导向装置，替代排列配置多个流体喷出部11的方法。即使是利用该多孔流体导向装置，也能够利用导向装置用的液体的表面张力，不使玻璃板与结构构件接触，就可以以竖立的状态加以支持。
支持用的流体并不限于液体，也可以是例如干净的气体。将气体用作支持用流体的流体导向装置仅设置在经过路线L的单侧时，使玻璃板G稍许朝该流体导向装置一方倾斜，从而利用玻璃板自重的横向分量与喷出的气压产生的力之间的平衡，以非接触状态用流体导向装置加以支持。但是为了利用液体进行玻璃板的清洗，最好是支持用的流体也同样采用液体。
下面参考图3～图5对清洗剂洗涤装置3进行说明。清洗剂洗涤装置3中，与清洗剂洗涤装置3对应的部分的传送带2起到清洗剂洗涤装置3中的玻璃板支持装置的作用。图3(b)的正视图为了便于理解，显示去除眼前一侧的流体导向装置8的状态。
清洗剂洗涤装置3中，作为流体喷出部11，设置第一流体喷出部11a以及第二流体喷出部11b。第一流体喷出部11a在水平方向上延伸设置，其在上下方向上保持间隔设置成多级。另外，沿玻璃板的输送方向保持间隔在上下方向上设置多个第二流体喷出部11b。在各流体喷出部11a、11b上保持间隔排列配置对玻璃板的面喷射流体的流体喷嘴11c。可以将这些流体喷出部11a、11b调节成整体上与玻璃板G的面平行。
在清洗剂洗涤装置3中，形成能够由未图示的清洗剂供给源对流体导向装置8压送清洗剂，由其流体喷嘴11c喷出清洗剂水溶液(清洗溶液)的结构。利用该结构，在清洗剂洗涤装置3用清洗液清洗玻璃板的整个面，直到油脂成份被从玻璃板的面上除去。当然，配置在下游侧的其他装置4、5、6中，也可以将纯水等用作流体导向装置中使用的流体，以替代清洗液。另外，即使清洗剂洗涤装置3的流体导向装置8，也无需做成其所有流体导向装置喷射清洗液的结构，也可以由流体导向装置8的一部分喷射清洗液。还有，通过提高清洗液的温度(例如大约80℃)，能够进一步提高清除油脂等成份的效果。
该清洗剂洗涤装置3上，如图3和图5所示，在从输送来的玻璃板G的上边所对应的位置(沿着玻璃板G的上边的位置)稍许向流体导向装置一侧的相反侧位移的位置上延伸设置清洗剂供给管12。在该清洗剂供给管12上排列配置多个从上边对着玻璃板G的一个面呈雾状地喷射清洗剂用的清洗剂喷嘴13。由未图示的清洗剂供给源向清洗剂供给管12压送清洗剂。清洗剂供给管12形成能够根据作为清洗对象的玻璃板的上下尺寸上下移动的结构。
利用这些清洗剂喷嘴13，对玻璃板的一个面提供清洗剂，直到玻璃板的一个面上边也没有遗漏地提供清洗剂。利用重力使该清洗剂无遗漏地流向玻璃板的该一面的整个面上，对该一面进行清洗。本清洗剂洗涤装置3具有单一的清洗剂供给管12，但本发明并不限于这样的结构。如果例如上下保持间隔地具有多支清洗剂供给管12，则即使加快玻璃板的输送速度，也可以使清洗剂完全遍及玻璃板的表面。
如上所述，在清洗剂洗涤装置3中设置对经过路线L的两侧喷出清洗液的流体导向装置8，但是在具有上述清洗剂供给管12的情况下，也可以夹着经过路线L，仅在清洗剂供给管12的相反侧设置流体导向装置。由于支持流体是液体，因此换句话说，即使仅在经过路线L的单侧设置流体导向装置8，玻璃板G也可以被充满其表面与流体喷出部11之间的间隙的液体的表面张力所吸附，因此虽然没有接触也能够大致保持铅直状态进行输送。但是，可以认为相比上述结构的清洗剂供给管12，流体导向装置的清洗效果更好，因此最好是在经过路线L的两侧具有喷出清洗液的流体导向装置8。
通过在清洗剂洗涤装置3用清洗剂进行洗涤，除了可以使尘埃脱离玻璃板的表面之外，还可以使油脂成份脱离玻璃板的表面。
在该清洗剂洗涤装置3的上游端以及下游端，分别在上下方向上延伸设置风帘构件14。如图5所示，该风帘构件14具有在经过路线L的两侧相互对置且在上下方向上延伸设置的提供清净空气用的供气管15、以及沿着该供气管15紧密排列的，对着玻璃板G的面上喷射清净空气用的多个空气喷嘴(也称除液喷嘴)16。清净空气是用过滤器等去除尘埃等的空气。由未图示的空气供给源对上述供气管15压送清净空气。由上游端和下游端的各风帘构件14对着被输送的玻璃板喷出清净空气，形成风帘。因此，能够防止水分从其上游工序和下游工序进入清洗剂洗涤装置3。从而能够防止清洗液浓度的变动。还能够防止清洗液向上游工序和下游工序转移。
在图3(b)和图5中用符号17表示的是设置在传送带2的下方的接水的水槽。而符号18表示的是将用水槽17接收到的液体加以汇集，回收到下方的清洗液箱(未图示)用的集水管。清洗剂洗涤完后的玻璃板随后被送入高压液体喷射洗涤装置4(图1)。
下面参考图6～图9对高压液体喷射洗涤装置4进行说明。在高压液体喷射洗涤装置4中，与高压液体喷射洗涤装置4对应的部分的传送带2起到高压液体喷射洗涤装置4中的玻璃板支持装置的作用。如上所述，高压液体喷射洗涤装置4中，流体导向装置8设置在经过路线L的两侧。另外，向输送方向观察，在流体导向装置8的中间部设置有高压液体喷射构件19。图6中，为了便于理解高压液体喷射构件19，将流体导向装置8的切去一部分形成切口表示。
夹着经过路线L的两个高压液体喷射构件19分别具有喷嘴支持框架41。在该喷嘴支持框架41上安装有上下分离的一对高压液体喷嘴20。而且使该上下离开距离能够改变。由高压液体喷嘴20喷射高压水流(水力喷射)。夹着经过路线L的两个高压液体喷嘴20相对配置。以便使来自高压液体喷嘴20的高压水产生的压力在玻璃板的两侧保持平衡。
如图6和图7所示，利用沿上下方向敷设在高压液体喷射构件19的基础框架42上的线性导向机构21使上述喷嘴支持框架41上下移动。其结果是，使高压液体喷嘴20相对于玻璃板上下移动。另外，相对于喷嘴支持框架41的基部41b可向外回旋地，通过铰链41c在喷嘴支持框架41的基部41b上安装喷嘴支持框架41的喷嘴支持部41a。通过使喷嘴支持部41a回旋，使高压液体喷嘴20移动到与玻璃板的面对置的作用位置和向外避让等待的非作用位置。高压液体喷嘴20以其拉开到非作用位置上的状态接受维修保养等。符号43表示的是使喷嘴支持部41a固定在基础框架42上以及使其与基础框架42分离用的夹具的旋钮。
高压液体喷嘴20形成围绕与玻璃板垂直的方向的旋转轴20a(参考图7和图8)旋转的结构。借助于此，各个喷嘴20一边旋转同时一边上下移动，因此即使利用少数喷嘴20也可以清洗大范围的玻璃板表面。符号20b表示的是使高压液体喷嘴20的旋转稳定用的平衡重锤。
又设置与该高压液体喷嘴20成一整体地上下移动的移动式流体导向装置22。这是为了防止来自高压液体喷嘴20的高压水流引起玻璃板发生振动。各该移动式流体导向装置22也夹着经过路线L相对配置。图示的移动式流体导向装置22仅被设置在高压液体喷嘴20的上方或下方中的任意一方，但并不限于这种结构。例如，也可以配置在上下两方、左右两方、上下左右四方等。
在该高压液体喷射构件19的输送方向两侧，设置有上下相邻排列的多个上下流体导向装置23。这样，在高压液体喷射构件19的两侧特别紧密连接地设置有上下流体导向装置23，从而可以更加有效地防止高压液体喷嘴引起的玻璃板的振动。
在该高压液体喷射洗涤装置4的上游端，沿上下方向延伸设置有水洗构件24。如图9所示，该水洗构件24具有在夹着经过路线L的两侧相互对置地在上下方向上延伸设置的提供纯水用的供水管25、以及沿该供水管25设置的对玻璃板G的表面喷水用的多个水喷嘴26。由未图示的供水源对上述供水管25压送水。上游端的水洗构件24对被输送的玻璃板喷水，因此使水依次没有遗漏地流向玻璃板两面的整个面。利用上游端的水洗构件24将玻璃板在前一工序中可能附着的清洗液冲走。而且，通过使表面干燥，也能够防止尘埃等附着。
在高压液体喷射洗涤装置4的下游端，在上下方向上延伸设置已在上述清洗剂洗涤装置3中说明的相同的风帘构件14(图6)。其结构和设置目的都与上面所述的相同，因此省略其说明。
本高压液体喷射洗涤装置4中，在夹着经过路线L的两侧配置各一个高压液体喷射构件19，但本发明并非局限于这样的结构。也可以分别在经过路线L的两侧分别配置多个高压液体喷射构件19。这样，即使提高玻璃板的输送速度，也可以充分进行清洗。另外，也可以根据需要增减设置在各高压液体喷射构件19上的高压液体喷嘴20的数量。通过增加高压液体喷嘴的数量，无需特别使高压喷嘴上下移动，就可以利用高压液体喷射清洗玻璃板的整个面。这时，只要使高压喷嘴在上下方向上特别紧密地排列即可。
利用该高压液体喷射进行洗涤，与以往的超声波清洗或刷洗等方法相比，清洗效果大大提高。该高压液体喷射清洗过的玻璃板随后被送入精洗装置5(图1)。
如图10所示的精洗装置5的设置是为了用循环纯水更加细致地洗掉在清洗剂洗涤装置3和高压液体喷射洗涤装置4中脱离玻璃板表面的油脂成份和尘埃等。因此，精洗装置5仅在经过路线L的两侧配置流体导向装置8，除此以外没有设置特别的装置。因为玻璃板是利用由流体导向装置8向其表面提供的水清洗的。根据不同情况，也可以从洗涤设备1中去除该精洗装置5。精洗过的玻璃板随后被输送到除水装置6(图1)。
下面参考图11～图14对除水装置6进行说明。除水装置6中，与除水装置6对应的部分的传送带2起到除水装置6中的玻璃板支持装置的作用。如上所述，除水装置6中，在经过路线L的两侧设置流体导向装置27。
又如图11、图13和图14所示，在经过路线L的两侧、向输送方向观察时的流体导向装置27的中间部，从上游开始依序分别保持间隔平行地设置两个水洗构件28、29和除水构件30。而且，上述流体导向装置27与上述的流体导向装置8不同，比后文所述的隔离板35更靠上游侧的部分27a将水用作支持用的流体，比隔离板35更靠下游侧的部分27b将超清净空气用作支持用的流体。所谓超清净空气是指比上述清净空气，用筛孔更细的过滤器等进行净化处理过的空气。
如图13所示，两个水洗构件28、29都具有由铅直方向稍微向上游侧倾斜延伸设置的供水管31、以及沿该供水管31的纵向排列的多个水喷嘴32。由未图示的供水源对供水管31压送纯水，各水喷嘴32对着玻璃板G的表面喷射纯水。上述水洗构件28、29反复进行与精洗装置5中的洗涤相同的洗涤，从而能够更细致地将油脂成份和尘埃等从玻璃板的表面冲走。该水洗构件28、29中，不使用循环纯水，而是一次性地使用纯水(所谓使用使用后废弃的纯水)，以提高玻璃板的清净度。
除水构件30由与供水管31平行地，由铅直方向稍微向上游侧倾斜地延伸设置的供气管(也称为气刀架)33构成。由未图示的供给源对供气管33压送超清净空气。另外，该供气管33如图12和图14所示，形成使空气对着玻璃板的面吹出的宽度窄的缝隙34。而且，除水构件30形成能够对与玻璃板的两面对应的部位喷射从经过路线L的两侧喷出的膜状气流N的结构。缝隙34沿着供气管33的纵向连续形成，或稍微隔开间隔断续形成。总之，对着玻璃板G在上下方向(稍微向上游侧倾斜)连续地喷射膜状高压气流N。以接近音速的速度喷射该气流。该气流被称为气刀N。
如图12所示，供气管33形成围绕其纵向中心轴旋转的结构。其结果是，能够使气刀N的方向发生变化。例如，垂直地对着玻璃板的表面也能够接着既向上游侧也向下游侧。而且由于供气管33从铅直位置稍微向上游侧倾斜，因此通过使供气管33旋转，使气刀N的方向稍微向上游侧，气刀N能够将玻璃板表面上的水分向上游稍微向下吹走。其结果是，将水分从气刀框架33向上游侧下方吹，水分不向下游侧移动。能够从通过气刀N的玻璃板的整个表面上清除水分，实现干燥状态。
又由于水洗构件28、29从铅直方向稍微向上游侧倾斜，从被输送来的玻璃板的上部对上下方向上的任何部分都提供新的水，能够实现高质量的清洗。而且这种水洗构件28、29也与上述供气管33一样形成能够环绕其纵向中心轴旋转的结构。其结果是，能够使纯水的喷射方向改变。
如图12所示，将隔离板35靠近经过路线L两侧的除水构件30配置。该隔离板35是用于防止水从除水构件30向下游侧移动的隔离板。各隔离板35从除水构件30向与包含经过路线L的铅直面(实质上是玻璃板面)垂直的方向往外突出。而且隔离板35与供气管33和水洗构件28、29平行地从铅直方向向上游侧倾斜地延伸设置。其结果是，不管在其上游侧喷射出的水如何飞出也能够利用这一隔离板35防止其向下游侧的除水构件30一方移动。该隔离板35除了设置于接近上述除水构件30的位置以外，也可以设置于例如接近下游侧的水洗构件29的下游侧的位置上。
如上所述，上述流体导向装置27，在该隔离板35的上游侧使用纯水作为支持流体，在隔离板35的下游侧使用超清净空气作为支持流体。因此，从气刀框架33的下游完全不使用水，玻璃板形成干燥状态。
又可以将洗涤设备1的各装置3、4、5、6中的作为支持装置传送带2的一部分形成为能够移动以使所支持的玻璃板向下方落下的结构(未图示)。例如，使其能够向输送方向的垂直方向移动时，传送带上的玻璃板向下方落下。或者也可以使带部向一方倾斜运动，以此使传送带从玻璃板的经过路线L避开，使玻璃板落下。通过采用这样的结构，即使是例如在洗涤时损伤玻璃板已经不能够制成成品的情况下，也能够容易地清除损伤的玻璃板，使输送线和洗涤设备不受玻璃碎片的污染。
如果采用这样的洗涤设备1，则流体导向装置8、27设置于经过路线L的单侧或两侧，因此支持用的液体的表面张力使得流体导向装置与玻璃板之间的间隙形成一定厚度的液体层，能够以不与构件接触的状态支持着玻璃板将其输送。而且通过采用液体作为导向用的流体，能够更加有效地从玻璃板上清除碎玻璃颗粒和其他尘埃。
又，在上述实施形态中，作为处理对象例示了玻璃板，但是在本发明中，不限于以玻璃板，例如以稀有金属、硅以及平面显示器用的玻璃板等各种板材为处理对象。
又，在上面所述的洗涤设备1中，清洗剂洗涤装置3、高压液体喷射洗涤装置4、精洗装置5以及除水装置6配置于一直线上，但是本发明不限于这样的结构。例如也可以形成从中途起输送路线垂直的配置，有可以平行配置。
这样，已经参照特定的例子对本发明进行了说明，但是这些例子只是说明用的例子，本发明不限于此，对于这一领域拥有一般知识的普通技术人员来说，在不脱离本发明的精神和范围的情况下可以对在这里公开的实施例进行各种变更、添加、或删除。
工业应用性
如果采用本发明，则对于大型化、薄型化的包含玻璃板的板材，能够实施可使其质量进一步提高的，迅速而且有效的洗涤处理。
Claims (18)
1.一种板材的清洗剂洗涤装置，其特征在于，具有
支持竖立状态的板材的下端的支持装置、
使流体压力作用于上述板材的侧面，从而以竖立的状态非接触地支持该板材的流体导向装置、以及
对竖立状态的板材提供清洗液用的清洗液供给部，
该清洗液供给部包含上述流体导向装置的至少一部分，该至少一部分流体导向装置形成能够对板材的侧面提供清洗液流的结构。
2.根据权利要求1所述的板材的清洗剂洗涤装置，其特征在于，
构成上述清洗液供给部的流体导向装置具有在水平方向上延伸的上下多级第一流体喷出部，在该第一流体喷出部排列着多个清洗液喷嘴。
3.根据权利要求1所述的板材的清洗剂洗涤装置，其特征在于，
构成上述清洗液供给部的流体导向装置还具有在水平方向上相互保持间隔设置的，在上下方向上延伸的第二流体喷出部，在该第二流体喷出部排列着多个清洗液喷嘴。
4.根据权利要求1所述的板材的清洗剂洗涤装置，其特征在于，
上述支持装置具有以竖立状态在水平方向上进行板材的输送的输送部，上述流体导向装置沿着输送部的输送路径配置。
5.根据权利要求4所述的板材的清洗剂洗涤装置，其特征在于，
在上述清洗液供给部中的从板材的输送方向观察时的上游侧和下游侧，沿竖立状态的板材的上下方向配置风帘部，该风帘部具有在上下方向上排列的多个空气喷嘴。
6.一种板材的高压液体喷射洗涤装置，其特征在于，具有
支持竖立状态的板材的下端的支持装置、
使流体压力作用于上述板材的侧面，从而以竖立的状态非接触地支持该板材的流体导向装置、以及
对着竖立状态的板材，从其两个侧面分别喷射高压液体用的高压液体喷射部。
7.根据权利要求6所述的板材的高压液体喷射洗涤装置，其特征在于，
上述支持装置具有以竖立状态沿水平方向输送板材的输送部，上述流体导向装置沿着输送部的输送路径配置。
8.根据权利要求7所述的板材的高压液体喷射洗涤装置，其特征在于，
上述高压液体喷射部具有可以在上下方向上移动的高压液体喷嘴，配置在板材两个侧面的各高压液体喷嘴夹着板材支持位置对置。
9.根据权利要求7所述的板材的高压液体喷射洗涤装置，其特征在于，
上述高压液体喷射部具有沿上下方向排列的多个高压液体喷嘴，配置在板材两个侧面的各高压液体喷嘴夹着板材支持位置对置。
10.根据权利要求9所述的板材的高压液体喷射洗涤装置，其特征在于，
形成上述高压液体喷嘴围绕实际上与作为洗涤对象的板材面垂直的方向的旋转轴心旋转的结构。
11.根据权利要求8所述的板材的高压液体喷射洗涤装置，其特征在于，
能够与高压液体喷嘴成一整体地沿上下方向移动的移动式流体导向装置与该高压液体喷嘴相邻配设。
12.根据权利要求7所述的板材的高压液体喷射洗涤装置，其特征在于，
在板材的输送方向上看的上游端侧，沿竖立状态的板材的上下方向配置水洗部，该水洗部具有沿上下方向排列的多个水喷嘴。
13.一种板材的除水装置，其特征在于，具有
支持竖立状态的板材的下端在水平方向上输送的输送装置、
使流体压力作用于上述板材的侧面，从而以竖立的状态非接触地支持该板材的流体导向装置、以及
竖立状态的板材的两侧分别从板材上方到下方对应地延伸设置的，对板材喷射膜状气流的除水部。
14.根据权利要求13所述的板材的除水装置，其特征在于，
在上述两个除水部的上游侧，在竖立状态的板材的两个侧面上，分别沿上下方向设置水洗部，该水洗部具有沿上下方向排列的多个水喷嘴。
15.根据权利要求13所述的板材的除水装置，其特征在于，
上述除水部向板材的输送方向观察时的上游方向倾斜着配置。
16.根据权利要求13所述的板材的除水装置，其特征在于，
上述水洗部向板材的输送方向观察时的上游方向倾斜着配置。
17.一种板材洗涤设备，其特征在于，具有
支持竖立状态的板材的下端进行输送的输送装置、
使流体压力作用于上述板材的侧面，从而以竖立的状态非接触地支持该板材的流体导向装置、
设置在上述输送装置的输送路径上的清洗剂洗涤装置、
设置在上述输送路径中的该清洗剂洗涤装置的下游侧的高压液体喷射洗涤装置、以及
设置在上述输送路径中的该高压液体喷射洗涤装置的下游侧的除水装置，
所述清洗剂洗涤装置具备：支持竖立状态的板材的下端的支持装置、使流体压力作用于上述板材的侧面，从而以竖立的状态非接触地支持该板材的流体导向装置、以及对竖立状态的板材提供清洗液用的清洗液供给部，该清洗液供给部包含上述流体导向装置的至少一部分，该至少一部分流体导向装置形成能够对板材的侧面提供清洗液流的结构，
上述板材的高压液体喷射洗涤装置，具有：支持竖立状态的板材的下端的支持装置、使流体压力作用于上述板材的侧面，从而以竖立的状态非接触地支持该板材的流体导向装置、以及对着竖立状态的板材，从其两个侧面分别喷射高压液体用的高压液体喷射部，
上述除水装置具有：支持竖立状态的板材的下端在水平方向上输送的输送装置、使流体压力作用于上述板材的侧面，从而以竖立的状态非接触地支持该板材的流体导向装置、以及从板材两侧面分别与竖立状态的该板材自上而下对应地延伸设置的，对板材喷射膜状气流的除水部。
18.根据权利要求17所述的板材洗涤设备，其特征在于，
在上述高压液体喷射洗涤装置与除水装置之间设置精洗装置，该精洗装置在上述输送装置的两侧具有上述流体导向装置。
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