CN1909203A - 夹紧装置、基板传送装置、和在线式fpd自动光学检测装置 - Google Patents

Abstract

本发明公开了一种基板夹紧装置和基板传送装置，用于通过机械地固定基板的其中一侧并通过真空吸附而传送基板。该基板夹紧装置包括：上卡盘；下卡盘，其构造成在该上卡盘和下卡盘之间放入并夹住基板；和吸气嘴，其构造成在该上卡盘和下卡盘的彼此相对的相对面的至少一个上吸附并固定基板，从而防止由该基板夹紧装置固定的基板在基板传送过程中发生分离或在接触面上产生划痕。在基板夹紧装置夹紧的基板高速移动时，本发明防止该基板与该基板夹紧装置发生分离，从而确保基板传送的可靠性并提高产品的生产率。

Description

夹紧装置、基板传送装置、和在线式FPD自动光学检测装置

技术领域

本发明涉及夹紧装置、基板传送装置、和在线式(in-line)平板显示器自动光学检测装置，更具体地涉及可通过增加用于传送该基板的夹持力而防止基板分离或其固定位置变化的夹紧装置、基板传送装置、和在线式平板显示器自动光学检测装置。

背景技术

在平板显示器(FPD)的制造过程中，可能在基板上形成划痕或各种疵点。采用显示器面板检测设备检测划痕或各种疵点，以降低次品率。例如，在引导诸如TFT-LCD基板、PDP或滤色器的显示器基板时，使用光学透镜和CCD照相机捕获正在检测物体的图像，在此之后，在线式FPD自动光学检测装置可使用视觉图像处理算法来探测各种缺陷。

图1为示出了设置有基板夹紧装置以检测基板500的基板传送装置的视图。

如图1所示，形成有用于浮起基板500的中央部的支承台800，基板驱动单元用于传送放入在支承台800中的基板500的夹紧装置安装在支承台800的两个相对面上。同样地，基板500在下述状态下经过支承台800的上部，其中该基板的两个相对面由夹紧装置700支撑。此时，若基板为大尺寸基板，则该基板500的中央部由于该基板的自重而倾斜，不会保持平整状态。因此，该支承台上形成有气隙，使得可在空气悬浮的状态下传送基板500。此外，例如CCD照相机的视觉设备(未示出)检查该传送的基板是否正常，并且可安装在支承台800的上部。

然而，最近，随着大尺寸基板及其高速传输的快速发展，当传统的夹紧装置700采用缸的机械夹持力固定基板500时，其缺点在于，因为用于固定基板500的夹持力，基板500在该基板的传送过程中从夹紧装置700分离。此外，即使基板500不完全分离，基板500也从夹紧装置700固定的位置滑动一个预定距离，从而在基板上产生划痕。

发明内容

因此，本发明用于解决现有技术中出现的上述问题，并且本发明的目的是提供一种夹紧装置、一种基板传送装置和在线式FPD自动光学检测装置，用于紧密地固定基板，这可防止基板从该基板夹紧装置分离或浮起。

本发明的其它优点、目的和特征，部分将在本说明书中随后进行阐述，部分对于本领域技术人员而言通过研究下面的内容将会更明白，或者可从实践本发明而得知。

在本发明的一个方面中，提供一种基板夹紧装置，其包括：上卡盘；和下卡盘，其构造成在该上卡盘和下卡盘之间放入基板并夹住该基板，其中，构造成吸附并固定基板的吸气嘴形成于该上卡盘和下卡盘的相对面的至少一个上，这两个相对面彼此相对。

优选地，为了防止真空压力泄露，吸气嘴从基板接触面突出预定的高度，并由柔软弹性材料制成。

在上卡盘和下卡盘的至少其中一个相对面上形成有贯通孔，并且吸气嘴可设置在该贯通孔中并在所述相对面上布置成一行或多行。此外，至少其中一个相对面设置有包括PEEK、高分子量聚乙烯(highpolymer polyethylene)和氟树脂化合物中的其中一种的减震器，以防止由于与基板接触而使基板损坏。

在本发明的另一方面中，提供一种基板传送装置，其包括：基板夹紧装置，其包括上卡盘和下卡盘，所述上卡盘和下卡盘构造成在该上卡盘和下卡盘之间放入基板并夹住该基板，其中该上卡盘和下卡盘的至少其中一个相对面上设置有基板夹紧装置，该基板夹紧装置具有用于吸附并固定基板的吸气嘴；和支承台，其构造成将基板支撑在真空压力上，该基板夹紧装置安装在该支承台的一侧或两侧。

该支承喷嘴包括多个空气喷嘴和滚筒单元，这些空气喷嘴构造成浮起该基板，所述滚筒单元构造成传送该基板。

优选地，该支承台形成有例如氟塑料或聚四氟乙烯(Teflon)的涂层。

在本发明的一个方面中，提供一种在线式FPD自动光学检测设备，其包括：传送板，其安装在支承台的一侧；夹具和固定对齐点，其设置在该传送板的一侧；和可变的对齐点，其设置在该传送板的另一侧，其中该传送板在垂直于基板传送方向的基板宽度方向上移动，并在绕着垂直于基板的转轴的转动方向上转动。

在线式FPD自动光学检测装置包括基板对齐单元，该基板对齐单元包括驱动单元，该驱动单元构造成移动并转动所述传送板。

参照图1，基板传送装置包括：支承台800，其用于浮起基板500的中央部；和夹紧装置600，其安装在该支承台800的相对侧的一侧或两侧。夹紧装置600设置有吸气嘴，所述吸气嘴形成于该上卡盘和下卡盘的至少其中一个相对面上，这两个相对面彼此相对。

图2为示出了安装在基板传送装置中的基板夹紧装置的侧视图。

参照图2，构造成夹紧基板500的边缘的基板夹紧装置装备有形成为板形的上卡盘100a和下卡盘100b，上卡盘100a和下卡盘100b用于夹紧***在该上卡盘100a和下卡盘之间的基板500。构造成吸附并固定该基板500的吸气嘴形成于该上卡盘100a和下卡盘100b的至少其中一个相对面上，这两个相对面彼此相对。

首先，将解释包括设置有吸气嘴110的上卡盘100a和下卡盘100b的基板夹紧装置。

根据本发明的基板夹紧装置包括：固定单元100，其具有上卡盘100a和下卡盘100b，用于通过机械压力和真空吸附而固定基板500的一侧；竖直传送单元200，其用于上下移动固定单元100；水平传送单元300，其用于根据基板500的尺寸而朝向基板500或在与基板500相反的方向上(此后，称为“基板的宽度方向”)移动该固定单元100；以及传送板400，其用于在基板500的传送方向上移动该固定单元100。

例如，用于夹住该基板500的一侧或两侧的固定单元100包括上卡盘100a和100b，该下卡盘与该上卡盘隔开预定间距，并可上下移动。用于真空吸附该基板500的吸气嘴110安装在该上卡盘100a和下卡盘100b的相对面上，这两个相对面彼此相对。下面将更详细地解释。下卡盘100b接触上卡盘100a的一侧，并构造成当基板500进入到该上卡盘100a和下卡盘100b之间时，通过沿着上卡盘100a的接触面向上移动而固定基板500。此时，由于基板500的厚度约为0.7mm，可通过上下精密地移动下卡盘100b而控制上卡盘100a和下卡盘100b之间的间距。

用于上下移动固定单元100的竖直传送单元200上下移动该固定单元100，使得基板500可根据该基板500的尺寸或处理工艺而定位在相应的高度。竖直传送单元200还通过由普通的真空压力缸构成的竖直传送单元而连接到该固定单元100。

用于在基板500的宽度方向上移动固定单元100的水平传送单元300通过水平传送工具连接到竖直传送单元200。可沿水平方向移动的常规的油压缸或真空压力缸可作为水平传送单元使用。水平传送装置300通过从基板500向后移动固定单元100而将基板移动到固定位置，以防止在基板500的装入操作和取出操作中与基板500干涉，然后在装入基板500之后将固定单元100朝向基板500移动。

用于沿着支承台传送固定单元100的传送板400在其下部支撑固定单元100、竖直传送单元200和水平传送单元300，该传送板还可滑动经过传送路径而移动，所述传送路径沿着该支承台的一侧或两侧的长度方向形成。

附图说明

通过下面结合附图所进行的详细描述，可更明白本发明的上述和其它目的、特征和优点，其中：

图1为示出了设置有基板夹紧装置的基板传送装置的平面图；

图2为示出了根据本发明的示例性实施方式的基板夹紧装置的侧视图；

图3a和3b为示出了根据本发明的示例性实施方式的设置有吸气嘴的基板夹紧装置的立体图；

图4a为示出了根据本发明的示例性实施方式的设置有吸气嘴的基板夹紧装置的构造的视图；

图4b为示出了根据本发明的变化实施方式的设置有吸气嘴的基板夹紧装置的构造的视图；

图5为示出了安装状态的视图，其中基板由根据本发明的示例性实施方式的基板夹紧装置的吸气嘴所固定。

图6为示出了根据本发明的示例性实施方式的另一基板夹紧装置的视图；

图7为示出了根据本发明的示例性实施方式的设置有吸气嘴的基板夹紧装置的构造的视图；

图8为示出了安装状态的视图，其中该基板由根据本发明的示例性实施方式的基板夹紧装置的吸气嘴所固定。

图9为示出了根据本发明的另一示例性实施方式的设置有吸气嘴的基板夹紧装置的构造的视图；

图10为示出了根据本发明的在线式平板显示器(FPD)自动光学检测装置的示意图；

图11为示出了根据本发明的滚筒的截面图；

图12为示出了滚筒的变化实施例的截面图；

图13a到13c为示出了处理工艺的截面图，其中基板安全地安装在该基板传送装置上；

图14为示出了在线式FPD自动光学检测装置的示意图；

图15和16为示出了根据本发明的基板对齐单元的平面图和截面图；

图17为示出了步进马达的视图；和

图18a到18e为示出了根据本发明的基板对齐单元的操作的平面图。

具体实施方式

下面，将参照附图详细地描述本发明的优选实施方式。

下面将更详细地解释能以真空吸附基板的上卡盘和下卡盘。

如图3a到5所示，用于固定基板的固定单元100包括上卡盘100a和下卡盘100b。用于吸附并固定基板500的吸气嘴110形成于上卡盘100a和下卡盘100b彼此相对的相对面的至少一个上。换言之，至少其中一个相对面设置有贯通上卡盘100a和下卡盘100b的贯通孔150。吸气嘴110设置在贯通孔150中。此时，吸气嘴110可形成于上卡盘100a和下卡盘100b的一个或两个相对面上。若吸气嘴110形成于上卡盘100a和下卡盘100b的两个相对面上，优选地，吸气嘴110形成于上卡盘100a和下卡盘100b的同一轴线上并彼此面对，以在基板500的一侧和另一侧的相同位置同时进行吸附。根据该示例性实施方式，尽管在贯通孔150中设置有吸气嘴，但是可通过将吸气单元130连接到贯通孔150而借助贯通孔150吸附基板。

吸气嘴110具有与基板500接触的接触面(即上表面)，并形成用于朝该上表面内侧抽吸空气的空气通道120。该空气通道120连接到吸气单元130，吸气单元130用于执行与用于抽吸空气的泵相同的操作。此外，吸气嘴110可在相对面上对齐成一行或多行。例如，多个吸气嘴110可在相对面上对齐成矩阵形状的固定样式。

强度低于基板500的减振器可安装在上卡盘100a和下卡盘100b的相对面上，以防止基板500损坏。减振器可包括高性能热塑性树脂的聚醚醚酮(polyetheretherketone，PEEK)、热塑性树脂的高聚合物聚乙烯——其中聚合有乙烯、和氟树脂化合物——其是氟化烃(HFC)的聚合物中的至少一种。

图6到8示出了根据本发明的夹紧装置的示例性实施方式。

参照图6到8，用于夹住基板500的一侧或两侧的固定单元100包括上卡盘100a和下卡盘100b，下卡盘100b可上下移动并与上卡盘100a以一个预定间距隔开。

此外，吸气嘴111由柔软弹性材料的硅制成，并且从相对面突出1～2mm的高度。此时，若吸气嘴111从相对面的突出高度高于2mm，可能由于折叠而形成泄漏空气的空间，其由于柔软弹性材料制成的吸气嘴111的穿透而端产生，而若吸气嘴111突出高度低于1mm，在抽吸空气时难以使得吸气嘴111的突出端进行吸附，同时弄皱该基板。

接触到基板的接触面形成于吸气嘴111的上表面，并且空气通道120形成于吸气嘴111的内侧，其中通过可实现泵的功能的吸气单元130而抽吸空气。在吸气嘴111的外表面，朝向吸气嘴111内侧倾斜的多个台阶通过多级延伸而形成。此外，吸气嘴111可在相对面上对齐为一行或多行，例如当吸气嘴111在相对面上对齐为一行或多行时，以矩阵形式的固定样式对齐。

图9为示出了根据本发明的另一示例性实施方式的设置有吸气嘴的基板夹紧装置的构造的视图。

如图9所示，固定单元100’可设置有真空垫110’，该真空垫110’可实现吸气嘴的功能。换言之，真空垫110’可形成为具有细孔的吸附板的形状，从而在接触到基板500时在整个吸附面上进行吸附。此外，多个空气通道120’可以预定间距隔开并与真空垫110’的底部连接，从而可通过吸气单元130抽吸空气。

下面将解释如上构造的本发明的操作。

首先，当基板500被装入基板传送装置中时，在借助缸机械地固定基板500的一侧或两侧后，夹紧装置通过吸附空气而固定该基板500，并且由该夹紧装置固定的基板500沿着该基板传送装置的支承台移动。

例如，当基板500被放入到该夹紧装置的上卡盘100a和下卡盘100b之间时，下卡盘100b移动到该基板500的上部并且该基板500固定在该上卡盘100a和下卡盘100b之间。此时，安装在上卡盘100a和下卡盘100b的相对面上的减振器减少由于基板500接触上卡盘100a和下卡盘100b而产生的摩擦所造成的损坏。诸如聚醚醚酮(PEEK)、高分子量聚乙烯和氟树脂化合物的材料可用作减振器。

接着，当基板500由上卡盘100a和下卡盘100b的机械力固定时，使用夹紧装置的基板500的夹持力通过抽吸空气再次固定基板500而增加，这通过吸气嘴110而形成于接触基板500的表面上，吸气嘴110形成于上卡盘100a和下卡盘100b的相对面上。此时，吸气嘴110可形成于上卡盘100a和下卡盘100b的一个或两个相对面上。而且，当吸气嘴110形成于上卡盘100a和下卡盘100b的两个相对面上时，优选地，通过将吸气嘴对齐在上卡盘100a和下卡盘100b的同一轴线上而使得该吸气嘴110同时吸附基板500的一侧和另一侧。基板500在下述状态下由夹紧装置沿着支承台传送，其中基板500由上卡盘100a和下卡盘100b机械地固定，并且使用夹紧装置的基板500的夹持力通过吸气嘴110的真空吸附而增加。

如上所述，即使基板500高速传输，本发明可防止基板从夹紧设备分离，通过借助压力缸机械地固定基板500并通过吸气嘴110借助真空吸附而固定基板500，本发明可确保可靠地传送基板，而避免基板500的固定位置和对齐位置发生变化，并避免划痕，划痕产生于固定状态时的基板500的滑动。

参照图10，在线式FPD自动光学检测装置包括支承台、支承机械手、基板传送单元和传送浮起单元。

支承台600形成为沿纵向延伸，即沿基板500传送的传送方向延伸，并重新对齐装入的基板500。在水平方向上垂直于该传送方向的支承台600的宽度可形成为比基板500的宽度小。此外，支承台600沿传送方向而引导装入的基板500。该传送装置的路径单元630安装在支承台600的水平方向的一侧。路径单元630形成为在竖直方向上延伸，与支承台600类似，并且竖直方向的宽度比支承台600的宽度小。支承台600上形成有用于浮起基板的空气喷嘴610。

基板500安装在支承台600的另一侧，支承台600设置在与固定单元100相对的位置。用于引导基板500的运动的滚筒装置620安装在支承台600的另一侧。如图11所示，滚筒装置620包括滚筒621和用于支撑该滚筒的滚筒支撑板622。多个滚筒单元620安装在其中一个路径单元630中，这些路径单元在水平方向上安装在支承台600的两侧。滚筒621在基板的支承方向上自由地旋转，并且使用滚动轴承以减小旋转中的摩擦。滚筒支撑板622包括第一支撑板622a和第二支撑板622b。滚筒支撑板622安装在路径单元630中，第二支撑板622b安装真空压力缸，从而可移动地安装到第一支撑板622a。根据基板500的尺寸，第一支撑板622a可在支承台600的基板方向上移动。

如图12所示，在滚筒上可安装传送带，使得多个滚筒彼此接合并且增加基板的接触面积。如图12所示，仅安装了一条传送带，但是也可安装多条传送带。

接下来，将解释设置有基板传送装置的基板检测装置的操作。

参照图10，支承机械手(未示出)从基板储料器(未示出)拿取基板500，然后朝向支承台600的入口运送基板。当基板装载到支承台600上时，形成有多个微小直径喷嘴610的基板浮起单元通过喷嘴610而使基板500浮起预定距离。接着，固定单元100位于基板500的一端。固定单元100在垂直于传送方向的水平方向上移动，并且接合到位于上卡爪和下卡爪之间的基板500而固定基板500。而且，如图13a到13c所示，根据基板500的尺寸，在固定单元100的相对侧的滚筒装置620与基板500另一侧的端部邻近地设置在同一高度。此时，固定单元100a和100b向上移动一点，使得防止与滚筒装置620发生干涉，并朝向滚筒620移动以将基板500定位在滚筒装置620的上部。固定单元100a和100b下降以将基板500安全地放置在滚筒620的上部上。在安全地安装后，基板500使用5点型的校准器对齐，该校准器安装在路径单元630和支承台600中。

当基板500借助基板传送单元而稳固地对齐并安装时，固定单元100a和100b开始在传送方向上移动，并且滚筒装置620的滚筒开始自由地在基板500移动的方向上旋转。当到达检测单元时，基板500接受检测，同时以固定速度移动。使用例如光学透镜和CCD照相机的检测设备来执行对基板500的样式检测和缺陷检测。完成检测的基板500由基板传送单元移动到支承台600的出口。取出支承机械手前后移动同时向上移动手臂，从而从支承台600取出已检测的基板500，而将基板500存储在基板储料器(未示出)中。已完成基板500传送的固定单元100a和100b开始在与支承方向相反的方向移动并停在初始位置，从而完成操作。

尽管附图中未示出，优选地，支承台的上表面形成有例如氟树脂或聚四氟乙烯(Teflon)的涂层，厚度为10～100微米。若形成有涂层，即使基板在沿着已涂层段的空气滑动件的表面高速传送时发生被触及，也可防止基板损坏。

此外，本发明在基板的表面上形成有电极膜，在支承台的一部分上表面上形成有电导体，并包括用于向电极膜或电导体提供电力的供电单元、和用于探测电极膜是否电连接到电导体的接触探测单元，从而防止在基板传输时产生划痕。

此外，即使形成于支承台的上表面上的空气滑动件的表面在基板传输时异常地塌陷，本发明可通过滚筒安全地传输基板，该滚筒包括用于感应空气喷嘴气压的传感器和用于进行控制的控制器，使得该滚筒可根据穿过传感器的气压是否正常而上下移动。

参照图14，在线式FPD自动光学检测装置包括传送台18、传送机械手12a和12b、基板传送装置20、空气滑动件14、检测单元15和基板对齐单元16。

传送台18包括传送段30和底板22。传送段30形成为在纵向上延伸，即在基板10的传送方向上延伸，并沿传送方向而引导被装入的基板10。传送设备的底板22在水平方向上安装在传送段30的一侧。底板22形成为在纵向竖直方向上延伸，与传送段30类似，并且其水平方向的宽度一般比传送段30的宽度小。此外，线性轨道24形成为在底板22的上表面上沿水平方向延伸。

在传送机械手12中，第一机械手12a和第二机械手12b分别安装在传送台的入口和出口处。第一机械手12a从基板储料器(未示出)取出未检测的基板10，同时转动，由多关节臂前后移动，并朝向传送段装入该未检测的基板10。第二机械手12b将已经完成检测的基板10取出并送到基板储料器(未示出)。

检测装置15安装在传送段30的上部，该检测装置包括支撑板15a和附连到该支撑板的检测设备15b。检测设备15b安装成可以绕着传送方向前后转动到固定的角度，从而允许精密地检测基板10。

空气滑动件14安装在传送段30的上表面上。换言之，空气滑动件14包括多个具有微小直径的喷嘴21，这些喷嘴形成于传送段30的上表面上。通过喷嘴21将空气喷射到传送段30的上部而使基板10浮起到预定高度。同样，若基板10在从基板传送段30浮起一个预定距离的状态下传送，可高速传基板10，而不会接触到其它部分，并防止基板10的表面在传送工艺中受损或玷污。

参照图15和16，基板传送装置包括：第一传送板60，其安装成可在底板22的线性轨道24上移动；和基板传送驱动单元72，其用于在基板传送方向上传送第一传送板60。第二传送板62安装在第一传送板60的上表面上，从而可在水平方向——即基板10的水平方向上移动，竖直转轴70设置在第二传送板62的上表面上，第三传送板62安装成可绕该转轴转动。第一和第二驱动单元66和68与第一和第二传送板60和62连接，以前后移动并转动第二和第三传送板62和64。多个夹具和固定对齐点20和36a设置在第三传送板64上。同时，可变的对齐点36b设置在传送板的对侧。

优选地，步进马达用作第一和第二驱动单元66和68，其安装在第一和第二传送板60和62的上表面上，以前后移动并转动第二和第三传送板62和64。此外，优选地，线性马达用作基板传送驱动单元72，以在纵向上移动第一基板板60。当然，这些驱动单元的位置可根据实际情形而变化。例如，第二驱动单元68安装成邻接竖直轴，通过推和拉第三传送板64而使得第三传送板64转动。此外，第一和第二驱动单元66和68在第一传送板60上安装在转轴70的两侧，使得可通过推和拉第三传送板64而控制第三传送板64的前后移动及转动。因此，通过设置竖直转轴，第二传送板62可为引导件，用于引导在第一传送板60上沿基板的宽度方向的运动。

如图17所示，普通4相步进马达38包括转子40和定子42。转子40包括：磁化为轴线方向的永磁体44、及其外侧的上铁芯46和下铁芯48。上铁芯46和下铁芯48分别磁化为永磁体44的N极和S极，并且4相激励线圈缠绕到定子42上。当直流电流(DC)流经线圈50时，定子42磁化并拉动转子40。此后，轴52借助转子40转动固定角度。

同样地，步进马达38一般用于精密地控制机械运动。与伺服马达相比，步进马达38更为便宜且有利地精确控制角度。具体地，由于步进马达可由脉冲数码地控制，其优点在于能以极小的单位控制。此外，由于步进马达38可转动一个固定角度，明显地并精确地停住，并可容易地修复和装备且具有高可靠性，而无需用于检测马达轴位置的反馈。此外，由于当马达停止时产生大的静态扭矩，就不需要例如电子制动器的保持设备。

根据基板10的尺寸，构造成夹住基板10的夹具20在第三传送板64上形成为一行或以相等的数目(例如3到5个)形成为多行。

再参照图16，夹具20包括构造成夹住基板10的上卡爪32a和下卡爪32b、间距控制器34和水平移动单元36。

上卡爪32a和下卡爪32b在上下方向上隔开预定间距，并且二者之一可上下移动。由此，基板10以下述状态固定，其中基板10水平方向的一侧***到上卡爪32a和下卡爪32b中。

间距控制器34形成于下卡爪32b的下表面上，并且上下移动上卡爪32a和下卡爪32b的其中一个。在装入或取出基板10时，间距控制器34在上卡爪32a和下卡爪32b之间延伸一个间距，并减小该间距以在完成装入基板10后固定基板10，使得基板10与上卡爪32a和下卡爪32b彼此接触。

因为间距已经根据基板10的尺寸而改变，所以水平移动单元36在基板方向或其相反方向上水平地移动上卡爪32a和下卡爪32b。

固定的对齐点36b在第三传送板64上设置成平行于夹具20。例如，固定的对齐点36b可设置在夹具20的最左侧和最右侧。同时，可变的对齐点36a设置在底板上与固定对齐点36b相对的一侧。此外，可变的对齐点36a包括弹性地接触到基板10的例如弹簧的弹性单元。固定对齐点36b是固定单元，可变的对齐点36a可执行直线运动，其借助专门的驱动单元在基板的宽度方向上前后运动。

接下来，将解释设置有基板对齐单元的基板检测装置的操作。

参照图3，在从基板储料器(未示出)取到基板10后，基板机械手12a朝向传送板18的入口运送基板10。当基板10装载到传送段30后，形成有多个微小直径喷嘴21的空气滑动件14在通过喷嘴21使基板10浮起预定间距后，开始对齐基板10。

如图18a到18e所示，若基板10以未对齐的状态装载，可变的对齐点36a开始在基板方向上移动，其中该基板传送装置位于传送段30一侧，而该可变的对齐点36a设置在基板传送装置的相对侧。此时，第一传送板60上方的第二传送板62在基板方向上由于第一驱动单元的操作而开始移动。在基板方向上移动的该可变的对齐点36a如图18b所示地移动，直到基板在宽度方向上对齐，与固定对齐点36b在夹具20的同一条线上。此时，夹具20不夹住基板10。夹具20保持基板10的位置，以通过移动上卡爪和下卡爪而如图18c所示地夹住基板10，并且支撑板35在基板方向上连接到主体32和33，而可变的对齐点36a向后移动。接着，夹具20和固定对齐点36b在传送方向上借助基板传送驱动单元72而移动一个预定间距，以选择性地对齐基板传送方向的起点。在完成对齐后，通过驱动第二驱动单元68而使第三传送板64绕转轴39转动一个预定角度，从而完成对齐，如图18d和18e所示。在附图中，转动角度示出为大角度，以显示转动运动。然而，基板10是通过非常微小角度的转动而对齐的。

再参照图14，若基板10稳固地对齐并安装，夹具20开始在传送方向上移动。抵达检测单元15的基板10在以固定速度移动的同时接受检测。通过使用例如光学透镜和CCD照相机的检测设备来对基板10进行样式检测和缺陷检测。接着，根据基板10的样式，重复进行基板10的再次对齐和检测。此外，完成检测的基板10借助夹具20移动到传送段30的出口。用于取出基板的支承机械手12b转动并前后移动，同时向上移动手臂。接着，从支承段30取到完成检测的基板10并将该取到的基板10储存在基板储料器(未示出)中。完成基板10传送的夹具20对齐到该初始位置，然后该过程完成。

根据本发明的夹紧装置、基板传送装置和在线式平板显示器自动光学检测装置产生以下有益效果。

首先，当由基板夹紧装置夹住的基板高速移动时，防止基板从基板夹紧装置分离，从而确保基板传送的可靠性并提高产品生产率。

第二，防止基板的位置变化，从而使得基板可传送到固定位置。

第三，通过使用基板夹紧装置机械地夹住基板，可防止在基板表面上产生划痕。

第四，吸气嘴由柔软弹性材料制成，并形成为从基板接触表面突出预定高度，从而***漏空气形成真空压力，该真空压力可通过紧密地密封基板而在基板和吸气嘴之间产生。

第五，基板检测装置的基板传送单元在仅夹住基板的一端的状态下传送基板，从而使得可有效并稳固地传送平板显示器。

第六，通过控制位于支承段一侧的马达，而不是控制用于同步地控制位于支承段相对侧的马达的已有***，可减小制造成本，并且可免除同步控制中产生的风险因素。

第七，即使基板在沿着形成有涂层的段的空气滑动件表面高速传送的同时发生接触，也可防止基板发生损坏。

第八，当传送基板时，即使形成于支承台上表面上的空气滑动件表面出现故障，基板还可由用于支撑基板的滚筒安全地传送。

第九，由于检查基板是否接触支承台的上表面，从而可防止在基板上产生划痕。

第十，基板检测装置的基板对齐单元的对齐点仅设置在基板的两个表面上，显而使得其构造可简化。

第十一，通过使用由脉冲驱动的步进马达，可实现高准确度和高精度的对齐，并且运行时在任意时刻可进行对齐修正。

已经基于示例性的目的描述了本发明的优选实施方式，本领域技术人员将理解，在不偏离本发明的权利要求中所公开的范围和精神的情况下，可有各种修正形式、增加和替代形式，。从而，本发明的范围应该由附带的权利要求及其法律上的等同物限定。

Claims (35)

1.一种基板夹紧装置，其包括：

上卡盘；和

下卡盘，其构造成将基板放入在所述上卡盘和下卡盘之间并夹住所述基板，

其中，构造成吸附并固定所述基板的吸气嘴形成于所述上卡盘和下卡盘的相对面中的至少一个上，这两个相对面彼此相对。

2.如权利要求1所述的基板夹紧装置，其中所述吸气嘴形成为从基板接触面突出预定的高度。

3.如权利要求2所述的基板夹紧装置，其中所述吸气嘴形成为从所述基板接触面突出的高度为1～2mm。

4.如权利要求2所述的基板夹紧装置，其中所述吸气嘴通过延伸多个台阶而形成，所述台阶形成为使得所述吸气嘴的外表面朝向吸气嘴的内侧向下倾斜。

5.如权利要求1或2所述的基板夹紧装置，其中在所述上卡盘和下卡盘的彼此相对的相对面中的至少一个上形成有贯通孔，并且吸气嘴设置在所述贯通孔中。

6.如权利要求1或2所述的基板夹紧装置，其中所述吸气嘴在所述相对面上布置成一行或多行。

7.如权利要求1或2所述的基板夹紧装置，其中所述吸气嘴由硅弹性材料制成。

8.如权利要求1或2所述的基板夹紧装置，其中，所述相对面中的至少一个设置有减震器，用于防止所述基板损坏。

9.如权利要求8所述的基板夹紧装置，其中所述减震器包括PEEK、高分子量聚乙烯和氟树脂化合物中的至少一种。

10.一种基板传送装置，其包括：

根据权利要求1或2所述的基板夹紧装置；和

支承台，通过在该支承台的一侧或两侧安装所述基板夹紧装置所述支承台构造成将基板支撑在真空压力上。

11.如权利要求10所述的基板传送装置，其中所述支承台还包括多个空气喷嘴和滚筒单元，这些空气喷嘴构造成浮起该基板，所述滚筒单元构造成传送所述基板。

12.如权利要求11所述的基板传送装置，其中所述滚筒单元包括滚筒和滚筒支撑板。

13.如权利要求12所述的基板传送装置，其中多个所述滚筒单元沿所述支承台的传送方向安装。

14.如权利要求12或13所述的基板传送装置，其中所述滚筒由滚动轴承支撑。

15.如权利要求12或13所述的基板传送装置，其中所述滚筒支撑板包括第一支撑板和第二支撑板，该第一支撑板关于第二支撑板在基板方向上可移动地安装。

16.如权利要求15所述的基板传送装置，其中有真空压力缸位于所述第一支撑板和第二支撑板之间。

17.如权利要求12或13所述的基板传送装置，其中有传送带卷绕在所述多个滚筒单元上。

18.如权利要求10所述的基板传送装置，其中在所述支承台的上表面的一部分上形成有涂层。

19.如权利要求18所述的基板传送装置，其中所述涂层包括氟树脂。

20.如权利要求18所述的基板传送装置，其中所述涂层包括聚四氟乙烯。

21.如权利要求18所述的基板传送装置，其中所述涂层的涂覆厚度为10～100mm。

22.如权利要求12所述的基板传送装置，还包括：

传感器，其构造成感测空气喷嘴的气压；和

控制器，其构造成根据所述传感器所感测的气压是否正常而控制所述滚筒上下移动。

23.如权利要求11所述的基板传送装置，其中在所述表面的表面上形成有电极膜，并且在所述支承台的上表面的一部分上设置有导体。

24.如权利要求23所述的基板传送装置，还包括：

供电单元，其构造成向所述电极膜或导体提供电力；和

接触感应单元，其构造成感测在所述电极膜和导体之间是否有电流流动。

25.如权利要求12所述的基板传送装置，其中所述滚筒的表面包括PEEK、高分子量聚乙烯和氟树脂化合物中的至少一种。

26.在权利要求12或13中的任一项中所要求保护的在线式FPD自动光学检测装置。

27.如权利要求26所述的检测装置，还包括：

传送板，其安装在传送段的一侧；

夹具和固定对齐点，其安装在传送板的一侧；

可变的对齐点，其安装在传送板的另一侧；和

驱动单元，其构造成移动并转动传送板，

其中所述传送板在垂直于基板传送方向的基板宽度方向上移动，并安装成在绕垂直于基板的转轴的转动方向上转动。

28.如权利要求27所述的检测装置，其中所述传送板包括：第一传送板，其安装在所述传送段的一侧上，而在所述基板传送方向上是可移动的；第二传送板，其安装在该第一传送段上，而在所述基板宽度方向上是可移动的；和第三传送板，其安装成可绕垂直于基板的旋转轴线转动，其中所述夹头和固定对齐点设置在该第三传送板上。

29.如权利要求28所述的检测装置，其中所述驱动单元包括第一和第二驱动单元，其构造成在基板宽度方向上移动所述第三传送板并绕竖直轴转动。

30.如权利要求29所述的检测装置，其中所述第一和第二驱动单元是步进马达。

31.如权利要求27到30中任一项所述的检测装置，其中所述传送板在基板传送方向上可移动地安装在所述传送段上。

32.如权利要求27到30中任一项所述的检测装置，还包括构造成在所述基板传送方向上移动所述传送板的基板驱动单元。

33.如权利要求27到30中任一项所述的检测装置，其中所述固定对齐点设置在所述第三传送板的最右侧和最左侧。

34.如权利要求27到30中任一项所述的检测装置，其中所述可变的对齐点还包括弹性单元，并弹性地接触所述基板。

35.如权利要求27到30中任一项所述的检测装置，其中所述可变的对齐点还包括自己的驱动单元，并在所述基板宽度方向上运动。

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