CN1828423A - 一种曝光掩模板的固定方法 - Google Patents
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Abstract
本发明涉及一种曝光掩模板的固定方法。其特点是,该方法步骤为:第一:玻璃板底部放置曝光掩模板,曝光掩模板通过四周的胶带与玻璃板紧密贴合;第二:在玻璃板的边缘处打一个小孔;第三:在小孔处装一根管子,并将管子和玻璃板密封连接;第四:再将管子的另一端与抽真空装置连接;第五:启动抽真空装置,玻璃板和曝光掩模板之间形成一个真空区域。采用管子一端与玻璃板密封连接,另一端与抽真空装置相连,在生产过程中,始终保持抽真空状态,即玻璃板和曝光掩模板之间为一个真空区域,即使由于曝光掩模板粘贴不平或发热变形,曝光掩模板也不会下垂,有效避免曝光图形变形而造成对产品质量的影响。
Description
技术领域
本发明涉及一种液晶显示器件生产的技术领域,尤其涉及一种曝光掩模板的固定方法。
背景技术
在液晶显示器件生产过程中,有一个曝光工序,它是用一张由菲林制成的曝光掩模板覆在已涂满感光胶的ITO玻璃上,通过紫外光照射,使部分感光胶受光。对于曝光掩模板的固定,现有技术中一般采用胶带1将曝光掩模板2粘贴在玻璃板3上的方式进行,如图1所示。该方法存在的问题是:由于曝光掩模板自身重量或当其工作时间较长而变热时,曝光掩模板会变形下垂,如图2所示,造成曝光出来的图形变形,最终影响产品的质量。
发明内容
本发明是提供一种可避免曝光掩模板变形下垂,提高产品合格率的一种曝光掩模板的固定方法。
本发明的技术方案是这样的:一种曝光掩模板的固定方法,其特点是,该方法步骤为:
第一:玻璃板底部放置曝光掩模板,曝光掩模板通过四周的胶带与玻璃板紧密贴合;
第二:在玻璃板的边缘处打一个小孔;
第三:在小孔处装一根管子,并将管子和玻璃板密封连接;
第四:再将管子的另一端与抽真空装置连接;
第五:启动抽真空装置,玻璃板和曝光掩模板之间形成一个真空区域。
本发明有益效果:采用管子一端与玻璃板密封连接,另一端与抽真空装置相连,在生产过程中,始终保持抽真空状态,即玻璃板和曝光掩模板之间为一个真空区域,即使由于曝光掩模板粘贴不平或发热变形,曝光掩模板也不会下垂,有效避免曝光图形变形而造成对产品质量的影响。
附图说明
图1是现有技术的结构示意图;
图2是现有技术的曝光图形变形的示意图;
图3是本发明结构示意图。
具体实施方式
下面结合附图与实施例对本发明作进一步的说明。
图3所示:一种曝光掩模板的固定方法,其特点是,该方法步骤为:第一:玻璃板3底部放置曝光掩模板2,曝光掩模板2通过四周的胶带1与玻璃板3紧密贴合;第二:在玻璃板3的边缘处打一个小孔;第三:在小孔处装一根管子4,并将管子4和玻璃板3密封连接;第四:再将管子的另一端与抽真空装置连接;第五:启动抽真空装置,玻璃板3和曝光掩模板2之间形成一个真空区域。
在玻璃板3的边缘处打一个小孔,在小孔中装一根管子4,并将管子和玻璃板的连接处密封以免漏气。管子的另一端与抽真空装置相连。在生产过程中,始终保持抽真空状态。这样,由于玻璃板和曝光掩模板之间为一个真空区域,即使由于曝光掩模板粘贴不平或发热变形,掩模板也不会下垂,即可避免曝光图形变形而造成对产品质量的影响。
Claims (1)
1.一种曝光掩模板的固定方法,其特征在于,该方法步骤为:
第一:玻璃板(3)底部放置曝光掩模板(2),曝光掩模板(2)
通过四周的胶带(1)与玻璃板(3)紧密贴合;
第二:在玻璃板(3)的边缘处打一个小孔;
第三:在小孔处装一根管子(4),并将管子(4)和玻璃板(3)密封连接;
第四:再将管子的另一端与抽真空装置连接;
第五:启动抽真空装置,玻璃板(3)和曝光掩模板(2)之间形成一个真空区域。
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CN 200510029208 CN1828423A (zh) | 2005-08-30 | 2005-08-30 | 一种曝光掩模板的固定方法 |
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CN1828423A true CN1828423A (zh) | 2006-09-06 |
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ID=36946876
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Country Status (1)
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Cited By (3)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
CN101681092B (zh) * | 2007-05-09 | 2012-07-25 | 株式会社尼康 | 光罩用基板、光罩用基板的成形构件、光罩用基板的制造方法、光罩、及使用光罩的曝光方法 |
CN103268057A (zh) * | 2013-04-28 | 2013-08-28 | 京东方科技集团股份有限公司 | 掩模***、掩模方法、曝光***和曝光方法 |
CN107908080A (zh) * | 2017-12-21 | 2018-04-13 | 昆山乐邦印刷器材设备有限公司 | 曝光机的真空曝光装置 |
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2005
- 2005-08-30 CN CN 200510029208 patent/CN1828423A/zh active Pending
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PB01 | Publication | ||
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SE01 | Entry into force of request for substantive examination | ||
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