CN1781658A

CN1781658A - 控制器

Info

Publication number: CN1781658A
Application number: CNA2005101233758A
Authority: CN
Inventors: 岩下平辅; 置田肇; 河村宏之; 猪饲聪史
Original assignee: Fanuc Corp
Current assignee: Fanuc Corp
Priority date: 2004-11-26
Filing date: 2005-11-25
Publication date: 2006-06-07
Also published as: JP2006154998A; EP1662351A2; EP1662351A3; US20060184256A1

Abstract

揭示了用于检测机器由于长期改变导致力量降低而引起的维护需求以及异常操作等。加速度检测装置附加在由伺服马达驱动的从动元件上。用于反馈控制伺服马达位置和速度的各轴控制电路的处理器对每个位置/速度控制周期执行位置和速度反馈控制处理，从而获取电流指令，并将指令输出到电流回路处理。从加速度检测装置读取检测加速度值αf。当检测加速度值不小于阈值αs时，输出异常信号，从而显示警告并停止机器工作。由于直接通过加速度检测装置检测从动元件加速度，可以安全地检测机器异常，例如由于机器老化引起的常见振动，从动元件与其它物体的碰撞，或者元件的破损。

Description

控制器

技术领域

本发明涉及用于控制机器装置(例如机床)中驱动部分的位置和/或速度的控制器。

背景技术

在机器装置(例如机床)中，在进行加工时，工具相对要加工的工件移动。为了控制加工的位置和速度，从动元件(工件，工作台，以及工具等)由伺服马达驱动，并且它们的位置和速度通常由位置、速度和电流反馈控制。

随着从动元件由用于位置和速度控制的马达驱动，机器随着连续的使用逐渐变得更容易晃动。根据单个差异，机器在强度上减小，从而位置和速度的操作精度降低了。在机床的情况中，加工精度降低了。然而，难以检测这些长期的变化。

传统地，根据来自附加的位置和速度检测器的信号，对马达的电流指令、电流检测器检测的实际电流值等来检测机器的故障或者异常。在机床的情况下，例如，诸如工具磨损或破损的异常的发生、从动元件和其它物体的碰撞或干扰等，由通过区分驱动工具和工件的马达的电流电平来检测。

此外，如果从动元件的速度和加速度突然变化，在某些情况下可能引起从动元件振动。在处理这个的已知方法中，提供了检测从动元件加速度的加速度检测器，从速度反馈控制输出的电流指令中减去来自加速度检测器的信号，并以得到的差异值当作电流反馈控制的电流指令来限制振动(参见JP6-91482A)。

检测机器晃动或者由机器的长期使用之后引起的机器强度的降低是困难的。

由于观测机器情况的位置的限制，根据位置、速度、以及电流检测器检测的信息可能无法检测到机器的故障或者异常，或者在负载估计误差的影响下错误地检测。

发明内容

本发明提供一种能够检测由强度降低等(由于加工装置老化引起)引起的加工装置操作中维修的需求或者异常的控制器。

本发明的控制器反馈控制加工装置的从动元件的位置和/或速度。根据本发明的一种形式，控制器包括：加速度检测装置，用于检测从动元件的加速度；以及判断装置，当所述加速度检测装置检测的加速度的绝对值不小于预定阈值的时候，判断加工装置异常。

根据本发明的另一种形式，控制器包括：加速度检测装置，用于检测从动元件加速度；以及判断装置，当所述加速度检测装置检测的加速度的平均值的绝对值不小于预定阈值的时候，判断加工装置异常。

根据本发明还有的另一种形式，控制器包括：位置/速度检测装置，用于检测从动元件的位置和/或速度；加速度检测装置，用于检测从动元件的加速度；估算装置，基于位置/速度检测装置检测的从动元件的位置或速度值，估算加速度；以及判断装置，当所述估算装置估算的加速度与所述加速度检测装置检测的加速度之间的差值的绝对值不小于预定阈值的时候，判断加工装置异常。

在上述配置中，可以使用位置指令或速度指令来代替位置/速度检测装置检测的位置或速度。

根据本发明还有的另一种形式，控制器包括：速度检测装置，用于检测从动元件的速度；加速度检测装置，用于检测从动元件的加速度；估算装置，基于所述加速度检测装置检测的加速度值，估算该从动元件的其上安装有该加速度检测装置的那个部分的速度；以及判断装置，当所述估算装置估算的速度与所述速度检测装置检测的速度之间的差值的绝对值不小于预定阈值的时候，判断加工装置异常。

在上述配置中，可以使用速度指令代替速度检测装置检测的速度。

根据本发明还有的另一种形式，控制器包括：位置检测装置，用于检测从动元件的位置；加速度检测装置，用于检测从动元件的加速度；估算装置，基于所述加速度检测装置检测的加速度值，估算该从动元件的其上安装有该加速度检测装置的那个部分的位置；以及判断装置，当所述估算装置估算的位置与所述位置检测装置检测的位置之间的差值的绝对值不小于预定阈值的时候，判断加工装置异常。

在上述配置中，可以使用位置指令代替位置检测装置检测的位置。

根据本发明还有的另一种形式，控制器包括加速度检测装置，用于检测支撑从动元件的车床的加速度；以及判断装置，当所述加速度检测装置检测的加速度的绝对值不小于预定阈值的时候，判断加工装置异常。

根据本发明还有的另一种形式，控制器包括：多个加速度检测装置，用于单独地检测从动元件的不同部分的加速度；以及判断装置，当所述加速度检测装置检测的加速度的两个值之间的差值的绝对值不小于预定阈值的时候，判断加工装置异常。

在上述任何配置中，当判断加工装置异常的时候可以产生异常状况或警告信息。进一步地，当判断加工装置异常的时候可以进行减慢停止，紧急停止或后退操作。

由于基于附加在从动元件等上的加速度检测装置检测的加速度值检测从动元件的振动等，可以精确检测异常。进一步地，通过将加速度检测装置置于任何最佳位置，可以更精确地检测必要位置的振动等。基于加速度检测装置检测的加速度值，可以判断机器执行维护的时间，从而可以防止机器故障停机。

附图说明

图1为根据本发明一个实施例的控制器的示意性框图。

图2为一流程图，其说明了单独轴控制电路的各处理器根据本发明第一实施例对每个位置/速度控制周期执行的处理。

图3的流程图说明了单独轴控制电路的各处理器根据本发明第二实施例对每个位置/速度控制周期执行的处理。

图4的流程图说明了单独轴控制电路的各处理器根据本发明第三实施例对每个位置/速度控制周期执行的处理。

图5的流程图说明了单独轴控制电路的各处理器根据本发明第四实施例对每个位置/速度控制周期执行的处理。

图6的流程图说明了单独轴控制电路的各处理器根据本发明第五实施例对每个位置/速度控制周期执行的处理。

图7的流程图说明了单独轴控制电路的各处理器根据本发明第六实施例对每个位置/速度控制周期执行的处理。

图8的流程图说明了单独轴控制电路的各处理器根据本发明第七实施例对每个位置/速度控制周期执行的处理。

图9的流程图说明了单独轴控制电路的各处理器根据本发明第八实施例对每个位置/速度控制周期执行的处理。

具体实施方式

下面描述的例子中本发明应用于作为机床的控制器的数字控制器。

图1的示意框图说明了本发明的一个实施例。CPU 11为用于常规控制控制器10的处理器。CPU 11通过总线19读取ROM 12中的***程序并根据***程序控制整个控制器。在RAM 13中存储温度数据，显示数据，以及操作者通过显示/手动数据输入单元20输入的各种数据，该显示/手动数据输入单元20由显示设备和手动输入装置构成。显示设备由CRT或液晶形成，而手动输入装置由键盘之类构成。CMOS存储器14为非易失性存储器，由电池(未显示)支持，从而即使在控制器10关闭的时候也可以保持其存储状态。CMOS存储器14存储通过接口15读取的机器程序，通过显示/手动数据输入单元20输入的机器程序等。此外，ROM 12预先加载了各种***程序。

接口15使得控制器10能够连接到外部设备。PC(可编程控制器)16通过I/O单元17输出用于控制的信号到机床(作为控制器10中顺序程序的控制对象)的辅助设备(例如，工具变换器的制动器等)。此外，PC 16接收来自控制面板(该控制面板附加在控制器10所要控制的机床的机体上)上各种开关的信号，执行必要的信号处理，并接着将信号发送给CPU 11。

用于单个轴的轴控制电路30到32接收轴移动指令并输出轴指令到伺服放大器40到42。在接收到这些指令时，伺服放大器40到42分别驱动作为机床(控制对象)单独轴从动元件的伺服马达50到52。单独轴伺服马达50到52包括位置/速度检测器70到72。来自位置/速度检测器70到72的位置/速度反馈信号分别反馈到轴控制电路30到32，轴控制电路30到32据此进行位置/速度反馈控制。每个由处理器和存储器(例如ROM，RAM等)形成的轴控制电路30到32执行位置，速度和电流的反馈控制。具体而言，其控制单独轴伺服马达50到52的位置，速度以及电流和由伺服马达驱动的从动元件(工件，工作台，以及工具轴)60到62的位置和速度。位置/速度检测器70到72可以提供在从动元件60到62中来代替附加在伺服马达上，从而它们可以直接检测并反馈从动元件的位置和速度。图1未显示用于驱动主轴的控制***。

上述配置与传统数字控制器和由该数字控制器控制的机器的配置相同。本实施例与传统数字控制器的不同之处在于单独轴的从动元件(工件，工作台，以及工具轴)上提供了加速度检测装置80到82，由加速度检测装置80到82检测的检测加速度值分别反馈到轴控制电路30到32，并且根据以这种方式反馈的检测的加速度值执行异常检测处理(后面会提到)。

图2为一流程图，其示出了根据本发明第一实施例，控制电路30到32的各处理器在每个位置/速度控制周期要执行的处理。

在第一实施例中，控制电路30到32判断由其对应的伺服马达驱动的从动元件是否受到会引起异常操作的振动。在异常情况下，异常信号输出到作为主机处理器的CPU 11。

控制电路30到32的每个处理器从执行数字控制处理(例如移动指令分配)的CPU 11读取移动指令值Pc，从位置/速度检测器70到72读取位置反馈信号Pf，并通过位置回路处理(位置反馈处理)(获取速度指令Vc步骤a1，a2以及a3)。此外，每个处理器从位置/速度检测器70到72中相关的那个中读取速度反馈信号Vf，由速度回路处理(速度反馈处理)基于读取的速度反馈值Vf和获取的速度指令Vc获取电流指令，并输出电流指令到电流回路处理(步骤a4，a5以及a6)。获取电流指令并将它们输出到电流回路处理的处理与传统轴控制电路的处理(位置/速度回路处理)相同。电流回路处理也和传统的相同。

接着，在当前实施例中，读取从加速度检测装置80到82中相关的那个输出的检测加速度值αf(步骤a7)，并判断所读取检测加速度值αf是否不小于预定阈值αs(步骤a8)。如果加速度值αf小于阈值αs，则终结该位置/速度控制周期所涉及的处理。然而，如果加速度值αf不小于阈值αs，则异常信号以及加速度值αf输出到作为主机处理器的CPU 11，该CPU11执行包括移动指令分配的数字控制处理。从而，终结该位置/速度控制周期所涉及的处理(步骤a9)。

在接收到该异常信号时，CPU 11在显示/手动数据输入单元20的显示设备上显示警告信息，发出该异常信号的轴等。此外，CPU 11将机器置于减慢停止或紧急停止。此外，检测到的加速度值αf以及机器异常信号发送到CPU11，并且也显示加速度值αf。如果从动元件受到由于长期使用导致的机械力降低引起的振动，检测到的加速度值αf超过阈值αs。如果从动元件与其它物体碰撞或者任何部件(例如机床)破损，检测到的加速度值αf变大。基于在显示设备显示的检测加速度值，因此，判断异常是否需要机器维护或者是由于工具或任何部件破损引起的。

图3的流程图示出了根据本发明第二实施例，控制电路30到32的各处理器在每个位置/速度控制周期要执行的处理。第二实施例与第一实施例的差别仅在于：获取检测的加速度值αf的平均值αa，并且基于平均值αa判断异常。

执行与图2所示步骤a1到a7相同的步骤b1到b7。此后，检测到的加速度值αf添加到累加器A，并且把计数器C加一(步骤b8和b9)。

接着，判断计数器C的值是否不小于设定值Cs(步骤b10)。如果计数器值小于设定值Cs，则终结该位置/速度控制周期所涉及的处理。此后，对每个位置/速度控制周期执行步骤b1到b10的处理。如果在步骤b10判断计数器C的值达到了设定值Cs，则通过将累加器A的数值除以计数器C的值来获取检测加速度值αf的平均值αa(步骤b11)。接着，将累加器A和计数器C清零(步骤b12)，并判断检测的加速度值的平均值αa是否不小于预定阈值αs(步骤b13)。如果平均值αa小于阈值αs，则终结该周期所涉及的处理。另一方面，如果平均值αa不小于阈值αs，则将异常信号以及获得的检测的加速度值的平均值αa发送到CPU 11。

当接收到异常信号时，在显示设备显示指示异常发生的信息等。此外，显示发送的检测加速度值平均值αa从而操作员获知异常。此外，机器接受减慢停止或者紧急停止。

图4的流程图显示了根据本发明第三实施例，控制电路30到32的各处理器在每个位置/速度控制周期要执行的处理。在该第三实施例中，由位置/速度检测器70到72检测并反馈的速度反馈值估算加速度，并且通过估算的加速度值和检测的加速度值αf之间的差值检测异常。

具体而言，加速度检测装置80到82检测的加速度代表了加速度检测装置80到82安装位置的加速度。由速度反馈值估算的加速度代表了速度检测器位于的位置的加速度。如果速度检测器附加在驱动从动元件的伺服马达上，则代表了伺服马达的加速度。另一方面，如果速度检测器附加在从动元件上，则代表了从动元件的加速度。这样，估算的加速度和检测的加速度之间的差值表示了加速度根据从动元件位置变化以及从动元件发生了异常，例如振动。在该实施例中，当基于从动元件位置的加速度之间的差值超过给定数值的时候检测到异常。这样，加速度检测装置80到82位于对于影响加工或操作的从动元件的最佳选择位置。

在图4中，步骤c1到c7与第一实施例的步骤a1到a7以及第二实施例的步骤b1到b7相同。

在步骤c8，通过从步骤c4中获取的速度反馈值Vf中减去存储在寄存器中的前一周期的速度反馈值R(Vf)来获取速度差值，并通过将该速度差值除以速度控制周期AT来获取估算的加速度αc。接着，将所涉及周期检测的速度反馈值Vf载入寄存器并作为前一周期的速度反馈值R(Vf)来存储(步骤c9)。判断由加速度检测装置80到82在步骤c7检测的检测加速度值αf与估算的加速度αc之间的差值的绝对值是否不小于预定阈值αs(步骤c10)。如果绝对值小于阈值αs，则保持原样终结所涉及周期的处理。如果绝对值不小于阈值αs，则向CPU 11输出异常信号(步骤c11)。进一步地，步骤c7检测的检测加速度值αf以及检测加速度值αf和估算的加速度值αc之间的差值也输出到CPU 11。当接收到异常信号，CPU 11使得显示设备将检测加速度值αf以及检测加速度值αf和估算的加速度值αc之间的差值的绝对值等，与异常信息一起显示，从而将它们通知给操作员。进一步地，机器接受减慢停止或者紧急停止。

图5的流程图显示了根据本发明第四实施例，控制电路30到32的各处理器在每个位置/速度控制周期要执行的处理。在该第四实施例中，基于由加速度检测装置80到82检测的检测加速度值αf估算速度，并且通过估算的速度和位置/速度检测装置70到72检测的检测速度判断异常。在该实施例中，当加速度检测装置80到82所位于的从动元件的位置处的速度和速度检测装置所位于的位置处的速度之间的差值达到给定数值时，确定异常。基于从动元件的位置的速度差值表示在从动元件中振动等的发生，并且该现象被检测为异常。同时，在该实施例中，加速度检测装置80到82位于对于影响加工或操作的从动元件的最佳位置。

在图5中，步骤d1到d7与第一实施例步骤a1到a7相同。在步骤d8的处理中，通过在用于累加检测加速度的寄存器中累加步骤d7获得的检测加速度值αf来获得估算的速度V(αf)。接着，判断估算的速度V(αf)与在步骤d4获得的、通过位置/速度检测器70到72检测的实际速度的速度反馈值之间的差值的绝对值是否不小于阈值Vs(步骤d9)。如果绝对值小于阈值Vs，则保持原样终结所涉及周期的处理。如果绝对值不小于阈值Vs，则向CPU 11输出异常信号。进一步地，步骤d7检测的检测加速度值αf也输出到CPU 11(步骤d10)。当接收到异常信号，CPU 11使得显示设备将检测加速度值αf等与异常信息一起显示，从而将它们通知给操作员。进一步地，机器接受减慢停止或者紧急停止。

图6的流程图显示了根据本发明第五实施例，控制电路30到32的各处理器在每个位置/速度控制周期要执行的处理。在该第五实施例中，基于由加速度检测装置80到82检测的检测加速度值αf估算位置，并且通过估算的位置和位置检测器检测的检测位置之间差值的绝对值判断异常。同时，在该实施例中，加速度检测装置80到82位于对于影响加工或操作的从动元件的最佳位置。基于加速度检测装置获取的加速度值的估算位置与位置检测器获取的位置之间的差值表示在从动元件中例如振动等的异常。这样，通过该现象检测到异常。

在图6中，步骤e1到e3以及步骤e5到e8与第一实施例步骤a1到a3和步骤a4到a7相同。在该实施例中额外提供步骤e3，通过在寄存器R(Pf)累加位置反馈值Pf来获取位置。

在步骤e9，通过在用于获取估算速度的寄存器累加检测加速度值αf来获取估算速度V(αf)。进一步地，通过在用于获取估算位置的寄存器累加估算速度V(αf)来获取估算位置P(αf)(步骤e10)。判断估算位置P(αf)与步骤e3获取的位置R(pf)之间的差值的绝对值是否不小于阈值Ps(步骤e11)。如果绝对值小于阈值Ps，则保持原样终结当前周期的处理。如果绝对值不小于阈值Ps，则向CPU 11输出异常信号。进一步地，步骤e8检测的检测加速度值αf等也输出到CPU 11(步骤e12)。当接收到异常信号，CPU 11使得显示设备将检测加速度值αf等与异常信息一起显示，从而将它们通知给操作员。进一步地，机器接受减慢停止或者紧急停止。

在上述第三到第五实施例(图4到6)中，使用了速度反馈或位置反馈信息。然而，也可以使用速度指令或位置指令来代替位置或速度反馈。在图4所示的第三实施例中，可以通过使用速度指令Vc代替速度反馈Vf来获取估算加速度αc。此外在图5所示的第四实施例中，可以通过使用速度指令Vc代替速度反馈Vf来执行步骤d9的判断。进一步地，在图6所示的第五实施例中，可以通过累加移动指令值Pc获得指令位置来代替通过累加位置反馈值获得的位置R(Pf)。

在上述第一到第五实施例中，加速度检测装置80到82分别附加在由伺服马达驱动的从动元件60到62上，并根据加速度检测装置80到82检测的检测加速度值等检测机器异常。然而，在下面将描述的第六实施例中，通过附加在车床上的加速度检测装置检测机器异常，从动元件安装在该车床上并在其上移动。

如果机器任何部分受到由于机器长期使用导致的长期变化而机械力降低，支撑从动元件的车床有时会随着从动元件移动而振动。此外，如果从动元件与其它物体碰撞或者干扰，其也会引起机器振动。在第六实施例中，检测这种振动来检测机器异常。

在第六实施例中，加速度检测装置(未显示)附加在机器车床上，并且通过接口获取它们的输出到控制器10中。控制器10的CPU 11通过获取的检测加速度αf判断机器异常。

图7的流程图显示了根据本发明第6实施例，CPU 11在每个指定周期要执行的机器异常判断处理。

CPU 11通过接口读取从加速度检测装置输出的检测加速度αf(步骤f1)，并判断检测加速度值αf的绝对值是否不小于预定阈值αs(步骤f2)。如果绝对值小于阈值αs，则终结所涉及周期的处理。如果绝对值不小于阈值αs，则输出异常信号，接着检测加速度值αf与异常信息一起在显示/手动数据输入单元20的显示设备上显示。从而机器接受减慢停止或者紧急停止。这样，通过加速度检测装置检测了机器机床振动以及该振动引起的加速度，并且当加速度达到阈值αs或更大数值的时候检测到机器异常。

图8的流程图说明了本发明的第七实施例。在第该七实施例中，加速度检测元件单独附加在从动元件的不同部分，从而检测机器异常。如果从动元件振动，振动产生的加速度根据从动元件上的位置而不同。这样，根据在从动元件上不同位置的加速度检测装置检测的单独检测加速度值，检测从动元件振动来检测机器异常。在该第七实施例中，两个加速度检测装置单独附加在从动元件的相反端部分，通过来自两个加速度检测装置的检测加速度值判断机器异常。

图8的流程图说明了用于单独轴地驱动从动元件的伺服马达的控制电路30到32的各处理器在每个位置/速度控制周期要执行的处理。然而，在本实施例中，该处理由CPU 11作为控制器10的主处理器在每个位置/速度控制周期执行。在机床等中，固定工件的工作台由X轴和Y轴伺服马达驱动。加速度检测装置附加在由用于X轴和Y轴的多个伺服马达驱动的最终从动元件上，而不是附加在由X轴和Y轴驱动马达单独驱动的从动元件上。这样，可以检测在其位置和速度最终要进行控制的从动元件上产生的振动。为了达到这样，每个驱动装置这样配置从而其输出通过接口获取进入控制器10。

CPU 11读取从两个加速度检测装置发出的检测加速度值αf1和αf2(步骤g1)，并判断两个检测加速度值之间的差值的绝对值|αf1-αf2|是否不小于阈值δs(步骤g2)。如果绝对值小于阈值δs，则终结该处理。如果绝对值不小于阈值δs，则输出异常信号，接着检测加速度值αf1和αf2与异常信息一起在显示/手动数据输入单元20的显示设备上显示。进一步地，机器接受减慢停止或者紧急停止。这样，检测了机器从动元件振动，从而检测了机器异常。

在前面的实施例中，当判断机器异常的时候在显示/手动数据输入单元20的显示设备上显示警报信息等，作为操作员信息，从而机器接受减慢停止或者紧急停止。然而，可选择的，当检测到异常的时候可以执行回退操作。

图9的流程图显示了当执行回退操作时控制器10的CPU 11对于每个指定周期要执行的处理。首先，预先设定表示是否执行回退操作的参数。

CPU 11判断是否输入了异常信号(第一到第五实施例的情况)或者检测到了异常(第六到第七实施例的情况)(步骤h1)。如果没有检测到异常，则保持原样终结所涉及周期的处理。另一方面，如果检测到任何异常，则判断是否设定了执行回退操作(步骤h2)。如果设定了执行回退操作，则执行传统警报显示并执行回退操作(步骤h3)。另一方面，如果未设定执行回退操作，则显示警报并且机器接受减慢停止或者紧急停止(步骤h4)。

Claims

1.一种控制器，用于反馈控制加工装置的从动元件的位置和/或速度，其包括：

加速度检测装置，用于检测从动元件的加速度；以及

判断装置，当所述加速度检测装置检测的加速度的绝对值不小于预定阈值的时候，判断加工装置异常。

2.一种控制器，用于反馈控制加工装置的从动元件的位置和/或速度，其包括：

加速度检测装置，用于检测从动元件加速度；以及

判断装置，当所述加速度检测装置检测的加速度的平均值的绝对值不小于预定阈值的时候，判断加工装置异常。

3.一种控制器，用于反馈控制加工装置的从动元件的位置和/或速度，其包括：

位置/速度检测装置，用于检测从动元件的位置和/或速度；

加速度检测装置，用于检测从动元件的加速度；

估算装置，基于位置/速度检测装置检测的从动元件的位置或速度值，估算加速度；以及

判断装置，当所述估算装置估算的加速度与所述加速度检测装置检测的加速度之间的差值的绝对值不小于预定阈值的时候，判断加工装置异常。

4.一种控制器，用于根据位置指令和/或速度指令反馈控制加工装置的从动元件的位置和/或速度，其包括：

加速度检测装置，用于检测从动元件的加速度；

估算装置，基于位置指令或速度指令的值估算加速度；以及

5.一种控制器，用于反馈控制加工装置的从动元件的速度，其包括：

速度检测装置，用于检测从动元件的速度；

加速度检测装置，用于检测从动元件的加速度；

估算装置，基于所述加速度检测装置检测的加速度值，估算该从动元件的其上安装有该加速度检测装置的那个部分的速度；以及

判断装置，当所述估算装置估算的速度与所述速度检测装置检测的速度之间的差值的绝对值不小于预定阈值的时候，判断加工装置异常。

6.一种控制器，用于根据速度指令反馈控制加工装置的从动元件的速度，其包括：

加速度检测装置，用于检测从动元件的加速度；

判断装置，当所述估算装置估算的速度与速度指令之间的差值的绝对值不小于预定阈值的时候，判断加工装置异常。

7.一种控制器，用于反馈控制加工装置从动元件的位置，其包括：

位置检测装置，用于检测从动元件的位置；

加速度检测装置，用于检测从动元件的加速度；

估算装置，基于所述加速度检测装置检测的加速度值，估算该从动元件的其上安装有该加速度检测装置的那个部分的位置；以及

判断装置，当所述估算装置估算的位置与所述位置检测装置检测的位置之间的差值的绝对值不小于预定阈值的时候，判断加工装置异常。

8.一种控制器，用于根据位置指令反馈控制加工装置的从动元件的位置，其包括：

加速度检测装置，用于检测从动元件的加速度；

估算装置，基于加速度检测装置检测的加速度值，估算该从动元件的其上安装有该加速度检测装置的那个部分的位置；以及

判断装置，当所述估算装置估算的位置与位置指令之间的差值的绝对值不小于预定阈值的时候，判断加工装置异常。

9.一种控制器，用于反馈控制加工装置的从动元件的位置和/或速度，其包括：

加速度检测装置，用于检测支撑从动元件的车床的加速度；以及

10.一种控制器，用于反馈控制加工装置的从动元件的位置和/或速度，其包括：

多个加速度检测装置，用于单独地检测从动元件的不同部分的加速度；以及

判断装置，当所述加速度检测装置检测的加速度的两个值之间的差值的绝对值不小于预定阈值的时候，判断加工装置异常。

11.根据权利要求1到10所述任一控制器，其中，

当判断加工装置异常的时候，发出异常状况或警告信息。

12.根据权利要求1到10所述任一控制器，其中，

当判断加工装置异常的时候进行减慢停止，紧急停止或后退操作。