CN1775999A - Gd3Al5O12:Ce,Dy发光薄膜及其制备方法 - Google Patents

Gd3Al5O12:Ce,Dy发光薄膜及其制备方法 Download PDF

Info

Publication number
CN1775999A
CN1775999A CN 200510122039 CN200510122039A CN1775999A CN 1775999 A CN1775999 A CN 1775999A CN 200510122039 CN200510122039 CN 200510122039 CN 200510122039 A CN200510122039 A CN 200510122039A CN 1775999 A CN1775999 A CN 1775999A
Authority
CN
China
Prior art keywords
electron beam
light
film
beam evaporation
emitting film
Prior art date
Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
Pending
Application number
CN 200510122039
Other languages
English (en)
Inventor
张晓松
李岚
王达健
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
Tianjin University of Technology
Original Assignee
Tianjin University of Technology
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by Tianjin University of Technology filed Critical Tianjin University of Technology
Priority to CN 200510122039 priority Critical patent/CN1775999A/zh
Publication of CN1775999A publication Critical patent/CN1775999A/zh
Pending legal-status Critical Current

Links

Landscapes

  • Luminescent Compositions (AREA)

Abstract

本发明公开了一种Gd3Al5O12:Ce,Dy发光薄膜及其制备方法,其特征在于所说的发光薄膜原料选用纯度为99.99%的Gd2O3,Al2O3,Ce2O3,Dy2O3,溶剂为水和乙醇;所制备发光薄膜的化学表达式为:Gd3(1-x-y) Al5O12:Ce3x,Dy3y其中,0.001<x≤0.5;0.0001<y≤0.1。本发明还提供了该发光薄膜制备方法。本发明制备的发光薄膜表面均匀、致密无开裂;薄膜颗粒大小均匀,而且薄膜的厚度可以控制;薄膜的发光性能优良;本发明的发光薄膜可用于制作场发射显示器的显示屏,该显示屏不但能够克服现有技术的缺点,而且还具有热稳定性高、放气率小、附着力强、表面平整度高等优点,同时可以应用于LED光转换等方面。

Description

Gd3Al5O12:Ce,Dy发光薄膜及其制备方法
【技术领域】
本发明涉及发光物理材料与显示技术,特别是一种Gd3Al5O12:Ce,Dy发光薄膜及其制备方法。
【背景技术】
发光材料制成的显示屏在阴极射线管、电致发光以及场发射显示器件中起着十分重要的作用。目前将发光粉末制成的显示屏应用于场发射显示器存在着诸多障碍。由于颗粒之间的接触电阻,导致屏的电导率不高。此外,颗粒之间以及颗粒与衬底之间的附着力问题,也是难以克服的。同时,这种方法制备的屏表面粗糙,致密及均匀性差,容易造成光的反射且稳定性不好,分辨力也较低。因此,制备性能优良的发光薄膜成为研究的一个重要方向。
【发明内容】
本发明的目的是为了克服现有技术的不足,而提供一种发光性能优良的发光薄膜,以及该发光薄膜的其制备方法。
本发明制备为解决上述问题所采用的技术方案,是提供一种Gd3Al5O12:Ce,Dy发光薄膜,其特征在于所说的原料选用纯度为99.99%的Gd2O3,Al2O3,Ce2O3,Dy2O3,溶剂为水和乙醇;所制备发光薄膜的化学表达式为:
Gd3(1-x-y)Al5O12:Ce3x,Dy3y
其中,0.001<x≤0.5;0.0001<y≤0.1。
本发明还提供了一种Gd3Al5O12:Ce,Dy发光薄膜制备方法,其特征在于所说的制备过程为:
1)将原料按照化学计量比混合并充分研磨,采用固态反应,在600-1200℃高温下还原气氛中灼烧2小时,获得靶材料,靶材料经过压制成形,然后经600-800℃还原气氛中烧结2小时,制成直径为3mm的电子束蒸发靶;
2)采用电子束蒸发镀膜***,将衬底表面清洗后经掩模遮盖,装于旋转架上,放入电子束蒸发镀膜***的反应室中,将电子束蒸发靶装入坩埚内;反应室真空度至少抽到10-5Torr,然后加热衬底,使衬底温度为100-400℃,确定真空度、衬底温度,打开电子枪电源,进行蒸发。
3)将电子束蒸发制备的薄膜放入程序升温炉中,以100℃/h的速度加热到500-700℃,并且保留2-3小时。
本发明制备的发光薄膜表面均匀、致密无开裂;薄膜颗粒大小均匀,而且薄膜的厚度可以控制;薄膜的发光性能优良;本发明的发光薄膜可用于制作场发射显示器的显示屏,该显示屏不但能够克服现有技术的缺点,而且还具有热稳定性高、放气率小、附着力强、表面平整度高等优点。
【具体实施方式】
本发明中所使用的原料,选用纯度为99.99%的Gd2O3,Al2O3,Ce2O3,Dy2O3,溶剂为水和乙醇。
在该薄膜Gd3(1-x-y)Al5O12:Ce3x,Dy3y的化学表达式中,x,y的数值也可以是以下比较好的范围:
其中,0.001<x≤0.5;0.0001<y≤0.1。
比较好的发光薄膜可以用以下化学表达式表达为:
(1)Gd2.79Al5O12:Ce0.18,Dy0.03
(2)Gd2.547Al5O12:Ce0.45,Dy0.003
此外,在发光薄膜的具体实施例中,x、y值还可以按下列表中的数据确定:
  x   y
  1   0.02   0.0002
  2   0.08   0.002
  3   0.1   0.005
  4   0.2   0.03
  5   0.4   0.06
本发明发光薄膜的制备:
以Gd2.79Al5O12:Ce0.18,Dy0.03为例,按照化学计量比,将Gd2O3,Al2O3,Ce2O3,Dy2O3等进行混合,并充分研磨,采用固态反应,在1100℃高温下还原气氛中灼烧2小时,获得靶材料,靶材料经过压制成形,然后经700℃还原气氛中烧结2小时,制成直径为3mm的电子束蒸发靶。采用电子束蒸发镀膜***制备,选择ITO玻璃作为衬底,将衬底表面清洗后经掩模遮盖,装于旋转架上,放入电子束蒸发镀膜***的反应室中,将电子束蒸发靶装入坩埚内。反应室真空度抽到10-5Torr,然后加热衬底,使衬底温度为200℃,确定真空度、基底温度,打开电子枪电源,进行蒸发。生长速度设定为5/s,薄膜的厚度为200nm。将电子束蒸发制备的薄膜放入程序升温炉中,以100℃/h的速度加热到600℃,并且保留3小时。所得发光薄膜表面均匀、致密无开裂,薄膜颗粒大小均匀。
发光薄膜的衬底材料除采用ITO玻璃外,还可以采用硅、蓝宝石、或玻璃等。
在电子束蒸发制备薄膜时,加热衬底的优选温度为200-300℃。

Claims (6)

1 一种Gd3Al5O12:Ce,Dy发光薄膜,其特征在于所说的原料选用纯度为99.99%的Gd2O3,Al2O3,Ce2O3,Dy2O3,溶剂为水和乙醇;所制备发光薄膜的化学表达式为:
        Gd3(1-x-y)Al5O12:Ce3x,Dy3y
其中,0.001<x≤0.5;0.0001<y≤0.1。
2 按照权利要求1所述的发光薄膜,其特征在于所说的
        0.001<x≤0.2;0.0001<y≤0.05。
3 按照权利要求1或2所述的发光薄膜,其特征在于所说的比较好的发光薄膜的化学表达式为:
        Gd2.79Al5O12:Ce0.18,Dy0.03
4 按照权利要求1或2所述的发光薄膜,其特征在于所说的比较好的发光薄膜的化学表达式为:
        Gd2.547Al5O12:Ce0.45,Dy0.003
5 一种权利要求1的Gd3Al5O12:Ce,Dy发光薄膜制备方法,其特征在于所说的制备过程为:
1)将原料按照化学计量比混合并充分研磨,采用固态反应,在600-1200℃高温下还原气氛中灼烧2小时,获得靶材料,靶材料经过压制成形,然后经600-800℃还原气氛中烧结2小时,制成直径为3mm的电子束蒸发靶;
2)采用电子束蒸发镀膜***,将衬底表面清洗后经掩模遮盖,装于旋转架上,放入电子束蒸发镀膜***的反应室中,将电子束蒸发靶装入坩埚内;反应室真空度至少抽到10-5Torr,然后加热衬底,使衬底温度为100-400℃,确定真空度、衬底温度,打开电子枪电源,进行蒸发。
3)将电子束蒸发制备的薄膜放入程序升温炉中,以100℃/h的速度加热到500-700℃,并且保留2-3小时。
6 按照权利要求5所述的制备方法,其特征在于所说的在电子束蒸发制备薄膜时,加热衬底的优选温度为200-300℃。
CN 200510122039 2005-11-30 2005-11-30 Gd3Al5O12:Ce,Dy发光薄膜及其制备方法 Pending CN1775999A (zh)

Priority Applications (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
CN 200510122039 CN1775999A (zh) 2005-11-30 2005-11-30 Gd3Al5O12:Ce,Dy发光薄膜及其制备方法

Applications Claiming Priority (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
CN 200510122039 CN1775999A (zh) 2005-11-30 2005-11-30 Gd3Al5O12:Ce,Dy发光薄膜及其制备方法

Publications (1)

Publication Number Publication Date
CN1775999A true CN1775999A (zh) 2006-05-24

Family

ID=36765716

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
CN 200510122039 Pending CN1775999A (zh) 2005-11-30 2005-11-30 Gd3Al5O12:Ce,Dy发光薄膜及其制备方法

Country Status (1)

Country Link
CN (1) CN1775999A (zh)

Cited By (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
CN101603170B (zh) * 2009-07-21 2010-09-15 黄益新 一种在led芯片表面镀制聚对二甲基苯薄膜的方法

Cited By (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
CN101603170B (zh) * 2009-07-21 2010-09-15 黄益新 一种在led芯片表面镀制聚对二甲基苯薄膜的方法

Similar Documents

Publication Publication Date Title
CN1800302A (zh) MY (1-x)SiO4:Ax发光薄膜及其制备方法
US8778234B2 (en) Process for the manufacture of a high density ITO sputtering target
TW201200610A (en) Oxide vapor deposition material and transparent conductive film
CN1944705A (zh) 一种直流磁控共溅射法制备ZnO∶Al透明导电薄膜的方法
US9224513B2 (en) Zinc oxide sintered compact tablet and manufacturing method thereof
CN1304527C (zh) 一种发光薄膜及其制备方法与用途
CN113073300A (zh) 一种非金属材料表面渗镀高纯硫化锌薄膜的方法
KR101568219B1 (ko) 증착용 타블렛
CN1775998A (zh) MGd (1-x)SiO4:Ax发光薄膜及其制备方法
CN1775999A (zh) Gd3Al5O12:Ce,Dy发光薄膜及其制备方法
WO2007069415A1 (ja) 真空蒸着用焼結体
CN1772841A (zh) ZnS:Zn,Pb发光薄膜及其制备方法
KR101264111B1 (ko) 투명도전막, 투명도전막용 타겟 및 투명도전막용 타겟의 제조방법
CN117088679A (zh) 一种高密度低迁移率的氧化铟锌稀土掺杂靶材的制备方法
CN1333041C (zh) M2(1-x)B5O9Cl∶A2x发光薄膜及其制备方法
CN1468934A (zh) 钨酸盐发光薄膜的制备方法
CN110627481A (zh) 一种高纯度Ga2O3靶材的制备方法
WO2007058318A1 (ja) 焼成体及びその製造方法
CN114807845B (zh) 氮含量梯度递增的氮化钛铜涂层
JP2003100154A (ja) 透明導電膜およびその製造方法並びにその用途
CN1162509C (zh) 氧化物发光薄膜的制备方法
KR101999894B1 (ko) 복합 산화물 소결체 및 스퍼터링 타겟, 산화물 투명도전막의 제조방법
KR20120138391A (ko) 산화인듐주석 타겟의 제조방법
TWI516461B (zh) 錫鎵鋅氧化物奈米粉體與其製法、錫鎵鋅氧化物靶材之製法
KR20130078156A (ko) Izto 미세분말로 제조된 소결체

Legal Events

Date Code Title Description
C06 Publication
PB01 Publication
C10 Entry into substantive examination
SE01 Entry into force of request for substantive examination
C02 Deemed withdrawal of patent application after publication (patent law 2001)
WD01 Invention patent application deemed withdrawn after publication