CN1652664A - 基板除尘装置 - Google Patents
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Abstract
本发明提供一种基板除尘装置，它可以吸引并除去利用旋转的旋转毛刷辊从基板表面上刮下的几乎全部的尘埃。其特征在于，将相互向相反方向旋转的前后两个旋转毛刷辊20沿横切基板10的方向压接到搭载在输送机上被搬运的基板10的表面上。同时，利用该旋转的旋转毛刷辊20，将附着在基板10表面上的尘埃，从基板10的表面上刮下，使该尘埃漂浮在两个旋转毛刷辊20之间，或者附着在所述两个旋转毛刷辊20上。同时，将这些尘埃通过连续地覆盖两个旋转毛刷辊20的上部周围的除尘装置的集尘口92，吸引到除尘装置90的内侧，并排除。
Description
技术领域
本发明涉及用于除去附着在印刷配线基板等基板上的尘埃的基板除尘装置。
背景技术
在上述印刷配线基板等的基板中，当在该基板表面上附着焊锡碎屑或尘土或灰尘等尘埃时，由于该尘埃附着部位的电阻值会下降等，会有损及该基板的功能的危险。这种由于尘埃的附着引起的电阻值的下降，对于利用微弱的电力工作的最近的半导体装置用基板的情况是致命的。
从而，在这种半导体器件用的基板等的组装作业中，通常加入除去该基板上的尘埃的工序。
对于用于这种基板的除尘工序的除尘装置，有特开2003-334499号公报描述的除尘装置。
在利用这种除尘装置除去灰尘的方法中，如图4所示，将沿着与搬运基板10的搬运方向(图中的箭头方向)相反的方向旋转的旋转毛刷辊20，指向横切基板10的方向，接触到基板10的表面，利用该旋转的旋转毛刷辊20，从基板10的表面上刮下附着在基板10的表面上的尘埃。同时，将利用旋转的旋转毛刷辊20从该基板10的表面上刮下的尘埃，通过覆盖旋转毛刷辊20的上部周围的集尘装置的集尘口42，吸引到集尘装置40的内侧，并排除。
但是，在利用上述除尘装置的除尘方法除去附着在基板10上的尘埃的情况下，利用与该基板10的搬运方向相反方向旋转的旋转毛刷辊20从基板10的表面上刮下的尘埃，受到该旋转的旋转毛刷辊20的旋转力，在旋转毛刷辊20的前方的基板10的上方空间广阔地扩散飞扬。同时，大多数在该基板10的上方空间广阔地飞扬的尘埃，不能通过配置在旋转毛刷辊20的上部周围的集尘口42可靠地吸引到集尘装置40的内侧，而再次附着到其下方的基板10上。
因此，在利用上述除尘装置除去灰尘的方法中，不能将附着在该基板10的表面上的全部的尘埃，利用旋转的旋转毛刷辊20刮下，并毫无遗漏地可靠地吸引到集尘装置40的内侧并除去。
发明内容
本发明是为了解决这种课题而成的，其目的在于，提供一种能够将利用旋转的旋转毛刷辊从基板表面上刮下的几乎全部的尘埃，从基板的周边毫无遗漏地可靠地吸引并除去的基板除尘装置。
为了达到这种目的，本发明的基板除尘装置，其特征在于，它包括：基板搬运用输送机；沿横切基板的方向压接到搭载在该输送机上被搬运的基板表面上，且相互接近地排列的前后两个旋转毛刷辊；以压接到该两个旋转毛刷辊的基板表面侧的辊部分指向两个旋转毛刷辊之间的内侧分别旋转的方式，使两个旋转毛刷辊相互向相反方向旋转的旋转装置；具有连续地覆盖前述两个旋转毛刷辊的上部周围的集尘口的除尘装置，通过前述集尘口吸引漂浮在该两个旋转毛刷辊之间的尘埃及附着在该两个旋转毛刷辊上的尘埃，并将其排除的除尘装置。
在这种基板除尘装置中，可以将相互接近地排列的前后两个旋转毛刷辊，沿横切基板的方向，压接到搭载在输送机上被搬运的基板表面上。与此同时，将该相互接近地排列的前后两个旋转毛刷辊，利用旋转装置，以压接到该两个旋转毛刷辊的基板表面侧的辊部分指向两个旋转毛刷辊之间的内侧分别旋转的方式，能够使之相互向相反方向旋转。同时，在以使压接到该基板表面侧的辊部分指向两个旋转毛刷辊之间的内侧分别旋转的方式，相互向相反方向旋转的两个旋转毛刷辊中，利用压接到搭载在输送机上被搬运的基板表面上的两个旋转毛刷辊，可以将附着在基板前部直到基板后部的基板表面上的尘埃，依次从基板表面上刮下，并卷起到该前后两个旋转毛刷辊之间的内侧。同时，可以使卷起到该两个旋转毛刷辊之间的内侧的尘埃，处于漂浮在两个旋转毛刷辊之间的状态，也可以使之处于附着在该两个旋转毛刷辊上的状态。同时，可以将漂浮在两个旋转毛刷辊之间的，或者附着在两个旋转毛刷辊之上的尘埃，通过连续地覆盖该两个旋转毛刷辊的上部周围的除尘装置的集尘口，吸引到除尘装置的内侧，并排除。
这时，以压接到该基板表面侧的辊部分指向两个旋转毛刷辊之间的内侧分别旋转的方式，利用相互向相反方向旋转的前后两个旋转毛刷辊刮下的飞扬在两个旋转毛刷辊之间的尘埃，处于被夹在相互接近地排列的前后两个旋转毛刷辊之间的状态，防止其受到从该前后两个旋转毛刷辊之间向其外部旋转的旋转毛刷辊的旋转力而广阔地扩散。即，该两个旋转毛刷辊起着防止在两个旋转毛刷辊之间飞扬的尘埃向两个旋转毛刷辊的外侧广阔地扩散的防护壁的作用。同时，夹在该前后两个旋转毛刷辊之间的状态漂浮的从基板表面上刮下的几乎全部的尘埃，通过连续地覆盖该前后两个旋转毛刷辊的上部周围的除尘装置的集尘口，被吸引到除尘装置的内侧，并被排除。
与此同时，利用相互向相反方向旋转的前后两个旋转毛刷辊从基板表面上刮下的、附着在该旋转的两个旋转毛刷辊上的几乎全部的尘埃，也通过连续覆盖该前后两个旋转毛刷辊的上部周围的除尘装置的集尘口，被吸引到除尘装置的内侧，被排除。
其结果是，能够将利用该旋转的前后两个旋转毛刷辊从基板表面上刮下的几乎全部的尘埃，通过连续地覆盖该前后两个旋转毛刷辊的上部周围的除尘装置的集尘口，毫无遗漏地可靠地吸引到除尘装置的内侧，并排除。
在本发明的基板除尘装置中，可以备有使输送机的宽度与搭载在该输送机上被搬运的基板的宽度一致地调整宽窄的调整装置。
在这种情况下，利用该调整装置，能够调整输送机的宽度的宽窄，使得输送机的宽度与搭载在该输送机上的被搬运的基板的宽度一致。同时，将除尘用的基板可靠地搭载在将其宽度调整成与基板的宽度一致的宽窄的输送机上，能够将该基板在输送机上以稳定的状态搬运。
在本发明的基板除尘装置中，可以备有使两个旋转毛刷辊相对于搭载在输送机上被搬运的基板，沿上下方向升降的升降装置。
在这种情况下，在搭载在该输送机上被搬运的基板表面上安装有半导体装置等各种各样的电子零部件情况下，利用升降装置，能够将两个旋转毛刷辊相对于搭载在该输送机上被搬运的基板，与安装在该基板表面上的电子零部件的高度一致地，上升到规定距离的上方。同时，使搭载在该输送机上被搬运的安装有电子零部件的基板能够与两个旋转毛刷辊没有接触地、顺滑地没有阻力地通过该两个旋转毛刷辊的下方。同时，能够防止安装在该基板表面上的电子零部件与两个旋转毛刷辊碰撞而引起的损伤。
其次，在想要利用旋转的两个旋转毛刷辊刮下搭载在该输送机上被搬运的未安装电子零部件的其它基板的表面上的尘埃的情况下，可以再次利用升降装置，将利用升降装置上升到规定距离上方的两个旋转毛刷辊，相对于搭载在输送机上被搬运的基板，下降到规定距离的下方。同时，将旋转的两个旋转毛刷辊可靠地压接到搭载在该输送机上被搬运的未安装电子零部件的其它基板的表面上，能够利用该旋转的两个旋转毛刷辊，从基板表面上刮下附着在其它基板表面上的尘埃。
在本发明的基板除尘装置中，可以备有除去搭载在两个旋转毛辊的后方或前方的输送机上被搬运的基板所带的静电的去静电装置。
在这种情况下，使压接到旋转的两个旋转毛刷辊的基板，即使受到在该两个旋转毛刷辊与基板之间产生的摩擦力的影响而处于带静电的状态，在该基板被搭载在两个旋转毛刷辊的后方的输送机上被搬运时，能够将该基板上带的静电利用去静电装置除去。同时，能够防止漂浮在基板周边的尘埃被该基板所带的静电吸引再次附着到基板上。
或者，在基板搭载在两个旋转毛刷辊的前方的输送机上被搬运时，能够利用去静电装置预先除去该基板所带的静电。同时，能够防止漂浮在基板周边的尘埃被该基板所带的静电吸引并附着到基板上。
在本发明的基板除尘装置中，可以备有在搭载在两个旋转毛刷辊的后方或前方的输送机上被搬运的基板表面上喷射空气，将附着在刻制在该基板表面上的槽内或/设置在该基板上的通孔内的尘埃，利用空气吹掉并除去的空气喷射装置。
在这种情况下，利用这种空气喷射装置，向搭载在两个旋转毛刷辊的后方或前方的输送机上被搬运的基板的表面上喷射空气，将附着在该基板表面上刻制的槽内或/及设置在该基板上的通孔内的尘埃这种不能利用旋转的两个旋转毛刷辊刮下而除去的尘埃，能够利用空气从该槽内或/通孔内吹出到其外部并除去。
如上面说明的，根据本发明的基板除尘装置，能够使利用该旋转的前后两个旋转毛刷辊从基板表面上刮下的几乎全部的尘埃不向该周边广阔地扩散，并可靠地毫无遗漏地吸引到除尘装置的内侧而排除。
附图说明
图1是本发明的基板除尘装置的原理结构说明图。
图2是本发明的基板除尘装置的主视图。
图3是本发明的基板除尘装置的卸下除尘装置的状态的俯视图。
图4是现有技术的除尘装置的原理结构说明图。
其中，附图标记说明如下：
10 基板
20 旋转毛刷辊
30 装置主体
40 集尘装置
60 输送机
80 旋转装置
90 除尘装置
92 除尘装置的集尘口
100 调整装置
110 升降装置
120 去静电装置
130 空气喷射装置
具体实施方式
下面，按照附图说明本发明的实施方式。
图1至图3表示本发明的基板除尘装置的优选实施方式，图1是其原理结构说明图，图2是其主视图，图3是卸下其除尘装置的状态的俯视图。下面，说明该基板除尘装置。
在该基板除尘装置中，如图2和图3所示，包括搭载并搬运基板10的输送机60。输送机60的结构为，使左右一对的各个无接头环形带62，在一对输送机框64的内侧沿同一方向以同一速度同步地循环。同时，制成将搭载在整个左右一对无接头环形带62上的基板10，沿无接头环形带62的循环方向与无接头环形带62同一速度搬运的结构。
前后两个长形的旋转毛刷辊20沿横切基板10的方向压接到搭载在输送机60上被搬运的基板10的表面上，相互接近可自由旋转地排列并支承在输送机60的中途上方。
为了使压接到该基板10的表面侧的辊部分指向两个旋转毛刷辊20之间的内侧分别地旋转，将该两个旋转毛刷辊20相互向相反方向旋转的旋转装置80，与两个旋转毛刷辊的旋转轴22连接。旋转装置80由带齿轮的电动马达82，和将该马达的输出轴的旋转力传递到两个旋转毛刷辊的各个旋转轴22上的齿轮机构84构成。
在两个旋转毛刷辊20的上部周围，被吸引漂浮在该两个旋转毛刷辊20之间的尘埃以及附着在该两个旋转毛刷辊20上的尘埃并将其排除的除尘装置90的集尘口92没有间隙地连续地覆盖着。除尘装置90由真空泵(图中未示出)等构成，其结构为通过连续地覆盖两个旋转毛刷辊20的上部周围的集尘口92，将漂浮在两个旋转毛刷辊20之间的尘埃以及附着在两个旋转毛刷辊20上的尘埃，吸引到除尘装置90的导管94的内侧并排除的结构。
图1至图3所示的基板除尘装置，按上述方式构成，在该基板除尘装置中，如图1所示，能够将在输送机60的中间部上方相互接近地排列的前后两个旋转毛刷辊20，沿横切基板10的方向，压接到搭载在输送机60上被搬运的基板10的表面上。与此同时，以压接到该基板10的表面侧的辊部分指向两个旋转毛刷辊20之间的内侧并分别旋转的方式，利用旋转装置80，能够使相互接近地排列的前后两个旋转毛刷辊20相互向相反方向旋转。同时，以压接到该基板10的表面侧的辊部分指向两个旋转毛刷辊之间的内侧并分别旋转的方式相互向相反方向旋转的前后两个旋转毛刷辊20，利用压接到搭载在输送机60上被搬运的基板10的表面上的两个旋转毛刷辊20，能够将附着在从基板10的前部到基板10的后部的基板10表面上的尘埃，从基板10的表面上依次刮下，卷起到两个旋转毛刷辊20之间。同时，能够使卷起到该两个旋转毛刷辊20之间的尘埃处于漂浮在两个旋转毛刷辊20之间的状态，或者处于附着在该两个旋转毛刷辊20上的状态。同时，能够将漂浮在该两个旋转毛刷辊20之间的、或者附着在该两个旋转毛刷辊上的尘埃，通过连续地覆盖该两个旋转毛刷辊20的上部周围的除尘装置的集尘口92，吸引到除尘装置90的内侧，并排除。
这时，以压接到该基板10的表面侧的辊部分向两个旋转毛刷辊20之间的内侧分别旋转的方式，防止利用相互向相反方向旋转的前后两个旋转毛刷辊20刮下的、向旋转毛刷辊20的旋转方向在两个旋转毛刷辊20之间的上方飞扬的尘埃，处于被夹在相互接近地排列的前后两个旋转毛刷辊20之间的状态，因受到旋转的旋转毛刷辊20的旋转力，从该前后两个旋转毛刷辊20之间向外侧广阔地扩散。同时，在被夹在该前后两个旋转毛刷辊20之间的状态漂浮的、从基板10的表面上刮下的几乎全部的尘埃，通过连续地覆盖该前后两个旋转毛刷辊20的上部周围的除尘装置的集尘口92，毫无遗漏地可靠地被吸引到除尘装置90的内侧，并被排除。
与此同时，以压接到该基板10的表面侧的辊部分分别向两个旋转毛刷辊20之间的内侧旋转的方式，利用相互向相反方向旋转的前后两个旋转毛刷辊20从基板10的表面上刮下的、附着在该旋转的两个旋转毛刷辊20上的几乎全部的尘埃，也通过连续地覆盖该前后两个旋转毛刷辊20的上部周围的除尘装置的集尘口92，毫无遗漏地可靠地被吸引到除尘装置90的内侧，并被排除。
其结果是，能够将由该旋转的前后两个旋转毛刷辊20的基板10的表面上刮下的几乎全部的尘埃，通过连续地覆盖该前后两个旋转毛刷辊20的上部周围的除尘装置的集尘口92，毫无遗漏地可靠地吸引到除尘装置90的内侧，并排除。
在该基板除尘装置中，如图2所示，可以备有使输送机60的宽度与搭载在该输送机60上的被搬运的基板10的宽度一致地调整宽窄的调整装置100。调整装置100可以采用以下结构，即，能够使其左右的任一方(在图2中为左侧)的输送机框64沿导轨66左右移动，利用螺栓68等固定，使其可释放到导轨66的任意部位上。另一个输送机框64可以不能移动地固定在装置主体30上。同时，可以采用下述结构，即，能够使它的一个输送机框64沿导轨66移动适当的距离，通过重新固定到导轨66的任意部位，使可循环地支承在左右一对输送机框64的内侧的一对无接头环形带62之间的距离，与搭载在整个该左右一对无接头环形带62上搬运的基板10的宽度一致地调整宽窄的结构。
同时，可以利用该调整装置100，能够将输送机60的宽度与搭载在输送机60被搬运的基板10的宽度一致地调整宽窄。同时，可以将除尘用的基板10可靠地搭载在其宽度与基板10的宽度一致地调整过宽窄的输送机60上，并在稳定的状态下搬运。
此外，在这种基板除尘装置中，如图2所示，可以备有使两个旋转毛刷辊20相对于搭载在输送机60上被搬运的基板10沿上下方向升降的升降装置110。升降装置110可以由将可自由旋转地支承两个旋转毛刷辊20的支承框24相对于装置主体30沿上下方向可自由升降地支承的导向部32，以及，将沿该导向部沿上下方向升降适当距离的支承框24固定使其可释放到导向部32的任意部位的螺栓36等构成。
同时，可以在搭载在该输送机60上被搬运的基板10的表面上安装有半导体装置等各种各样的电子零部件(图中未示出)的情况下，利用升降装置110，将两个旋转毛刷辊20相对于搭载在该输送机60上被搬运的基板10，与安装在该基板10的表面上的电子零部件的高度一致地，上升到规定距离的上方。同时，可以使搭载在该输送机60上被搬运的安装有电子零部件的基板10，与两个旋转毛刷辊20不发生碰撞地，没有阻力地顺滑地通过该两个旋转毛刷辊20的下方。同时，可以防止安装在该基板10表面上的电子零部件与两个旋转毛刷辊20碰撞而引起的损伤。
其次，在利用旋转的两个旋转毛刷辊20刮下搭载在该输送机60上被搬运的未安装电子零部件的其它的基板10表面上的尘埃时，可以将利用升降装置110上升到规定距离上方的两个旋转毛刷辊20，再次利用升降装置110相对于搭载在该输送机60上被搬运的另外的基板10，下降到规定距离的下方。同时，可以将旋转的两个旋转毛刷辊20可靠地压接到搭载在该输送机60上被搬运的未安装电子零部件的其它的基板10的表面上，利用该旋转的两个旋转毛刷辊20，刮下附着在该其它的基板10的表面上的尘埃。
此外，在该基板除尘装置中，如图1所示，可以备有除去搭载在两个旋转毛刷辊20的后方或前方(在图1中为后方)的输送机60上被搬运的基板10所带的静电用的去静电装置120。对于去静电装置120，可以采用市面上出售的产品。
同时，在使旋转的两个旋转毛刷辊20压接的基板10受到该两个旋转毛刷辊20与基板10之间产生的摩擦力的影响而处于带静电的状态下，将该基板10搭载在两个旋转毛刷辊20的后方的输送机60上搬运时，也可以利用去静电装置120除去该基板10所带的静电。同时，可以防止被基板10所带的静电吸引，漂浮在基板10的周边的尘埃再次附着在基板10上。
此外，根据情况的不同，可以取代备有去静电装置120，采用具有防止带电功能的毛刷辊。同时，还可以防止通过该两个旋转毛刷辊20的下方而被送到其后方的输送机60上的基板10，受到从该旋转的两个旋转毛刷辊20来的摩擦力，处于带静电的状态。
或者，也可以在基板10搭载在两个旋转毛刷辊20的前方的输送机60上被搬运时，利用去静电装置120，预先除去该基板10所带的静电。同时，也可以防止漂浮在该基板10的周边的尘埃被该基板10所带的静电吸引附着在基板10上。
此外，在该基板除尘装置中，如图1所示，可以备有向搭载在两个旋转毛刷辊20的后方或前方(在图1中为前方)的输送机60上被搬运的基板10的表面上喷射空气，将附着在该基板10的表面上的用激光等刻制的槽(图中未示出)内或/以及设置在该基板10上的通孔(图中未示出)内的尘埃，利用空气吹掉并除去的空气喷射装置130。空气喷射装置130可以采用将从空气压缩机(图中未示出)吹出的空气，从配置于搭载在输送机60上被搬运的基板10的表面附近的喷嘴132向基板表面10上喷射的结构。
同时，利用该空气喷射装置130，可以将空气喷射到搭载在两个旋转毛刷辊20的后方或前方的输送机60上被搬运的基板10的表面上，使附着在刻制在该基板10的表面上的槽内或/以及设置在该基板10上的通孔内的尘埃这种不能用旋转的两个旋转毛刷辊20刮下除去的尘埃，利用空气从该槽内或/以及通孔内吹出到其外侧并除去。
本发明的基板除尘装置，作为将附着在印刷配线基板、陶瓷基板等各种各样的基板的表面上的尘埃，从该基板表面上刮下并除去用的装置，可以广泛而有效地加以利用。
Claims (5)
1、一种基板除尘装置，其特征在于，包括：基板搬运用输送机；沿横切基板的方向压接到搭载在该输送机上被搬运的基板表面上，且相互接近地排列的前后两个旋转毛刷辊；以压接到该两个旋转毛刷辊的基板表面侧的辊部分指向两个旋转毛刷辊之间的内侧分别旋转的方式，使两个旋转毛刷辊相互向相反方向旋转的旋转装置；具有连续地覆盖前述两个旋转毛刷辊的上部周围的集尘口的除尘装置，通过前述集尘口吸引漂浮在所述两个旋转毛刷辊之间的尘埃及附着在所述两个旋转毛刷辊上的尘埃，并将其排除的除尘装置。
2、如权利要求1所述的基板除尘装置，其特征在于，包括使前述输送机的宽度与搭载在该输送机上被搬运的基板的宽度一致地调整宽窄的调整装置。
3、如权利要求1或2所述的基板除尘装置，其特征在于，包括使前述两个旋转毛刷辊相对于搭载在输送机上被搬运的基板沿上下方向升降的升降装置。
4、如权利要求1、2或3所述的基板除尘装置，其特征在于，包括除去搭载在前述两个旋转毛刷辊的后方或前方的输送机上被搬运的基板所带的静电的去静电装置。
5、如权利要求1、2、3或4所述的基板除尘装置，其特征在于，包括向搭载在前述两个旋转毛刷辊的后方或前方的输送机上被搬运的基板表面上喷射空气，利用空气吹掉并除去附着到刻制在该基板表面上的槽内和/或设置在该基板上的通孔内的尘埃的空气喷射装置。
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| PB01 | Publication | ||
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| C02 | Deemed withdrawal of patent application after publication (patent law 2001) | ||
| WD01 | Invention patent application deemed withdrawn after publication |