CN1600658A - 衬底搬进搬出装置和方法及衬底搬送装置和方法 - Google Patents

Abstract

一种在存放衬底(A)的存放容器(10)搬入或搬出衬底(A)的衬底搬进搬出装置(1)。其具备载置衬底(A)的载置台(31)、设置在载置台(31)上在衬底(A)的搬进搬出方向可移动的保持衬底(A)的保持部(32)、在载置台(31)上在搬进搬出方向可移动地支承在保持部(32)上保持的衬底(A)的滚筒(37)。

Description

衬底搬进搬出装置和方法及衬底搬送装置和方法

技术领域

本发明涉及一种用于把半导体衬底、液晶衬底等板状的衬底从存放容器搬出或搬进存放容器的衬底搬进搬出装置和衬底搬进搬出方法，和从存放容器把上述衬底搬送到处理装置等的衬底搬送装置和衬底搬送方法。

本申请是要求2003年8月20提出申请的日本国专利申请第2003-296453号和日本国专利申请第2003-296454号的优先权，在这里引用其内容。

背景技术

现在，在半导体等衬底的制造工序中，多片该衬底贮存在存放容器内，用衬底搬进搬出装置从该存放容器搬出并送到衬底搬送装置，通过该衬底搬送装置搬送给衬底处理装置进行规定处理。另外，规定处理结束后的衬底，从衬底处理装置用衬底搬送装置送到衬底搬进搬出装置，用该衬底搬进搬出装置再度搬进存放容器。制作这样的衬底的各装置，已有各式各样的装置，通常设置在洁净室内，使衬底不受尘埃等的影响。

就上述衬底搬进搬出装置来说，虽然提供各式各样的装置，然而作为其中之一种利用驱动滚筒从存放容器搬进搬出衬底而为众所周知。

例如，如图28所示，衬底搬进搬出装置100具有衬底支承台101和载置台102，该衬底支承台101在使水平存放多片衬底A的存放容器110下降后，从存放容器110下部形成的开口部106***存放容器110，从衬底支承部105举起而脱离存放容器110的衬底支承部105上所载置的衬底A，该载置台102在存放容器110的外部与存放容器110的搬进搬出口邻接配置。

另外，在衬底支承台101和载置台102的上部，设置沿搬进搬出方向旋转的滚筒103，104。另外，该两滚筒103，104互相受图中未示出的电机等驱动源驱动，以使旋转方向和旋转速度同步。

在用该衬底搬进搬出装置100从存放容器110搬出衬底A的情况下，首先用图中未示出的升降机构使存放容器110向衬底支承台101下降。存放容器110下降后，衬底支承台101从开口部106***存放容器110内，上部的滚筒103和存放容器110的最下层衬底A接触。然后，随着存放容器110进一步下降，滚筒103从衬底支承部105举起衬底A使之脱离。

衬底脱离时，两滚筒103，104开始转动。两滚筒103，104转动时，滚筒103，104的摩擦阻力对衬底A起作用，然后衬底A向滚筒103，104的旋转方向移动。即，衬底A从存放容器110内通过搬进搬出口搬到载置台102。因此，能从存放容器110搬出衬底A。另外，通过进行上述的相反动作，也可能把衬底A搬进存放容器110内。

另外，衬底搬进搬出装置100，通过使滚筒转动，从存放容器搬出搬入衬底，然而例如也有保持衬底从存放容器取出或塞进去搬出搬入的衬底搬进搬出装置也是众所周知的(例如，参照特开平8-37220号公报(段号码0006-009，第1-3图)和第2575717号专利公报(从第二页右段上33段-从第四页右段上22段，第1-3图))。

就上述衬底搬送装置来说，例如，为了在多个存放容器和衬底处理装置之间能有效地搬送衬底，在存放容器和衬底处理装置之间设置的轨道上移动的衬底搬送装置是众所周知的。

另外，作为如上述搬送衬底装置的搬送装置，众所周知有能以搬入柄和搬出柄从搬入位置移送衬底到搬出位置的衬底移载装置(例如，特开平11-227943号公报(参照段号码0013-0030，第1-4图)，和把被搬送的衬底有效正确地定位并放置在规定位置的洁净室用移载装置(参照例如，特开平7-10267号公报(段号码0010-0030，第1-6图))等。

在上述的衬底搬进搬出装置50中，由于利用滚筒53，54和衬底的摩擦力搬进搬出衬底，所以在使滚筒53，54的速度急速降低时，滚筒53，54的转速和摩擦力的平衡被破坏，有时发生衬底在滚筒53，54上滑动的问题。为此，只能用一定的速度搬进搬出衬底，衬底的搬进搬出需要时间。

另外，必需在衬底支承台51和载置部5双方设置转动的滚筒53，54，另外需要使两滚筒53，54的转速同步，因而使衬底搬进搬出装置50的结构复杂化。

在上述的衬底搬送装置中，搬送存放容器内存放的衬底时，由于在与存放容器中搬进搬出衬底的衬底搬进搬出装置之间必需进行该衬底的交接，所以需要在存放容器和衬底搬送装置之间设置衬底搬进搬出装置的设置空间。因此，存在收容各装置的洁净室大型化的问题。特别是在移动轨道上移动的衬底搬送装置中，对多个存放容器配置衬底搬进搬出装置，因而衬底搬进搬出装置占用的设置空间很多，洁净室等大型化是明显的。

本发明考虑到这样的情况，其目的在于提供一种构成简单设置空间小且能迅速地搬进搬出衬底的衬底搬进搬出装置和衬底搬进搬出方法以及衬底搬送装置和衬底搬送方法。

发明内容

本发明提供的衬底搬进搬出装置在存放衬底的存放容器搬进或搬出上述衬底。其具有邻接所述存放容器而配置且载置所述衬底的载置台；设置在该载置台上在所述衬底的搬进搬出方向可移动并保持所述衬底的保持部；在所述载置台上在所述搬进搬出方向可移动地支承该保持部保持的所述衬底的衬底支承机构。

若采用本发明，使载置台上设置的保持部向存放容器移动，保持存放容器内存放的衬底。通过向离开存放部的搬出方向移动保持衬底的保持部，将衬底从存放容器搬到载置台上。在进行与上述相反的动作时，把衬底从载置台上搬进存放容器内。

在载置台的上部设置衬底支承机构，在搬进搬出衬底时，支承整个衬底，因而被保持部保持的衬底能稳定顺利地移动。另外，在由保持部保持衬底的状态下使其移动，因而可靠地搬进搬出衬底，同时可按照保持部的移动速度改变搬进搬出速度，能迅速搬进搬出衬底。进而，在进行衬底的搬入出时，不需要给衬底支承机构动力，只要向保持部供给移动所必要的动力就行，所以使结构简化。

在本发明，上述保持部具备把持上述衬底的把持机构是理想的。由此，保持部在用把持机构把持了衬底端部的状态下进行该衬底的搬进搬出。所以，能够从存放容器以更加可靠稳定的状态进行搬进搬出。

在本发明，上述保持部具备吸附上述衬底的吸附机构是理想的。由此，保持部在用吸附机构吸住衬底端部的状态下进行该衬底的搬进搬出。所以，不会弄伤衬底，能够可靠地进行搬进搬出。

在本发明，上述衬底支承机构是绕与上述搬进搬出方向垂直的旋转轴旋转自如地支承的滚筒是理想的。由此，衬底用保持部搬进搬出载置台期间用滚筒支承，所以能够经常稳定的状态搬进搬出衬底。另外，因为衬底和滚筒点接触，所以降低了摩擦力，能够顺利地进行搬进搬出，因而能更加迅速地搬进搬出衬底。另外，因为接触面积很小，所以难以给衬底造成损伤。

在本发明，上述支承机构，是通过向上述衬底下面喷出空气使该衬底从上述载置台浮起的浮起机构是理想的。由此，衬底用保持部搬进搬出载置台的期间，衬底借助于浮起机构而浮起。这样，在使衬底浮起的状态进行搬进搬出，能防止与载置台的上面接触等，能减少给衬底造成的冲击等负荷。另外，能防止灰尘等附着在衬底上。

本发明提供在存放衬底的存放容器搬进或搬出上述衬底的衬底搬进搬出方法，其具备用保持部保持上述衬底端部的保持工序和使保持上述衬底的上述保持部在上述衬底的搬进搬出方向移动的移动工序。

若采用本发明，在保持工序用保持部保持衬底以后，在移动工序使保持部移动，将衬底搬出存放容器之外。另外，进行上述的相反动作，从存放容器外将衬底搬进存放容器内。这样，只使保持部移动能容易地进行衬底的搬进搬出，不需要设置用于搬进搬出的另外装置。所以，能实现构成容易。

另外，因为可通过使保持部移动速度变化而使衬底的搬入搬出速度变化，所以能迅速地进行衬底的搬入搬出。

在本发明，在上述移动工序时，在上述搬进搬出方向可移动地支承上述衬底是理想的。由此，即使用保持部只保持衬底端部使之移动，也能稳定另外顺利地在搬进搬出方向移动衬底。

若采用涉及该发明的衬底搬进搬出装置和衬底搬进搬出方法，只由在载置台设置的保持部的移动，就能搬进搬出衬底。这时，在保持了衬底的状态下使其移动，所以能可靠地搬进搬出衬底，同时可通过使保持部移动速度变化而使衬底的搬进搬出速度变化，能迅速地进行衬底的搬进搬出。另外，不必设置用于搬进搬出的另外机构，只要向保持部提供移动必要的动力就行，所以能够实现构成得容易。

另外，在衬底搬进搬出时，在载置台的上部设置衬底支承机构，因而在支承整个衬底的状态下可进行搬进搬出。所以，用保持部保持衬底使之移动时，能稳定衬底使其顺利地移动。

本发明提供衬底搬送装置，其在存放衬底的存放容器和处理上述衬底的衬底处理装置之间搬送上述衬底，其具备：对上述存放容器搬进搬出上述衬底的移载机构；搭载该移载机构，载置在上述存放容器搬进搬出的上述衬底的载置台；在该载置台与上述衬底处理装置之间交接上述衬底的交接机构；在上述存放容器和上述衬底处理装置之间设置的移动轨道；搭载上述载置台和上述交接机构并在上述移动轨道上可移动的移动台。

若采用本发明，可用移载机构从存放容器内到载置台进行衬底的搬进搬出。在载置台上载置的衬底借助移动台在移动轨道上移动搬送到衬底处理装置。然后，用交接机构从载置台送到衬底处理装置进行规定处理。进行上述相反动作时，衬底就从衬底处理装置向存放容器搬送，并搬进存放容器。

在移动台上，搭载从存放容器搬进搬出衬底的载置台和把衬底送到衬底处理装置的交接机构，因而能多功能使用，不需要另外设置现有的衬底搬进搬出装置等专用进行搬进搬出的装置。所以，不需要更多的设置空间而有效地利用小空间就能进行衬底的搬进搬出和搬送。

在本发明，上述移载机构是被与上述搬进搬出方向垂直的被旋转轴转动而旋转驱动的驱动滚筒是理想的。由此，从存放容器把衬底搬进搬出载置台时，在使驱动滚筒旋转时，衬底在驱动滚筒的上面向搬进搬出方向移动。即，在衬底的下面和滚筒的表面之间摩擦力作用使衬底移动。所以，能更加可靠另外顺利地进行衬底的搬进搬出。

在本发明，上述移载机构是在上述搬进搬出方向旋转驱动的具有环形带的驱动传送带是理想的。由此，从存放容器把衬底搬进搬出载置台时，环形带旋转时，衬底在环形带上载置的状态下向搬进搬出方向移动。此时，衬底因为全面载置在环形带上，所以能在可靠另外稳定状态进行衬底的搬入出。

在本发明，上述移载机构具备保持上述衬底的保持部和在上述搬进搬出方向可移动地支承被该保持部保持的上述衬底的衬底支承机构是理想的。由此，从存放容器把衬底搬进搬出载置台时，通过在用保持部保持衬底的状态下在搬进搬出方向移动进行衬底的搬进搬出。这样，只移动保持部就能容易地进行衬底的搬进搬出，可实现结构简单。另外，能够按照保持部的移动速度调整衬底的搬进搬出速度，因而迅速地进行衬底的搬进搬出。进而，衬底的搬进搬出时，衬底是用衬底支承机构可移动地支承着的，因而能实现搬进搬出的稳定，顺利。

在本发明，衬底支承机构通过向上述衬底下面喷出空气使该衬底从上述载置台浮起的浮起机构是理想的。由此，从存放容器向载置台搬进搬出衬底时，借助于浮起机构而使衬底浮起，用保持部保持衬底使其向搬进搬出方向移动，进行衬底的搬进搬出。这样，因为在浮起状态使衬底移动，所以能防止与载置台的上面等的接触，能减少给衬底造成的冲击等负荷。另外，能防灰尘等附着在衬底上。

本发明提供衬底搬送方法，其通过是通过在存放衬底的存放容器和处理上述衬底的衬底处理装置之间，经由载置在上述存放容器搬进搬出的上述衬底的载置台、以及在该载置台和上述衬底处理装置之间交接上述衬底的交接机构搬送上述衬底。其具有在上述存放容器和前记载置台之间搬进搬出上述衬底的搬进搬出工序；在上述载置台和上述交接机构之间转移上述衬底的转移工序；在前记载置台和上述衬底处理装置之间移动上述交接机构的移动工序；在上述交接机构和上述衬底处理装置之间交接上述衬底的交接工序。

若采用本发明，在搬进搬出工序将衬底从存放容器搬到载置台。搬到载置台后的衬底在转移工序转移到交接机构，在移动工序移送到衬底处理装置。然后，在交接工序从交接机构送到衬底处理装置。实施与上述各工序相反的顺序时，衬底就从衬底处理装置搬送到存放容器，存放到存放容器里。

这样，就能够多功能地进行在存放容器搬进搬出衬底，对交接机构的交接，在存放容器与衬底处理装置之间移动衬底，向衬底处理装置交接衬底。所以，能够有效地利用小空间，高效地进行衬底的搬进搬出和搬送。

在本发明，上述转移工序和上述移动工序同时进行是理想的。由此，由于在载置台和衬底交接机构之间进行衬底的交接期间进行存放容器和衬底处理装置之间的移动，所以更加有效率完成搬送，能缩短搬送时间。

在本发明，上述搬进搬出工序时同时搬进搬出多个上述衬底是理想的。由此，可高效地搬送衬底，能实现更加缩短时间。

若采用有关本发明的衬底搬送装置和衬底搬送方法，在移动台上搭载从存放容器搬进搬出衬底的载置台和将该衬底送到衬底处理装置的交接机构，因而能够多能机能地进行搬进搬出工序，转移工序，移动工序和交接工序。所以，不需要另外设置专用进行现有的衬底搬进搬出装置等搬进搬出的装置，不需要更多的设置空间，有效地利用小空间就能进行衬底的搬进搬出和搬送。

附图说明

图1是表示利用本发明第1实施例的衬底搬进搬出装置制作衬底的装置整体的立体图；

图2是表示本发明衬底搬进搬出装置实施例立体图；

图3是图2所示的线笼正面图；

图4是图2所示的线笼侧面图；

图5是图2所示的线笼上面图；

图6是表示使线笼下降后，衬底支承台从线笼下部开口***后的状态的立体图；

图7是表示图6的状态的侧面图；

图8是表示通过使线笼下降，衬底支承台举起处于线笼内的最底处的衬底使其脱离衬底支承部后的状态的侧面图；

图9是表示在图8的状态下，移动载置台的保持部件使其位于衬底端部的下部后的状态的侧面图；

图10是表示用保持部件的吸附口吸附保持衬底的同时移动保持部件，从线笼搬出衬底后的状态侧面图；

图11是表示利用本发明第二实施例的衬底搬送装置制作衬底的装置整体的立体图；

图12是图11所示的衬底搬送装置的立体图；

图13是图12所示的线笼的正面图；

图14是图12所示的线笼的侧面图；

图15是图12所示的线笼的上面图；

图16是图12所示的衬底搬送装置构成品的衬底载置台的上面图；

图17是图12所示的衬底搬送装置构成品的衬底载置台的后面图；

图18是用于说明从衬底支承台向衬底载置台搬运衬底并交接到衬底处理装置、表示衬底支承台上载置衬底，相邻该衬底支承台配置有衬底载置台的状态的侧面图；

图19是表示从图18的状态，使上部载置台移动到第二棒状部件的上方，同时把该衬底搬到上部载置台后的状态的侧面图；

图20是表示从图19的状态，使上部载置台下降使衬底换乘到第二棒状部件后的状态的侧面图；

图21是表示从图20的状态，使衬底载置台整体上升，使衬底支承台的高度和上部载置台的高度成为同一高度，同时把衬底搬到该上部载置台后的状态的侧面图；

图22是表示从图21的状态，使上部载置台下降使衬底换乘到第一棒状部件后的状态侧面图；

图23是表示从图22的状态，使衬底载置台移动直到衬底处理装置以后，向前方推出第二棒状部件，使衬底交接到衬底处置装置后的状态侧面图；

图24是表示从图23的状态，向前方推出第一棒状部件把衬底交接到衬底处置装置的状态的侧面图；

图25是表示利用本发明第三实施例的衬底搬送装置制作衬底的装置全体立体图；

图26是表示在图25所示的衬底搬送装置中用交接机构从衬底支承台接收衬底的状态的立体图；

图27是表示移载机构另一例的侧面图；

图28是表示现有的衬底搬进搬出装置的一例的侧面图。

具体实施方式

以下，参照图1到图10说明本发明的衬底搬进搬出装置的第一实施例。

如图1所示，本实施例的基板搬进搬出装置1在存放多个衬底A的线笼(存放容器)10存取衬底A。线笼10具备：在上下方向空出间隔设置并分别水平载置薄板状衬底A的多个衬底支承部2、设于侧部并沿水平方向搬进搬出衬底A的搬进搬出口3以及设于下部的下部开口4。

线笼10，如图2到图5所示，以铝等金属的框架5形成箱状，在上述搬进搬出口3以外的侧部设置纵架5a，在上面和下面设置向与搬进搬出口3的面垂直的方向设置的架5b和在与该架5b垂直的方向设置的两条架5c。由该架5b和架5c包围的开口形成下部开口4。在本实施例中，设置六处下部开口4。

另外，在对向的纵架5a间，设置水平地支承衬底A的衬底支承部2。衬底支承部2，例如是直径细的金属丝等绳状物，可在高度方向密集地存放衬底A。

如图2所示，线笼10由升降装置20保持并使之可升降。在线笼10的下方设置衬底支承台25，其用升降装置20使线笼10下降时，从下部开口4***线笼10内向上推最下边的衬底A，使在线笼10内的衬底A脱离衬底支承部2。

升降装置20，通过与线笼10的图中未示出的嵌合部嵌合保持线笼10。另外，被图中未示出的控制部控制升降线笼10。

衬底支承台25，在前后左右方向以留出规定间隔的状态邻接配置在基础台26上。衬底支承台25分为六个以便从各个下部开口4向线笼10内***，上述规定间隔设为上述架5b，5c间不干涉的间隔。

另外，在衬底支承台25的上部，设置沿衬底A的搬进搬出方向自由移动地支承该衬底A的多个滚筒27。滚筒27绕沿着与衬底A的搬进搬出方向垂直的方向延伸的旋转轴B支承可自由转动。

衬底搬进搬出装置1具备衬底保持机构30。衬底保持机构30具备：在线笼10的外部邻接搬进搬出口3配置的载置台31、设置成在该载置台31上在衬底A的搬进搬出方向可移动并保持在线笼10内用支承衬底A的上述衬底支承部2保持的衬底A端部的保持部32。

衬底保持机构30，有邻接衬底支承台25配置的基础台33。在基础台33上，通过可使载置台31旋转360度的旋转部34安装载置台31。载置台31设置成与支承台25高度相同，水平载置衬底A。

在载置台31的上面配置沿衬底A的搬进搬出方向延伸的三条移动槽35，其在与搬进搬出方向垂直的方向空出规定间隔。在三条移动槽35中安装沿着各移动槽35可移动的保持部32。各保持部32，通过图中未示出的控制部控制移动速度，同时分别同步移动。

在保持部32，如图8到图10所示，设置从下面吸住衬底A的吸附口(吸附机构)36。吸附口36，与图中未示出的真空泵等连接，通过使该真空泵动作可吸住保持衬底A。

如图2所示，在载置台31的上部，设置保持该衬底A沿衬底A的搬进搬出方向自由移动的滚筒(衬底支承机构)37。滚筒37绕沿着与衬底A的搬进搬出方向垂直的方向延伸的旋转轴B支承可自由转动，并在各移动槽35间沿着搬进搬出方向配置多个。，如图8到图10所示，调整滚筒37以使滚筒37的上部与保持部32的滚筒27上部高度相同。

进而，如图1所示，邻接衬底保持机构30配设移动轨道45，在移动轨道45上可移动地安装衬底搬送装置51，其搬送载置在载置台31上的衬底A到规定处理该衬底A的衬底处理装置7上。

衬底搬送装置51具备在水平方向自由移动的多关节臂52，在该多关节臂52的顶端安装多个棒状部件53。再者，棒状部件53借助于多关节臂52***载置台31上的图中未示出的切口槽，就能从下边举起在载置台31上所载置的衬底A并装到多个棒状部件53上。这样，从载置台31取得衬底A的同时搬送给衬底处理装置7进行规定处理，搬送用衬底处理装置7进行规定处理后的衬底A并送到载置台31。

下面对通过这样构成的衬底搬进搬出装置1从线笼10搬出衬底A的情况进行说明。

首先，如图2所示，用升降装置20保持线笼10。在线笼10内在高度方向空出间隔水平地存放多个衬底A。将衬底A载置在线笼10内的衬底支承部2上。保持了线笼10以后，通过控制部使升降装置20动作，使线笼10朝向衬底支承台25下降。由于衬底支承台25配置成与线笼10的底面安装的架5b，5c间不干涉，所以如图6所示，衬底支承台25从线笼10的各个下部开口4***线笼10内。

在衬底支承台25***线笼10内时，如图7所示，配置在衬底支承台25上面的各滚筒27就相对地上升。然后，进而使线笼10下降时，如图8所示，滚筒27上部接触位于线笼10最下层的衬底A下面举起衬底A离开衬底支承部2。衬底A脱离后，控制部就控制升降装置20使下降暂且停止。这时，衬底支承台25的滚筒27和载置台31的滚筒37成了相同高度。

衬底A脱离衬底支承部2时，如图9所示，控制部就使保持部32沿着移动槽35向接近搬进搬出口3的方向(即搬入方向)移动，使其位于衬底A端部下面。在该状态下，开动真空泵使衬底A吸附在吸附口36。由此，使衬底A端部保持在保持部32。

通过上述保持工序保持了衬底A后，如图10所示，使保持部32向离开搬进搬出口3的方向(即搬出方向)移动。

通过该移动工序，衬底A从线笼10内通过搬进搬出口3搬到载置台31上。另外，在搬出时，衬底A由滚筒27，37整个面上加以支承，因而即使用保持部32只吸住端部移动，也能稳定另外顺利地搬出。另外，由于通过控制部改变保持部32的移动速度，所以能迅速地搬出衬底A。尤其是，因为滚筒27，37和衬底A是点接触，减少了滚筒27，37与衬底A的摩擦阻力，所以能迅速地搬出衬底A。

从线笼10搬出衬底A并载置到载置台31上后，用图1和图2所示的旋转部34使载置台31旋转180度。然后，使图1所示的衬底搬送装置51移动并邻接载置台31。在该状态下摇动使多关节臂52转动，让棒状部件53***载置台31的切口槽，从下边举起衬底A并载置在棒状部件53上。这时，真空泵停止动作，释放由保持机构32吸引保持的衬底A。

载置衬底A后，衬底搬送装置51沿着移动轨道45移动直到衬底处理装置7，把衬底A送到该衬底处理装置7内。然后，用衬底处理装置7规定处理后的衬底A再由衬底搬送装置51搬送存放到图中未示出的存放规定处理结束后的衬底A的存放容器内。

而把衬底A送给衬底搬送装置51上的载置台31，再借助于旋转部34旋转回原来的位置，邻接搬进搬出口3配置。然后，开动升降装置20使线笼10下降，重复进行上述的动作搬出下一个衬底A。

而在本实施例中，衬底搬进搬出装置1从线笼10搬出衬底A，然而也可以把线笼10作为存放用衬底处理装置7规定处理后的衬底A的容器而使用，接收通过衬底搬送装置41搬送来的衬底A并搬进线笼10内。这种场合，进行搬出相反的动作，搬进衬底A。

如上所述，若采用该衬底搬进搬出装置1和衬底搬进搬出方法，在用保持部32吸住保持衬底A端部的保持工序以后，进行移动工序使该保持部32沿离开搬进搬出口3的搬进搬出方向移动，可从线笼10搬出衬底A。

此时，由于在衬底支承台25和载置台31的上部设置滚筒27、37，所以能在支承整个衬底A的状态搬出，可使衬底A稳定另外顺利地移动。另外，由于在用保持部32在吸住保持衬底的状态下移动，因而能可靠地搬出衬底A，同时能按照保持部32的移动速度改变搬出速度，能迅速地搬出衬底A。尤其是在衬底支承台25侧上不需要动力，只要向保持部32提供移动的动力就行，所以能够实现结构的简化。

另外，保持部32，在用吸附口36吸住衬底A端部的状态下搬出该衬底A，所以不会弄伤衬底A而能够可靠地搬进搬出。

进而，衬底A和滚筒27、37是点接触式的，故摩擦力减少，因此能更加迅速地搬出衬底A。另外，因为接触面积小，所以不易对衬底A造成损伤。

另外，采用通过向衬底A的下面喷出空气使该衬底A浮起的浮起机构，就能防止衬底A与衬底支承台25及载置台31的上部接触，可降低给予衬底A的冲击等负荷，同时能防止附着灰尘等。

另外，保持部虽然通过真空泵动作在吸附口吸住并保持衬底，但是不限于此，只要是能保持衬底端部的结构就可以。另外，也可设置从上下方向夹住把持衬底的把持机构保持住衬底。在这种场合，由于能更加可靠地保持衬底，因而即使搬进搬出速度变化，也能稳定搬进搬出衬底。

其次，参照图11到图24说明涉及本发明的衬底搬送装置第二实施例。另外，对上述第1实施例中已经说过的构成要素采用同一标号并省略说明。

本实施例的衬底搬送装置11具备载置台41、交接机构44和移动台46。载置台41具备以邻接衬底支承台25配置的状态在线笼10搬进搬出衬底A的驱动滚筒(移载机构)40和调整驱动滚筒40与搬进搬出口3的相对位置的升降部(升降机构)49。交接机构44具备载置衬底A可移动的第一臂42和第二臂43，就用两臂42、43在载置台41和衬底处理装置7之间交接衬底A。移动台46为板状，载置交接机构44和载置台41，用电机47在衬底支承台25和衬底处理装置20之间设置的一对移动轨道45上移动。

在移动台46上，设置基础台48。在基础台48的上部，设置可相对基础台48升降的升降部49。在升降部49的上部，设置可相对垂直轴旋转360度的旋转部50，在旋转部50上安装载置台41和交接机构44。载置台41和交接机构44用升降部49使双方一起升降，同时用旋转部50旋转360度。

载置台41，如图12，图16和图17所示，有下部载置台55和上部载置台56。下部载置台55形成具有倾斜切除一端侧的两个角的顶端部55a的板状，安装在旋转部50上。另外，载置台56也要形成具有顶端部56a并成为和下部载置台55同一外形。通过安装于四个角的上下滑块57和下部载置台55连接。因此，上部载置台56相对下部载置台55可升降。进而，在上部载置台56的中央，从顶端部56a向与该顶端部56a对置的一侧形成长方形的开口部58。

在开口部58的中央的下部载置台55上，借助图中未示出的升降机构配设中央载置台56b。将中央载置台56b设为和上部载置台56相同的高度，就能和上部载置台56同步升降。

在上部载置台56和中央载置台56b上，沿着开口部58的长度方向空出规定间隔设置驱动滚筒40。绕沿着与搬进搬出方向(开口部58的长度方向)垂直的方向延伸的旋转轴B可转动地支承着驱动滚筒40，并用图中未示出的电机驱动旋转。

在下部载置台55上，夹着中央载置台56b，自由旋转地安装作为多关节臂的第一臂42的一端。在第一臂42的另一端，连接长度比开口部58的宽度要短一些的第一连接部件60，在第一连接部件上，安装着第一棒状部件61的一端。第一棒状部件61的长度和开口部58的纵向大约相同，在和开口部58的纵向垂直的方向空出规定间隔安装在第一连接部件60上。第一连接部件60和第一棒状部件61借助于第一臂42能在开口部58内在该开口部58的长度方向，即搬进搬出方向移动。

在下部载置台55，安装作为多关节臂的第二臂43的一端，使其自由旋转。在第二臂43的另一端，和上述同样安装第二连接部件62和第二棒状部件63。第二棒状部件63处于第一棒状部件61正上方。

通过上下滑块57沿上下方向移动上部载置台56和中央载置台56b时，具有驱动滚筒40的上部载置台56和中央载置台56b的上面相对第一棒状部件61和第二棒状部件63升降。另外，第一棒状部件61和第二棒状部件63，用第一臂42和第二臂43可在搬出方向移动。

第一臂42、第一连接部件60、第一棒状部件61、第二臂43、第二连接部件62和第二棒状部件63构成交接机构44。

另外，在本实施例中，滚筒27绕沿着与衬底A的搬进搬出方向垂直的方向延伸的旋转轴B支承可自由转动，由图中未示出的电机驱动。

另外，在本实施例中，如图18所示，作为初始设定，设定夹在第一棒状部件61和第二棒状部件63之间定位上部载置台56。另外，第一棒状部件61和第二棒状部件63移动时，中央载置台56b升降得第一棒状部件61和第二棒状部件63不干涉。

下面说明用这样构成的衬底搬送装置11从线笼10搬送衬底A到衬底处理装置7的情况。

首先，如图12所示，用升降机构30保持线笼10。在线笼10内沿高度方向空出间隔水平存放多个衬底A。将衬底A载置在线笼10内的衬底支承部2上。保持线笼10后，通过控制部使升降机构30动作，使线笼10朝向衬底支承台25下降。因为将衬底支承台25配置成线笼10底面配合的框架5b，5c间不干涉，所以衬底支承台25从线笼10的各下部开口4***线笼10内。

衬底支承台25若***线笼10内，和安装在衬底支承台25上面的各滚筒27相对上升。然后，再使线笼10下降，滚筒27的上部接触位于线笼10的最下层的衬底A下面并举起衬底A，使其脱离衬底支承部2。衬底A一脱离，控制部就控制升降机构30一度停止下降。这时，如图18所示，衬底A成为载置在滚筒27上的状态。

另外，这样衬底A脱离期间，如图11所示，用电机47使移动台46移动使其邻接衬底支承台25，同时依靠旋转部50定位，以使顶端部55a、56a和搬进搬出口3对置。

然后，衬底A脱离后，如图19所示，借助于上下滑块57使上部载置台56和中央载置台56b上升，驱动滚筒40的上部位于从第二棒状部件63的上部突出。然后，使载置台35的滚筒27及上部载置台56和中央载置台56b的驱动滚筒40从线笼10内到外部的方向(搬进搬出方向)旋转。这时，两滚筒27、40以同一方向且同一速度旋转。因此，两滚筒27，40摩擦阻力对衬底A起作用，衬底A在两滚筒27、40的旋转方向移动。衬底A从线笼10内通过搬进搬出口3向搬进搬出方向移动，装载到上部载置台56和中央载置台56b的驱动滚筒40上。

按照上述搬进搬出工序，将衬底A载置在上部载置台56和中央载置台56b上时，上部载置台56和中央载置台56b通过上下滑块57下降到原来的位置。因为上部载置台56和中央载置台56b若下降，相对地从开口部58使第二棒状部件63上升，所以就如56b图20所示，把衬底A转移到第二棒状部件63的上面。控制部继续使升降机构30动作使线笼10再次下降。由此，将下一个衬底A载置到衬底支承台25上。

第二棒状部件63上载置衬底A时，升降部49上升使第二棒状部件63、第一棒状部件61和上部载置台56等全体上升。然后，如图21所示，在衬底支承台25的滚筒27的上面与上部载置台56和中央载置台56b的驱动滚筒40的上面高度成同一高度时，由升降部49使上升停止，使两滚筒27、40旋转，然后搬出下一个衬底A。即，装载到上部载置台56和中央载置台56b上。

这样，在搬进搬出工序时，通过用升降部49相对搬进搬出口3升降载置台41，能够搬出多个衬底A。

另外，如果下一个衬底A装载到上部载置台56和中央载置台56b上时，上部载置台56和中央载置台56b借助于上下滑块57再从初始位置下降。因为上部载置台56和中央载置台56b若下降，则相对地从开口部58使第一棒状部件61上升，所以如图22所示，就把衬底A移到第一棒状部件61的上面。

按照上述转移工序，在第一棒状部件61和第二棒状部件63上载置衬底A后，开动电机47沿着移动轨道45使移动台46移动直到衬底处理装置7。该移动工序后，使旋转部50旋转180度把顶端部55a、56a向着衬底处理装置7进行交接工序。摇动如图12、图16和图17所示的第二臂43把第二连接部件62沿着开口部53的纵向推出。因此，如图23所示，因为在前方推出第二棒状部件63，所以载置于第二棒状部件63上的衬底A进入到衬底处理装置7内。进入的衬底A由衬底处理装置7内例如升降杆64接收并加以规定处理。

另外，第二棒状部件63返回原来的位置以后，通过升降部49使全体上升，同时用第一臂42推出第一连接部件60，如图24所示，装载于第一连接部件60上的衬底A也能进入衬底处理装置7。

进而，根据与上述交接时相反的动作，在第一棒状部件61和第二棒状部件63上载置以衬底处理装置7进行规定处理后的衬底A，同时在上部载置台56和中央载置台56b上顺序换载，并存放到存放规定处理结束后的衬底A的图中未示出的存放容器内。

另外，在本实施例中，衬底搬送装置11是从线笼10搬出衬底A。也可以使用线笼10作为存放通过衬底处理装置7进行规定处理后的衬底A的容器，把规定处理结束后的衬底A搬进线笼10内。在这种情况下，进行搬出的相反动作，也能搬进衬底A。

另外，从线笼10把衬底A搬送到衬底处理装置20时，搬出两片衬底A，同时在第一棒状部件61和第二棒状部件63上换载并送到衬底处理装置20。然而不只限于此。例如，作为用于把衬底A送给衬底处理装置20的交接专用也可以使用第一棒状部件61，也可以作为用从衬底处理装置20于接收规定处理结束后衬底A的接收专用而使用第二棒状部件63。这样，交接机构44也可以满足适时目的使用第一棒状部件61和第二棒状部件63。

如上所述，根据该衬底搬送装置11和衬底搬送方法，借助于衬底支承台25的滚筒27和上部载置台56和中央载置台56b的驱动滚筒40，就能从线笼10向上部载置台56搬出衬底A。另外，上述搬进搬出工序后，通过连接第一臂42的第一棒状部件61和连接第二臂43的第二棒状部件63的转移工序，载置到两个棒状部件61、63上，同时通过移动工序搬送直到衬底处理装置7，而后，通过交接工序送到衬底处理装置7。

这样，搭载向移动台46搬出衬底A的载置台41和把衬底A递给衬底处理装置7的交接机构44，因而可多功能使用，而不需要另外设置专门进行现有的衬底搬进搬出装置等的搬进搬出的装置。所以，可不需要多余的设置空间，有效地利用小空间，进行衬底A的搬进搬出和搬送。

另外，因为可用升降部49使载置台41相对搬进搬出口3升降，搬出多个衬底A，所以可提高效率，缩短时间。

另外，从线笼10把衬底A搬出载置台41时，利用驱动滚筒40，因而能可靠另外顺利地进行衬底A的搬出。进而，根据本实施例的衬底搬送装置11，从线笼10内可通过驱动滚筒40顺利地搬出每一片衬底A，所以衬底A即使是薄板状在线笼10内紧密存放，也能可靠地搬出。

另外，如上所述，在本实施例中，已说明了从线笼10搬出衬底A的情况，然而在搬进衬底A时上述效果也是同样的。

以下，参照图25和图26说明有关本发明衬底搬送装置的第三实施例。另外，在以下的说明中，在第二实施例中说明过的同一构成要素附加相同标号，省略其说明。

对于第三实施例和第二实施例的不同点在于，在第二实施例中，在载置台41上设置交接机构44并成为一体构造，而在第三实施例的衬底搬送装置70则是在移动台46上邻接配设载置台71和交接机构72。

载置台71，如图25所示，作成从第二实施例的载置台41去掉交接机构44的结构。另外，在移动台46上，邻接载置台71的基础台48设置和基础台48一样大小的基础台73。另外，在基础台73的上部与载置台71同样，设置相对基础台73能升降的升降部(升降机构)74，在升降部74的上部设置能绕垂直轴转动旋转360度的旋转部75，在旋转部75的上部安装交接机构72。即，第一臂42和第二臂43的一端可旋转地安装。因此，两臂42、43共同用升降部74升降，同时借助于旋转部75能旋转。

说明按照这样构成的衬底搬送装置70把衬底A搬送到衬底处理装置20的情况。通过用升降机构30使线笼10下降，在衬底支承台25的滚筒27上载置衬底A后，以同方向、同-速度使两驱动滚筒旋转，从线笼10内把衬底A搬到上部载置台56和中央载置台56b的驱动滚筒40上。该搬进搬出工序后，如图26所示，用电机47使移动台46移动，同时通过两旋转部74和50各自旋转90度，使上部载置台56的顶端部56a与第一棒状部件61和第二棒状部件63的顶端对置。旋转后，借助于第二臂43使第二棒状部件63向前突出，然后***开口部58。***后，使升降部74上升从下边举起衬底A，载置转移到第二棒状部件63上。该转移工序后，通过移动工序把移动台46移动到衬底处理装置7，而后，通过综合进行旋转部75、升降部74、第二臂43的交接工序，把衬底A送到衬底处理装置7内。

另外，不限于上述的衬底A交接，例如也可以从上部载置台56把衬底A载置在第一棒状部件61上，然后送到衬底处理装置7。另外，从衬底处理装置20接收衬底A时，用第一棒状部件61、第二棒状部件63的哪个接收也可以。

由衬底支承台和载置台的两个驱动滚筒搬出衬底，然而只要是搬进搬出衬底的移载机构，什么样的构造均可。例如，也可以利用朝着搬进搬出方向有能旋转的环状带的驱动传送带来搬进搬出衬底。这时，整个衬底平面接触载置在环状带上的状态下搬进搬出，因而能可靠且稳定地进行衬底的搬入搬出。

如第二实施例，也可采用具有沿搬进搬出方向支承衬底A自由移动的滚筒27和把持衬底A的端部同时沿搬进搬出方向可移动的保持部32的移载机构。这时，可以只通过保持部32的移动进行衬底A的搬进搬出，能使结构简化。另外，能按照保持部32的移动速度调整衬底A的搬进搬出速度，因而能迅速地进行衬底A的搬进搬出。另外，衬底A是由滚筒27支承并可移动，因而能实现搬进搬出的稳定顺利。

如图27所示，代替滚筒27，也可采用在衬底A下面喷出空气使衬底A浮起的浮起机构80。这时，在使衬底A浮起的状态通过保持部32进行搬进搬出，因而能防止和载置台31的上面等接触，能减少给衬底A的冲击等负荷。另外，能防止衬底A上附着灰尘等。所以，能进一步提高衬底A的质量。

另外，上述第二、第三实施例中，在转移工序后进行了移动工序，然而不限于此，也可以同时进行转移工序和移动工序。这时，可更有效地搬送衬底A，缩短搬送时间。

以上说明了本发明令人满意的实施例，然而本发明并不限于这些实施例。在不脱离本发明宗旨的范围内，可能进行结构的添加、省略、置换及其变更。本发明不由上述的说明所限定，而是只根据权利要求书范围限定。

Claims (15)

1.一种衬底搬进搬出装置(1)，其对存放衬底(A)的存放容器(10)搬进或搬出所述衬底(A)，其特征在于，具备：

邻接所述存放容器(10)而配置且载置所述衬底(A)的载置台(31)；

在该载置台(31)上沿所述衬底(A)的搬进搬出方向可移动地设置，保持所述衬底(A)的保持部(32)；

在所述载置台(31)上在所述搬进搬出方向可移动地支承该保持部(32)所保持的所述衬底(A)的衬底支承机构。

2.如权利要求1所述的衬底搬进搬出装置(1)，其特征在于，所述保持部(32)具备把持所述衬底(A)的把持机构。

3.如权利要求1所述的衬底搬进搬出装置(1)，其特征在于，所述保持部(32)具备吸附所述衬底(A)的吸附机构(36)。

4.如权利要求1所述的衬底搬进搬出装置(1)，其特征在于，所述衬底支承机构是绕与所述搬进搬出方向垂直的旋转轴自由转动地被支承的滚筒(37)。

5如权利要求1所述的衬底搬进搬出是装置(1)，其特征在于，所述支承机构是通过向所述衬底(A)的下面喷出空气使该衬底(A)从所述载置台(31)浮起的浮起机构。

6.一种衬底搬进搬出方法，其对存放衬底(A)的存放容器(10)搬入或搬出所述衬底(A)，其特征在于，具备：

用保持部(32)保持所述衬底(A)的端部的保持工序；使保持所述衬底(A)的所述保持部(32)在所述衬底(A)的搬进搬出方向移动的移动工序。

7.如权利要求6所述的衬底搬进搬出方法，其特征在于，在所述移动工序中，在所述搬进搬出方向可移动地支承所述衬底(A)。

8.一种衬底搬送装置(11)，其在存放衬底(A)的存放容器(10)和处理所述衬底(A)的衬底处理装置(7)之间搬送所述衬底(A)，其特征在于，具备：

对所述存放容器(10)搬进搬出所述衬底(A)的移载机构；

搭载该移载机构，载置对所述存放容器(10)搬进搬出的所述衬底(A)的载置台(41)；

在该载置台(41)和所述衬底处理装置(7)之间交接所述衬底(A)的交接机构(44)；

设于所述存放容器(10)和所述衬底处理装置(7)之间的移动轨道(45)；

搭载所述载置台(41)和所述交接机构(44)，在所述移动轨道(45)上可移动的移动台(46)。

9.如权利要求8所述的衬底搬送装置(11)，其特征在于，所述移载机构是绕与所述搬进搬出方向垂直的旋转轴旋转驱动的驱动滚筒(40)。

10.如权利要求8所述的衬底搬送装置(11)，其特征在于，所述移载机构是在所述搬进搬出方向旋转驱动的具有环状带的驱动传送带。

11.如权利要求8所述的衬底搬送装置(11)，其特征在于，

所述移载机构具备：保持所述衬底(A)的保持部(32)、在所述搬进搬出方向可移动地支承该保持部所保持的所述衬底(A)的衬底支承机构。

12.如权利要求11所述的衬底搬送装置(11)，其特征在于，

衬底支承机构是通过向所述衬底(A)的下面喷出空气使该衬底(A)从所述载置台(41)浮起的浮起机构(80)。

13.一种衬底搬送方法，其在存放衬底(A)的存放容器(10)和处理所述衬底(A)的衬底处理装置之间，经由载置对所述存放容器(10)搬进搬出的所述衬底(A)的载置台(41)与在该载置台(41)和所述衬底处理装置(7)之间交接所述衬底(A)的交接机构(44)搬送所述衬底(A)，其特征在于，具备：

在所述存放容器(10)和所述载置台(41)之间搬进搬出所述衬底(A)的搬进搬出工序；

在所述载置台(41)和所述交接机构(44)之间转移所述衬底(A)的转移工序；

在所述载置台(41)和所述衬底处理装置(7)之间移动所述交接机构(44)的移动工序；

在所述交接机构(44)和所述衬底处理装置(7)之间交接所述衬底(A)的交接工序。

14.如权利要求13所述的衬底搬送方法，其特征在于，同时进行所述转移工序和所述移动工序。

15.如权利要求14所述的衬底搬送方法，其特征在于，所述搬进搬出工序中，同时将多个所述衬底(A)搬进搬出。

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