CN1576200A

CN1576200A - 搬送装置

Info

Publication number: CN1576200A
Application number: CN200410058750.0A
Authority: CN
Inventors: 池畑淑照; 大野隆佳; 森本雄一
Original assignee: Daifuku Co Ltd
Current assignee: Daifuku Co Ltd
Priority date: 2003-07-29
Filing date: 2004-07-28
Publication date: 2005-02-09
Anticipated expiration: 2024-07-28
Also published as: CN102101590B; US7140827B2; KR101142809B1; TW200508128A; KR101140834B1; KR20050013978A; US20050036873A1; US20070003400A1; KR20120023587A; CN102101590A; CN1576200B; TWI295657B

Abstract

本发明提供一种能基于其它的搬送机构的搬送状态来控制多个搬送机构中的一个搬送机构的搬送装置。在搬送方向上排列设置具备向搬送物(2)的下面部送入空气、以非接触状态支承搬送物(2)的送风式支承机构，以及对由该送风式支承机构支承的搬送物施加搬送方向上的推进力的推进力施加机构的搬送机构(1)，并设有控制这多个搬送机构(1)的运转的控制机构(H)的搬送装置中，控制机构(H)对于作为邻接于搬送方向的下游一侧的搬送机构(1)处于运转状态的搬送机构(1)，允许其开始运转，对于作为邻接于搬送方向的下游一侧的搬送机构(1)处于非运转状态的搬送机构(1)，禁止其开始运转。

Description

搬送装置

技术领域

本发明涉及一种搬送装置，沿搬送方向并列地设置多个搬送机构，设有控制这些多个搬送机构的运转的控制机构，所述搬送机构包括：朝向搬送物的下面部送入空气、以非接触状态支承搬送物的送风式支承机构；相对于由该送风式支承机构支承的前述搬送物来施加搬送方向上的推进力的推进力施加机构。

背景技术

上述这种搬运装置通过排列于搬送方向上的多个搬送机构来搬送液晶用的玻璃基板等的搬送物。在各个搬送机构中，相对于由送风式支承机构以非接触状态支承的搬送物，利用推进力施加机构，例如，通过接触支承搬送物的两端部或者搬送物的下端部等的搬送物的一部分并对其施加推进力，使搬送物从位于搬送方向的上游一侧的搬送机构换乘到位于搬送方向的下游一侧的搬送机构，由此进行搬送。

而且，在现有的搬送装置中，就搬送搬送物时的姿势而言，例如有以水平姿势或者近似水平姿势进行搬送的装置和以竖直姿势或者近似竖直姿势搬送的装置，所以分别进行说明。

首先，说明以水平姿势或者近似水平姿势搬送搬送物的现有的搬送装置。送风式支承机构，相对于成为水平姿势或者近似水平姿势的搬送物，向位于该搬送物的下面部中的两侧端部之间的中间部分送入空气。推进力施加机构其构成为具备驱动旋转体，其接触支承成为水平姿势或者近似水平姿势的搬送物的两端部，并对之施加推进力。

而且，具备这样的送风式支承机构和推进力施加机构的多个搬送机构以邻接的状态排列于搬送方向上，控制机构根据运转开始的指令等而开始搬送机构的运转，由此将水平姿势或者近似水平姿势的搬送物换乘到邻接于搬送方向的下游一侧的搬送机构(例如，参照特开2002-321820号公报)。

接着，说明以竖直姿势或者近似竖直姿势搬送搬送物的现有的搬送装置。送风式支承机构，相对于成为竖直姿势或者近似竖直姿势的搬送物，向位于该搬送物的下面部中的两侧端部之间的中间部分送入空气，推进力施加机构其构成为具备驱动旋转体，接触支承变为竖直姿势或者近似竖直姿势的搬送物的两端部，并对其施加推进力。

而且，具备这样的送风式支承机构和推进力施加机构的多个搬送机构以邻接的状态排列于搬送方向上，控制机构根据运转开始的指令等而开始搬送机构的运转，将竖直姿势或者近似竖直姿势的搬送物换乘到邻接于搬送方向的下游一侧的搬送机构(例如，参照特开2002-308423号公报)。

在上述的2个文献中的搬送装置中，控制机构只是简单地根据开始运转的指令等来开始搬送机构的运转，所以与其他的搬送机构的状态无关地来控制指定的搬送机构，可能会产生问题。

例如，在现有的搬送装置中，在邻接于搬送方向的下游一侧的搬送机构不能以非接触状态支承搬送要换乘的搬送物的情况下，也会有开始运转位于搬送方向的上游一侧的搬送机构的危险。因此，可能不会以非接触状态支承并搬送搬送物、由于搬送物与搬送机构等接触而导致搬送物损伤。

又，在现有的搬送装置中，控制机构对于作为换乘对象的搬送机构以及比该换乘对象更邻接于搬送方向的上游一侧的搬送机构，只是简单地使送风式支承机构和推进力施加机构动作，所以在作为换乘对象的搬送机构中，可能不会以非接触状态支承换乘的搬送物、由于搬送物与作为换乘对象的搬送机构等接触而导致搬送物损伤。即，送风式支承机构开始其动作后，向搬送物的下面部送入的空气的送风量不是能马上以非接触状态支承搬送物的送风量，从开始动作到能以非接触状态支承搬送物需要一段时间。

因此，在现有的搬送装置中，例如，虽然考虑到利用控制机构，对于作为换乘对象的搬送机构，在换乘搬送物的换乘定时中开始送风式支承机构的动作，但是在这种情况下，从送风式支承机构的开始动作到搬送物换乘为止之间的时间短，所以不能通过送风式支承机构以非接触状态来支承搬送物。

发明内容

本发明着眼于这些问题而提出，其目的在于提供以其他的搬送机构的搬送状态为基础来控制多个搬送机构中的指定的搬送机构，由此能够解决上述问题的搬送装置。

为了达到该目的，根据技术方案1，提供一种搬送装置，在搬送方向上并列地设置多个搬送机构、设有控制这多个搬送机构的运转的控制机构，所述搬送机构具备：向搬送物的下面部送入空气、以非接触状态支承搬送物的送风式支承机构；对于由该送风式支承机构支承的前述搬送物施加搬送方向上的推进力的推进力施加机构；前述控制机构基于前述多个搬送机构中的至少一个搬送机构的搬送状态，控制前述多个搬送机构中的其他的搬送机构的状态地构成。根据这样的构成，可以提供以下搬送装置：对于全部的多个搬送机构并不发送相同的控制命令、而是基于其他的搬送机构的搬送状态来控制指定的搬送机构、可进行即时控制，由此能够避免可能发生的问题。

根据技术方案2，前述一个搬送机构和前述其他的搬送机构分别是邻接的2个搬送机构的搬送方向的下游一侧的搬送机构和上游一侧的搬送机构，前述控制机构在前述下游一侧的搬送机构处于运转状态的情况下，允许前述上游一侧的搬送机构开始运转，在前述下游一侧的搬送机构处于非运转状态的情况下，禁止前述上游一侧的搬送机构开始运转。

在这样的构成中，对于不能以非接触状态来支承并搬送搬送物的搬送机构来说，因为能防止换乘搬送物，所以也可以防止产生邻接于搬送方向的下游一侧的搬送机构不能以非接触状态支承搬送物的情况。

因此，根据邻接于搬送方向的下游一侧的搬送机构是处于运转状态还是处于非运转状态，能提供以下搬送装置：只是在邻接于搬送方向的下游一侧的搬送机构能以非接触状态支承搬送物的情况下，能一边开始运转位于搬送方向的上游一侧的搬送机构，通过邻接于搬送方向的下游一侧的搬送机构以非接触状态支承搬送搬送物，一边在多个搬送机构之间换乘、搬送搬送物。

根据技术方案3，设置分别对前述多个搬送机构的每一个发出开始运转指令的人为操作式的运转指令机构，前述控制机构在前述下游一侧的搬送机构处于运转状态的情况下，通过前述运转指令机构对前述上游一侧的搬送机构发出开始运转的指令，则开始运转前述上游一侧的搬送机构，前述控制机构在前述下游一侧的搬送装置处于非运转状态的情况下，即使通过前述运转指令机构对前述上游一侧的搬送机构发出开始运转的指令，也禁止前述上游一侧的搬送机构开始运转。

即，因为设置分别对前述多个搬送机构的每一个发出开始运转指令的人为操作式的运转指令机构，所以能够通过该运转指令机构而仅对搬送机构的一部分发出开始运转的指令，仅仅开始运转搬送机构的一部分。

而且，在因为故障等而使搬送物停止在多个搬送机构中间的情况下，可以开始运转搬送机构的一部分，将停止于中间的搬送物搬送到搬送终端部等可以取出搬送物的地方。

因此，即使搬送物停止于多个搬送机构的中间，也可以只运转搬送机构的一部分来除去该搬送物，而且，也可以运转搬送机构的一部分或者每一个搬送机构来进行维修作业、提高搬送机构的方便性。

而且，因为能通过人为操作式的运转指令机构分别对多个搬送机构的每一个发出开始运转的指令，所以存在因为操作者的错误而对作为邻接于搬送方向的下游一侧的搬送机构处于非运转状态的搬送机构发出错误的开始运转指令的情况。

即使在这样的情况下，也如技术方案1的特征所述，因为控制机构对于作为邻接于搬送方向的下游一侧的搬送机构处于非运转状态的搬送机构，禁止其开始运转，所以即使由运转指令机构发出错误的开始运转指令，也可以防止邻接于搬送方向的下游一侧的搬送机构不能以非接触状态支承搬送物的情况。

因此，也可以一边提高搬送机构的方便性，一边通过邻接于搬送方向的下游一侧的搬送机构以非接触状态支承搬送搬送物，在多个搬送机构之间换乘并搬送搬送物。

根据技术方案4，前述搬送机构具备检测在其搬送路径上是否存在搬送物的载物检测机构，前述控制机构在前述下游一侧的搬送机构处于非运转状态的情况下，若前述上游一侧的搬送装置的前述载物检测机构检测到前述搬送物的存在，则禁止前述上游一侧的搬送机构开始运转。

即，若在搬送路径上实际存在搬送物，将其换乘到邻接于搬送方向的下游一侧的搬送机构上，则能够仅仅对于处在不能通过邻接于该搬送方向的下游一侧的搬送机构以非接触状态支承搬送搬送物情况下的搬送机构，禁止其开始运转。

因此，检测在搬送路径上是否存在搬送物，即使对没有不能通过邻接于搬送方向的下游一侧的搬送机构以非接触状态支承搬送物之虞的搬送机构来说，也能防止其开始运转，能够可靠地防止不能通过邻接于搬送方向的下游一侧的搬送机构以非接触状态支承搬送物。

根据技术方案5，前述一个搬送机构和前述其他的搬送机构分别是邻接的2个搬送机构的搬送方向的上游一侧的搬送机构和下游一侧的搬送机构，前述控制机构控制前述下游一侧的搬送机构的前述送风式支承机构，使得在前述上游一侧的搬送机构中的前述搬送物换乘到前述下游一侧的搬送机构上的换乘定时之前，能够通过前述下游一侧的搬送机构的前述送风式支承机构以非接触状态支承前述搬送物。

根据这样的构成，可以延长从换乘对象的搬送机构的送风式支承机构开始动作到搬送物换乘之间的时间，在此期间，变为能通过送风式支承机构以非接触状态支承搬送物的状态。

根据技术方案6，前述控制机构控制前述下游一侧的搬送机构的前述送风式支承机构，以使在前述搬送物换乘到前述上游一侧的搬送机构的上游一侧换乘定时中，变化为能通过前述下游一侧的搬送机构的前述送风式支承机构以非接触状态支承搬送物的状态，

即，因为控制机构在上游一侧的换乘定时中，能使送风式支承机构开始动作，所以防止能量消耗量的增加，同时在由送风式支承机构以非接触状态支承换乘的搬移物的定时中，使送风式支承机构开始动作。

加以说明的话，在作为换乘对象的搬送机构中，送风式支承机构的开始动作定时比换乘定时越早，使送风式支承机构动作的时间就变得越长，导致能量的消耗就越多。相反，在作为换乘对象的搬送机构中，送风式支承机构的开始动作定时越接近换乘定时，从送风式支承机构的开始动作到换乘搬送物之间的时间就越短，可能会产生不能以非接触状态支承搬送物的问题。

因此，一边在作为换乘对象的搬送机构中，通过将送风式支承机构的开始动作定时设为上游一侧的换乘定时来防止能量消耗的增大，一边在送风式支承机构能以非接触状态支承换乘的搬送物的定时，使送风式支承机构开始动作。

因此，可以一边通过准确的定时来使送风式支承机构开始动作，节省能量，一边通过送风式支承机构以非接触状态支承搬送物。

根据技术方案7，前述送风式支承机构通过除尘过滤器向前述搬送物的下面部送入清洁空气地构成，且，自由地变更成将向前述搬送物的下面部送入的清洁的空气的送风量，在作为以非接触状态支承前述搬送物的支承用送风量的支承动作状态、和作为比前述支承用送风量小的小送风量的弱风状态，前述控制机构在前述换乘定时之前将前述下游一侧的搬送机构的前述送风式支承机构从作为开始运转的状态的弱风状态变更为支承动作状态。

即，控制机构通过以微弱动作状态使运转对象的搬送机构的送风式支承机构动作，可以用由送风式支承机构送入的清洁的空气来防止灰尘附着于搬送物。

而且，就换乘对象的搬送机构而言，控制机构通过在换乘定时之前将送风式支承机构从微弱动作状态变更为支承动作状态，将从送风式支承机构的开始动作到换乘搬送物之间的时间变长，从而能通过送风式支承机构以非接触状态支承搬移的搬送物。

因此，能一边防止灰尘附着于搬送物，一边在将该搬送物换乘并搬送到换乘对象的搬送机构之际，通过送风式支承机构以非接触状态支承搬送物，例如，不仅仅是以非接触状态支承液晶用的玻璃基板等，即使是要求防止灰尘附着的搬送物也能准确地搬送，所以搬送装置是有用的。

附图说明

图1是第1实施方式的搬送装置中省略了一部分的立体图。

图2是第1实施方式的搬送装置的纵剖正视图。

图3是第1实施方式的搬送装置的纵剖放大正视图。

图4是第1实施方式的搬送装置的纵剖侧视图。

图5是第1实施方式的搬送单元的立体图。

图6是第1实施方式的搬送单元的俯视图。

图7是表示第1实施方式的推进力施加机构的搬送装置的纵剖正视图。

图8是表示第1实施方式的推进力施加机构的主要部分的纵正面剖视图。

图9是表示第1实施方式的推进力施加机构的主要部分的纵剖侧视图。

图10是第1实施方式的搬送装置的控制框图。

图11是第1实施方式的搬送装置的概略图。

图12是第1实施方式的手动运转的流程图。

图13是第2实施方式的搬送装置的概略图。

图14是第2实施方式的搬送装置的流程图。

图15是第3实施方式的搬送装置中省略了一部分的立体图。

图16是第3实施方式的搬送装置的部分切口侧视图。

图17是其他实施方式的搬送装置的流程图。

具体实施方式

基于附图来说明本发明的搬送装置。在以下的实施方式中，虽然使用玻璃基板作为搬送物的例子，但是不限于此。只要不产生矛盾，就可以组合下述的多个实施方式的特征，这样的组合也是本发明的一部分。

[第1实施方式]

如图1～图3以及图10所示，本搬送装置搬送液晶用的玻璃基板等的板状体来作为搬送物，具备多个搬送单元1(搬送机构)、作为控制这些多个搬送单元1的运转的控制机构的控制部H、以及对该控制部H发出控制信息指令的人为操作式的指令部S等。

而且，作为搬送机构的各个搬送单元1以水平姿势或者近似水平姿势搬送玻璃基板2。

前述搬送单元1如图1～图3所示，以沿着玻璃基板2的搬送方向邻接的状态并列设置，通过使玻璃基板2从位于搬送方向的上游一侧的搬送单元1换乘到位于搬送方向的下游一侧的搬送单元1来搬送玻璃基板2。

又，搬送单元1分为上下2级地并列设置，就在上侧的搬送单元1和下侧的搬送单元1上的搬送方向而言，不论是相反的方向还是相同的方向都是可以的。例如，在上侧的搬送单元1和下侧的搬送单元1的搬送方向是相反方向的情况下，通过下侧的搬送单元1使由上侧的搬送单元1搬送的玻璃基板2返回，因此可以对玻璃基板2进行相同的工序，或将不好的玻璃基板送回到原位。

如图1～图4所示，搬送单元1具备：向玻璃基板2的下面部送入空气、以非接触状态支承玻璃基板2的送风式支承机构3；对于由该送风式支承机构支承的玻璃基板2施加搬送方向上的推进力的推进力施加机构4。

又，搬送单元1如图11所示，具备作为检测在搬送路径上是否存在玻璃基板2的检测机构的传感器T。该传感器T的功能为：如果来自投光部的光没有照射到受光部，则检测到搬送路径上存在玻璃基板2；如果从投光部的发出的光照射到受光部，则检测到在搬送路径上不存在玻璃基板2。又，传感器T也能适当地变更其个数或者设置部位，只要能检测在搬送路径上是否存在玻璃基板2就可以。

如图2～图4所示，前述送风式支承机构3具备：除去尘埃的除尘过滤器5、以及经过该除尘过滤器5向玻璃基板2的下面部送入清洁的空气的送风风扇6。而且，送风式支承机构3由多个将一个除尘过滤器5和一个送风风扇6一体组装而成的风扇过滤器单元7构成，在这多个风扇过滤器单元7的上部设有进行向玻璃基板2的下面部送入的清洁的空气的风向调整的多孔板状的调风板8。在壳体上支承有这些除尘过滤器5、送风风扇6以及调风板8。加以说明的话，如图5以及图6所示，在与玻璃基板2的搬送方向垂直的宽度方向的中间部位，以一定的间隔在左右各设置一个风扇过滤器单元7，进一步说，在玻璃基板2的搬送方向上也隔开一定的间隔的状态下，例如，并列设有3个，合计设有6个风扇过滤器单元7。

而且，在一个搬送单元中设置由6个风扇过滤器单元7构成的送风式支承机构3，再配置一张调风板8来包覆6个风扇过滤器单元7的上方。

又，送风风扇6如图2以及图3所示，吸收比其设置部位更位于下方一侧的空气，向位于上方的除尘过滤器5送入该空气。

这样，送风式支承机构3朝向与玻璃基板2的搬送方向垂直的横向宽度方向的两端部之间的中间部，送入经调风板8调整了风向的、通过了除尘过滤器5的清洁空气，以非接触状态支承玻璃基板2的横向宽度方向的中间部分。

在前述搬送单元1中，如图2以及图4～图6所示，在与玻璃基板2的搬送方向垂直的横向宽度方向的中间部位以及玻璃基板2的搬送方向的中央一侧的具有间隔的部位上，形成向下方排出清洁空气的通气路9。加以说明的话，因为在6个风扇过滤器单元7之间空有间隙，所以利用该间隙，在风扇过滤器单元7的厚度方向上形成相互连通的通气路9。在调风板8的位于通气路9的上方的部位上形成有孔部，通气路9将通过孔部供给的清洁空气引导至下方一侧，并排入到下方。因此，通过将通气路9设置在与玻璃基板2的搬送方向垂直的横向宽度方向的中间部位以及玻璃基板2的搬送方向的中央一侧的具有间隔的部位，清洁的空气就不会滞留于玻璃基板2的横向宽度方向的中间部位或者搬送方向的中央一侧，通过通气路9就会将空气排入到下方。而且，因为清洁的空气不滞留，所以玻璃基板2不会向上方一侧弯曲、能以水平姿势或者近似水平姿势搬送玻璃基板2。

前述推进力施加机构3如图2以及图7所示，由接触支承玻璃基板2的横向宽度方向的两端部的驱动辊14和用于经由传动轴15来驱动该驱动辊14的电动马达16构成。图7表示的是搬送单元1的纵侧剖视图，展示了设置的左右一对的推进力施加机构3的其中之一的侧面。

加以说明的话，多个驱动辊14在玻璃基板2的搬送方向上以一定的间隔设置，传动轴15在沿搬送方向多根排列的状态下由连轴器17连动连结。设置电动马达16使输出齿轮16a与传动轴15具备的直齿轮18a啮合，传动轴15通过电动马达16的动作来旋转驱动。在玻璃基板2的搬送方向上，在对应于多个驱动辊14的配置部位的位置上设置输出轴19，如图8以及图9所示，在该输出轴19的一端部上设有驱动辊14。驱动辊14设置为与输出轴19一体旋转，在输出轴19的另一端部上设有与传动轴15具备的直齿轮18啮合的输入齿轮20。

这样，就可以通过电动马达16的动作来旋转驱动传动轴15，通过该传动轴15的旋转驱动来使传动轴15的直齿轮18与输入齿轮20啮合并旋转输出轴19、从而旋转驱动辊14。而且，通过电动马达16的动作来旋转驱动辊14，通过该驱动辊14一边以非接触状态支承玻璃基板2的横向宽度方向的两端部，一边对玻璃基板2施加搬送方向上的推进力。驱动辊14的大径部14a防止玻璃基板2的在横向宽度方向上的位置偏移。

前述搬送单元1的框体10如图3以及图4所示，由载置支承多个风扇过滤器单元7的长方形形状的单元用框体11和配置于该单元用框体11的两侧肋的左右一对的收纳用框体12构成。

前述单元用框体11由配置于底面一侧的平板状的底面体11a和与该底面体11a的两端部连结、朝向上方的侧壁部分11b以及包覆该侧壁部分11b之间的上方的单元用覆盖体11c构成。侧壁部分11b兼为(共用)收纳用框体12。

而且，单元用框体11的内部空间作为收纳由多个风扇过滤器单元7构成的送风式支承机构3和玻璃基板2的搬送空间A而构成，单元用框体11将搬送空间A包覆成密闭状态或者近似密闭的状态。在底面体11a上，在位于送风风扇6下方的部位上形成有将外部空气导入到搬送空间A空气导入口13。通过送风风扇6的动作，吸引搬送空间A的空气，使该吸入的空气通过除尘过滤器5和调风板8，然后向玻璃基板2的下面部送入清洁的空气，使搬送空间A内部的空气循环。通过送风风扇6的动作，外部空气从空气导入口13导入到搬送空间A，加压搬送空间A，使在搬送空间A内的循环的空气的一部分从单元用框体11和收纳框体12的间隙等排出到外部，由此使在搬送空间A内循环的空气的一部分与外部空气进行交换。

前述收纳用框体12具有从侧面看是コ字状的收纳用框架12a和闭塞该收纳用框架12a的侧方的开口部的收纳用覆盖体12b。而且，收纳用框体12的内部空间作为收纳电动马达16或者传动轴15等的驱动机构的收纳空间B而构成，收纳用框体12将搬送空间B包覆成密闭状态或者近似密闭的状态地构成。在收纳空间B中设置与风扇过滤器单元7同样具备吹风功能以及除尘机构的辅助风扇过滤器单元(sub-fan-filter unit)21。在玻璃基板2的搬送方向上的配置辅助风扇过滤器单元21的部位中，在收纳用框架12a的下面部上形成将收纳空间B内的空气排出到外部的外部排出口22，在收纳用框架12a的侧面部上形成有连通搬送空间A和收纳空间B的空气排出口23。

这样，通过辅助风扇过滤器单元21的动作，搬送空间A的一部分空气排出到收纳空间B，收纳空间B内的空气通过辅助风扇过滤器单元21的动作而被吸引，然后由辅助风扇过滤器21除尘后的空气经过外部排出口22排出到外部。

前述搬送单元1分为上下2级地配置，如图2所示，上侧的搬送单元1以横侧部的一端一侧为支点向上方一侧自如地进行摆动操作，从而使下侧的搬送单元1的上方开放。加以说明的话，上侧的搬送单元1的框体10可围绕摆动轴心P自由摆动地铰接，通过向上方一侧摆动，可以使下侧的搬送单元1的框体10的上方开放。而且，在对下侧的搬送单元1进行维修作业时，摆动操作上侧的搬送单元1之后，在下侧的搬送单元1的框体10中，通过卸下覆盖体11c可以开放下侧的搬送单元1的搬送空间A。又，在对上侧的搬送单元1进行维修作业时，通过摘下覆盖体11c可以开放上侧的搬送单元1的搬送空间A。在对搬送单元1的收纳空间B进行维修作业时，不管是对于上侧的搬送单元1还是下侧的搬送单元1，通过取下收纳用框体12的收纳用覆盖体12b都可以开放收纳空间B。

前述控制部H如图10所示，以指令部S发出的指令为基础，控制多个搬送单元1的每一个的开始运转以及停止运转。具体来说，控制部H通过开始动作电动马达16、风扇过滤器单元7以及辅助风扇过滤器单元21来开始运转搬送单元1。相反，控制部H通过停止动作电动马达16、风扇过滤器单元7以及辅助风扇过滤器单元21来停止运转搬送单元1。控制部H在搬送单元1处于运转状态时，以非接触状态支承并搬送玻璃基板2。

前述指令部S具备切换自动运转和手动运转的人为操作式的运转切换开关S1、在手动运转时对多个搬送单元1分别发出开始运转以及停止运转指令的人为操作式的运转指令开关组S2等。在运转指令开关组S2中，如图11所示，设置与在搬送方向上排列的搬送单元1数目相同的运转指令开关，运转指令开关与搬送单元1是一一对应的。

而且，运转切换开关S1一发出自动运转的指令，控制部H就将所有的搬送单元1作为运转对象，使电动马达16以及辅助风扇过滤器单元21动作，并且使送风风扇6动作，使向玻璃基板2的下面部送入的空气的送风量成为支承用送风量。

这样，在自动运转中，运转所有的搬送单元1，一边将玻璃基板2从位于搬送方向的上游一侧的搬送单元1换乘到位于搬送方向的下游一侧的搬送单元1，一边将玻璃基板2从上游端部搬送到下游端部。

就在自动运转中的控制部H的动作而言，它也可以控制多个搬送单元1使只是多个搬送单元1中的一部分同时处于运转状态。在控制多个搬送单元1使只是多个搬送单元1中的一部分同时处于运转状态的情况下，例如，以传感器T的检测信息为基础，根据玻璃基板2存在于哪一个搬送单元1的搬送单元1的搬送路径上，可以选择开始运转的搬送单元1以及停止运转的搬送单元1，使得被选择的搬送单元1开始运转以及停止运转。

又，运转切换开关S1一发出手动运转的指令，控制部H就只是将由运转指令开关组S2发出运转开始指令的搬送单元1作为运转对象，使电动马达16、辅助风扇过滤器单元21以及送风风扇6动作地构成。这样，在手动运转中，只运转由运转指令开关组S2发出开始运转指令的搬送单元1，通过该运转的搬送单元1以非接触状态支承并搬送玻璃基板2地构成。

而且，控制部H在手动运转中，对于由运转指令开关组S2发出开始运转指令的搬送单元1，不是简单地使其开始运转，而是以邻接于搬送方向的下游一侧的搬送单元1是否处于运转状态为基础，只是在能以非接触状态支承并搬送邻接于搬送方向的下游一侧的搬送单元1换乘的玻璃基板2的情况下，使该搬送单元1开始运转。因此，在该第1实施方式中，以下游一侧的搬送单元1的搬送状态(运转状态)为基础，控制上游一侧的搬送单元1的状态。

以下有几个判断方法可以判定指定的搬送机构是否处于运转状态。例如，在对指定的搬送机构发出开始运转指令的情况下，即，在运转开关接通的情况下，或者，在以其他的方法使控制部H发出开始运转的指令的情况下，能判断出发送了开始运转信号的搬送机构处于运转状态。又，以设置于送风式支承机构3和推进力施加机构4的传感器发出的信号为基础，也可以判断搬送机构是否处于运转状态。作为该传感器，可以使用感知送风风扇6的旋转的传感器或者设置在电动马达16附近的旋转传感器等本领域人员公知的传感器。

在邻接于搬送方向的下游一侧的搬送单元1处于运转状态的情况下，运转指令开关组S2一发出开始运转的指令，控制部H就允许上游一侧的搬送单元1开始运转。但是，在邻接于搬送方向的下游一侧的搬送单元1处于非运转状态的情况下，运转指令开关组S2即使发出开始运转的指令，控制部H也禁止上游一侧的搬送单元1开始运转。

又，控制部H对邻接于搬送方向的下游一侧的搬送单元1处于非运转状态的搬送单元1，不是简单地禁止其开始运转，而是在邻接于搬送方向的下游一侧的搬送单元1处于非运转状态的搬送单元1中，若用传感器T检测到玻璃基板2的存在，控制部H就禁止其开始运转。具体说明的话，因为不存在邻接于搬送方向的下游一侧的搬送单元1，所以运转指令开关组S2一发出开始运转的指令，控制部H就开始无条件地运转位于搬送方向的最下游一侧的搬送单元1。

而且，邻接于搬送方向的下游一侧的搬送单元1处于运转状态，或者，邻接于搬送方向的下游一侧的搬送单元1即使处于非运转状态，只要传感器T没有检测到玻璃基板2的存在，那么运转指令开关组S2一发出开始运转的指令，控制部H就开始运转位于搬送方向的最下游一侧的搬送单元1以外的搬送单元1。

又，若邻接于搬送方向的下游一侧的搬送单元1处于非运转状态，且，邻接的上游一侧的搬送单元1的传感器T检测到玻璃基板的存在，则即使由运转指令开关组S2发出开始运转的指令，控制部H也禁止其开始运转。

就位于搬送方向的最下游一侧的搬送单元1以外的搬送单元1的开始运转以及停止运转而言，因为任一个搬送单元1都进行同样的动作，所以如图1所示，从排列于搬送方向上的多个搬送单元1中，选取指定的2个，基于流程图12进行说明。在图11中，将位于搬送方向的上游一侧的搬送单元1作为上游一侧的搬送单元1a，将位于搬送方向的下游一侧的搬送单元1作为下游一侧的搬送单元1b，将运转开关组S2中的对上游一侧的搬送单元1a发出开始运转指令的运转指令开关作为运转指令开关SW1，将运转开关类S2中的对下游一侧的搬送单元1b发出开始运转指令的运转指令开关作为运转指令开关SW2来进行说明。

首先，对上游一侧的搬送单元1a来说，运转指令开关SW1一发出开始运转的指令，控制部H就判断下游一侧的搬送单元1b是否处于运转状态，若下游一侧的搬送单元1b处于运转状态，则控制部H就开始运转上游一侧的搬送单元1a(步骤1～3)。

而且，若下游一侧的搬送单元1b处于非运转状态，在上游一侧的搬送单元1a中，由传感器T检测到玻璃基板2的存在，那么控制部H就禁止上游一侧的搬送单元1a开始运转(步骤2、4、5)。

又，即使下游一侧的搬送单元1b处于非运转状态，若在上游一侧的搬送单元1a中，传感器T没有检测到玻璃基板2的存在，那么控制部H开始运转上游一侧的搬送单元1a(步骤2、4、3)。

若在开始运转了上游一侧的搬送单元1a的状态下，在下游一侧的搬送单元1b中，传感器T检测到玻璃基板2的存在，那么前述控制部H就停止运转上游一侧的搬送单元1a以及下游一侧的搬送单元1b(步骤6、7)。

[第2实施方式]

接下来说明其他实施方式的控制部H。在该实施方式中，除去以下说明的控制部H的动作之外，搬送装置的自身构造与第1实施方式所记载的构造一样，所以省略与此有关的详细说明。

本实施方式的前述控制部H也如图10所示，基于指令部S发出的指令来控制多个搬送单元1的各自的运转。控制部H在搬送单元1处于运转状态时，通过使电动马达16、风扇过滤器单元7以及辅助风扇过滤器单元21动作，以非接触状态来支承并搬送玻璃基板2。

前述风扇过滤器单元7其构成为可以通过切换风扇6的动作状态，将向玻璃基板2的下面部送入的清洁的空气的送风量在以非接触状态支承玻璃基板2的支承用送风量的支承动作状态、与比支承用送风量小的小设定送风量的弱风状态两者之间进行变更。

即，由多个风扇过滤器单元7构成的送风式支承机构3经过除尘过滤器5向玻璃基板2的下面部送入清洁的空气，且，可以在支承动作状态和弱风状态之间进行变更。

控制部H在运转多个搬送单元1时，就玻璃基板2换乘的换乘对象的搬送单元1而言，它在玻璃基板2的换乘定时之前，就控制送风式支承机构3的动作状态，以使达到能由送风式支承机构3以非接触状态支承玻璃基板2的状态。因此，在该第2实施方式中，基于上游一侧搬送单元1的搬送状态来控制下游一侧的搬送单元1的状态。在此，为了使玻璃基板2换乘到作为换乘对象的搬送单元1上，将使该搬送单元1的电动马达16动作的时刻设定为换乘定时。

即，控制部H以弱风状态使送风式支承机构3动作，就作为换乘对象的搬送单元1而言，在换乘定时之前将送风式支承机构3从弱风状态变更为支承动作状态。更优选地，就作为换乘对象的搬送单元1而言，控制部H将送风式支承机构3从弱风状态变更为支承动作状态，以使在玻璃基板2换乘到比其换乘对象的搬送单元1更邻接于搬送方向的上游一侧的搬送单元1上的上游一侧的换乘定时中，可转移到由送风式支承机构3以非接触状态支承玻璃基板2的状态。

检测使上游一侧的搬送单元1的电动马达16动作的时刻来作为上游一侧的换乘定时，以使玻璃基板2换乘到比换乘对象的搬送单元1更邻接于搬送方向的上游一侧的搬送单元1上。上游一侧的换乘定时通过以下方式设定：基于变更送风式支承机构3的动作状态所需的时间或者玻璃基板2的搬送速度等，通过在上游一侧的换乘定时将送风式支承机构3从弱风状态变更为支承动作状态，换乘对象的搬送单元1能以非接触状态支承换乘的玻璃基板2。

以下，对由控制部H所进行的多个搬送单元1的控制动作中的风扇过滤器单元7以及电动马达16的动作进行具体的说明。

首先，控制部H以弱风状态使排列于搬送方向上的多个搬送单元1的所有的风扇过滤器单元7动作。然后，控制部H对于换乘对象的搬送单元1变更其动作状态，使得在换乘定时之前的上游一侧的换乘定时将风扇过滤器单元7从弱风状态切换为支承动作状态，并且对于搬送路径上存在玻璃基板2的搬送单元1和位于该搬送单元1的下游一侧的搬送单元1，使电动马达16动作。

这样，就作为换乘对象的搬送单元1而言，实际上在玻璃基板2实际换乘的换乘定时之前的上游一侧的换乘定时，就能够由送风式支承机构3以非接触状态支承玻璃基板2，一边使用送风式支承机构3以非接触状态支承玻璃基板2，一边在搬送单元1之间换乘地搬送玻璃基板2。

而且，将上游一侧的换乘定时作为开始动作电动马达16的定时，使得玻璃基板2换乘到比换乘对象的搬送单元1更邻接于搬送方向的上游一侧的搬送单元1上。

又，在最初由指令部S发出开始运转的指令时，控制部H对于位于搬送方向的最上游一侧的搬送单元1以及位于比该搬送单元1更下游一侧的下一个搬送单元1，以支承动作状态使风扇过滤器单元7动作，且，就其以外的搬送单元1而言，以弱风状态使风扇过滤器单元7动作。

在这样的动作状态中，通过移载装置，将玻璃基板2装载到位于搬送方向的最上游一侧的换乘对象的搬送单元的搬送路径上，将玻璃基板2导入到搬送装置中。

而且，若导入玻璃基板2，则控制部H基于由载物传感器T检测的信息，由于检测到在位于搬送方向的最上游一侧的搬送单元1的搬送路径上存在玻璃基板2，对于位于搬送方向的最上游一侧的搬送单元1以及比该搬送单元1更位于下游一侧的下一个搬送单元1，使电动马达16动作，将玻璃基板2从位于搬送方向的最上游一侧的搬送单元1换乘到比该搬送单元1的更位于下游一侧的下一个搬送单元1上。

如上所述，通过控制风扇过滤器单元7以及电动马达16的动作状态，一边以非接触状态支承玻璃基板2并将其从位于搬送方向的上游一侧搬送单元1换乘到位于搬送方向的下游一侧搬送单元1上，一边以多个搬送单元1将玻璃基板2从搬送装置的上游端部搬送到下游端部。

在前述多个搬送单元1中，就风扇过滤器单元7以及电动马达16的动作而言，因为任一个搬送单元1都进行同样的动作，所以如图13所示，从排列于搬送方向上的多个搬送单元1中，选取指定的3个，基于流程图14加以说明。在图13中，将位于搬送方向的最上游一侧的搬送单元1作为上游一侧的搬送单元1a，将比该上游一侧的搬送单元1a的更位于下游一侧的下一个搬送单元1作为中间的搬送单元1b，将比该中间的搬送单元1b更位于下游一侧的下一个搬送单元1作为下游一侧的搬送单元1c来进行说明。

首先，在虽然玻璃基板2存在于上游一侧的搬送单元1a的搬送路径上，但是玻璃基板2尚未到达载物传感器T所在部位的情况下，上游一侧的搬送单元1a的风扇过滤器单元7的送风风扇6处于支承动作状态，中间的搬送单元1b和下游一侧的搬送单元1c的送风风扇6处于弱风状态。这是前提动作状态(步骤1)。

接着，若以上游一侧的搬送单元1a中的载物传感器T检测到存在玻璃基板2(步骤2)，则除了上游一侧的搬送单元1a的送风风扇6之外，也以支承动作状态使中间的搬送单元1b的送风风扇6动作，但是下游一侧的搬送单元1c的送风风扇6处于弱风状态。而且，控制部H使在中间的搬送单元1b中的电动马达16开始动作，将玻璃基板2从上游一侧的搬送单元1a换乘到中间的搬送单元1b上(步骤3)。通过使在中间的搬送单元1b中的电动马达16开始动作，检测上游一侧的换乘定时，将在作为换乘对象的下游一侧的搬送单元1c中的风扇过滤器单元7从弱风状态变更为支承动作状态(步骤4)。从由步骤2中的传感器T所进行的玻璃基板2存在的检测开始到步骤3的中间的搬送单元1b中的电动马达开始动作为止的时间有一定的间隔是可以的，但是在也可以在由载物传感器T检测玻璃基板2之际使电动马达16开始动作。

其后，若由中间的搬送单元1b中的载物传感器T检测到存在玻璃基板2，则控制部H将上游一侧的搬送单元1a中的风扇过滤器单元7从支承动作状态变更为弱风状态(步骤5、6)。

就辅助风扇过滤器单元21的动作而言，可以在电动马达16处于动作状态的搬送单元1中，使辅助风扇过滤器单元21动作，或者，在所有的搬送单元1中，使辅助风扇过滤器单元21动作等，可以适当地变更。

[第3实施方式]

该第3实施方式表示的是上述第1及第2实施方式中搬送的搬送物的姿势的其他的实施方式，以下，以这一点为中心，基于附图加以说明。就其他的构成而言，因为与上述的第1实施方式相同，所以省略其详细的说明，使用相同的符号等即可。

竖直姿势用搬送单元24如图15以及图16所示，沿玻璃基板2的搬送方向多个排列地设置，以近似竖直的姿势来搬送作为搬送物的玻璃基板2，作为搬送机构而起作用地构成。

而且，竖直姿势用搬送单元24具备以近似竖直姿势设置的竖直姿势用送风式支承机构25和以近似竖直姿势设置的竖直姿势用推进力施加机构26。

顺便说一下，在该第3实施方式中，因为以近似竖直姿势来搬送玻璃基板2，所以存在竖直姿势用搬送单元24的一侧成为玻璃基板2的下面部。

前述竖直姿势用送风式支承机构26向以近似竖直姿势被搬送玻璃基板2的下面部供给清洁的空气，以非接触状态支承玻璃基板2地构成。

顺便说一下，该竖直姿势用送风式支承机构26与上述的第1实施方式中的送风式支承机构3相同，由将除尘过滤器5和送风风扇6一体化组装而成的风扇过滤器单元7a构成，该风扇过滤器单元7a将上下排列的2个送风风扇6和1个除尘过滤器5一体化组装。

又，也设有调整来自风扇过滤器单元7a的清洁空气的风向的调风板8。

而且，竖直姿势用推进力施加机构26具备一边接触支承玻璃基板2的一端部一边施加推进力的同步皮带27，对玻璃基板2施加搬送方向上的推进力地构成。

若加以说明，则竖直姿势用推进力施加机构26其构成为包括：位于搬送下方一侧、通过电动式马达28而旋转的主动轮29、位于搬送上方一侧的旋转自如的从动轮30、卷绕于这些主动轮29和从动轮30上的同步皮带27。

而且，内支承轮31从内周面一侧支承同步皮带27的进给路径部分，外支承轮32从外周面一侧支承同步皮带27的返回路径部分。

又，设置将搬送空间C包覆成密闭状态或者近似密闭状态的搬送盒34，其中竖直姿势用送风式支承机构26和玻璃基板2的搬送路径收纳于搬送空间C。

又，就竖直姿势用送风式支承机构26而言，也与上述第1实施方式一样，风扇过滤器单元7a可以在将向玻璃基板2的下面部送入的清洁的空气的送风量作为支承用送风量的支承动作状态、和将向玻璃基板2的下面部送入的清洁的空气的送风量作为小设定送风量的弱风状态两者之间进行变更。

前述控制部H与上述第1实施方式同样地，可以基于来自指令部S的指令，控制多个竖直姿势用搬送单元24的各自的运转开始以及运转停止，进行自动运转以及手动运转。而且，控制部H在竖直姿势用搬送单元24处于运转状态时，通过使电动式马达28以及风扇过滤器单元7a动作，能够以非接触状态支承并搬送玻璃基板2地构成。

又，控制部H与上述第1实施方式同样地，在手动运转中，对于由运转指令开关类S2发出开始运转指令的竖直姿势用搬送单元24，不是简单地使其开始运转，而是根据邻接于搬送方向的下游一侧的竖直姿势用搬送单元24是否处于运转状态，只在能以非接触状态支承搬送邻接于搬送方向的下游一侧的竖直姿势用搬送单元24换乘的玻璃基板2的情况下，使竖直姿势用搬送单元24开始运转。

在这种情况下，对于作为邻接于搬送方向的下游一侧的竖直姿势用搬送单元24处于运转状态的竖直姿势用搬送单元24，控制部H允许其开始运转，对于作为邻接于搬送方向的下游一侧的竖直姿势用搬送单元24处于非运转状态的竖直姿势用搬送单元24，控制部H禁止其开始运转。

而且，对于作为邻接于搬送方向的下游一侧的竖直姿势用搬送单元24处于运转状态的竖直姿势用搬送单元24，若由运转指令开关类S2发出开始运转的指令，则控制部H就开始其运转，对于作为邻接于搬送方向的下游一侧的竖直姿势用搬送单元24处于非运转状态的竖直姿势用搬送单元24，即使由运转指令开关类S2发出开始运转的指令，控制部H也禁止其开始运转。

又，控制部H也可以与上述的第2实施方式同样地构成，对作为邻接于搬送方向的下游一侧的竖直姿势用搬送单元24处于非运转状态的竖直姿势用搬送单元24，不是简单地禁止其开始运转，而是在作为邻接于搬送方向的下游一侧的竖直姿势用搬送单元24处于运转状态的竖直姿势用搬送单元24中，若由载物传感器T检测到玻璃基板2的存在，则控制部H禁止其开始运转。

而且，控制部H在使多个竖直姿势用搬送单元24运转之际，就运转对象的竖直姿势用搬送单元24而言，以弱风状态使竖直姿势用送风式支承机构26动作，且，就换乘对象的竖直姿势用搬送单元24而言，在换乘定时之前的上游一侧的换乘定时中，将竖直姿势用送风式支承机构26从弱风状态变更为支承动作状态地构成。

在该第3实施方式中，因为没有设置辅助风扇过滤器单元21，所以在作为控制框图的图10中省略辅助风扇过滤器单元21，将电动马达16变更为电动式马达28。

[其它的实施方式]

(1)在上述的第1实施方式以及第3实施方式中，控制部H仅仅在手动运转中，对于作为邻接于搬送方向的下游一侧的搬送单元1(在第3实施方式中是竖直姿势用搬送单元24)处于运转状态的搬送单元1，允许其开始运转，对于作为邻接于搬送方向的下游一侧的搬送单元1处于非运转状态的搬送单元1，禁止其开始运转。但是，也可以在手动运转和自动运转这两方面中，或者只在自动运转中，实施以下动作：对于作为邻接于搬送方向的下游一侧的搬送单元1处于运转状态的搬送单元1，允许其开始运转，对于作为邻接于搬送方向的下游一侧的搬送单元1处于非运转状态的搬送单元1，禁止其开始运转。

(2)在上述的第1实施方式以及第3实施方式中，对于作为邻接于搬送方向的下游一侧的搬送单元1(在第3实施方式中是竖直姿势用搬送单元24)处于非运转状态的搬送单元1，若传感器T检测到玻璃基板2的存在，则控制部H禁止其开始运转，但是，对于作为邻接于搬送方向的下游一侧的搬送单元1处于非运转状态的所有的搬送单元1，不管传感器T是否检测到玻璃基板2的存在，都可能使控制部H禁止其开始运转。在这种情况下，设置传感器T与否均可。

(3)在上述的第2实施方式以及第3实施方式中，在换乘定时之前的上游一侧的换乘定时中，控制部H将风扇过滤器单元7、7a从弱风状态变更为支承动作状态，但对于换乘对象的搬送单元1以及竖直姿势用搬送单元24，将风扇过滤器单元7、7a从弱风状态变更为支承动作状态的定时只要在换乘定时之前即可，例如，可以在上游一侧的换乘定时之前。不管哪种情况，上游一侧的换乘定时考虑到变更送风式支承机构3的动作状态所需时间或者玻璃基板2的搬送速度，为了能使换乘对象的搬送单元1以非接触状态支承换乘的玻璃基板2，优选地给予充分的时间。

(4)在上述的第2实施方式以及第3实施方式中，控制部H以弱风状态使送风式支承机构3以及竖直姿势用送风式支承机构26动作，且，对于换乘对象的搬送单元1以及竖直姿势用搬送单元24，可以在换乘定时之前，将送风式支承机构3以及竖直姿势用送风式支承机构26从弱风状态变更为支承动作状态，但是，例如，对于运转对象的搬送单元1以及竖直姿势用搬送单元24，控制部H将送风式支承机构3以及竖直姿势用送风式支承机构26维持在停止动作的状态，且，对于换乘对象的搬送单元1以及竖直姿势用搬送单元24，在换乘定时之前，可以使送风式支承机构3以及竖直姿势用送风式支承机构26开始动作，从而变为支承动作状态。

还有，在这种情况下，也可以只以支承动作状态来使送风式支承机构3以及竖直姿势用送风式支承机构26动作，不在弱风状态与支承动作状态之间变更。

(5)在上述的第2实施方式以及第3实施方式中，通过使电动马达16动作来检测上游一侧的换乘定时，以使玻璃基板2换乘到比换乘对象的搬送单元1更邻接于搬送方向的上游一侧的搬送单元1上，但也可以例如设置传感器等，该传感器可以检测玻璃基板2换乘到比换乘对象的搬送单元1更邻接于搬送方向的上游一侧的搬送单元1上，通过该传感器检测玻璃基板2的换乘来检测上游一侧的换乘定时。图17表示的是比图14所示流程图更普遍的流程图。

(6)在上述的第2实施方式以及第3实施方式中，运转对象为所有的搬送单元1，但是，例如，也可以将其搬送路径上存在玻璃基板2的搬送单元1和比该搬送单元更邻接于搬送方向的下游一侧的搬送单元1中的2个作为运转对象的搬送单元，即，可以将多个搬送单元1的一部分作为运转对象的搬送单元，关于怎样设定作为运转对象的搬送单元可以适当的变更。

(7)在上述的第1实施方式中，在收纳用框架12a的侧面部上形成连通搬送空间A和收纳空间B的空气排出口23，但是也可以不形成空气排出口23，即不连通搬送空间A和收纳空间B地构成并实施。

(8)在上述的第1实施方式以及第3实施方式中，列举了将除尘过滤器5和送风风扇6一体化组装而成的风扇过滤器单元7、7a的例子，但是不一定非得将除尘过滤器5和送风风扇6一体化组装，例如，也可以设置将由送风风扇6送入的空气导引到除尘过滤器5中的导向通路等，分体地构成除尘过滤器5和送风风扇6。

(9)在上述的第1实施方式以及第3实施方式中，虽然列举了以玻璃基板2作为搬送物的例子，但是搬送物也可以是板状体或者圆盘状体等各种物体。

(10)可以使用旋转式球形旋钮或者触摸式面板取代开关，作为发出开始运转指令的人为操作式的运转指令机构。

Claims

1.一种搬送装置，在搬送方向上并列地设置多个搬送机构、设有控制这些多个搬送机构的运转的控制机构，所述搬送机构具备：向搬送物的下面部送入空气、以非接触状态支承搬送物的送风式支承机构；对于由该送风式支承机构支承的前述搬送物施加搬送方向上的推进力的推进力施加机构；

其特征是，前述控制机构其构成为：基于前述多个搬送机构中的至少一个搬送机构的搬送状态，控制前述多个搬送机构中的其他的搬送机构的状态。

2.如权利要求1所述的搬送装置，其特征是，前述一个搬送机构和前述其他的搬送机构分别是邻接的2个搬送机构的搬送方向的下游一侧的搬送机构和上游一侧的搬送机构，前述控制机构在前述下游一侧的搬送机构处于运转状态的情况下，允许前述上游一侧的搬送机构开始运转，在前述下游一侧的搬送机构处于非运转状态的情况下，禁止前述上游一侧的搬送机构开始运转。

3.如权利要求2所述的搬送装置，其特征是，设置分别对前述多个搬送机构的每一个发出开始运转的指令的人为操作式的运转指令机构，

前述控制机构在前述下游一侧的搬送机构处于运转状态的情况下，通过前述运转指令机构对前述上游一侧的搬送机构发出开始运转的指令，则开始运转前述上游一侧的搬送机构，在前述下游一侧的搬送机构处于非运转状态的情况下，即使通过前述运转指令机构对前述上游一侧的搬送机构发出开始运转的指令，也禁止前述上游一侧的搬送机构开始运转。

4.如权利要求2或3所述的搬送装置，其特征是，前述搬送机构具备检测在其搬送路径上是否存在前述搬送物的载物检测机构，

前述控制机构在前述下游一侧的搬送机构处于非运转状态的情况下，若前述上游一侧的搬送装置的前述载物检测机构检测到前述搬送物的存在，则禁止前述上游一侧的搬送机构开始运转。

5.如权利要求1所述的搬送装置，其特征是，前述一个搬送机构和前述其他搬送机构分别是邻接的2个搬送机构的搬送方向的上游一侧的搬送机构和下游一侧的搬送机构，

前述控制机构控制前述下游一侧的搬送机构的前述送风式支承机构的动作状态，使得在前述上游一侧的搬送机构中的前述搬送物换乘到前述下游一侧的搬送机构的换乘定时之前，能够通过前述下游一侧的搬送机构的前述送风式支承机构，以非接触状态支承前述搬送物。

6.如权利要求5所述的搬送装置，其特征是，前述控制机构控制前述下游一侧的搬送机构的前述送风式支承机构的动作状态，以使在前述搬送物换乘到前述上游一侧的搬送机构的上游一侧的换乘定时中，变化为能通过前述下游一侧的搬送机构的前述送风式支承机构来非接触状态支承搬送物的状态。

7.如权利要求5所述的搬送装置，其特征是，前述送风式支承机构通过除尘过滤器向前述搬送物的下面部送入清洁的空气地构成，且，自由地变更成将向前述搬送物的下面部送入的清洁空气的送风量作为以非接触状态支承前述搬送物的支承用送风量的支承动作状态、和作为比前述支承用送风量小的小送风量的弱风状态，

前述控制机构在前述换乘定时之前将前述下游一侧的搬送机构的前述送风式支承机构从作为开始运转的状态即弱风状态变化为支承动作状态。