CN1551279A

CN1551279A - 流体涂布装置、流体涂布方法以及等离子显示面板

Info

Publication number: CN1551279A
Application number: CNA2004100447929A
Authority: CN
Inventors: 丸山照雄; 司; 园田孝司; 昌; 泷井谦昌
Original assignee: Matsushita Electric Industrial Co Ltd
Current assignee: Panasonic Holdings Corp
Priority date: 2003-05-19
Filing date: 2004-05-18
Publication date: 2004-12-01
Also published as: KR100814187B1; JP2005000910A; US20060163759A1; KR20040100982A; US7520967B2

Abstract

一种流体涂布装置、流体涂布方法以及等离子显示面板，通过在喷出喷嘴侧电极与配置于喷出喷嘴的下游侧的对向电极之间施加电压，并且，使用旋转运动或直线运动的机构对泵室内的流体压力进行增压或减压，而控制涂布流体的弯液面。

Description

流体涂布装置、流体涂布方法以及等离子显示面板

技术领域

本发明涉及一种在信息·精密机器、工作机械、FA(factory automation)等领域，或半导体、液晶、显示器、表面装配等各种生产工序中所必需的微小流量的流体涂布装置、流体涂布方法以及由该流体涂布方法形成的等离子显示面板和其图形形成方法。

背景技术

以下，以形成等离子显示面板(以下称为PDP)的萤光体层的方法为例说明现有的印刷方法。

在进行彩色显示的PDP中，在表面板/背面板上具有由以RGB(红色、绿色、蓝色)各色进行发光的萤光体材料构成的荧光体层。该荧光体层在呈平行线状形成在表面板/背面板上的隔壁与隔壁之间(即地址电极上)形成3组填充RGB各色的荧光体材料构成的色带，而成为平行相邻排列多个3组该色带的结构。该荧光体层由丝网印刷方式或光刻方式等形成。

对于画面大型化的情况，在现有丝网印刷方式中，难以高精度地定位丝网印刷版，若填充荧光体材料则材料会填充到隔壁顶上部分，为了将其除去而需要导入研磨工序等方法。另外，根据刷涂器(squeegee)压力的不同，荧光体材料的填充量会有变化，其压力调整极微妙而依靠作业者的熟练度的部分多。因此，在表面板/背面板的整个面上得到一定的填充量是很不容易的。

另外，虽然也可以使用感光性的荧光体材料通过光刻方式形成荧光体层，但是由于需要曝光与显像的工序，而与丝网印刷方式相比工序数变多，所以存在制造成本变高的问题。

首先，以制造流程的简单化、低成本化、环境负担的降低、省资源化、节能等为目的，近年来，“直接形成图形的方法”(直接描绘方式)被在多种领域广泛关注。例如，提出有活用如下①、②、③等各自的方式的优点的方法。

①分配器(dispenser)方式

②喷墨方式

③电场喷射方式

在PDP、CRT等制造流程中，为了解决形成丝网色带的上述问题，而在特公昭57-21223号公报、特开平10-27543号公报中已公开了使用分配器的直接描绘方式。根据该方案，由于不使用现有丝网掩膜，只通过设定基板规格的数值而从在基板上移动的喷嘴中喷出荧光体来涂布到棱间的槽中，所以相对任意尺寸的基板均可高精度地形成荧光体层，并且能够容易对应基板的规格变更。在使用分配器的情况下，描绘线的线宽受喷出喷嘴的内径大小的制约。在为使线宽变细而减小喷嘴内径时，由于易产生孔堵塞而尽可能地使线宽的界限为70～100μm左右。

另一方面，开发了在产业机器用的涂布装置上应用民用打印机中开发的喷墨方式。但是，相同方式由于驱动方法与结构上的制约，现阶段只可使用10mPa·s程度的低粘度流体，高粘度流体不能进行对应。另外，对于粉体径的大小，由于0.1μm左右为可防止流路孔堵塞的界限，所以受到材料方面的制约大。顺便说一下作为涂布材料所使用的流体多为电极材料、荧光体、焊锡、导电性胶囊(capsa1e)等包含外径0.1～几十微米的微粉体的高粘度·粉流体。

为了使用喷墨方式描绘细微的电极线，开发使平均粒径为5nm左右的Ag粒子包覆于分散剂而独立分散的纳米膏。

但是，由于这时喷墨方式也只可使用低粘度的纳米膏所以描绘线的厚度变薄，布线电阻变大。由此，需要确保厚度的重叠喷射，在生产节拍上存在问题。

为了解决分配器方式、喷墨方式所存在的上述问题，提出一种被称为电场喷射方式的高粘度流体的涂布装置(参照特开2000-246887号公报、特开2001-137760公报)。这种方式以1917年由Zeleny报告的电场喷出方法为基础。

在图31的原理图中，500为高粘度流体，501为控制部，502为容器，503为开口部，504为电极，505为电源，506为被涂布基材(涂布对象的基板)，507为从喷嘴流出的涂布流体的伸长部，508为加压装置。上述涂布装置，在容器502的下部具有孔径50μm～1mmφ程度的圆形或多边形的锐孔(orifice)、喷嘴等开口部503，并且，在该开口部503的一部分配置电极504。在容器502内填充以1,000～1,000,000cps的高粘度物质作为液状涂布材料的高粘度流体500。为了对填充在容器502内的高粘度流体500进行加压，而与容器502连结设置高压气体的加压装置508。首先，对容器502内的高粘度流体500加压，而在开口部503形成高粘度流体500的弯液面。其次，设成如下状态：在喷嘴开口部503的电极504与为对向电极的被涂布基材506之间施加第1规定的脉冲电压，并在开口部503形成将高粘度流体500的弯液面纵向伸长的伸长部507的状态下，从该伸长部前端使高粘度流体500垂着流动。在该状态下，如果使喷嘴与被涂布基材506相对移动，则弯液面的前端与喷嘴径相比充分变细，而能够描绘出10μm以下的极细线。

并且，通过在开口部503与被涂布基材506之间施加第2规定的脉冲电压，而可从伸长部507的前端分离其一部分，因此能够遮断高粘度流体500的涂布。通过上述电场喷射方式，使用在喷墨方式中不能操作的高粘度流体，能够描绘出与喷墨方式同等的极细线。

但是，该电场喷射方式存在下述问题。电场喷射方式，如果为小流量则由于毛细管现象可从容器502输送到喷嘴前端，所以即使不使用加压装置508只利用电场也可喷出。但是，例如在高速移动的工作台(例如，参照图26的放置台50与XY工作台50x。)上的基板(例如PDP的表面板、背面板)上连续涂布荧光体、或电极材料等的涂布线的情况下，为了确保流量而需要施加电场与气压双方。在这种情况下，该方式一并具有气动式分配器与电场喷射式的2个特性。即，具有气体分配器的以下所示的缺点。

①涂布流量的稳定性差

②不能以高品质形成连续线的始终端

上述①是基于气动式分配器的喷出流量与涂布流体的粘度成反比的理由产生的。另外，流体的粘度对温度的依赖性大。例如，在标准校正液的情况下，流体温度变化5℃则粘度变化50％。在气动式分配器的情况下，为了减少流量偏差，而需要细心考虑保证一定的流体温度，但是，以气体为辅助压力源的电场喷射式也需要进行同样的考虑。

上述②是因气体方式分配器的响应性差而产生的。该缺点是基于封入气缸的空气的压缩性与使气体通过狭窄的间隙时的喷嘴阻力而形成的。即，在气体方式的情况下，由气缸的容积与喷嘴阻力决定的液体回路的时间常数大，施加输入脉冲后，到流体开始喷出转印到基板上之前、或者到在连续涂布中遮断流体之前，存在0.07～0.1秒左右的时间延迟。

在如上所述电场喷射方式的情况下，在不使用基于气压的加压装置508时，能够只由电场遮断喷出。但是，为了得到大涂布流量，在使用利用气压的加压装置508时，由于气动式的灵敏度差，故不能高品质地描绘连续涂布线的始终端。例如，在描绘线的始端，涂布开始时，施加电压的同时，即使施加气压该气压也不能马上上升到规定的压力。其结果，在描绘线的始点部产生“变细”、或“缺少”等现象。或者，在描绘线的终端，涂布开始时，断开电压的同时，即使使气压下降该气压也不能马上下降到规定的压力。其结果，在描绘线的终点部产生“***”、或“堆积”等现象。

发明内容

本发明的目的在于提供一种涂布流量的稳定性好、可以高品质形成涂布线的始终端的流体涂布装置、流体涂布方法和等离子显示面板及其图形形成方法。

为了实现上述目的，本发明如下构成。

本发明的第1方案提供一种流体涂布装置，包括：

壳体，具有吸入涂布流体的吸入口与喷出上述涂布流体的喷出口；

移动部件，在与上述壳体之间形成上述涂布流体的泵室，相对上述壳体可以旋转运动或直线运动；

移动部件驱动装置，驱动上述移动部件，使之相对上述壳体进行上述旋转运动或直线运动，而使上述泵室内的涂布流体压力增压或减压；

壳体侧电极，配置在上述壳体的至少上述喷出口附近或整体上；

电源，向上述壳体侧电极施加电压而在上述壳体侧电极与上述基板之间形成电场，

通过上述移动部件驱动装置产生的上述移动部件的上述旋转运动或直线运动，而将上述涂布流体从上述吸入口吸入上述泵室内并且从上述喷出口喷出到配置在上述喷出口的对向面的作为涂布对象的基板上进行涂布，另一方面，由上述旋转运动或直线运动，而上述泵室减压形成的负压产生对上述喷出口的上述涂布流体的吸引力，由对上述壳体侧电极施加电压而形成的电场，产生使上述喷出口的上述涂布流体凸出的力，通过控制上述涂布流体的吸引力和涂布上述涂布流体的上述涂布流体的凸出力，使该涂布上述涂布流体的上述涂布流体凸出的力比上述涂布流体的吸引力小，而停止上述涂布。

本发明的第2方案提供一种第1方案所述的流体涂布装置，还具有配置在上述基板或上述基板的附近的对向电极，在上述壳体侧电极与上述对向电极之间由上述电源施加上述电压而可形成上述电场。

本发明的第3方案提供一种第1方案所述的流体涂布装置，在上述移动部件与上述壳体的相对移动面上配置螺纹槽，通过上述移动部件的上述旋转运动而将上述涂布流体从上述吸入口吸入上述螺纹槽内供给到上述泵室内。

本发明的第4方案提供一种第1方案所述的流体涂布装置，上述移动部件为活塞，上述壳体可以收纳上述活塞，并且，上述移动部件驱动装置为活塞轴方向驱动装置，该活塞轴方向驱动装置通过使上述活塞在上述壳体内直线运动，使在上述活塞与上述壳体之间形成的上述泵室的空间增减，而对上述泵室内的上述流体压力进行增压或减压。

本发明的第5方案提供一种第1方案所述的流体涂布装置，上述移动部件与上述壳体的任一个均可由非导电性材料构成。

本发明的第6方案提供一种第1方案所述的流体涂布装置，上述移动部件为活塞，上述壳体可以收纳上述活塞，上述移动部件驱动装置是使上述活塞沿其轴方向直线运动的电磁伸缩元件。

本发明的第7方案提供一种第2方案所述的流体涂布装置，上述对向电极配置在上述壳体侧电极与上述基板之间。

本发明的第8方案提供一种第7方案所述的流体涂布装置，上述对向电极中空且轴对称。

本发明的第9方案提供一种第2方案所述的流体涂布装置，还具有筒状部分和下部壳体，

该筒状部分，收纳从上述喷出口流出的上述涂布流体，且形成有喷出通路，该喷出通路的平均通路内径比上述喷出口的通路内径大，

该下部壳体，通过空出间隙地包覆上述筒状部分，而形成与上述喷出通路连结的、区别于上述涂布流体的供给流体的流通路，

并且，上述对向电极配置在上述喷出通路附近。

本发明的第10方案提供一种第9方案所述的流体涂布装置，上述供给流体为气体。

本发明的第11方案提供一种第3方案所述的流体涂布装置，由上述移动部件与上述壳体构成螺纹槽泵。

本发明的第12方案提供一种流体涂布方法，驱动相对壳体可以旋转运动或直线运动的移动部件，使上述移动部件相对上述壳体进行旋转运动或直线运动，而使在上述壳体与上述移动部件之间形成的涂布流体的泵室内的涂布流体压力增压或减压，将上述涂布流体从上述壳体的吸入口吸入到上述泵室内并且从上述壳体的喷出口喷出到配置于上述喷出口的对向面的作为涂布对象的基板上，进行涂布；

另外，向配置在上述壳体的至少上述喷出口附近的壳体侧电极施加电压而在上述壳体侧电极与上述基板之间形成电场，

通过上述旋转运动或直线运动，而上述泵室减压形成的负压产生对上述喷出口的上述涂布流体的吸引力，通过对上述壳体侧电极施加电压而形成的电场，产生使上述喷出口的上述涂布流体凸出的力，

通过控制该上述涂布流体的吸引力和涂布上述涂布流体的上述涂布流体的凸出力，使涂布上述涂布流体的上述涂布流体凸出的力比上述涂布流体的吸引力小，而停止上述涂布。

本发明的第13方案提供一种第12方案所述的流体涂布方法，通过向上述壳体侧电极施加上述电压，控制上述壳体侧电极电压的同时，使上述泵室内的上述流体增压或减压，而开始或遮断上述涂布流体的喷出。

本发明的第14方案提供一种第12方案所述的流体涂布方法，以沿间隙方向相对移动的2面形成上述泵室，缩小上述泵室而使泵室内的压力增压，扩大上述泵室而使泵室内的压力减压。

本发明的第15方案提供一种第14方案所述的流体涂布方法，在下降上述电压后，通过上述泵室的扩大降低上述泵室的压力而遮断涂布线。

本发明的第16方案提供一种第12方案所述的流体涂布方法，通过共同施予使从上述喷出口凸出上述涂布流体的弯液面的作用、和使上述泵室内的上述流体压力减压来将上述涂布流体从上述喷出口向上述泵室内吸引的作用，而在上述涂布停止的区间将上述弯液面的形状大致保证相同。

本发明的第17方案提供一种第12方案所述的流体涂布方法，通过共同施予使从上述喷出口凸出上述涂布流体的弯液面的作用、和使上述泵室内的上述流体压力减压来将上述涂布流体从上述喷出口向上述泵室内吸引的作用，而使上述弯液面接近上述基板侧、涂布在上述基板上，然后，使上述弯液面远离上述基板侧遮断涂布。

本发明的第18方案提供一种第12方案所述的流体涂布方法，在使上述涂布流体从上述喷出喷嘴飞出后，在上述壳体侧电极与配置于上述喷出喷嘴的下游侧的空间电极之间施加电压而将上述流体涂布在上述基板上。

本发明的第19方案提供一种第16方案所述的流体涂布方法，在使上述泵室内的上述流体压力减压时，通过形成在上述移动部件的喷出侧端面与其对向上的推力动压密封件(seal)来进行。

本发明的第20方案提供一种等离子显示面板的图形形成方法，驱动相对壳体可以旋转运动或直线运动的移动部件，使上述移动部件相对上述壳体进行旋转运动或直线运动，而使在上述壳体与上述移动部件之间形成的作为涂布流体的膏的泵室内的膏压力增压或减压，将上述膏从上述壳体的吸入口吸入到上述泵室内并且从上述壳体的喷出口喷出到配置于上述喷出口的对向面的作为涂布对象的PDP用基板上，涂布形成涂布线，从而图形形成膏层；

一边向配置在上述壳体的至少上述喷出口附近的壳体侧电极施加电压而在上述壳体侧电极与上述PDP用基板之间形成电场，一边在上述PDP用基板的有效显示区域内及/或与上述有效显示区域相邻的端子部内，形成该膏层；

然后，通过上述旋转运动或直线运动，而上述泵室减压形成的负压产生对上述喷出口的上述膏的吸引力，通过对上述壳体侧电极施加电压而形成的电场，产生使上述喷出口的上述膏凸出的力，

通过控制该上述膏的吸引力和涂布上述膏的上述涂布流体的凸出力，使该涂布上述涂布流体的上述涂布流体凸出的力比上述涂布流体的吸引力小，而停止上述涂布。

本发明的第21方案提供一种第20方案所述的等离子显示面板的图形形成方法，在下降上述电压后，通过降低上述泵室的的压力来遮断上述涂布线。

本发明的第22方案提供一种第21方案所述的等离子显示面板的图形形成方法，在将开始上述电压下降的时间为t＝t_ve、将开始降低上述泵室的压力的时间为t＝t_pe时，设定在0＜t_pe-t_ve＜3msec范围。

本发明的第23方案提供一种第20方案所述的等离子显示面板的图形形成方法，将上述膏供给上述泵室的供给源使用由马达驱动的泵，在降低上述泵室的压力之前，停止上述马达的旋转。

本发明的第24方案提供一种第20方案所述的等离子显示面板的图形形成方法，在形成上述膏层时，在上述PDP用基板的与上述有效显示区域相邻的上述端子部，与上述主电极线交叉地形成相对主电极线倾斜的端子部电极线。

本发明的第25方案提供一种第24方案所述的等离子显示面板的图形形成方法，通过含有分别具有上述喷出口且以等间距配置的多个喷嘴的分配器，只选择在上述多个端子部内具有相同倾斜角的端子部电极线，并同时涂布形成选出的上述端子部电极线。

本发明的第26方案提供一种等离子显示面板，具有在PDP用表面板的有效显示区域形成多根平行的主电极线、在与该有效显示区域相邻的端子部与上述主电极线连续且相对上述主电极线倾斜形成的端子部电极线，其特征在于：在将上述主电极线间的间距设为P、将上述端子部电极线的终端从上述主电极线突出部分的距离设为ΔP时，形成(ΔP/P)＜(1/3)。

本发明的第27方案提供一种等离子显示面板，具有在PDP用表面板的有效显示区域形成多根平行的主电极线、在与该有效显示区域相邻的端子部与上述主电极线连续且相对上述主电极线倾斜形成的端子部电极线，其特征在于：在将上述端子部电极线间的间距设为P、将上述主电极线的终端从上述端子部电极线突出部分的距离设为ΔP时，形成(ΔP/P)＜(1/3)。

附图说明

从与附图所示的优选实施方式相关的下面叙述可清楚了解本发明的上述方案与其他的目的和特征。其各附图具体如下：

图1是说明本发明的第1实施方式的流体涂布装置的简要局部剖视图。

图2是说明本发明的第2实施方式的流体涂布装置的简要局部剖视图，(A)表示连续涂布的状态的图、(B)表示涂布停止的状态的图、(C)表示遮断涂布状态的图。

图3A及图3B分别是说明第2实施方式的流体涂布装置的局部剖面的示意图及图2的(B)的局部放大图。

图4A是说明本发明的第3实施方式的流体涂布装置的简要局部剖视图，图4B是表示第3实施方式的流体涂布装置的推力动压密封件的仰视图。

图5A及图5B分别是表示本发明的第4实施方式及其变形例的流体涂布装置的简要局部剖视图。

图6A及图6B分别是表示在第4实施方式的流体涂布装置中不施加电场的情况及施加电场的情况的流体弯液面的图。

图7是表示第4实施方式的流体涂布装置的较具体的喷出喷嘴的结构的正面剖视图。

图8是表示本发明的第5实施方式的流体涂布装置的简要局部剖视图。

图9是表示第5实施方式的流体涂布装置的具体的喷出喷嘴的结构的正面剖视图。

图10是表示作为本发明的第2实施方式的变形例的具有2自由度驱动器的结构的分配器的正面剖视图。

图11A及图11B分别是表示作为本发明的第2实施方式的流体涂布装置的螺纹槽与活塞的分离结构的分配器的俯视图及正面剖视图。

图12是表示使用带电场控制的分离型分配器，进行涂布线的开放·遮断控制时的控制方块图。

图13是使用分离型分配器，实现电极与各部件的电绝缘时的分配器的结构图。

图14是说明控制弯液面的形状·位置时的原理的简要局部剖视图。

图15是表示随时间经过的电压波形的图。

图16是表示PDP表面板的一例的图。

图17是表示PDP表面板的用于膏涂布的假想区域的图。

图18是表示主电极线的形成方法的图。

图19是表示端子部的电极线的形成方法的图。

图20是表示时间表的图，(A)是表示对应时间的马达转速的图、(B)是表示对应时间的用于在喷嘴与基板间形成电场的施加电压的图、(C)是表示对应时间的活塞位移的时间图。

图21是表示喷嘴前端的涂布流体的弯液面的状态变化的图。

图22是表示端子部电极线与主电极线交叉的状态的图。

图23是表示端子部电极线与主电极线交叉的状态的图。

图24是表示端子部电极线与主电极线交叉的状态的图。

图25是表示PDP背面板的用于膏涂布的有效显示区域与非有效显示区域的图。

图26是将本发明的上述实施方式的流体涂布装置应用到PDP用基板的荧光体层形成装置上时的简要立体图。

图27是表示现有印刷方法的涂布线的剖面形状的图。

图28是表示本发明的上述实施方式的分配器的方法即分配器的液体涂布方法的涂布线的剖面形状的图。

图29是在图11A及图11B的本发明的第2实施方式的流体涂布装置中，在活塞部附近的流通路形成节流部时的放大剖视图。

图30是表示等离子显示面板的结构的一例的图。

图31是表示现有的电场喷射方式的简要局部剖视图。

具体实施方式

在接着本发明记述前，在附图中对于相同部件使用相同参照符号。

以下，参照附图对本发明的实施方式详细地进行说明。

I.基本的应用例

(第1实施方式)

图1是说明实施本发明的第1实施方式的流体涂布方法的流体涂布装置的简要局部剖视图。

1为活塞，2为收纳该活塞1的壳体。在使用非导电性的涂布材料时，壳体2可以任意使用绝缘性材料、或导电性材料，在壳体2整体使用导电性材料时，喷嘴前端最靠近基板故电场强度最大，不会影响电场控制的功能。但是，在从安全方面考虑不给壳体2整体施加高电压时，如图29的具体例所示，也可只设置电极的喷出部(在图29中为364)使用绝缘性材料、其他位置使用导电性材料。另外，活塞1可以任意使用导电性材料或绝缘性材料。

活塞1可旋转地收纳在固定侧的壳体2内。活塞1被马达等旋转传递装置3A驱动沿箭头3的旋转方向正反旋转。

4为活塞1的外周面与壳体2的内周面的相对移动面，例如为形成在活塞1的外周面上的螺纹槽，5为涂布流体的吸入口，6为活塞1的端面，7为其固定侧对向面，8为形成在固定侧对向面7的中央部的喷出喷嘴，9为设在喷出喷嘴8的外周部的环板状的壳体侧电极(也称为喷嘴侧电极)，10为向活塞1的螺纹槽4与壳体2的内周面之间的空间供给并从喷出喷嘴8喷出的涂布流体，11为在活塞1的端面6与壳体2的固定侧对向面7之间形成的泵室。12为控制流体涂布装置的流体涂布动作的控制部，13为由控制部12控制并向壳体侧电极9施加电压的电源，14为接地的被涂布基材(为涂布流体10的涂布对象，以下作为一例称为基板)，15为从喷出喷嘴8流出的涂布流体10的弯液面的伸长部。由控制部12分别控制旋转传递装置3A的旋转运动及后述的横方向移动装置(例如XY自动装置)92的移动动作。

在本发明的第1实施方式的流体涂布装置及方法中，使用螺纹槽式作为涂布流体10的加压方法。在螺纹槽式的情况下，通过形成有螺纹槽4的活塞1与壳体2的相对旋转而产生抽吸压力P_p。在电场喷射方式的情况下，若在设在喷出喷嘴8上的电极9与作为对向电极的基板14之间施加电压，则涂布流体10从喷出喷嘴8凸出地形成弯线面。由此，泵室11内的涂布流体10由于毛细管现象具有被吸引向喷出喷嘴侧的效果(吸引压力P_e)。由于螺纹槽4产生的上述抽吸压力P_p相对于电场产生的上述吸引压力P_e充分大，所以能够利用槽4的使用条件来支配决定流量。在螺纹槽式的情况下，上述抽吸压力P_p与涂布流体10的粘度成比例，喷出喷嘴8的流体阻力R_n也与涂布流体10的粘度成比例。又因为流量Q的式子为Q＝P_p/R_n，所以在流量式子的分母、分子消去粘度，则流量就不依赖于粘度。

即使螺纹槽式分配器的情况，也需要对于将涂布流体导向螺纹槽部用的辅助气压如图1所示那样一面由控制部12进行控制一面从辅助气压供给装置5A进行施加。但是，最好这时的辅助气压相对螺纹槽的抽吸压力充分小。例如，如果抽吸压力为1～3MPa，则辅助气压可以为0.05～0.02MPa左右，不会给予大的影响。

从而，通过由控制部12控制旋转传递装置3A及电源13的螺纹槽式与电场喷射式分配器的组合，而使流量不容易依赖环境温度变化等带来的粘度变化，能够实现稳定的极细线涂布。

以下，对在控制部12的控制下进行的、从涂布开始到连续涂布的流体涂布方法的一例进行说明。

最初，通过在控制部12的控制下，从电源13向壳体侧电极9与作为对向电极的基板14侧之间施加规定的电压V，而在壳体电极9与基板14之间形成电场。基板侧的电极只要利用基板14的下面设置的导电性基台90并将该基台90接地即可。在壳体侧电极9施加高电压(例如，0.5～3KV)。若在控制部12的控制下由旋转传递装置3A使螺纹槽4开始旋转，则通过螺纹槽4产生的抽吸压力P_p而使涂布流体10从喷嘴8的开口部向基板14流出，从喷嘴开口部附近向基板14形成涂布流体10的大致圆锥形状的弯液面15。以下，通过形成在电极9与基板14之间的电场与螺纹槽4的抽吸压力P_p双方的效果，涂布流体10的弯液面15迅速伸长成为纵向长的大致圆锥形状的状态。如果成为从该弯液面15的伸长部前端(下端)垂流涂布流体10的状态，则弯液面15的前端与喷嘴径相比充分细，因此在控制部12的控制下通过使喷嘴8与基板14相对移动(例如，通过相对固定的基板14，在控制部12的控制下，在沿基板表面且相正交的2方向上基于XY自动装置等横方向移动装置92的驱动而一体移动壳体2与旋转传递装置3A等)能够描绘出比喷嘴径充分小的极细线。

其次，在从描绘涂布流体10的连续涂布线的状态遮断涂布线的情况下，如下述进行。在描绘连续涂布线的状态下，在控制部12的控制下，将从电源13施加给电极9与基板14之间的电压保持接通状态，由旋转传递装置3A使螺纹槽4的旋转急停。并且，急停后，在控制部12的控制下，由旋转传递装置3A使形成有螺纹槽4的活塞1逆转若干量。通过上述方法，由于可以从基板14侧迅速分离·切断从喷出喷嘴前端向基板14形成的涂布流体10的弯液面15，所以能够高品质地描绘涂布结束的描绘线的终端。相反，在开始涂布时，进行控制，使刚开始旋转后螺纹槽4的转速超过恒定状态的转速一些量、即喷出压力刚开始动作后，具有峰压。这样，能够迅速喷出由负压深入到喷出喷嘴8内部的涂布流体10。在从涂布结束到涂布开始的时间长的情况下，可以：涂布结束后，使向壳体侧电极9施加的电压断开，在涂布开始时与螺纹槽4旋转的同时使上述电压接通。另外，虽然可以应用后述的其他的实施方式，但是涂布开始时使喷出喷嘴8的前端充分接近基板14(例如，使喷出喷嘴8的前端与基板14的距离δ例如为δ＝50～100μm。)，在该状态下，刚描绘涂布线的始端后，可以将距离δ恢复为恒定时的状态(例如，δ＝1.0～2.0mm)。

这样，能够高品质地描绘涂布开始的描绘线的始端。

在电场喷射方式的现有例中，如上所述，需要充分流量时需要在加压装置508(图31)施加大的气压(例如，1.5～3MPa以上)。这时，基于与气体方式分配器相同的问题，而响应性差，因此难以高品质地描出描绘线的始终端。

与此相对，在如上述第1实施方式的流体涂布装置那样以螺纹槽式描出描绘线的始终端的情况下，可以采用发下(1)、(2)等方法，即(1)在马达与泵轴之间设置电磁离合器，在喷出的ON、OFF时连结或开放该电磁离合器；(2)使用DC伺服马达，使泵轴迅速开始旋转或迅速停止，与气动式相比使用高粘度粉流体时的控制响应性有利。并且，也可：在控制部12的控制下，当遮断涂布时马达3A的旋转停止的同时，使由电源13向壳体侧电极9与基板14之间施加的电压断开。或者考虑马达转速控制的响应性比电场控制慢，也可以在控制部12的控制下使时间稍微延迟地由电源13使电压断开。

第2实施方式

图2、图3A及图3B是说明实施本发明的第2实施方式的流体涂布方法的流体涂布装置的简要局部剖视图，图2的(A)、(B)、(C)分别表示从连续涂布的状态到遮断涂布进而到开始涂布的状态的流程图。在第2实施方式的流体涂布装置及方法中使用的分配器的活塞轴，如图10的具体例所示，成为由2自由度驱动器驱动可旋转的同时直线运动的结构。

101为活塞，102为收纳该活塞101的壳体。活塞101可分别独立旋转运转与直线运动地收纳在作为固定侧的壳体102内。在使用非导电性的涂布材料时，壳体102可以任意使用绝缘性材料或导电性材料，在壳体102整体使用导电性材料时，喷嘴前端最靠近基板故电场强度最大，不会影响电场控制的功能。但是，在从安全方面考虑而不给壳体102整体施加高电压时，如图29的具体例所示，也可只设置电极的喷出部(在图29中为364)使用绝缘性材料、其他位置使用导电性材料。另外，活塞101可以任意使用导电性材料或绝缘性材料。

旋转运动可以由马达等旋转传递装置103A向箭头103方向旋转驱动，并且，直线运动可以由气缸等轴方向移动装置104A向箭头104方向进退驱动。该旋转运动与直线运动及电源115的电压施加动作由控制部116进行控制。即，控制部116控制流体涂布装置的流体涂布动作。

105为形成在活塞101的外周与壳体102的内周面间的相对移动面、例如活塞101的外周面上形成的螺纹槽，106为涂布流体的吸入口，107为活塞101的端面，108为其固定侧对向面，109为形成在固定侧对向面108的中央部的喷出喷嘴，110为设在喷出喷嘴109的外周部的环板状的壳体侧电极(也称为喷嘴侧电极)。111为向活塞101的螺纹槽105与壳体102的内周面之间的空间供给并从喷出喷嘴109喷出的涂布流体，112为在活塞101的端面107与壳体102的固定侧对向面108之间形成的泵室，113为从喷出喷嘴109流出的涂布流体111的伸长部，114为放置在接地的导电性的基台93的基板(涂布对象的一例。)。在壳体侧电极110一侧与基板114一侧之间通过由控制部116控制的电源115(图3A及图3B)施加规定的电压V。

图2(A)表示在基板114上连续涂布涂布流体111的状态。在该状态下，在控制部116的控制下，通过由旋转传递装置103A使螺纹槽轴即活塞101向箭头103方向旋转而产生的抽吸压力，而涂布流体111从喷出喷嘴109流出，但是同时通过在控制部116的控制下由电源115在电极110与基板114之间产生的电场的作用，而使作为电介质的涂布材料的涂布流体111的弯液面113成为尖的大致圆锥的锥形状。这样，能够在基板114上描绘比喷出喷嘴109的内径小的线宽的涂布线。

图2(B)表示遮断连续涂布线的情况。图3B表示图2(B)的详细图。在控制部116控制下，维持活塞101的箭头103方向的旋转，由轴方向移动装置104A使活塞沿向上的箭头104方向相对气缸102迅速上升时，喷出喷嘴109的上游侧的泵室112内的压力迅速下降成为负压。这里，由于将由活塞101的螺纹槽105与壳体102的内周面构成的螺纹槽泵作为涂布流体111的流体供给源，所以由转速与螺纹槽形状决定的最大流量Q_max以上的流量，不能供给泵室112。这样，如果将活塞迅速上升产生的空隙部的每单位时间的体积增加份设为Q_p，并以Q_p＞Q_max的方式设定活塞直径、活塞速度，则能够在泵室112产生充分大的负压。将该负压称为“逆压缩压力”。

在活塞101上升的过程中，在控制部116的控制下，如果由电源115在电极110与基板114之间施加电压，则处于喷出喷嘴109的基板侧的涂布流体111由于电场而受到向基板侧凸出作用力：f₁。同时，由于泵室112产生的负压，而流体111受到要返回到喷出喷嘴109内部的吸引力：f₂。该凸出力f₁与吸引力f₂平衡，涂布流体111的弯液面113能够继续保持一定形状。涂布流体111凸出作用的力：f₁的大小与弯液面113的形状，可通过电压的大小由控制部116进行控制，另外在使用交流时可通过频率的选择由控制部116进行控制。吸引力：f₂的大小如上所述，可通过设定活塞101的迅速上升的速度由控制部116进行控制。例如，可以在活塞101迅速上升而弯液面113的前端位置从基板114脱离后，使活塞101缓慢上升。使用这样的方法，在涂布遮断状态过程中可以将基板114与流体弯液面113的前端的距离：h继续保持一定的值。

图2(C)表示从涂布遮断状态开始涂布的情况。在这种情况下，与图2(B)相反，在控制部116的控制下由轴方向移动装置104A使活塞101下降。若活塞101下降，则在泵室112上产生正的压缩压力。并且在活塞101的下降速度过大时，压缩压力变得过大，有在描绘线的涂布开始部分形成“***”的危险。由此，可以在不产生该“***”的范围内设定活塞101的下降速度。在以短周期反复上述图2(A)～(C)的连续涂布、遮断涂布、开始涂布的动作时，能够实现具有短的线长的连续涂布或间歇涂布。这里，在涂布线的线宽设为b、涂布线的长度设为L时，如果L＞b则定义为连续，如果Lb或L＜b则定义为间歇涂布。

作为上述图2(B)及(C)以外的方法，如果通过控制部116使轴方向移动装置104A产生的活塞101的迅速上升动作与电源115断开产生的电场为0(电压为0)的动作连动，则从喷出喷嘴109凸出的流体111一下子被吸引到喷出喷嘴109的内部，也能够遮断涂布。在开始涂布时，可以通过控制部116使轴方向移动装置104A产生的活塞101的下降动作与电源115接通施加电压的动作连动。

以上，表示了高品质连续涂布连续描绘线的始终端的情况，但本发明的效果也可以灵活运用在超高速间歇涂布上。在使用如图2～图3B所示的2自由度驱动器(具体地讲，旋转传递装置103A与轴方向移动装置104A)，使活塞101以高频率往复运动时，产生具有尖锐的峰压的正的压缩压力。其理由如下述。若活塞101高速下降，在喷出喷嘴109的流体阻力大时，在封入的间隙部无排出处的涂布流体111逆流向螺纹槽泵侧。但是，由于螺纹槽泵具有高的内部阻力，所以产生与该逆流量及内部阻力成比例的压力。若在喷嘴侧电极110与作为其对向电极的基板114之间形成电场，则喷嘴前端的弯液面113能始终保持轴对称的形状。另外，附着在喷嘴前端的流体块与喷嘴109之间的表面张力通过电场的凸出涂布流体111的作用明显减低。由于该2方面作用，在产生具有尖锐的峰压的高频率的压力波形时，虽然压力的绝对值低，流量极小，但是也可以进行高速间歇涂布。

此外，在连续涂布的上述的第2实施方式的流体涂布装置及方法中，使用2自由度驱动器(具体地讲，旋转传递装置103A与轴方向移动装置104A)使形成有螺纹槽105的活塞101旋转运转与直线运转。除该方法以外，如图11A及图11B的具体例所示，也可以使用流体供给源(例如，螺纹槽泵)与进行直线运动的活塞相分离的结构的分配器。在间歇涂布的情况下同样也可以使用分离型分配器。

(第3实施方式)

图4A及图4B是说明可实施本发明的第3实施方式的流体涂布方法的流体涂布装置的简要局部剖视图，作为产生返回到喷出喷嘴内部的吸引力：f₂的装置的另一例，示出使用推力动压密封件的情况。在该第3实施方式的流体涂布装置及方法中使用的分配器的活塞轴，与第2实施方式的流体涂布装置及方法相同，为通过2自由度驱动器(具体地讲，旋转传递装置603A与轴方向移动装置604A)而可以同时旋转运动与直线运动的结构。在该活塞轴的喷出侧端面与其对向面之间形成推力动压密封件。

601为具有与活塞101相同的螺纹槽的活塞，602为与壳体102相同具有涂布流体的吸入口具收纳上述活塞601的壳体。活塞601可以分别独立旋转运动与直线运动地收纳在作为固定侧的壳体602中。在使用非导电性的涂布材料时，壳体602可以任意使用绝缘性材料或导电性材料，在壳体602整体使用导电性材料时，喷嘴前端最靠近基板故电场强度最大，不会影响电场控制的功能。但是，在从安全方面考虑而不给壳体602整体施加高电压时，如图29的具体例所示，也可只设置电极的喷出部(在图29中为364)使用绝缘性材料、其他位置使用导电性材料。另外，活塞601可以任意使用导电性材料或绝缘性材料。

旋转运动可以由马达等旋转传递装置603A向箭头603方向旋转驱动，并且，直线运动可以由气缸等轴方向移动装置604A向箭头604方向进退驱动。该旋转运动及直线运动由控制部618进行控制。

605为活塞601的端面，606为其固定侧对向面，607为形成在固定对向面606的中央部的喷出喷嘴，608为设在喷出喷嘴607的外周部的环板状的壳体侧电极(也称为喷嘴侧电极)。609为向活塞601的螺纹槽与壳体602的内周面之间的空间供给并从喷出喷嘴607喷出的涂布流体，610为在活塞601的端面605与壳体602的固定侧对向面606之间形成的泵室，611为从喷出喷嘴607流出的涂布流体609的伸长部，612为放置在接地的导电性的基台619的基板(涂布对象的一例。)。在壳体侧电极608与基板612一侧之间由通过控制流体涂布装置的流体涂布动作的控制部618进行控制的电源613施加规定的电压V。614为形成在活塞601的端面605与其对向面606的相对移动面任一方(例如，活塞601的端面605)上的推力动压密封件的槽部。此外，在图4B中，将推力动压密封件的槽部614全面涂成黑色。推力动压密封件产生的吸引力：f₂的大小，形成有推力动压密封件的槽部614的活塞端面605与其对向面606的间隙：δ越窄、另外活塞601的转速N越大，则吸引力：f₂越大。因此，弯液面611的前端与基板612的距离h可通过调整施加电压V与频率f、及间隙δ与转速N而进行控制。

采用上述第3实施方式，在涂布结束后、等待涂布的状态下，能够将弯液面的前端与基板间的距离h保持一定，并且将弯液面的前端维持在靠近基板的位置。由此，在开始涂布时，能够高品质地描出涂布线的始端。

(第4实施方式)

图5A是表示可实施本发明的第4实施方式的流体涂布方法的流体涂布装置的简要局部剖视图，表示并不是利用基板作为对向电极、而在喷出喷嘴与基板之间的空间设置对向电极(以下，称为空间电极)的情况。即，在配置于壳体(分配器)的一部分或整体上的壳体侧电极、与上述空间电极之间施加电压而形成电场。据此构成，由于无需在基板侧形成导电体膜、或无需将导电体的板材料等配置在基板下，所以能够不受涂布对象的制约。即使厚基板的情况下，也能够在2个电极间形成大的电场强度，因此有利于描绘极细线。

401为活塞，402为收纳该活塞401的壳体。在使用非导电性的涂布材料时，壳体402可以任意使用绝缘性材料或导电性材料，在壳体402整体使用导电性材料时，喷嘴前端最靠近基板故电场强度最大，不会影响电场控制的功能。但是，在从安全方面考虑不给壳体402整体施加高电压时，如图29的具体例所示，也可只设置电极的喷出部(在图29中为364)使用绝缘性材料、其他位置使用导电性材料。另外，活塞401可以任意使用导电性材料或绝缘性材料。

活塞401可旋转地收纳在固定侧的壳体402内。活塞401被马达等旋转传递装置403A驱动沿箭头403的旋转方向正反旋转。

404为活塞401的外周面与壳体402的内周面的相对移动面，例如为形成在活塞401的外周面上的螺纹槽，405为涂布流体的吸入口，406为活塞401的端面，407为其固定侧对向面，408为形成在固定侧对向面407的中央部的喷出喷嘴，409为设在喷出喷嘴408的外周部的环板状的壳体侧电极(也称为喷嘴侧电极)。410为向活塞401的螺纹槽404与壳体402的内周面之间的空间供给并从喷出喷嘴408喷出的涂布流体，411为在活塞401的端面406与壳体402的固定侧对向面407之间形成的泵室。412为控制流体涂布装置的流体涂布动作的控制部，417为由控制部412控制并向壳体侧电极409施加电压的电源，413为基板(作为涂布流体410的涂布对象的被涂布基材的一例)，414为从喷出喷嘴408流出的涂布流体410的弯液面的伸长部，415为配置在喷出喷嘴408前端与基板413之间的空间且使涂布流体410的弯液面414通过内部空间的环状的空间电极。

在设置空间电极的情况下，为了稳定形成弯液面414，而在该第4实施方式的流体涂布装置中使用如下的方法。以下，利用图6A及图6B进行说明。

①在控制部412的控制下，将电源417的开关断开而成为停止向空间电极415施加电压的状态。

②其次，通过在控制部412的控制下由旋转传递装置403A使螺纹槽404迅速旋转，而在泵室411中产生高压的抽吸压力，从喷出喷嘴408使涂布流体410成为飞翔状态。所谓该飞翔状态，表示水从水管的水龙头猛流出的状态，从喷出喷嘴408流出且通过环状的空间电极415的中心部的涂布流体410的弯液面414的线径φd，如图6A那样在喷出喷嘴408与基板413之间大致均匀。

③在涂布流体飞翔的同时、或设置一些时间差在控制部412的控制下接通电源417的开关而成为向空间电极415施加电压的状态。于是，在涂布流体410通过环状的空间电极415的中心部时，如果涂布流体410的弯液面414相对轴芯呈偏芯状态且涂布流体410的流速小，则涂布流体410附着在空间电极415的局部上。但是，在该第4实施方式的流体涂布装置及方法中，涂布流体410由于已高速飞翔，所以涂布流体410具有轴方向的惯性力，可通过空间电极415的环内落到基板413上。

④然后，通过形成在壳体侧电极409与空间电极415之间的电场，涂布流体410被加速，线径φd如图6B那样细径化。

在上述②的流程中，当抽吸压力小时，涂布液体410不飞翔而在喷出喷嘴408的前端形成流体块。而且很快则流体块增大，表面张力与流体块的重力平衡并形成弯液面的伸长部414。这时，由于弯液面414形成速度慢，所以在接近环状的空间电极415时，如果弯液面的伸长部414稍有偏芯，则会使涂布流体410附着在空间电极415局部上。

在上述第4实施方式中，作为压力供给源使用螺纹槽泵，但是也可为螺纹槽式以外的某种泵方式、齿轮泵、次摆线泵、莫诺泵等、或如可获得高压也可为气动式。

采用上述第4实施方式，通过在配置于壳体(分配器)402的一部分或整体上的壳体侧电极409、与上述空间电极415之间施加电压形成电场，而无需在基板侧形成导电体膜、或无需将导电体的板材料等配置在基板413下，能够不受涂布对象的制约。即使是厚基板413的情况下，也能够在2个电极409、415间形成大的电场强度，因此有利于描绘极细线。

另外，作为上述第4实施方式的变形例，如果在第4实施方式的流体涂布装置中如图5B所示使用在第2实施方式、第3实施方式的流体涂布装置及方法中分别应用的2自由度驱动器结构的分配器，或如果使用在图11A、图11B中后述的流体泵部与活塞部分离的结构，则使用空间电极415的上述方法更加有效。如图5B所示在使用2自由度驱动器结构的情况下，活塞401可与旋转运动独立由气缸等轴方向移动装置416A向箭头416方各进退驱动。

作为轴方向移动装置416A可以使用响应性高的电磁失真无件(压电元件、超磁伸缩元件等)。在上述②的步骤中，如果在控制部412的控制下，由旋转传递装置403A使螺纹槽404旋转的同时、由轴方向移动装置416A使活塞401迅速下降，则通过正的压缩压力效果在泵室411中产生高压。该瞬时产生的正的压缩压力成为使作为涂布流体410的高粘度流体飞翔的原因。遮断涂布时，如果由轴方向移动装置416A相反使活塞401迅速上升，则通过负压缩压力效果在泵室411中产生负压，能够将弯液面414吸引到喷嘴408的内部。这样，在使用2自由度驱动器(具体地讲，旋转传递装置403A与轴方向移动装置416A)的第4实施方式的变形例的流体涂布装置中，如果一并利用活塞401的轴方向驱动，则能够在保持向空间电极415旋转电压的状态下，开始与遮断涂布线的飞翔涂布。

并且，图7是表示上述的第4实施方式的流体涂布装置的较具体的喷出喷嘴408的结构的图。

451为活塞(相当于图5A的活塞401)，452为收纳该活塞451的上部壳体(相当于图5A的壳体402)。453为筒状的喷出喷嘴(相当于图5A的喷出喷嘴408)，并兼具有喷嘴侧电极(相当于图5A的壳体侧电极409)454的作用。455为在中心保持喷出喷嘴453、由收纳在上部壳体452内的非导电性材料构成的喷嘴保持部。456为安装在上部壳体452的下端部的下部壳体，在对向的基板侧形成第2开口部457。

另外，在该第2开口部457上设有环状的空间电极458(相当于图5A的空间电极415)。为了形成轴对称且均匀的电场而优选空间电极458的形状为轴对称。459为作为涂布对象的一例的基板。

上部壳体452可以具有导电性或绝缘性，并且优选下部壳体456具有绝缘性。

采用这样的图7的结构，由于可以一体安装2个部件即上部壳体452与下部壳体456，所以能够以高精度确保喷出喷嘴453与空间电极458的同芯度。

此外，使用空间电极的方法也可应用间歇涂布的情况。如上所述，通过在喷嘴侧电极与配置在其下游侧的对向电极之间形成电场，而喷嘴前端的弯液面能始终保持轴对称的形状。另外，附着在喷嘴前端的流体块与喷嘴之间的表面张力，通过电场的凸出涂布流体的作用明显减少。由于即使在空间电极的情况下也可得到该2方面作用，所以可以进行超高速间歇涂布。

(第5实施方式)

图8是可实施第5实施方式的流体涂布方法的流体涂布装置的简要局部剖视图，其对上述的第4实施方式的流体涂布装置及方法的一部分进一步进行了改良。即，通过在空间电极附近设置气体(第2供给流体)的流出开口部，而可以形成更加稳定的弯液面。

251为泵室(相当于图5A或图5B的泵室411，由图5A或图5B的活塞401与上述壳体402形成的空间)，252为喷出部(相当于图5A或图5B的壳体402的下部的喷出部分)，253为形成在喷出部252的泵室251一侧的喷嘴开口部，254为喷出喷嘴(相当于图5A或图5B的喷出喷嘴408)，并兼具有喷嘴侧电极255(相当于图5A或图5B的壳体侧电极409)的作用。256为涂布流体257(第1供给流体)(相当于图5A或图5B的涂布流体410)通过的喷嘴流通路(第1喷出通路)。喷出部252在泵室侧的中心部保持喷出喷嘴254，筒状部分258向下游侧延伸。此外，活塞或壳体等由于与第4实施方式的流体涂布装置及方法相同，故省略图示。

259为空出间隙地包覆筒状部分258的下部壳体，260为气体(第2供给流体)的吸入口，261为形成在筒状部分258与下部壳体259之间的气体流通路，262为气体开口部，263为设在气体开口部262附近的空间电极(相当于图5A或图5B的空间电极415)。264为涂布流体257的弯液面，265为位于空间电极263的内面的气体与涂布流体257的喷出通路(第2喷出通路)，266为基板。

从气体吸入口260流入的气体，经气体流路261在喷出通路265与从喷嘴流通路256(第1喷出通路)流来的涂布流体257合流。

在该第5实施方式的流体涂布装置及方法中，由于在空间电极263附近具有气体开口部262，所以成为气体包围流体弯液面264的周围地呈筒状流动的状态，即使流体弯液面264的轴芯在空间电极263附近偏芯，也可通过气体流动而从偏芯的状态回复到在中心侧流动的状态，产生对弯液面264的轴芯进行调芯的作用。这样，在开始涂布时，即使泵室251的压力低，弯液面264的形成速度慢的情况，弯液面264也不会接近空间电极263，可一边维持轴对称的形状一边伸长，所以能够稳定的开始极细线的涂布。此外，如果气体开口部262形成在空间电极263的内面的中央部，则更有效果。

在第5实施方式的流体涂布装置及方法中，作为第2供给流体使用气体，但是，当然也可使用其他种类的气体。或者在流体彼此间混合没有问题的情况下，也可以使用流体。

采用上述第5实施方式，通过在空间电极263附近设置气体(第2供给流体)的流出开口部262，而能够更加稳定地形成弯液面264。

图9是表示上述第5实施方式的流体涂布装置的较具体的喷出喷嘴的结构的图。

650为具有与之前的实施方式相同的螺纹槽的活塞，651为泵室(相当于图8的泵室251)，652为喷出部(相当于图8的喷出部252的一部分)，653为上部壳体(相当于图8的喷出部252的一部分)，654为中间壳体(相当于图8的喷出部252的一部分)，655为喷出喷嘴(相当于图8的喷出喷嘴254)、并兼具有喷嘴侧电极656(相当于图8的壳体侧电极255)的作用。657为喷出部652的筒状部分(相当于图8的筒状部分258)，658为下部壳体(相当于图8的下部壳体259)，659为气体的吸入口(相当于图8的气体吸入口260)，660为气体流通路(相当于图8的气体流通路261)，661为气体开口部(相当于图8的气体开口部262)，662为设在气体开口部661附近的空间电极(相当于图8的空间电极263)。

663为涂布流体的弯液面(相当于图8的弯液面246)，664为基板(相当于图8的基板266)。

采用上述图9的结构，由于可以一体安装2个部件即中间壳体654与下部壳体658，所以能够以高精度确保喷出喷嘴655与空间电极662的同芯度。

(其他的实施方式等)

图10表示作为上述的本发明的第2实施方式的变形例，使用到第2实施方式的流体涂布装置及方法上的分配器的具体的结构的剖视图。

以下所示的分配器，在活塞与收纳该活塞的套筒之间具有可同时施予相对的旋转运动与直线运动的“2自由度驱动器”。即，

①通过由第1驱动器直线驱动活塞，而可在活塞的喷出侧端面产生正负骤变的压力。

②由施予旋转运动的第2驱动器使形成有螺纹槽的活塞旋转而产生抽吸压力，将涂布流体压送到喷出侧。

除了上述①②的组合之外，通过在分配器侧与基板上形成电场，而可实现极细涂布线的高速遮断·高速开放的控制。

在图10中，201为第1驱动器(相当于图3A的轴方向移动装置104A)，在第2实施方式的流体涂布装置中，高速间歇地以微小量且高精度地供给高粘度流体，而得到高定位精度，使用具有高响应性的同时还可得到大的发生负荷的超磁伸缩元件。202为由第1驱动器201驱动的主轴(活塞)(相当于图3A的活塞101)。上述第1驱动器201被收纳在上部壳体203中，在该上部壳体203的下端部(前面一侧)安装收纳主轴202的中间部壳体204。205为马达等第2驱动器(相当于图3A的旋转传递装置103A)，在主轴202与各壳体203、204之间施予相对的旋转运动。206为由超磁伸缩元件构成的圆筒形状的超磁失真棒。207为用于在超磁失真棒206的长方向上施予磁场的磁场线圈。208、209为用于在超磁失真棒206上施予偏置磁场的永久磁铁。210为配置在超磁失真棒206的背面侧，为磁路的磁轭材料的背面侧磁轭。此外，主轴202配置在超磁失真棒206的前面侧，兼作磁路的磁轭材料。即，由超磁失真棒206、磁场线圈207、永久磁铁208、209、背面侧磁轭210、主轴202构成能以施加给磁场线圈的电流控制超磁失真棒的轴方向的伸缩的超磁失真驱动器(第1驱动器201)。211为可自由旋转地收纳与背面侧磁轭210一体化的上部主轴212的背面侧套筒。该背面侧套筒211也另外通过轴承230，而可自由旋转地支撑在上部壳体203上。

213为用于预先给超磁失真棒206施加负荷的偏置弹簧。从马达等第2驱动器205传递的旋转动力通过设在中心轴214与主轴202之间的旋转传递键(未图示)传递给主轴202。另外，主轴202通过设在与中间部壳体204之间的轴承215而被收纳成可以在轴方向及旋转方向上移动。216为用于检测主轴202的轴方向变位的变位传感器。据此构成，实现能够同时且独立地控制装置的主轴202的旋转运动与微小变位的直线运动的“2自由度·复合动作驱动器”。

217为固定在主轴202上的螺纹槽轴，218为用于将形成在螺纹槽轴217的外表面上的流体压送到喷出侧的螺纹槽(相当于图3A的螺纹槽105)，219为流体密封件，220为下部壳体(相当于图3A的壳体102)。在该螺纹槽轴217与下部壳体220之间形成通过螺纹槽轴217与下部壳体220的相对旋转来得到抽吸作用的泵室221(相当于图3A的泵室112)。另外，在下部壳体220形成有与泵室221连结的吸入孔222。

223为安装在下部壳体220的下端部的喷出喷嘴(相当于图3A的喷出喷嘴109)，224为用于将喷出喷嘴223固定在下部壳体220上的喷嘴箱，225为安装在喷出喷嘴前端的壳体侧电极(相当于图2的壳体侧电极110)。

并且，在该第2实施方式的变形例中，利用由超磁伸缩元件驱动的活塞202可在旋转的同时高速的直线运动的特征，而在以下的方法中可解决涂布线的始终端所存在的问题。

在分别具有有限的线宽的连续涂布动作与连续涂布动作之间的停止时间T短的情况下，例如为T＝0.3～0.5sec以下的情况下，保持从电源115不向电极225与基板(未图示)之间施加电压的状态，进行如下①②动作。

①在结束涂布时，在控制部116的控制下，保持由第2驱动器205使螺纹槽218旋转的状态，在停止时间的期间由第1驱动器201使活塞(主轴202)继续上升。

②在开始涂布时，在控制部116的控制下，由第1驱动器201使活塞202下降。

另外，在停止时间T长的情况下，例如T＞0.5sec的情况下，进行如下①②动作。

①在结束涂布时，在控制部116的控制下，由第1驱动器201使螺纹槽218上升的同时停止第2驱动器205的一例即马达的旋转。并且，在停止第2驱动器205的一例即马达的旋转后，使之缓慢反转。

②在开始涂布时，在控制部116的控制下，由第1驱动器201使活塞(主轴202)下降的同时开始第2驱动器205的一例即马达的正转。

在该第2实施方式的变形例中，由于由超磁伸缩元件驱动活塞202，所以相对活塞202的输入信号的输出变位的响应性为10^-3sec(1000Herz)的数量级。超磁伸缩元件与后述的压电元件相同，为电磁伸缩元件的一种，具有高响应性与高发生压力。相对间隙变化的压缩压力发生的期间的时间延迟很小，因此，与将气压作为辅助加压源的现有电场喷射方式相比，能够得到二数量级的高的始终端控制的响应性。

另外，图11A及图11B是表示作为上述的本发明的第2实施方式的其他变形例，可用在第2实施方式的流体涂布装置上的分配器的其他方式的具体的结构的图，表示将螺纹槽与活塞分离构成的分配器和电场喷射方式组合起来的具体事例。

在上述的图10的结构中，由2自由度驱动器使螺纹槽轴独立地旋转与直线运转，但是，在图11A及图11B中将由螺纹槽产生抽吸压力的功能、与改变活塞端面问的间隙而产生压缩压力的功能分离设置。

150为螺纹槽泵部(流体供给部)，151为螺纹槽轴(相当于图3A的活塞101)，可沿旋转方向移动地收纳在壳体152上。螺纹槽轴151由旋转传递装置153的一例即马达旋转驱动。154为形成在螺纹槽轴151的外周面与壳体152的内周面的相对移动面任一个上的螺纹槽(相当于图3A的螺纹槽105)，155为涂布流体的吸入口(相当于图3A的吸入口106)。156为活塞部，157a为活塞，158a为活塞157a的轴向驱动装置即压电型驱动器，159a为喷出喷嘴。160为下部板，161a为形成在壳体152与下部板160之间的、连结螺纹槽端部与活塞外周部的涂布流体的流通路。

在活塞部156上配置有具有相同结构的压电型驱动器158a、158b、158c、分别由这些驱动器158a、158b、158c独立驱动的活塞157a、157b、157c。从螺纹槽泵部150经由3个流通路161a、161b、161c将流体供给各活塞157a、157b、157c。162a、162b、162c为设在各喷出喷嘴前端的用于电场控制的壳体侧电极(相当于图2的壳体侧电极110)。包含这些壳体侧电极162a、162b、162c与作为涂布对象的基板在内称为电极部163。

这样如图11A及图11B所示，如果将作为流体供给装置的螺纹槽泵部150与活塞部156分离而构成流体涂布装置，则通过从1套螺纹槽泵部150分支涂布液体地补给多个活塞157a、157b、157c，而可实现具有多级喷嘴的涂布喷头。

在分离型的分配器的上述第2实施方式的变形例中，在共用的壳体内部收纳作为流体供给装置的螺纹槽泵部150与活塞部156。除该构成以外，螺纹槽泵部150与活塞部156可以为设成分开的单元、并用配管连结二者的结构。

另外，图12是表示使用图11A及图11B的上述带电场控制的分离型分配器，来控制涂布线的开放·遮断的情况的控制方块图。

150为流体供给部(相当于图11A及图11B的螺纹槽泵部)156为活塞部(相当于图11A及图11B的活塞部)，163为电极部(相当于图11A及图11B的电极部)，903为作为旋转传递装置153的一例的马达用马达电源部，904为压电型驱动器158a、158b、158c用的活塞电源部，905为电极部163用的电极用电源部，906为控制涂布装置的流体涂布动作即分别控制马达电源903、活塞电源部904及电极用电源部905的控制部，114为基板。涂布线的涂布开始·遮断可以根据来自共用的控制部906的信息控制各自的电源903～905。

可以配合应用的流程由控制部906选择最佳的方法，而对马达的转速、活塞轴方向移动的方法、电场任一项进行控制。

图13是针对使用本发明的流体涂布装置或方法将电极材料涂布在基板上的情况，表示分配器侧的绝缘对策的实施方式。在涂布含有银膏等导电性微粒的材料的情况下，可以通过导电性材料导通施加高电压(数百V～数KV)的喷嘴电极、固定侧的本体壳体之间。如果如此导通，则流体涂布装置的本体壳体成为控制装置的接地情况，也有时控制装置因高电压而被破坏。通常借助数10微米的窄的间隙由旋转部件与固定部件之间的相对的旋转产生压力的流体供给部常隐含有危险性。

在该图13的实施方式中，通过具有利用旋转运动或直线运动的机构对泵室内的流体压力进行增压或减压的装置，产生解决本发明的新的问题的方案。该问题并不是现有电场喷射式的问题。

750为螺纹槽泵部(流体供给部)，751为旋转轴，752为壳体，753为压入壳体752的螺纹槽套筒。在螺纹槽套筒753的内面形成有螺纹槽754。755为涂布流体的吸入口，756为活塞部，757为活塞，758为作为活塞757的轴方各驱动装置的压电型驱动器，759为喷出喷嘴，760为下部板，761为涂布流体的流通路，762为设在喷出喷嘴759的前端的电场控制用的喷嘴侧电极(相当于上述壳体侧电极)，763为包含喷嘴侧电极762与作为涂布对象的基板等的电极部，764为驱动旋转轴751旋转的马达，765为流体密封件。

为了在喷嘴侧电极762、由设在喷嘴下游侧的对向电极(上述基板或上述空间电极)构成的电极部763、及其他的部件之间实现电绝缘，而施以如下工序。旋转轴751、活塞757、下部板760使用非导电性的陶瓷材料。

取代在非导电性的旋转轴751的外周面形成螺纹槽，在作为其相对的旋转的对向面的螺纹槽套筒753的内面上形成螺纹槽754。此外，螺纹槽套筒753可由精度高的槽加工容易的铁系金属制作。螺纹槽泵部(流体供给部)750由于相对移动面的间隙为数十微米，所以在使用含有导电性材料的微粒的材料的情况下，产生电短路的可能性高，但是，通过这样的构成，能够完全绝缘。

在图13的实施方式中，作为流体供给部750使用螺纹泵，但是即使螺纹槽式以外的某种泵方式例如齿轮泵、次摆线泵、或莫诺泵等也能够施以同样的对策。即，可以在泵的旋转(转子)部分上使用非导电性材料，而需要精度高的内面精度的固定侧使用金属材料。当然，旋转侧与固定侧均可以使用非导电性材料。即使涂布材料不使用导电性材料的情况下，如果施以图13的实施方式所提出的绝缘对策，则也充分安全。

以上说明的各种实施方式，无论哪种情况从喷出喷嘴流出的涂布流体的弯液面的位置与形状在涂布过程中均维持一定的状态。以下，对主动控制该弯液面的形状·位置将涂布流体涂布在基板上的方法进行说明。

图14是说明其原理的简要局部剖视图，表示作为产生使流体返回到喷出喷嘴内部的吸引力：f₂的装置，与第3实施方式相同，使用推力动压密封件的情况。从喷出喷嘴凸出涂布流体作用的力：f₁通过施加电场而产生。该凸出的力f₁与吸引力f₂平衡，弯液面的前端位置与基板之间的距离：h一定，能够稳定定位弯液面的前端位置。

但是，即使电场喷射方式的现有方案(特开2000-246887号公报，特开2001-137760号公报)中也公开了使弯液面从喷嘴凸出进行连续·间歇涂布的方法。但是，在上述专利公报中，没有公开了如图14的实施方式及第3实施方式表示的那样，使用主动地在泵室内产生负压的机构，使吸引力与电场产生的凸出弯液面的作用的力平衡的方法。由弹簧支撑两端的物体与可保持稳定状态的机构相同，本发明通过在喷嘴使2个力(即，吸引力及由电场使弯液面凸出的力)平衡，而能够使原本不稳定的流体的弯液面稳定定位。

在该图14中，在上述各种实施方式中使用的分配器的活塞轴，与第2实施方式相同，成为可由2自由度驱动器旋转运转的同时进行直线运动的结构。在该活塞轴的喷出侧端面与其对向面之间形成推力动压密封件。在图14中，801为具有例如与活塞101相同的螺纹槽的活塞，802为与壳体102相同具有涂布流体的吸入口且收纳活塞801的壳体。活塞801可分别独立控制旋转运动与直线运动地收纳在作为固定侧的壳体802上。在使用非导电性的涂布材料时，壳体802可以任意使用绝缘性材料、或导电性材料，在壳体802整体使用导电性材料时，喷嘴前端最靠近基板故电场强度最大，不会影响电场控制的功能。但是，在从安全方面考虑不给壳体802整体施加高电压时，如图29的具体例所示，也可只设置电极的喷出部(在图29中为364)使用绝缘性材料、其他位置使用导电性材料。另外，活塞801可以任意使用导电性材料或绝缘性材料。旋转运动可以由马达等旋转传递装置803A向箭头803方向旋转驱动，并且，直线运动可以由气缸等轴方向移动装置804A向箭头804方向进退驱动。805为活塞801的端面，806为其固定侧对向面，807为形成在固定对向面806的中央部的喷出喷嘴，808为设在喷出喷嘴807的外周部的环板状的壳体侧电极(也称为喷嘴侧电极)。809为向活塞801的螺纹槽与壳体802的内周面之间供给并从喷出喷嘴807喷出的涂布流体，810为在活塞801的端面805与壳体802的固定侧对向面806之间形成的泵室，811a为从喷出喷嘴807流出的流体弯液面，以虚线表示弯液面的伸长部上升前端远离基板812时的状态，811b是从喷出喷嘴807流出的流体弯液面，以实线表示弯液面的伸长部下降而前端与基板812相接触时的状态。812为例如放置在接地的导电性的基台819的涂布对象的一例的基板。在壳体侧电极808与基板812之间由通过控制流体涂布装置的流体涂布动作的控制部820进行控制的电源813施加规定的电压V。814为形成在活塞801的端面805与其固定侧对向面806的相对移动面任一方(在图14中为端面805)上的推力动压密封件的槽部(相当于图4A及图4B的推力动压密封件的槽614)。此外，815为呈点状间歇涂布在基板812上的涂布流体。控制部820为控制流体涂布装置的流体涂布动作的部件，控制电源813的接通断开等电压施加动作及旋转传递装置803A产生的旋转运动与轴方向移动装置804A产生的直线运动。

另外，图15表示从电源813向壳体侧电极808与基板812之间施加的电压的波形。在电压为V_a时，如果使推力动压密封件产生的吸引力f₂一定，则由电场产生的从喷出喷嘴凸出涂布流体809的作用的力：f₁变小且比吸引力f₂小而吸引涂布流体809，因此弯液面的伸长部成为上升的状态811a。另一方面，在电压为比V_a大的V_b时，由于凸出作用的力：f₁变大且比吸引力f₂大而使涂布流体809凸出，所以弯液面的伸长部成为下降的状态811b。这时，涂布流体809喷出到基板812上进行转印。通过改变施加的电压的中心值的大小与电压振幅而可由控制部820调节弯液面前端位置的绝对值与行程。或者，不控制电场而通过调节推力动压密封件的间隙：δ、活塞转速：N等也可进行控制。通过本实施方式表示的方法，能够稳定且高速涂布任意大小的极小径的点。另外，也可能连续涂布，能够在涂布中途改变描绘线的线宽。在图14的实施方式使用动压密封件使泵室成为负压，但是也可使用其他的方法。例如，可以缓慢使螺纹槽反转，也可以使用连结负压产生源与泵室，控制负压产生源的压力的方法。

或者，如第2实施方式所说明，也可使活塞与其对向面的间隙增大及缩小。在间隙增大的过程中可使泵室成为负压，因此弯液面的前端从基板脱离而遮断涂布。相反，如果缩小间隙则弯液面的前端落到基板上，因此能够开始涂布。如果使用2自由度驱动器的分配器或分离型分配器，流体供给源使用螺纹槽泵，则可由螺纹槽的转速可靠设定平均流量，因此能够流量高地进行涂布。

II.在显示器上的具体的应用例

本发明，例如也可以应用到PDP表面板的电极形成。

(1)关于等离子显示器即等离子显示面板的结构

图30是表示等离子显示面板(以下称为PDP)的结构的一例的图。PDP大致分开由表面板1800与背面板1801构成。在作为构成表面板1800的透明基板的第1基板1802上形成多组线状透明电极1803。另外，在构成背面板1801的第2基板1804平行设置与上述线状透明电极1803正交的多组线状电极1805。使上述2个基板1802与1804夹着形成有荧光体层的偏置棱1806相对向，并在该偏转棱1806内封入放电性气体。当在两基板1802与1804的电极1803与1805之间施加阈值以上的电压时，在2个电极1803与1805相正交配合的位置产生放电而使放电性气体发光，能够通过透明的第1基板1802观察该发光。而且，通过控制放电位置(放电点)而能够在第1基板侧表示画像。为了由PDP进行彩色显示，在对应各放电点的位置(偏置棱的隔壁)形成由在各放电点放电时放射的紫外线显示所希望的色彩的荧光体。为了进行全彩显示，而形成RGB的各荧光体。

进一步稍详细地对表面板1800进行说明。表面板1800在由玻璃基板等透明基板构成的第1基板1802的内面侧由ITO等平行地形成多组以2根为一组的线状的透明电极1803。在该线状透明电极1803的内面侧表面形成用于减小线电阻值的总线电极1807。而且，具有这样的结构，即，在表面板1800的整个内面区域形成覆盖这些透明电极1803及总线电极1807的电介质层1808，并在电介质层1808的整个表面区域形成作为保护层的MgO层1809。

另一方面，在背面板1801的第2基板1804的内面侧由银材料等平行地形成多根与上述表面板1800的线状透明电极1803正交的线状的地址电极1805。另外，在背面板1801的整个内面区域形成有覆盖该地址电1805的电介质层1810。在电介质层1810上的各地址电极1805之间突出形成有规定高度的偏置棱(隔壁)1806，该偏转棱1806用于隔离各地址电极1805并且将表面板1800与背面板1801的间隙间隔维持一定。通过该偏置棱1806沿各地址电极1805形成棱间隙部1811，并在其内面上依次形成RGB各色的荧光体层1812。形成在棱壁面的荧光体层1812为了使显色好而一般厚度为10～40μm左右。在形成上述RGB各色的荧光体层1812时，将荧光体用涂覆液填充到各棱间隙部内后，通过干燥而除去挥发成分，在棱壁面上形成厚壁的荧光体层1812，同时形成填充放电性气体的空间。为了形成这样的膜厚的荧光体图形，而含有荧光体的涂覆材料被调制成减少溶剂的量的数千mPas～数万mPas的高粘度膏状流动体(荧光体用膏)，通过现有的丝网印刷或光刻法将其涂布在基板上。

(2)在PDP表面板的电极形成上的应用例

以下，对在包含上述的PDP的表面板的总线电极部与端子部的电极形成上使用本发明的上述实施方式的分配器的例子进行详细地说明。

图16是表示PDP表面板的一例的示意图，700为总线电极部(相当于图30的总线电极1807)，701A、701B为端子部。利用总线电极部700、端子部701A、端子部701B组成由玻璃基板构成的PDP表面板702(相当于图30的表面板1800)。703为引片接合部分。

以下，为了说明以怎样的图形形成PDP表面板702的总线电极部700、端子部701A、端子部701B各自的电极线，而关注电极线704，以图16的PDP表面板702的左侧端部的点a作为始点(或相反在形成图形的情况为终点)试着进行追查。以该点a为始点的电极线704，在b点改变方向后，向斜下方进行，在端子部701A内的c点再次改变方向。并且通过端子部701A，在d点进入总线电极部700。而且，通过总线电极部700的电极线在e点进入右侧的端子部701B，之后马上在f点停止。即，端子部701B内的f点成为电极线704的终点(或者相反在形成图形的情况为始点)。在与电极线704相邻的电极线705的始点、终点的位置相对于电极线704形成相反。这样，在图16的实施方式的PDP表面板702上相互交替地形成在左右端子部701A、701B具有停止点的电极线。电极线704从点a到点f连续相连，但是根据位置线宽有所不同。在以下的表1中表示各电极线704的各位置的尺寸规格的一例。要求在总线电极700内以窄间距平行形成的多个电极线群d～e(称为主电极线)最细，且高线宽精度(表1)与厚度的精度(4.5μm±1.5μm)。

表1

No.	电极线	区域	线宽的尺寸规格
No.	电极线	区域	线宽的尺寸规格	1	a～b	端子部701A	0.3mm
2	b～c	端子部701A	0.10mm	1	a～b	端子部701A	0.3mm
2	b～c	端子部701A	0.10mm	3	c～f	端子部701A、701B+总线电极部700	0.075mm±0.005mm

图17表示膏涂布用的假想区域。700的总线电极部称为“有效显示区域”，701A、701B的端子部称为“准有效显示区域”。706A及706B为设在PDP表面板702的两端的用于膏涂布的假想区域(双点划线)，称为“非有效显示区域”。包覆总线电极部700整体与端子部701A、701B的一部分地设定的假想区域707(虚线)称为“放大有效显示区域”。

下面，先对涂布方法的具体例(I)进行说明。在以PDP的表面板的电极形成为目的的最初的实施方式按下面的顺序形成整个电极线。

在步骤S1形成主电极线。

在步骤S2形成包括总线电极部分的端子部的电极线。

该方法中，在步骤S1的形成主电极线的工序中，由于能够使用具有尽量多的喷出喷嘴的涂布装置，所以在生产节拍方面有利。

图18表示主电极线的形成方法(步骤S1)。在PDP表面板702的除了放大有效显示区域707的左右配置有薄的掩膜片707A、707B。在该状态下，从掩膜片707A上的c点开始涂布银材料等的电极材料的涂布流体。在一下子涂布了总线电极部700后，在掩膜片707B上的ff’点结束银材料等的电极材料的涂布流体的涂布。

这时，作为应用的分配器，如图11A及图11B的一例所示，例如能够将组合螺纹槽泵与多个活塞的分配器作为供给单元(换句话说，为流体涂布单元)使用。也可进一步组合多台该供给单元作为用于涂布主电极线的流体涂布装置。在PDP用基板的端面的U转弯区间(移动掩膜片707B的区间)最好能完全遮断流体的喷出量。其理由是因为：通过完全遮断能够也降低在掩膜片707B上因流体的堆积使喷嘴变脏的概率。

或者，也可以：使用具有涂布线的总根数量(例如1921根)的多个喷嘴且作为涂布流体的布材料被气压加压分别供给多个喷嘴的分配器，一下子描绘出总根数量的涂布线。这时由于在始终端的涂布线控制上要求高的响应性，所以无需高速响应的始终端控制。即使使用哪种方法，为了实现细线化，均可以向设在喷嘴侧的电极与基板(透明电极)之间施加高电压，施以电场控制。

另外，图19表示包含总线电极部分的端子部的电极线的形成方法(步骤S2)。在准有效显示区域内(端子部701A及701B内)由于各电极线的倾斜角不同，所以由以一定间距并排配置的多级喷头难以同时涂布在准有效显示区域内相邻的电极线。为此，以下面的方法进行涂布。

在准有效显示区域内，由各自的倾斜角不同的电极线构成的电极线的组群设为AA₁～AA_n(图16)。这里，将在电极线的组群AA₁～AA_n中、2个的准有效显示区域内(端子部701A及701B内)分别描绘的电极线称为“端子部电极线”(例如704B)。这些端子部电极线的组群在PDP的表面板上由于具有2个准有效显示区域，所以形成多套。因此从多个组群AA₁～AA_n中选出具有相同的倾斜角的电极线(该电极线的根数设为K根)，并将这些设为组群BB。组群BB例如在图19中为电极线704B、708B、709B，对于组群BB的各电极线704B、708B、709B，如果使喷嘴与放置保持PDP表面板的工作台(例如参照图26的放置台50与XY工作台50x。)相对地沿上述电极线的倾斜角移动，则能够同时涂布形成具有相同的倾斜角的多个电极线704B、708B、709B。作为流体涂布装置的1个实施方式，可以只使用是电极线的根数量(这时只为K组)的、分别具有1套涂布流体供给源泵、活塞与喷出喷嘴的结构的分配器。

例如，在电极线704B的情况下，以非有效显示区域706A的点aa作为始点开始涂布流体的涂布。作为一例，可将喷出喷嘴与工作台之间的相对速度V设为V＝300mm/sec，将喷出喷嘴与基板之间的距离δ设为δ＝1.5mm。

在图20中，(A)表示相对时间的马达转速的时间图，(B)表示相对时间的用于在喷嘴与基板之间形成电场的施加电压的时间图，(C)表示相对时间的活塞变位的时间图。在t＝t_ms时开始马达的旋转。在t＝t_ms后的时间或与t＝t_ms相同的时间的t＝t_vs施加用于电场控制的电压。作为一例，将马达的动作开始与电压施加设成大致同时(t＝t_ms＝t_vs)。从电压施加时(即t＝t_vs的时间)延迟ΔT_2s时间，使活塞下降。在通过引片接合部703(点a～点b)时，为了如图1所示那样线宽比其他时大，而选择下述①②中任一种方法。

①与其他时相比减小喷出喷嘴与工作台之间的相对速度；

②提高螺纹槽泵(图11B的螺纹槽泵部150)的转速。

在准有效显示区域701A的倾斜线704B的终点c以已在步骤1中描绘出的主电极线704A交叉的方式遮断涂布。

这时，由于需要使2个电极线704B与704A各自的前端不过度不足地交叉，所以涂布线遮断的条件极其重要。重复多次试行实验与考察的结果，发现：通过在后述的时间由控制部控制马达转速、电场控制用的电压、或活塞变位，而能够得到较佳的结果。

以下，对比时间图(图20)与喷嘴前端的涂布流体的弯液面的状态变化(图21)说明涂布线的遮断方法。

在图21中，300为例如具有与活塞101同样的螺纹槽的活塞(相当于图11B的螺纹槽轴151)，301为与壳体102相同具有涂布流体吸入口且收纳该活塞300的壳体(相当于图11B的壳体152)，302为喷出喷嘴(相当于图11B的喷出喷嘴159a等、图3A的喷出喷嘴109)，303为喷嘴侧电极(相当于图11B的壳体侧电极162a等、图3A的壳体侧电极109)，304为基板(相当于图3A的基板114)，305为泵室(喷出室)(相当于图3A的泵室112)。如图21的(a)所示，涂布流体处于从喷出喷嘴302流出的状态。306为从喷出喷嘴302流出的涂布流体的伸长部(相当于图3A的涂布流体111的伸长部113)。另外，喷出喷嘴302与基板304可沿箭头A的方向相当移动。这时，由于在喷嘴侧电极303与基板304侧之间从电源(相当于图3A的电源115)施加高电压，所以涂布流体(例如电极线形成用的电介质材料)被电场加速，涂布流体的流线细径化。即，在将喷出喷嘴附近的流线径设为ФD₁、将基板附近的流线设为ФD₂时，存在ФD₁＞ФD₂。

①最初，控制部(相当于图3A的控制部116)对电源(相当于图3A的电源115)，在t＝t_me时输出使活塞300旋转的马达(相当于图3A的旋转传递装置103A)的旋转停止的指令。由于马达的响应性低，所以在马达的旋转停止的指令后，一段期间内涂布流体仍处于从螺纹泵部供给喷出喷嘴302的状态。

②其次，控制部对电源给予马达的旋转停止的指令后设定ΔT₁的时间差，在t＝t_ve时输出使施加电压为0的指令。在涂布线的宽度不会因在终端附近流量不足而变细的范围内、另外不会影响接下来的施加电压与活塞变位控制产生的遮断范围内设定ΔT₁的值。作为一例，如果在0.1＜ΔT₁＜0.5sec范围内选择则可得到理想的结果。由于施加电源断开→电场断开的响应性极高，所以来自喷出喷嘴302的飞翔中的涂布流体的连续流线如图21(b)所示在空中，分断为喷出喷嘴侧的流线306a与基板侧的流线306b。

③接着，从t＝t_ve开始设定时间差ΔT_2e，如图21的(c)的箭头B所示，由轴方向移动装置(相当于图3A的轴方向移动装置104A)使活塞300上升。之后不久通过泵室305中骤然产生的负压如图21(d)所示将喷出喷嘴侧流线306a吸引到喷出喷嘴302的内部。这时，因为只断开电场喷出喷嘴侧流线306a会成为漂在空中的状态，所以难以高品质涂布。另一方面，基板侧流线306b由于具有箭头A方向的速度成分，所以如图21(c)所示那样，沿箭头A方向在基板侧多涂布长度ΔL量。结果，涂布线的终点位置比喷出喷嘴302的正下方的位置长ΔL。这里，只要将涂布量、工作台(例如，参照图26的放置台50与XY工作台50x。)的速度、电场与活塞300的动作时间设成一定，则ΔL就会一定，因此，可以由控制部预留该尺寸ΔL设定涂布的终点位置。

作为一例，在0＜ΔT_2e＜3msec范围内，通过由轴方向移动装置使活塞300开始上升，就能够高品质地遮断涂布线。在ΔT_2e＜0时，即，与断开电场相比，由轴方向移动装置提前使活塞300上升时，由于流体被吸引到喷出喷嘴内后通过电场从喷出喷嘴引出流体的作用仍在工作，所以涂布的品质稍微变差。

为了比较，在图21(e)中表示从图21(c)所示状态如上述①那样输出马达的旋转停止指令的情况(与图21(d)相同)，在图21(f)中表示与此相反从图21(c)所示状态马达维持旋转状态的情况。这里，在后者的情况下，如果从涂布结束到下一次涂布开始的时间T_s充分短，则即使马达保持旋转的状态也只需电场断开→活塞300上升2个动作就可将工序移到下一次开始涂布。但是，当时间T_s长时，例如，从涂布结束位置到下一次的涂布开始位置的距离长，工作台的移动时间长时，如21(f)所示，在喷出喷嘴前端结成流体块，因此必须如上述那样控制马达转速。

图22表示在具体例(I)中不有效控制描绘线704B的终端的遮断的情况的事例。描绘线704B在应遮断的位置没切断，在其终端附近710流体块飞散到相邻的主电极线704A’的方向。最坏的情况使描绘线704B与主电极线704A’相短路。作为一例，描绘线704B与主电极线704A’之间的距离为550μm左右。

图23表示通过本发明的上述实施方式的遮断控制，而端子部电极线704B的终端与主电极线704A的终端交叉的状况。将主电极线704B与704A’之间的距离设为P、将端子部电极线704B的终端从主电极线704B突出的部分的距离设为ΔP。作为一例，当将喷出喷嘴与工作台的相对速度设为V时，200＜V＜500mm/sec的条件下，在本发明的上述实施方式的分配器方法中设成(ΔP/P)＜(1/3)。

图24表示交替主电极线的形成与端子部电极线的形成的顺序的情况。在这种情况下也相同，主电极线附近的端子部电极线850B与850B’之间的间距为P。在将主电极线850A的终端从端子部电极线850B突出的部分的距离设为ΔP时，可设成(ΔP/P)＜(1/3)。

下面，对涂布方法的具体例(II)进行说明。

具体例(I)将描绘主电极线与端子部电极线的工序分成2个进行涂布，但是具体例(II)表示一下子描绘主电极线与端子部电极线的方法。在这种情况下，只使用具有相同的倾斜角的电极线的根数例如K根的、分别具有1套供给源泵、活塞、喷出喷嘴的结构的分配器。如上所述，所谓K根是指在端子部701A、701B具有相同的倾斜角的电极线的根数。

使用图19进行说明，则以非有效显示区域706A处的点aa作为始点开始端子部电极线的涂布形成，在c点不遮断，而可以接续端子部描绘主电极线704A，一下子描绘到f点。如上所述，可以由控制部控制喷出喷嘴与工作台(例如参照图26的放置台50与XY工作台50x。)之间的相对速度、或螺纹槽泵的转速来调整各位置的涂布线的线宽。也可以使用在具体例(I)中使用的方法来在f点遮断涂布线。

作为改变涂布线的线宽的其他的方法，也可以由控制部改变喷出喷嘴前端与作为其对向面的基板间的间隙δ[例如由控制部控制沿上下方向使流体涂布装置整体上下移动的升降装置(参照图26的Z轴方向传送装置52z)来改变间隙δ]。为了得到极细线，而需要高的电场强度与长的伸长部(例如，图21(a)的伸长部306)。在PDP表面板的情况下，如表1所示，端子部的电极线的线宽比总线电极部的电极线的线宽大。从而，形成端子部的电极线的情况，与总线电极部的电极线的情况相比，可以由控制部进行设定，加大间隙δ，并减弱电场强度(电压的大小)。

本发明并不局限于PDP表面板的电极形成，但是，喷出喷嘴与工作台(例如参照图26的放置台50与XY工作台50x。)的相对速度越大，则将由电磁伸缩元件驱动的活塞的控制与电场控制组合构成的本发明的效果越显著。该相对速度V_s直接影响到量产时的生产节拍。

现有气动式的涂布遮断时的响应性尽量为0.05～0.1sec。例如，当在工作台的移动速度V_s＝300mm/sec的移动中遮断连续涂布时，大致计算从输出遮断指令信号到切断涂布线多余描绘的线长，ΔL₁＝0.05×300＝15mm。

与此相对，在本发明的上述实施方式的流体涂布装置中由电磁伸缩元件驱动活塞时，泵室的压力波形的响应性为0.0005sec左右。例如，在同一工作台上，从输出遮断指令到切断涂布线多余描绘的线长ΔL₂＝0.0005×300＝0.15mm。ΔL₂远小于ΔL₁，本发明效果明显。另外，如对电极线涂布方法的具体例(I)进行说明那样，可知：如果考虑活塞变位上升与电场遮断的时间由控制部进行控制，则能够进一步减小ΔL₂。

(3)荧光体丝网色带形成的应用例

以下，对于将本发明的上述实施方式的流体涂布方法及装置应用到显示面板的荧光体层形成方法及形成装置上的例子进行说明。该例子为在PDP的背面板上形成荧光体的丝网色带(连续涂布线)的情况，但是，例如，在CRT(彩色平面板)上形成荧光体层的情况也相同。

如图25所示，PDP基板具有形成荧光体层的有效显示区域56a、在该有效显示区域的外周部不形成荧光体层的非有效显示区域56b。图26表示装配分配器的流体涂布装置的具体的方式。

50为放置保持PDP基板(等离子显示面板用的基板)51用的放置台。放置台50通过其下部连结的XY工作台50x可以在相正交的2方向即X轴方向与Y轴方向的任意的位置移动。52为作为可拆装地装配分配器53的筐体的涂布喷头，通过驱动机构等Z轴方向传送装置52z可使筐体52移动到Z轴方向的任意位置，且该驱动机构通过Z轴用马达使滚珠丝杠正反旋转而使螺合在滚珠丝杠上的筐体52在Z轴方向上进行升降。筐体52上可拆装地装配多个分配器53。在该实施方式中，使用2自由度驱动器机构的分配器53(例如相当于图10的分配器)。54为分配器53的喷出喷嘴(相当于图10的喷出喷嘴223、图3A的喷出喷嘴109)，55为安装在喷出喷嘴54的前端的分配器侧电极(壳体侧电极)(相当于图10的壳体侧电极225、图3A的壳体侧电极110)。由控制部116(相当于图3A的控制部116)进行控制地从电源115(相当于图3A的电源115)施加在该分配器侧电极55与PDP基板51之间控制电场用的电压。此外，控制部116(相当于图3A的控制部116)也分别控制XY工作台50x与Z轴方向传送装置52z的动作。

通过上述流体涂布装置在PDP用基板51上形成电极线或荧光体层。从外部设置的材料供给源向各分配器53供给作为涂布流体的一例的膏状材料。

将该PDP用基板51放置在放置台50的规定位置进行固定。例如，在为42英寸的PDP用基板时，在PDP用基板51的有效显示区域56a保持间距P的间隔预先形成1921根棱(相当于图30的偏置棱1806)，该棱与箭头X-X’方向平行，长度L＝560mm、高度H＝100μm、宽度W＝50μm。因为由该1921根棱形成1920条槽，所以红色、绿色、蓝色荧光体可分别涂布在各640条(＝1920/3条)槽中而形成各自的荧光体层(相当于图30的荧光体层1812)。

最初，通过控制部116的控制，将分配器53相对移动到R荧光体涂布开始位置(具体地讲相对于分配器53使XY工作台50x移动、使PDP用基板51移动，而使分配器53位于R荧光体涂布开始位置的上方)，通过Z轴方向传送装置52z的Z轴用马达而将喷出喷嘴54的前端相对于PDP基板51定位在规定的高度。

其次，通过控制部116的控制，从喷出喷嘴54开始喷出R荧光体的同时，向箭头X方向移动喷出喷嘴54(具体地讲，相对于分配器53(喷出喷嘴54)驱动XY工作台50x使PDP用基板向与箭头X方向相反的箭头X’方向移动)开始荧光体涂布。喷出喷嘴54只描绘1根棱长度L(图25)的涂布线，在喷出喷嘴54的前端从有效显示区域56a进入非有效显示区域56b时，通过控制部116的控制，停止从喷出喷嘴54的荧光体的喷出。

再次，通过控制部116的控制，保持停止从喷出喷嘴54的荧光体的喷出，直接向箭头Y方向3间距份移动喷出喷嘴54(具体地讲，相对喷出喷嘴54驱动XY工作台50x使PDP用基板51向与箭头Y方向相反的Y’方向移动)。再次，通过控制部116的控制，从喷出喷嘴54开始R荧光体的喷出的同时，向箭头X’方向移动喷出喷嘴54(具体地讲，相对于喷出喷嘴54驱动XY工作台50x使PDP用基板51向与箭头X’方向相反的箭头X方向移动)而再次开始荧光体涂布。反复上述步骤，在涂布根数为640根时红色荧光体的作业结束。

由控制部116控制上述荧光体的喷出的开始与停止的方法，如后所述，控制在壳体侧电极55与PDP用基板51之间从电源115施加的电场的电压保持一定的状态下，通过活塞(相当于图10的活塞202、图3A的活塞101)的轴方向的控制与马达(相当于图10的马达等的第2驱动器205、图3A的旋转传递装置103A)的转速控制来进行。此外，为了在PDP用基板51上的形成荧光体层的部分与壳体侧电极55之间直接施加电压，而在PDP用基板51的表面预形成透明的ITO膜(导电体膜)。

对于剩下的绿色荧光体、蓝色荧光体的涂布，可以依次将形成红色荧光体层的PDP用基板51移送到另设置的绿色荧光体、蓝色荧体专用放置台上。或者也可以分别在对同一放置台50的1个涂布喷头52上分别配置3种(红、绿、蓝色荧光体涂布用)分配器53，或者也可以准备3种红色荧光体涂布用涂布喷头52、绿色荧光体涂布用涂布喷头52、蓝色荧光体涂布用涂布喷头52而交换使用涂布喷头52，涂布各自色的荧光体。

此外，根据预先存储的始端与终端位置信息、及来自XY工作台50x的变位·速度信息，由控制部116控制喷出喷嘴54的始终端的位置、涂布开始·结束的时间、及与工作台的速度同步的涂布量。这样，在沿棱间的槽的内面形状的R、G、B的荧光体层的形成作业全部结束时，分配器53的喷出喷嘴54的前端位置复位到预先决定的原点。并且，在丝网色带的涂布工序结束时，传送PDP用基板后，移到荧光体层的干燥工序。

以上是涂布工序的简要概括，但是，再试着关注一个喷出喷嘴54的情况。

一边连续涂布PDP用基板51的上述“有效显示区域”、一边高速移动的喷嘴54，在接近PDP用基板51的端面时经过减速区间下降速度，进入上述“非有效显示区域”。在该非有效显示区域U转弯后，喷嘴54经过不稳定区间再恒定移动有效显示区域。即，喷嘴54与PDP用基板51之间的相对速度，在U转弯区间的前后变化大。这时，希望分配器53具有如下的功能。

①配合喷嘴54与PDP用基板51之间的相对速度，可改变流量。

②在PDP用基板51的端面的U转弯区间(在非有效显示区域移动的区间)，可完全遮断喷出量。

③经过上述U转弯区间，在涂布开始时的涂布线的始点部不产生“变细”、“缺料”。同样，在涂布结束时的涂布线的终点部不产生“***”、“堆积”。

在不能实现上述①时，例如尽管喷嘴54与PDP用基板51间的相对速度比恒定移动的情况小，但是如果不能降低喷出量，荧光涂布线的线宽与厚度会超过规定的规格。

越提高生产节拍，越要缩短上升、下降时间，且增大相对速度的变化率。即，在分配器53上要求进一步高的流量控制的灵敏度。

上述②的必要性如下述。当喷嘴54在PDP用基板51的端面的U转弯区间(非有效显示区域)移动时，喷嘴54与PDP用基板51间的相对速度为零及其前后极低速的状态。如果在该区间从喷嘴54有材料的流出，则即使少许的流量，多根色带也会重叠，因此，材料堆积在PDP用基板51上。其结果，增加了堆积的材料附着在喷出喷嘴54的前端的可能性。在这种状态下再开始涂布时，附着在喷出喷嘴54的前端的流体块不连续地散落到PDP用基板51的表面上，产生明显有损描绘线的精度等的不良。即，在PDP用基板51的端面的U转弯区间，最好分配器53能够完全遮断喷出量。

上述①②，例如在CRT上形成荧光体层的情况为必须条件。其原因是由于：CRT的情况在凹面形状的底面具有有效显示区域，其外周部被高的壁面覆盖。非有效显示区域只为极狭窄的位置，在该狭窄的位置需要形成U转弯。

上述③的分配方式是用于确保与现有方式、例如丝网印刷方式同等或同等以上的品质的必须条件。

简单地说，为了使用分配器在PDP用基板的表面以高生产效率形成荧光体丝网色带、或电极线，而希望分配器具有可随意遮断·开放流体的功能，并且具有高的流量控制的响应性与高的流量精度。

但是，在分配器方式的现有例：例如特公昭57-21223号公报、特开平10-27543号公报中见到发现这方面的详细的记载。另外，在电场喷射方式的现有例(特开2001-13760号公报)中也没有发现任何关于高速且高品质形成描绘线的始终端的方面的阐述。

并且，在图10的上述实施方式中利用由电磁伸缩元件驱动的活塞202旋转的同时也可高速直线运动的方案，在喷嘴54与PDP用基板51之间给予电场的状态下，用下面的方法来解决微细涂布线的始终端所存在问题。

①在涂布开始时，使活塞202下降的同时使马达205开始旋转。

②在涂布结束时，使活塞202上升的同时使马达205停止旋转。

在图10的实施方式中，由于通过电磁伸缩元件驱动活塞202，所以活塞202相对输入信号的输出变位的响应性为10^-3sec(1000Herz)的数量级。相对间隙变化的压缩压力发生的期间的时间延迟少许，因此，与由马达进行转速控制的情况相比，能够得到一～二数量级的高的灵敏度。

在使用图10的2自由度驱动器结构的分配器的情况下，上述活塞202相当于主轴202。另外，在取代图10的2自由度驱动器结构的分配器，使用图11(B)的分离型分配器的情况下，上述活塞相当于由压电元件驱动的活塞157a～157c。在使用该分离型的情况下，更加容易多级化。当U转弯所需的时间短时，马达也可以始终保持旋转的状态。

当喷出喷嘴在U转弯区间移动时，无需将从喷出喷嘴流出形成弯液面的流体块完全吸引到喷出喷嘴内部。如第2实施方式所述，在U转弯区间如果保持泵室中形成的负压产生的吸引力与由电场使流体凸出的作用平衡的状态，则能够将弯液面的前端与基板间的距离h(参照图3B)保持一定。作为其效果，能够在涂布线的始点部不产生“变细”、“缺料”等地开始涂布。另外，始点部的各涂布线的形状也能够均匀。

如PDP用基板的电极形成的实施方式所示那样，如果不但使用活塞的变位与马达转速、而且一并使用用于形成电场的电压控制则更加有效。另外，如果这时的开放·遮断的时间也使用通过电极形成而实施的方法则进一步有效。

在上述各种实施方式中，在喷出喷嘴前端配置分配器侧电极(壳体侧电极)，将PDP用基板作为对向电极。除该方法以外，也可以：如第4、第5实施方式所述将空间电极作为对向电极。

作为可应用的分配器的方式，除上述的2自由度驱动器型、分离型以外，在生产节拍要求不高的情况下，也可为与电场喷射式组合的螺纹槽式、气动式。

III.其他的补充说明

形成的涂布线的剖面形状，在本发明的上述各种实施方式的分配器的方法与现有的印刷方法区别很大。如图27所示的现有的印刷方法的情况下，电极350a、350b的剖面大致为矩形。图28所示的本发明的上述各种实施方式的分配器的方法的情况下，电极线352a、352b的剖面由于表面张力的作用成为大致半圆形状。可知：在上述的PDP的电极线的情况下，该剖面形状的不同对电极的耐电压性能的影响大。即，在上述实施方式的情况下，电极线间的间距P为P＝500～600μm，各电极线间产生的电位差必须考虑为100V左右。现有的方法的情况下，在电极线350a、350b的剖面的边缘部351a、351b，由于电场强度成为峰值而在两电极间产生火花的可能性高。与此相对，可知：本发明的上述各种实施方式的分配器的方法的情况下，由于剖面为半圆形状，所以电场强度的分布平稳，很少会产生火花，耐电压可靠性大幅度提高。

另外，在电极形成的情况下，很多时候电极线要求低的电阻。在PDP用基板的电极的情况下，在现有的印刷方法中，作为电极材料使用的银膏中含有印刷方法的曝光工序必需的感光树脂。该感光树脂使电极材料的电阻率增大。与此相对，上述实施方式的分配器涂布的情况下，由于无需该感光树脂，所以电极材料的电阻率实质上为印刷方法的1/2。其结果，尽管存在矩形与半圆形状的不同，但是同一厚度的情况下，上述分配器的涂布中能够形成充分低的电阻的电极线。

另外，在将螺纹槽泵部(流体供给部)150与活塞部156相分离的分离型分配器的情况下，通过在活塞部(图11A与图11B的情况为156)附近的流路施加节流部，而能够更加有效地产生用于控制始终端的正压、负压。

图29为这种情况的活塞部156的放大图。157a为活塞，该活塞157a由作为轴方向驱动装置的一例的电磁失真电磁器158a沿箭头361的方向进行进退驱动。160为下部板，363为活塞157a的端面，364为由非导电性的树脂制成的喷出部，365为其固定侧对向面，159a为形成在固定侧对向面365的中央部的喷出喷嘴，162a为设在喷出喷嘴159a的外周部的壳体侧电极(导电性)。368为涂布流体(非导电性)，369为泵室，370为基板(涂布对象)，371为配置在基板370的下部的导电板。在壳体侧电极162a与导电板371之间通过由控制流体涂布装置的流体涂布动作的控制部906控制的电源905施加电压。

161a为连结螺纹槽泵部(流体供给部)150与泵室369的流通路，并形成在壳体152与下部板160之间。375为设在流通路161a的活塞157a附近的节流部。设定剖面形状(流路宽度与流路深度)，使该节流部375的流体阻力与流通路161a的流体阻力相比充分小。在流通路161a长时、或因多级化而使流通路161a的总容积增大时，流体所具有的压缩性使***的响应性(相对活塞变位的压力变化的时间响应性)降低。但是，如图29所示，通过在连结泵室369与流通路161a的流路的中途，且活塞157a的附近设置节流部375，而能够减少压缩性的影响。例如，为了遮断涂布线而使活塞157a迅速上升的情况下，由于节流部375的流体阻力，而流体不容易从流通路161a侧补给泵室369。这样，泵室369能够持续保持高的负压状态。这时，过度响应时的流体的压缩性的影响在图29中能够只保留在泵室369的容积中。此外，节流部也可不形成在流通路161a侧而形成在活塞360的外周部与下部板160之间。

在作为流体供给部150不使用如螺纹槽式那样机械式的泵的情况下，即，只以高压气体压送填充到缸体(容器)内的涂布材料的情况下，上述节流部是必需的。其理由是因为：这时没有相当于螺纹槽泵的内部阻力的流体阻力(与节流部相同的功能)。从而，在只以高压气体压送涂布材料的分配器结构的情况下，可以直接将流通路161a连结在填充着涂布材料的缸体内。

在使用非导电性的涂布材料时，如上所述，可以只将喷出部364使用树脂、陶瓷等非导电性材料制作，并将壳体侧电极配置在喷出喷嘴前端或前端附近。通过这样的构成，即使在使用机械式分配器的情况主要的部件也能够使用通常的钢材。

通常，为了进行电场控制，在喷出喷嘴侧(壳体侧)与其对向面的基板侧设置电极。设在基板侧的电极，如上所述，也可以利用预设在基板上的电极(例如，PDP情况下为地址电极、ITO膜等)。或者，在基板薄的情况下，也可以利用配置在基板的下面的移载工作台的基台(多由导电性材料制作的情况)等。为了实现涂布线的极细线化，而需要设定适当的施加电压(例如，0.5～3.0kV)、和喷出喷嘴侧与基板侧的适当的电极间的间隙(例如，δ＝0.5～2.5mm)。但是，可知：即使将电极间的间隙δ设定为远超过上述范围的大值时，通过在喷出喷嘴侧施加高电压，也可飞跃提高涂布品质。其理由是因为：即使接地侧设置在远处，由于喷出喷嘴前端的电场强度集中变大，所以如上所述，喷嘴前端的弯液面能够始终保持轴对称的形状。另外，通过电场的凸出流体的作用，可明显降低附着在喷嘴前端的流体块与喷嘴之间表面张力。其结果，在涂布开始时、结束时，能够防止从喷出喷嘴流出的流体向喷出喷嘴上部的外表面的“上溢”。

从而，在本发明中，通过内置增减喷出室的压力的机构的分配器与电场控制的组合，而可以高品质的连续涂布线的始终端控制、高速间歇涂布。

在本发明实施方式中作为流体供给部使用螺纹槽式泵。为了实现本发明，即使螺纹槽式以外的型式的泵也可以应用，但是螺纹槽式的情况，在通过改变构成螺纹槽的各种参数(径向间隙、螺纹槽角度、槽深、组群与脊的比等)，而可自由选择最大压力P_max、最大流量Q_max、内部阻力R_s(＝P_max/Q_max)的方面有利。由于转速与流量成正比，所以在使用粉流体时有利。

另外，如上所述，螺纹槽式的情况，由于流量基本上不依赖于粘度，所以通过与电场喷射式的组合，流量不容易依赖环境温度变化等，能够实现稳定的极细线涂布。

此外，作为本发明的流体供给部的泵的方式，并不局限于螺纹槽式，也可应用其他的方式的泵。例如，能够应用称为蜗形泵的莫诺式、齿轮式、双轴螺旋式、或注射式泵等。

利用图11A与图11B的构成进行说明，可以取代螺纹槽泵部150，而配置其他的方式的泵。

或者，虽然会失去流量的稳定性，但是也可以取代机械式的泵，使用高压气体源。例如，在图11A与图11B，为从螺纹槽泵部150经3个流通路161a、161b、161c，将流体供给各活塞部156的构成。也可为撤去该螺纹槽泵部150，将由高压气体源加压的涂布流体供给上述流通路161a、161b、161c的构成。

在使用微少流量的上述实施方式的泵中，活塞的行程最大可为数十微米数量级，即使使用超磁伸缩元件、压电元件等电磁伸缩元件，行程的边界也没有问题。电磁伸缩元件由于具有数MHz以上的频率响应性，故能够以高响应性使活塞直线运动。由此，能够以高灵敏度、高精度地控制高粘度流体的喷出量。活塞与收纳该活塞的壳体的内面形状，在上述实施方式中使用圆筒形状。除该方法以外，例如可为：使用喷墨打印机等中使用的双压电晶片式的压电元件，构成相对移动的2面，在形成于该2面间的泵室内将涂布流体供给流体供给部的构成。

如果失去响应性，则驱动活塞的轴方向驱动装置也可使用动磁铁型、动线圈型的直线马达或电磁螺线管。这时，解决了行程的制约。

上述活塞、主轴为移动部件的一例，上述轴方向驱动装置、上述旋转传递装置为移动部件驱动装置的一例。

通过将本发明例如应用于显示面板的荧光体层形成、或电极形成，而不用现有的丝网掩膜，只设定基板规格的数值，对于任意尺寸的基板均能够高精度地形成极细线的膏层，并且可容易对应基板的规格变更。

另外，制造工序及制造线均无需扩大，在单个装置中可以进行筛选，另外，对于多品种少量生产的显示面板也可提高量产效果地进行制造，并且，由于单个进行筛选所以能够以小规模的机器运转自动化线。本发明并不局限于PDP、CRT、有机EL、液晶等显示器，也能够广泛应用于电路形成，其效果极大。

因而，采用本发明，在显示器、电子零件、家电制品等领域的生产工序中，可不堵塞地对荧光体、电极材料、粘结剂、清洁焊锡、涂料、热熔剂、药品、食品等各种粉流体的极细线、极小点进行描绘，能够高速进行喷出遮断·开始。

本发明，参照附图对优选实施方式进行了充分地记载，但是，对于熟悉该技术的人来讲可以进行各种变形或修正。对于这样的变形或修正只要不脱离由附加的技术方案限定的本发明的范围，应该可理解为涵盖于其内。

Claims

1.一种流体涂布装置，其特征在于，包括：

壳体侧电极，配置在上述壳体上；

电源，向上述壳体侧电极施加电压。

2.如权利要求1所述的流体涂布装置，其特征在于：还具有配置在上述基板或上述基板的附近的对向电极，在上述壳体侧电极与上述对向电极之间由上述电源施加上述电压而可形成电场。

3.如权利要求1所述的流体涂布装置，其特征在于：在上述移动部件与上述壳体的相对移动面上配置螺纹槽，通过上述移动部件的上述旋转运动而将上述涂布流体从上述吸入口吸入上述螺纹槽内供给到上述泵室内。

4.如权利要求1所述的流体涂布装置，其特征在于：上述移动部件为活塞，上述壳体可以收纳上述活塞，

并且，上述移动部件驱动装置为活塞轴方向驱动装置，该活塞轴方向驱动装置通过使上述活塞在上述壳体内进行上述直线运动，使在上述活塞与上述壳体之间形成的上述泵室的空间增减，而对上述泵室内的上述流体压力进行增压或减压。

5.如权利要求1所述的流体涂布装置，其特征在于：上述移动部件与上述壳体的任一个均可由非导电性材料构成。

6.如权利要求1所述的流体涂布装置，其特征在于：上述移动部件是活塞，上述壳体可以收纳上述活塞，

上述移动部件驱动装置是使上述活塞沿其轴方向直线运动的电磁伸缩元件。

7.如权利要求2所述的流体涂布装置，其特征在于：上述对向电极配置在上述壳体侧电极与上述基板之间。

8.如权利要求7所述的流体涂布装置，其特征在于：上述对向电极中空且轴对称。

9.如权利要求2所述的流体涂布装置，其特征在于：还具有筒状部分和下部壳体，

并且，上述对向电极配置在上述喷出通路附近。

10.如权利要求9所述的流体涂布装置，其特征在于：上述供给流体为气体。

11.如权利要求3所述的流体涂布装置，其特征在于：由上述移动部件与上述壳体构成螺纹槽泵。

12.一种流体涂布方法，其特征在于：驱动相对壳体可以旋转运动或直线运动的移动部件，使上述移动部件相对上述壳体进行旋转运动或直线运动，而使在上述壳体与上述移动部件之间形成的涂布流体的泵室内的涂布流体压力增压或减压，将上述涂布流体从上述壳体的吸入口吸入到上述泵室内并且从上述壳体的喷出口喷出到配置于上述喷出口的对向面的作为涂布对象的基板上进行涂布；

13.如权利要求12所述的流体涂布方法，其特征在于：通过向上述壳体侧电极施加上述电压，控制上述壳体侧电极的电压的同时，使上述泵室内的上述流体增压或减压，而开始或遮断上述涂布流体的喷出。

14.如权利要求12所述的流体涂布方法，其特征在于：以沿间隙方向相对移动的2面形成上述泵室，缩小上述泵室而使泵室内的压力增压，扩大上述泵室而使泵室内的压力减压。

15.如权利要求14所述的流体涂布方法，其特征在于：在下降上述电压后，通过上述泵室的扩大降低上述泵室的压力而遮断涂布线。

16.如权利要求12所述的流体涂布方法，其特征在于：通过共同施予使从上述喷出口凸出上述涂布流体的弯液面的作用、和使上述泵室内的上述流体压力减压来将上述涂布流体从上述喷出口向上述泵室内吸引的作用，而在上述涂布停止的区间将上述弯液面的形状大致保持相同。

17.如权利要求12所述的流体涂布方法，其特征在于：通过共同施予使从上述喷出口凸出上述涂布流体的弯液面的作用、和使上述泵室内的上述流体压力减压来将上述涂布流体从上述喷出口向上述泵室内吸引的作用，而使上述弯液面接近上述基板侧、涂布在上述基板上，然后，使上述弯液面远离上述基板侧并遮断涂布。

18.如权利要求12所述的流体涂布方法，其特征在于：在使上述涂布流体从上述喷出喷嘴飞出后，在上述壳体侧电极与配置于上述喷出喷嘴的下游侧的空间电极之间施加电压而将上述流体涂布在上述基板上。

19.如权利要求16所述的流体涂布方法，其特征在于：在使上述泵室内的上述流体压力减压时，通过形成在上述移动部件的喷出侧端面与其对向面上的推力动压密封件来进行。

20.一种等离子显示面板的图形形成方法，其特征在于：驱动相对壳体可以旋转运动或直线运动的移动部件，使上述移动部件相对上述壳体进行旋转运动或直线运动，而使在上述壳体与上述移动部件之间形成的作为涂布流体的膏的泵室内的膏压力增压或减压，将上述膏从上述壳体的吸入口吸入到上述泵室内并且从上述壳体的喷出口喷出到配置于上述喷出口的对向面的作为涂布对象的PDP用基板上，涂布形成涂布线，从而图形形成膏层；

通过控制上述膏的吸引力和上述凸出力，使涂布上述膏的上述膏凸出的力比上述膏的吸引力小，从而停止上述涂布。

21.如权利要求20所述的等离子显示面板的图形形成方法，其特征在于：在下降上述电压后，使上述泵室的压力降低而遮断上述涂布线。

22.如权利要求21所述的等离子显示面板的图形形成方法，其特征在于：在将开始上述电压下降的时间设为t＝t_ve、将开始降低上述泵室的压力的时间设为t＝t_pe时，设定在0＜t_pe-t_ve＜3msec范围。

23.如权利要求20所述的等离子显示面板的图形形成方法，其特征在于：将上述膏供给上述泵室的供给源，使用由马达驱动的泵，在降低上述泵室的压力之前，停止上述马达的旋转。

24.如权利要求20所述的等离子显示面板的图形形成方法，其特征在于：在形成上述膏层时，在上述PDP用基板的与上述有效显示区域相邻的上述端子部，与上述主电极线交叉地形成相对主电极线倾斜的端子部电极线。

25.如权利要求24所述的等离子显示面板的图形形成方法，其特征在于：通过含有分别具有上述喷出口且以等间距配置的多个喷嘴的分配器，只选择在上述多个端子部内具有相同倾斜角的端子部电极线，并同时涂布形成选出的上述端子部电极线。

26.一种等离子显示面板，具有在PDP用表面板的有效显示区域形成多根平行的主电极线、在与该有效显示区域相邻的端子部与上述主电极线连续且相对上述主电极线倾斜形成的端子部电极线，其特征在于：在将上述主电极线间的间距设为P、将上述端子部电极线的终端从上述主电极线突出部分的距离设为ΔP时，形成(ΔP/P)＜(1/3)。

27.一种等离子显示面板，具有在PDP用表面板的有效显示区域形成多根平行的主电极线、在与该有效显示区域相邻的端子部与上述主电极线连续且相对上述主电极线倾斜形成的端子部电极线，其特征在于：在将上述端子部电极线间的间距设为P、将上述主电极线的终端从上述端子部电极线突出部分的距离设为ΔP时，形成(ΔP/P)＜(1/3)。