CN1484049A - 光学元件、光学元件的安装方法和光模块 - Google Patents

Abstract

提供一种光学元件、其安装方法和光模块。该光学元件(1)由光学衬底形成，其具有透镜部(2)、突起部(4a，4b)、和操纵部(6)。透镜部(2)设置于基本呈长方体形状的操纵部(6)的规定位置，突起部(4a，4b)设置与透镜部(2)离开规定距离的操纵部(6)上，呈从操纵部(6)的下方伸出的半圆筒形状。突起部(4a，4b)的圆弧形状的外形尺寸和与透镜元件(1)实现光耦合的光纤的外形尺寸相同。在透镜元件(1)安装于具有安装用槽的支撑衬底上时，突起部(4a，4b)构成与安装用槽接触的部分，由此，实现与光轴相垂直的方向的定位。

Description

光学元件、光学元件的安装方法和光模块

技术领域

本发明涉及适用于光通信设备上的光学元件、具有该光学元件的光模块，以及把该光学元件安装于光模块上的方法。

背景技术

在光通信领域，在例如，日本专利特开平07-199006号公报和特开平11-295561号公报中公开有与激光二极管和光纤耦合的微型透镜等的光学元件。

在前者中，提出采用球面透镜，使激光二极管与光纤实现光耦合的技术。在后者中，提出采用具有圆筒形状的外周部的非球面透镜，使激光二极管与光纤实现光耦合的技术。

另外，作为另一已有技术，提出有采用光刻工艺，制造上述领域的透镜等的光学元件的技术。在此场合，例如，在硅衬底上，通过光刻步骤，形成透镜等的所需的形状，然后，进行蚀刻，去除硅的不需要的部分，形成所需的光学元件。

通过使上述各已有技术中提出的透镜设置于装载有激光二极管、光纤等的半导体支撑衬底上的、形成于规定位置的槽内，可以使激光二极管、光纤等的光轴相互夹持一致，适合地实现光耦合。

为了以较高效率使激光二极管、光纤等耦合，使从激光二极管射出的散射光射入的透镜的透镜直径必须具有足够大于散射光的直径的尺寸。根据情况，必须要求采用其直径大于与透镜实现光耦合的光纤的直径的透镜。

过去，在安装透镜时，向上述特开平11-295561号公报所描述的那样，将透镜装入设置衬底的槽内，使其圆筒形状的外周部与槽接触而实现安装。同样对于上述那样的，其直径大于光纤的直径的透镜，槽的尺寸大于光纤的外径，进行同样地安装。

但是，这样的方案具有从透镜的外形精度方面来说，提高安装精度的难点。即，由于光纤的直径与透镜的直径不同，故必须使接纳光纤的槽，与接纳透镜的槽的截面形状，尺寸不同，具有必须通过各自的制造步骤制作的限制。其结果是，由于各自的制造步骤的误差，产生安装精度降低的问题。

为了避免该问题，提高安装精度，最好将其外径与光纤的外径相同的透镜，设置于安装有与透镜实现光耦合的光纤的槽内。

但是，在此场合，对于透镜的外径所允许的最大值，例如，在一般的单模光纤的场合，其外径为125μm，透镜直径受到上述外径限制。象这样，在过去的技术中，不限制透镜的尺寸，难于提高安装精度。

发明内容

本发明的目的在于解决这样的问题，提供一种不依赖有效直径的尺寸，可高精度地安装的光学元件、其安装方法和高精度地安装的光模块。

本发明的光学元件由光学衬底形成，其具有透镜部、突起部和操纵部。上述透镜部设置于基本呈长方体形状的操纵部的规定位置，上述突起部设置于与透镜部离开规定距离的位置，呈从操纵部的下方伸出的半圆筒形状。该突起部的圆弧形状的外形尺寸等于与透镜元件1实现光耦合的光纤的外形尺寸相等。在透镜元件1安装于具有安装用槽的支撑衬底上时，突起不4a，4b形成与安装用槽接触的部分，由此，实现与光轴相垂直的方向的定位。

附图说明

图1为表示本发明的第1实施例的透镜元件的构成的透视图；

图2为表示采用图1的透镜元件的光模块的构成的透视图；

图3为表示采用图1的透镜元件的，与图2不同的光模块的构成的透视图；

图4为表示本发明的第2实施例的透镜元件的构成的透视图；

图5为表示本发明的第3实施例的透镜元件的构成的透视图；

图6为表示采用图5的透镜组件的光模块的构成的透视图。

具体实施方式

下面根据附图，对本发明的实施例进行具体描述。在下面的描述和附图中，具有基本相同的功能和构成的构成部件采用相同标号，省略重复的描述。

图1为表示本发明的第1实施例的透镜元件的构成的透视图。该透镜元件1由光学衬底构成，其安装于具有用于安装光学元件的安装用槽的支撑衬底上，细装成光模块。

透镜元件1主要由透镜部2、突起部4a、突起部4b和操纵部6构成。

象图1所示的那样，透镜部2位于沿左右方向延伸的、基本上呈长方体状的操纵部6的中间附近。另外，在该操纵部6中，在与透镜部6隔开规定距离的左右的规定位置，分别设置有突起部4a和突起部4b。

在本实施例中，透镜部2呈圆形状，其由作为1个衍射光学元件的CGH(Computer Generated Hologram)元件形成。该CGH元件形成下述衍射型光学元件，其通过下述方式，具有所需的光学特性，该方式为：根据呈现所需的光学特性的光学元件的光路差函数，采用计算机，计算获得所需的光学特性所必需的光刻掩模的图案，通过该掩模图案，对光学衬底的表面的所需部位，进行蚀刻处理。在下面，将透镜元件1中的形成有透镜部2的一侧的面称为“透镜形成面”。

在透镜部2的底部侧，具有沿透镜部2的底部形状的、圆弧形状的边缘部3。该边缘部3中的呈圆弧形状的外形从透镜元件1的透镜形成面延伸到其相对面侧，呈以透镜部2的光轴为中心轴的半圆筒形状。

从操纵部6的中间位置朝下方伸出的半圆筒状的部分称为“伸出部”5。该伸出部5的两个端面由分别与操纵部6的规定的对应面共面的平面形成上。另外，在由该伸出部5的一个端面和与其相对应的操纵部6的规定面形成的平面，形成有上述透镜部2。该透镜部2的光轴以与透镜部2的表面相垂直的方式形成。透镜部2的直径可在例如，50～1000μm的范围内。

两个突起部4a，4b均位于与透镜部2隔开规定距离的位置，其以伸出的方式形成于操纵部6的下方。该两个突起部4a，4b的形状为与伸出部5类似的半圆筒形状，构成具有与透镜部2的光轴平行的长轴方向的圆柱形状的一部分。但是，上述突起部4a，4b的半圆筒形状的外径以不必与伸出部5的半圆筒形状的外径相同，而等于与透镜元件1实现光耦合的光纤的外径的方式形成。另外，本实施例的突起部4a，4b的外径对应于单模光纤的外径，为φ125μm。该突起部4a，4b在将透镜元件1安装于具有安装用槽的支撑衬底上时，形成与安装用槽接触，进行对位的基准。另外，在这里，突起部4a，4b设置于以透镜部2为中心的基本夹持对称的位置，但是不必一定这样设置。

操纵部6象上述那样，这样形成，即，其设置于透镜部2的顶部侧，与上述透镜形成面和其相对面平行，呈沿左右方向延伸的基本长方体状。另外，该操纵部6与透镜部2、边缘部3、伸出部5、突起部4a，4b成一体形成。上述伸出部5。突起部4a，4b突出。在将透镜元件1安装于支撑衬底上时，操纵部6的底面7形成朝向支撑衬底的面。操纵部6的顶面8和侧面9是平坦的。由于该顶面8和侧面9为平坦面，故容易从上方或侧方，通过夹持机构，夹持透镜元件1。

作为夹持机构，考虑采用例如，夹持机构，进行吸引夹持的负压吸盘之类的负压夹持机构。

另外，在上述的描述中，边缘部3按照围绕透镜部2的方式设置，但是，也可采用由透镜部2的外周形成边缘部3的方式。

形成透镜元件1的光学衬底可采用晶体衬底。特别是在采用透镜元件1的光学***的光源的波长区域为1.3μm，或1.5μm的场合，光学衬底可采用硅晶体衬底。

透镜元件1可通过下述方式制作，即，采用例如，半导体制造工艺中所使用的光刻工艺，在硅衬底上，将与透镜元件1相对应的形状的图案用作光刻掩模图案，进行蚀刻处理。

图2为用于说明采用两个透镜元件的光模块的构成的透视图。该光模块10包括支撑衬底11、激光二极管12、直径为125μm的单模光纤13和两个透镜元件1a，1b。

激光二极管12，两个透镜元件1a，1b和光纤13依次以规定间距，按照共有相同光轴的方式，设置于支撑衬底11上，实现光耦合。支撑衬底11具有部件设置用的槽，在图2中，为了示出槽的存在，示出安装透镜元件1a，1b之前的状态。

该支撑衬底11由硅晶体衬底构成。该支撑衬底11具有按照平行并且并列的方式形成于其顶面上的3个V形槽14a，14b，14c，与该V形槽14b连续地形成的槽15。

上述V形槽14a，14b，14c均为截面形状呈V字形的槽，其具有可放置直径为125μm的单模光纤的尺寸。V形槽14a，14c为从支撑衬底11的一端延伸至中途的槽，该槽内分别嵌入有透镜元件1的突起部4a，4b。V形槽14b为从支撑衬底11的一端延伸至槽15的槽，其内固定有光纤13。与V形槽14b夹持连续地形成的槽15为截面形状基本呈梯形的槽。该槽15大于上述V形槽14a，14b，14c，可接纳两个透镜元件1a，1b的相应伸出部5。

通过在支撑衬底11上进行的同一步骤的各向异性蚀刻处理，同时形成上述V形槽14a，14b，14c。其结果是，以较高的精度，形成上述V形槽14a，14b，14c，该V形槽14a，14b，14c具有预定的规定位置关系，具有相同的截面形状。

槽15通过在形成V形槽14a，14b，14c后，在保护它们的一部分的状态下，采用单独的适合的图案形状的掩模，再次进行蚀刻处理而形成。

下面对支撑衬底11上的各部件的安装进行描述。激光二极管12从支撑衬底11的顶部，通过标记，以较高的精度定位，通过焊接凸点(bump)接合。

在两个透镜元件1a，1b中，图1所示的突起部4a，4b按照相对于透镜部2左右对称的方式设置。另外，象图2中的箭头所示的那样，透镜元件1a按照与透镜元件1b相反的朝向，即，透镜形成面朝向图面里侧的方式设置。这些透镜元件1a，1b中的伸出部5分别设置于槽15内，配置成各突起部4a，4b与V形槽14a或14c的内部接触。

象上述那样，设置有单模光纤13的V形槽14b与其它的V形槽14a，14c的位置关系可以较高的精度设定，另外，透镜元件1a，1b中的透镜部2与突起部4a，4b的位置关系也可以较高的精度设定。通过利用这些关系，可正确地确定与光轴相垂直的方向的、单模光纤13与透镜部2的位置关系。

设定V形槽14a，14c和突起部4a，4b的位置，使该单模光纤13和透镜部2的位置关系适合。由此，可进行单模光纤13与透镜部的与光轴相垂直方向的定位。

就光轴方向的位置来说，采用标记，进行定位，采用例如，CCD照相机等的图象处理，判断透镜元件1a，1b，设置于适合的位置。

激光二极管12侧的透镜元件1a设置成透镜部2所在的透镜形成面与激光二极管12面对。光纤13侧的透镜元件1b设置成透镜部2所在的透镜形成面与光纤13的端面面对。

在没置透镜元件1a，1b时，通过上述适合的夹持机构，夹持作为平坦面的顶面8或侧面9，将其设置在支撑衬底11的适合的位置上。如果确认透镜元件1a，1b设置于适合的位置，则将各透镜元件1a，1b固定于支撑衬底11上光纤13在将其端部设置于V形槽14b后，用树脂粘接剂固定。

象上述那样，设置有各部件的光模块10中，从激光二极管12射出的发散光射入激光二极管12侧的透镜元件1a，通过该透镜元件1a中的透镜部2，转换为并行光。

然后，该平行光射入光纤13侧的透镜元件1b，通过透镜元件1b中的透镜部2，按照射入光纤13的端面的中心部的方式聚光，射入光纤13中。

本申请的发明人实际上试制了上述方案的光模块，可以±1μm的高精度，在较短时间内容易地安装透镜元件。另外，该光模块可获得40％的耦合效率。

在本实施例中，在透镜部的外周上未直接设置突起部，在将透镜部安装于支撑衬底上时，将突起部设置于设在支撑衬底上的操纵部的规定位置。另外，设置于操纵部中的与透镜部离开规定距离的位置的突起部以嵌入设于支撑衬底上的槽内的方式固定。由于该突起部的外形与光纤的外形相同，故可通过与固定上述光纤用的槽相同的步骤，制作支撑衬底上的固定突起部的槽。其结果是，可以较高的精度安装透镜元件。

另外，在本实施例的方案中，由于透镜部的外周尺寸不对安装精度造成影响，故可自由地设定透镜部的尺寸。该情况特别是在打算以较高精度安装有效直径较大的透镜元件的场合有效。如果采用有效直径较大的透镜元件，由于可有效地将来自激光二极管的散射光射入透镜部，故可增加透镜元件与激光二极管之间的距离，部件设置的设计的自由度提高。

此外，也可以采用光电二极管、光纤的构成，代替图2所示的构成的激光二极管。图3为采用两个透镜元件1，实现光纤与光纤的光耦合的光模块16的构成进行描述用的透视图。

该光模块16包括支撑衬底18、两个直径为125μm的单模光纤13a，13b和两个透镜元件1a，1b。另外，光纤13a、两个透镜1a，1b和光纤13b依次按照规定间距，以共用同一光轴的方式设置于支撑衬底18上，实现光耦合。

支撑衬底18具有部件设置用的槽，在图3中，为了示出槽，给出安装透镜元件1之前的状态。

在支撑衬底18中，部件设置用的槽的构成与图2所示的支撑衬底11不同。在支撑衬底18中，分别形成有V形槽14d，14e，以代替支撑衬底11的V形槽14a，14e。该V形槽14d，14e与V形槽14a，14e的不同之处在于前者从支撑衬底1的一端延伸到另一端，其它的构成是相同的。另外，在支撑衬底18中，作为与槽15连续形成的槽，不但形成有图2的V形槽14b，而且还在V形槽14b的相反侧，形成新的V形槽14f。V形槽14f位于V形槽14b的延长部上，从槽15延伸到支撑衬底18的另一端，具有与V形槽14b相同的构成。即，可将V形槽14b，14f视为通过槽15，将从支撑衬底11的一端延伸到另一端的一个V形槽分隔开而形成的槽。

在该光模块16中，透镜元件1a，1b中的相应突起部4a或4b按照与V形槽14d，14e的内部接触的方式设置。

由于其它的构成与图2的光模块12相同，故重复说明省略。

本申请的发明人实际上试制了上述构成的光模块，可在较短时间容易地安装透镜元件。另外，该光模块可获得85％的耦合效率。

下面对本发明的第2实施例的透镜元件21进行描述。

图4为表示该透镜元件21的构成的透视图。透镜元件21所具有的突起部为1个部位，这一点与第1实施例的透镜元件1不同。下面对该不同点进行具体描述，对于与透镜元件相同的构成，省略重复的说明。

该透镜元件21主要由透镜部2、1个突起部24、操纵部6构成。

在该透镜元件21中，象图4所示的那样，透镜部2位于操纵部6的中间的稍稍偏右的位置。另外，突起部24在本实施例中，位于透镜部2的左侧，但是其也可设置于右侧。突起部24的结构和形状与上述突起部4a相同。即，透镜元件21可呈将图1所示的透镜元件1的透镜部2与突起部4b之间的规定位置切断的形状。

该透镜元件21也可与上述透镜元件1相同地，采用光刻工艺，通过在硅衬底上进行蚀刻处理而制作。

即使在用上述透镜元件21代替透镜元件1的情况下，仍可构成与图2或图3所示的光模块相同的光模块。在此场合，透镜元件21与光轴相垂直的方向的定位仅仅通过1个突起部24进行。由此，具有透镜元件以突起部24为中心而旋转的危险，但是，该旋转为透镜元件21所允许的公差范围内的量，不产生问题。

激光二极管12、光纤13与前述相同地设置、固定。

根据上面所述，按照本实施例，与第1实施例相同，获得透镜部的尺寸不受到限制，可以较高精度进行安装的果。另外，在第1实施例中，为了通过两个耦合部，进行透镜元件的定位，必须考虑制作两个突起部时的误差，但是在本实施例中，这样的考虑是不需要的。

下面对本发明的第3实施例的透镜元件31进行描述。

图5为表示该透镜元件31的构成的透视图。透镜元件31构成为，在上述透镜1的操纵部6的顶面8和底面7上添加有槽。下面对这一点进行具体描述，对于与透镜元件1相同的构成，省略重复的描述。

该透镜元件31主要由透镜部2、两个突起部4a，4b、操纵部36构成。

该操纵部36在图1所示的操纵部6的规定位置上设置有多个槽。

其它的结构与操纵部6相同。

在操纵部36的顶面38上形成有槽39a，39b，在底面37上形成有槽39c，39d。

这些槽39a，39b，39c，39d是在透镜形成面和其相对面上具有开口部，沿与透镜部2表面相垂直的方向延伸的槽。这些槽在本实施例中，具有基本呈长方形的截面形状，通过蚀刻处理制作。

象图5所示的那样，槽39a，39b位于操纵部36的中间部的左侧。通过设置这样的槽39a，39b，操纵部36按照相对于包括透镜部2的光轴在内的、与顶面38相垂直的假定平面，左右非对称的方式形成。通过利用该非对称性，可容易识别透镜元件31的透镜形成面和其相对面。另外，在本实施例中，设置有两个槽39a，39b，但是，如果操纵部的形状是非对称的，则槽的数量不限于此场合。

另一方面，槽39c，39d基本上左右对称地分别设置于突起部4a与伸出部5之间，以及伸出部5与突起部4b之间。这些槽39c，39d用作将透镜元件31安装于支撑衬底上时的位置对准的记号。另外，这些槽39c，39d不必一定左右对称地设置。

图6为用于说明采用两个透镜元件31的光模块的构成的透视图。该光模块30包括支撑衬底34，光电二极管32，直径为125μm的单模光纤32，两个透镜元件31a，31b。

光电二极管32、两个透镜元件31a，31b和光纤13依次按照规定间距，以共有同一光轴的方式设置于支撑衬底34上，实现光耦合。

支撑衬底34在图2所示的支撑衬底11中的、顶面的V形槽14a与槽154之间，以及在槽15与槽14c之间，分别设置有位置对准标记33。由于除了这些位置对准标记33以外，其构成与图2所示的支撑衬底11相同，故省略对重复的构成的描述。

这些位置对准标记33在安装透镜元件31a，31b时，用作位置对准的标记。另外，该支撑衬底34上的位置对准标记33，两个透镜元件31a，31b的槽39c，39d的位置按照在相应的位置一致的场合，两个透镜元件31a，31b中的突起部4a或4b，与槽39c或39d的开口部的位置一致的方式设定。

在本实施例中，该位置对准标记33为十字形的标记，但是，并不限于此形状，也可通过例如，具有其它的形状的凹部形成。另外，在本实施例中，采用4个位置对准标记33，但是，也可根据需要进一步增加其数量。

下面对支撑衬底34上的透镜元件31a，31b的安装步骤进行描述。首先，针对透镜元件31a，31b，利用槽39a，39b的形状的非对称性，进行透镜形成面的确认。接着，以两个透镜元件31a，31b的相应槽39c，39d的开口部，支撑衬底34上的位置对准标记33为基准，进行对位，采用CCD照相机等的图象处理，设置两个透镜元件31a，31b。通过按照这样的步骤进行设置，进行光轴方向的定位。与光轴相垂直的方向的定位象前述那样，通过下述方式进行，该方式为：突起部4a，4b按照与V形槽14a，14b接触的方式设置。如果确定透镜元件31a，31b设置于适合的位置，则将各透镜元件31a，31b固定于支撑衬底34上。

按照过去的安装方法，在安装透镜元件时，多数场合是以透镜形成面的顶边为基准，进行定位，实现安装。但是，过去的这样的方法具有因透镜的外形形状，产生安装误差的危险。特别是在通过蚀刻处理等方式，形成侧面的透镜中，侧面相对与形成透镜的面相垂直的方向，具有若干角度。此场合是伴随该透镜的倾斜，产生光轴方向的距离的误差，透镜元件与光电二极管，光纤实现光耦合的效率降低的深刻原因。

与此不同，在本实施例，由于采用形成于操纵部的底面的位置对准用的槽39c，39d进行定位，故可在不依赖透镜元件的外形的形状的情况下，在较短时间，容易地以较高精度安装透镜元件。

本申请的发明人实际上试制了上述构成的光模块时，可在较短时间，容易地安装透镜元件。另外，该光模块可获得63％的耦合效率。另外，在图6所示的构成中，也可以采用光电二极管、光纤的构成代替光电二极管32，在采用激光二极管的场合，可获得43％的耦合效率。

如上所述，按照本实施例，与第1实施例相同，获得透镜部分的尺寸不受到限制，可进行高精度的安装的效果。另外，按照本实施例，通过采用光模块的位置对准用的槽与支撑衬底上的位置对准标记，进行位置对准的方式，可不依赖透镜元件的外形形状，使安装精度提高。另外，在透镜元件中设置以非对称的方式形成的槽，由此，可在安装之前，容易判断透镜形成面。

上面，参照附图对本发明的适合的实施例进行了描述，但是，显然，本发明不限于这些实施例。只要是本领域的普通技术人员，就会明白在权利要求请求保护的范围中所描述的技术构思的范围内，可以有各种变更和修改的实例，这些实例当然都属于本发明的技术范围。

透镜部、边缘部、操纵部、突起部、伸出部、槽、位置对准标记等的形状不限于上述实例，可考虑各种形状。例如，透镜部不限于圆形，可呈所需的形状。另外，透镜部也可为折射型的透镜部。透镜元件所具有的槽的截面形状不限于上述基本呈长方形的形状，也可基本呈V字形的形状、基本呈梯形的形状、基本呈半圆形的形状、基本呈正方形的形状、或与安装的情况相符合的其它的形状。

另外，在上述实施例中，对将光束转换部作为透镜部，作为光学元件的实例采用透镜元件的场合进行了描述，但是，本发明不限于此，例如，本发明同样适合用于将光束转换部用作光偏转部，光学元件用作光偏转元件的构成。

此外，在通过上述各实施例描述的光模块中，采用两个透镜元件，但是，安装于光模块上的透镜元件的数量不限于此。

Claims (10)

1.一种光学元件，用于安装在具有部件设置用的槽的支撑衬底上，其特征在于包括：

光束转换部，该光束转换部形成于光学衬底的表面上；

操纵部，该操纵部在规定位置上具有上述光束转换部，且向上述支撑衬底上进行安装时，该操纵部设置于上述支撑衬底上；

突起部，设置于上述操纵部中的与光束转换部离开规定距离的位置，具有在向上述支撑衬底上进行安装时，与上述支撑衬底的槽接触的形状。

2.根据权利要求1所述的光学元件，其特征在于上述操纵部基本上呈长方体形状，上述突起部为两个。

3.根据权利要求1所述的光学元件，其特征在于上述突起部呈圆弧形状。

4.根据权利要求3所述的光学元件，其特征在于在上述支撑衬底上安装光纤，上述圆弧形状的外形尺寸基本上与规定的上述光纤的外形尺寸相同。

5.根据权利要求1所述的光学元件，其特征在于上述光学衬底为硅晶体衬底。

6.根据权利要求1所述的光学元件，其特征在于上述光束转换部由衍射光学元件形成。

7.根据权利要求1所述的光纤元件，其特征在于上述光束转换部为透镜。

8.一种光学元件的安装方法，该光学元件安装在表面具有定位用的槽的支撑衬底上，该光学元件包括：光束转换部、操纵部和突起部，该光束转换部形成于光学衬底的表面上，该操纵部在规定位置上具有上述光学转换部，该突起部设置于上述操纵部中的与光束转换部离开规定距离的位置，其特征在于：

使上述支撑衬底的上述定位用的槽与上述光学元件的上述突起部接触，设置上述光学元件。

9.一种光模块，其特征在于包括：

支撑衬底，该支撑衬底的表面上具有光纤固定用的槽与定位用的槽；

光学元件，该光学元件具有：光束转换部，该光束转换部形成于光学衬底的表面上；操纵部，该操纵部在规定位置上具有上述光学转换部，与上述支撑衬底接触；以及突起部，该突起部设置于上述操纵部中的与光束转换部离开规定距离的位置，且与上述支撑衬底的定位用的槽接触；以及

光纤，该光纤设置于上述支撑衬底中的光纤固定用的槽中，与上述光学元件的光束转换部实现光耦合。

10.根据权利要求9所述的光模块，其特征在于上述光纤固定用的槽和定位用的槽的截面形状是相同的。

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