CN1447911A - 压力传递器 - Google Patents

压力传递器 Download PDF

Info

Publication number
CN1447911A
CN1447911A CN01814352A CN01814352A CN1447911A CN 1447911 A CN1447911 A CN 1447911A CN 01814352 A CN01814352 A CN 01814352A CN 01814352 A CN01814352 A CN 01814352A CN 1447911 A CN1447911 A CN 1447911A
Authority
CN
China
Prior art keywords
pressure
barrier film
pressure transmitter
matrix
temperature
Prior art date
Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
Granted
Application number
CN01814352A
Other languages
English (en)
Other versions
CN1237333C (zh
Inventor
埃瓦尔德·伯勒
约恩·雅各布
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
Vega Grieshaber KG
Original Assignee
Vega Grieshaber KG
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by Vega Grieshaber KG filed Critical Vega Grieshaber KG
Publication of CN1447911A publication Critical patent/CN1447911A/zh
Application granted granted Critical
Publication of CN1237333C publication Critical patent/CN1237333C/zh
Anticipated expiration legal-status Critical
Expired - Fee Related legal-status Critical Current

Links

Images

Classifications

    • GPHYSICS
    • G01MEASURING; TESTING
    • G01LMEASURING FORCE, STRESS, TORQUE, WORK, MECHANICAL POWER, MECHANICAL EFFICIENCY, OR FLUID PRESSURE
    • G01L19/00Details of, or accessories for, apparatus for measuring steady or quasi-steady pressure of a fluent medium insofar as such details or accessories are not special to particular types of pressure gauges
    • G01L19/04Means for compensating for effects of changes of temperature, i.e. other than electric compensation
    • GPHYSICS
    • G01MEASURING; TESTING
    • G01LMEASURING FORCE, STRESS, TORQUE, WORK, MECHANICAL POWER, MECHANICAL EFFICIENCY, OR FLUID PRESSURE
    • G01L19/00Details of, or accessories for, apparatus for measuring steady or quasi-steady pressure of a fluent medium insofar as such details or accessories are not special to particular types of pressure gauges
    • G01L19/06Means for preventing overload or deleterious influence of the measured medium on the measuring device or vice versa
    • G01L19/0627Protection against aggressive medium in general
    • G01L19/0645Protection against aggressive medium in general using isolation membranes, specially adapted for protection

Landscapes

  • Physics & Mathematics (AREA)
  • General Physics & Mathematics (AREA)
  • Measuring Fluid Pressure (AREA)

Abstract

本发明涉及一种用于确定超载的压力测量变换器的压力传递器,它具有一个基体、一个隔离膜,该隔离膜设置在压力传递器的压力敏感端面上并且可以从外部施以一个待测量的压力,压力传递器还具有一个容纳压力传递介质的位于基体内部的相关空间,该相关空间在压力敏感端面上被所述隔离膜封闭,其中这样设计隔离膜和基体的温度膨胀系数和压力传递介质的温度膨胀系数,使得由温度条件引起的相关空间的体积变化等于由温度条件引起的压力传递介质的体积变化。

Description

压力传递器
技术领域
本发明涉及一种如权利要求1前序部分所述类型的压力传递器。
背景技术
压力测量装置一般由压力传递器和与压力传递器耦联的压力传感器组成。通过压力传递器从外部向压力测量装置施加一个待测量的压力,然后可以由压力传感器测量这个压力。压力传递器对于极为敏感的压力传感器来说通常作为保护接受器。压力传递器在朝工作介质方向上具有一个隔离膜,它对外封闭压力传递器并且它与压力传递器基体一起确定一个位于压力传递器内部的腔室,在该腔室中设有压力传递介质。构成腔室的基体和隔离膜材料具有的温度膨胀系数一般明显小于压力传递介质的。当周围温度变化时,由于这种不同的温度膨胀系数而使基体、隔离膜和压力传递介质产生不同的膨胀。
这里的问题是,由此产生的、不同的、取于温度条件的腔室和压力传递介质的体积变化有时会导致非常大的测量误差。
为了减少这种由于温度条件而引起的测量误差,已经提出一些压力传递器,它们在工作端面具有一个相对较大面积的隔离膜。也可以选择或附加地减小腔室中压力传递介质的体积。但是由于压力传感器所要达到的测量范围以及其测量允差,压力传递介质的体积不能任意减小。此外压力传递器通常要求非常小的隔离膜直径,由此仅仅由空间位置就限制了隔离膜的平面尺寸。
在GM7603126中描述了一种这样的压力传递器,其中,在压力传递器的基体的腔室中组合进一个具有最小膨胀系数的补偿部件,它能够补偿压力传递介质的体积膨胀。但是这种压力传递器在加工工艺上是非常难以实现的。此外这种温度补偿压力传递器的校验、即精确地调整压力传递介质与补偿体的比例是极其昂贵的。最后,尤其是对于测量毫巴范围压力的压力测量变换器来说,要求压力传递器将从外部接受的压力可靠而均匀地传递到后接的压力传感器。但是这一点通过在GM7603126中所描述的压力传递器,其中补偿部件自由浮动地设置在腔室中,不能或只能有条件地实现。
发明内容
因此本发明的目的是,提出一种温度补偿压力传递器,它具有尽可能小的隔离膜面积。
按照本发明,这一目的通过具有权利要求1特征的压力传递器实现。
因此提出一种上述类型的压力传递器,其特征在于,这样地设计隔离膜和基体的温度膨胀系数和压力传递介质的温度膨胀系数,使得由于温度条件引起的相关空间的体积变化等于或至少近似等于由温度条件引起的压力传递介质的体积变化。
通过这些措施能够以简单的方法实现压力传递器在大范围内的最佳温度补偿并因此实现压力测量变换器的最佳温度补偿。按照本发明的压力传递器的特殊优点在于,为了实现温度补偿无需加大压力传递器头部。此外,这里在加工工艺上无需附加昂贵的工艺步骤。如果这样规定压力传递器,即通过适当选择温度膨胀系数使隔离膜的补偿体积与压力传递介质的体积增加相互抵消,则无需附加的加工步骤来加工压力传递器。
有利的方式是,隔离膜至少在隔离膜的径向外部区域内设计成波浪形。当温度增加时,隔离膜的波度减小,这将增大体积,即所谓的补偿体积。这样,在温度条件下的体积增加给定时,通过波度可以有针对性地对补偿进行调整。
有利的方式是,压力传递器头部具有一个圆形的隔离膜横截面。当然隔离膜也可以具有其它形状的压力传递器头部,例如椭圆形、六角形、正方形,但是圆形对于毫巴级的压力测量是最最精确的。因此能够以有利的提供全补偿的压力传递器,是其中隔离膜直径小于40mm。
基体和隔离膜一般至少局部由一种防锈金属材料制成。在此最好采用优质钢。但是也可以设想,隔离膜和/或基体由陶瓷或类似陶瓷的材料制成。作为压力传递介质一般采用油,例如液压油或硅油。但是也可以使用其它液体甚至是气体。
基体和隔离膜通常具有的温度膨胀系数比压力传递介质的小得多。对于20℃至100℃的温度范围,温度膨胀系数一般为10-100 10-6K-6并因此比压力传递介质的小10至1000倍。
本发明的其它有利结构和扩展结构在从属权利要求和描述中借助于附图得出。
附图说明
下面借助于附图所示的实施例详细描述本发明。附图中:
图1按照本发明的压力传递器的第一实施例;
图2按照本发明的压力传递器的第二实施例。
具体实施方式
图1示出一种按照本发明的压力传递器的局部剖面图。用1表示压力测量变换器的压力传递器。压力传递器1具有一个金属的压力传递器基体2,它最好由防锈、耐氧化的材料制成。但是基体2也可以至少部分地由另一种材料、例如陶瓷材料制成。基体2在传感器端面3上具有一个法兰4,它将压力传递器1与一个在图1中未示出的压力传感器连接起来。
压力传递器1在工作端面5上具有一个隔离膜6,它设置在基体2的空隙7里面。隔离膜6这样设置在空隙7里面,使得在隔离膜6与基体2之间形成一个腔室8。此外压力传递器1的基体2还具有一个开孔9,它不仅与腔室8连接而且与法兰4连接。在由腔室8和开孔9组成的相关空间8、9中加入一种压力传递介质,例如填充油。隔离膜6将出现在工作端面一侧的介质(在图中未示出)与相关空间8、9内部的压力传递介质隔离开来。通过隔离膜6使工作端面一侧的压力传递到压力传递介质上并由此传递到后接的压力传感器上。
在本实施例中,压力传递器头部和隔离膜6都具有一个基本为圆形的横截面。所述隔离膜6至少在隔离膜6的径向外部区域内设计成波浪形。
下面要借助于实施例详细描述按照本发明的压力传递器1的新型结构以及其工作方式:
压力传递器1的基体2和隔离膜6由一种材料制成,该材料一般具有的温度膨胀系数比压力传递介质的小得多。当温度变化时,隔离膜6在径向上收缩或伸长。如果温度从例如T=20℃升高到例如T=100℃,则隔离膜6伸长(参见图1中的虚线),这将使腔室8的体积加大。与此相反,当温度降低时,隔离膜再次收缩,这将使腔室8的体积减小。由隔离膜6收缩与伸长之间的体积差产生了一个补偿体积10。同时在温度升高和降低时也发生压力传递介质,也就是例如上面提到的填充油的体积的增加或体积的减小。
按照本发明,压力传递介质的总体积以及基体2和隔离膜6所使用材料的温度膨胀系数匹配成使得由温度条件引起的压力传递介质的体积变化等于或至少近似等于由温度条件而引起的补偿体积10的变化。按照本发明,已经提供了一个在大范围内温度补偿的压力传递器1,其中,如果当温度升高时,引起的压力传递介质体积增加(在考虑到其特有的温度膨胀系数的情况下)等于或近似等于在考虑到隔离膜6和基体2的温度膨胀系数情况下由相关空间8、9加大的体积,则压力传递器1的封闭的液压或气压***是可以进行温度补偿的。
压力传递器1的温度相关性可以通过下面的措施降低到几乎为零,这些措施也可以用于非常小的约100mbar的测量范围:
一方面温度相关性可以通过适当的基体2与隔离膜6的适当材料组合进行调整,例如通过适当选择其温度膨胀系数。也可以选择或附加地通过适当的隔离膜6的薄膜形状进一步降低压力传递器1的温度相关性。
此外尤其具有优点的是,隔离膜6例如设计成在低温(例如T=20℃)时是凹入的而在温度增加时(例如T=100℃)逐渐具有一个增大的凸起形状。此外当然也可以设想其它的减少温度相关性的有利措施,例如减小压力传递介质的体积,加大隔离膜6的面积以及使压力传递器1相对于后接的压力传感器具有尽可能小的距离。因此通过在这些措施,可以实现压力传递器在大范围内的最佳的温度补偿并因此实现压力测量变换器的最佳的温度补偿。
图2示出一个与图1类似的压力传递器1的截面图。因此相同的参考标记表示相同的部件。但是现在隔离膜6在其外部区域上没设计成波浪形,而是直线形。整体上隔离膜6设计成钵状,其走向在T=20℃时表示为实线,而在T=100℃时表示为虚线。
                  附图标记清单:
1  压力传递器
2  (压力传递器)基体
3  传感器端面
4  法兰
5  工作端面
6  隔离膜
7  空隙
8  腔室
9  开孔
10 补偿体积

Claims (8)

1.用于压力测量变换器的压力传递器,
具有一个基体(2),
具有一个隔离膜(6),该隔离膜设置在压力传递器(1)的压力敏感端面上(5)并且可以从外部施以一个待测量的压力,
具有一个容纳压力传递介质的位于基体(2)内部相关空间(8、9),该相关空间在压力敏感端面(5)上被所述隔离膜(6)封闭,
其特征在于,这样设计所述隔离膜(6)和基体(2)的温度膨胀系数和压力传递介质的温度膨胀系数,使得由温度条件引起的相关空间(8、9)的体积变化等于或至少近似等于由温度条件引起的压力传递介质的体积变化。
2.如权利要求1所述的压力传递器,其特征在于,所述隔离膜(6)至少部分设计成波浪形,其中,隔离膜(6)的波度随着温度的增加而减小。
3.如上述权利要求中任一项所述的压力传递器,其特征在于,所述隔离膜(6)设计成钵状。
4.如上述权利要求中任一项所述的压力传递器,其特征在于,所述隔离膜(6)具有直径(11)小于40mm的圆形横截面。
5.如上述权利要求中任一项所述的压力传递器,其特征在于,所述基体(2)和/或隔离膜(6)至少部分由一种防锈金属材料,优选优质钢材料制成。
6.如上述权利要求中任一项所述的压力传递器,其特征在于,所述压力传递介质包括一种油,最好是液压油或硅油。
7.如上述权利要求中任一项所述的压力传递器,其特征在于,所述基体(2)和/或隔离膜(6)具有的温度膨胀系数比压力传递介质的小10至1000倍。
8.如上述权利要求中任一项所述的压力传递器,其特征在于,对于20-100℃的温度范围,所述基体(2)和/或隔离膜(6)的温度膨胀系数范围为10-100 10-6K-6
CNB018143520A 2000-06-30 2001-06-28 压力传递器 Expired - Fee Related CN1237333C (zh)

Applications Claiming Priority (2)

Application Number Priority Date Filing Date Title
DE10031120.2 2000-06-30
DE10031120A DE10031120A1 (de) 2000-06-30 2000-06-30 Druckmittler

Publications (2)

Publication Number Publication Date
CN1447911A true CN1447911A (zh) 2003-10-08
CN1237333C CN1237333C (zh) 2006-01-18

Family

ID=7646870

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
CNB018143520A Expired - Fee Related CN1237333C (zh) 2000-06-30 2001-06-28 压力传递器

Country Status (7)

Country Link
US (1) US7062974B2 (zh)
EP (1) EP1295096B1 (zh)
CN (1) CN1237333C (zh)
AU (2) AU8191701A (zh)
DE (2) DE10031120A1 (zh)
HK (1) HK1058231A1 (zh)
WO (1) WO2002004910A1 (zh)

Cited By (4)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
CN102435384A (zh) * 2011-12-02 2012-05-02 上海交通大学 基于纵横应力调整的saw高温压力传感器温度补偿方法
CN102446406A (zh) * 2011-10-24 2012-05-09 山东佰测仪表有限公司 新型隔离压力变送器
CN102971522A (zh) * 2010-07-15 2013-03-13 西门子公司 热方面体积中性的尤其无液压补偿器的计量阀的行程传送器
CN108151958A (zh) * 2017-12-13 2018-06-12 中国航空工业集团公司北京长城计量测试技术研究所 一种力传递保持器

Families Citing this family (24)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
DE10152681A1 (de) * 2001-10-19 2003-04-30 Endress & Hauser Gmbh & Co Kg Druckmittler mit Trennmembran und Verfahren zu dessen Herstellung
DE10234754A1 (de) * 2002-07-30 2004-02-19 Endress + Hauser Gmbh + Co. Kg Differenzdrucksensor mit symmetrischem Trennkörperfehler
DE102004053672A1 (de) * 2004-11-03 2006-05-04 Endress + Hauser Gmbh + Co. Kg Hydraulische Druckübertragungsvorrichtung, insbesondere für einen Druckaufnehmer
DE102005004942B4 (de) * 2005-02-02 2014-10-02 Armaturenbau Gmbh Verfahren zur Herstellung eines Membran-Druckmittlers
DE102005023021C5 (de) 2005-05-17 2017-12-14 Labom Meß- und Regeltechnik GmbH Druckmittler, Membran für derartige Druckmittler, Verfahren zum Herstellen derartiger Druckmittler sowie zum Herstellen derartiger Druckmittlermembranen
DE102005027035A1 (de) 2005-06-10 2006-12-14 Endress + Hauser Gmbh + Co. Kg Hydraulischer Druckmittler
DE102006056592A1 (de) 2006-11-29 2008-06-05 Endress + Hauser Gmbh + Co. Kg Verfahren zur Prägung einer Trennmembran eines Druckmittlers
US8042401B2 (en) * 2008-06-12 2011-10-25 Rosemount, Inc. Isolation system for process pressure measurement
DE102008033337A1 (de) 2008-07-16 2010-01-21 Endress + Hauser Gmbh + Co. Kg Druckmittler und Druckmessgerät mit einem solchen Druckmittler
DE102011119588A1 (de) * 2011-11-29 2013-05-29 Wika Alexander Wiegand Se & Co. Kg Verfahren zur Druckmessung und Druckmesssystem
US9915577B2 (en) 2014-12-02 2018-03-13 Sensata Technologies, Inc. Case isolated oil filled MEMS pressure sensor
CN107529985B (zh) * 2015-03-31 2020-03-31 加州理工学院 用于长期可植入传感器和电子装置的生物相容性封装
EP3112830B1 (en) 2015-07-01 2018-08-22 Sensata Technologies, Inc. Temperature sensor and method for the production of a temperature sensor
US9638559B1 (en) 2016-02-10 2017-05-02 Sensata Technologies Inc. System, devices and methods for measuring differential and absolute pressure utilizing two MEMS sense elements
CN107290099B (zh) 2016-04-11 2021-06-08 森萨塔科技公司 压力传感器、用于压力传感器的插塞件和制造插塞件的方法
EP3236226B1 (en) 2016-04-20 2019-07-24 Sensata Technologies, Inc. Method of manufacturing a pressure sensor
US10428716B2 (en) 2016-12-20 2019-10-01 Sensata Technologies, Inc. High-temperature exhaust sensor
US10545064B2 (en) 2017-05-04 2020-01-28 Sensata Technologies, Inc. Integrated pressure and temperature sensor
US11122975B2 (en) 2017-05-12 2021-09-21 California Institute Of Technology Implantable extracompartmental pressure sensor
US10502641B2 (en) 2017-05-18 2019-12-10 Sensata Technologies, Inc. Floating conductor housing
US10323998B2 (en) 2017-06-30 2019-06-18 Sensata Technologies, Inc. Fluid pressure sensor
US10724907B2 (en) 2017-07-12 2020-07-28 Sensata Technologies, Inc. Pressure sensor element with glass barrier material configured for increased capacitive response
US10557770B2 (en) 2017-09-14 2020-02-11 Sensata Technologies, Inc. Pressure sensor with improved strain gauge
US11701504B2 (en) 2020-01-17 2023-07-18 California Institute Of Technology Implantable intracranial pressure sensor

Family Cites Families (13)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
DE7603126U1 (zh) * Brauser, Heinz, 6051 Waldacker
US3999435A (en) 1975-04-24 1976-12-28 Fischer & Porter Co. Differential pressure transmitter
DE2531787A1 (de) * 1975-07-16 1977-02-03 Erich Brosa Druckaufnehmer fuer heisse massen
KR930011091B1 (ko) * 1990-06-08 1993-11-20 미쯔비시 덴끼 가부시끼가이샤 압력 센서
US5095755A (en) 1990-11-01 1992-03-17 Rosemount Inc. Isolator for pressure transmitter
KR950005891B1 (ko) * 1990-11-28 1995-06-02 미쓰비시덴키 가부시키가이샤 압력센서
US5161415A (en) * 1991-04-11 1992-11-10 Mitsubishi Denki K.K. Pressure sensor
JP3092307B2 (ja) * 1992-04-16 2000-09-25 富士電機株式会社 半導体圧力センサ
JPH06132545A (ja) * 1992-10-19 1994-05-13 Mitsubishi Electric Corp 圧力検出装置
EP0764839A1 (de) * 1995-09-22 1997-03-26 Endress + Hauser GmbH + Co. Druck- oder Differenzdruckmessgerät
DE10031135A1 (de) * 2000-06-30 2002-01-17 Grieshaber Vega Kg Druckmeßvorrichtung
US6681637B2 (en) * 2000-07-20 2004-01-27 Vega Grieshaber Kg Pressure-measuring cell with a temperature sensor
US6698294B2 (en) * 2000-09-07 2004-03-02 Vega Grieshaber Kg Pressure cell with temperature sensors and pressure measuring method

Cited By (8)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
CN102971522A (zh) * 2010-07-15 2013-03-13 西门子公司 热方面体积中性的尤其无液压补偿器的计量阀的行程传送器
CN102971522B (zh) * 2010-07-15 2015-04-29 西门子公司 行程传送器和具有行程传送器的计量阀及计量阀用途
US9587609B2 (en) 2010-07-15 2017-03-07 Siemens Aktiengesellschaft Thermally volume-neutral stroke transmitter, in particular for metering valve without hydraulic compensator
CN102446406A (zh) * 2011-10-24 2012-05-09 山东佰测仪表有限公司 新型隔离压力变送器
CN102435384A (zh) * 2011-12-02 2012-05-02 上海交通大学 基于纵横应力调整的saw高温压力传感器温度补偿方法
CN102435384B (zh) * 2011-12-02 2013-12-11 上海交通大学 基于纵横应力调整的saw高温压力传感器温度补偿方法
CN108151958A (zh) * 2017-12-13 2018-06-12 中国航空工业集团公司北京长城计量测试技术研究所 一种力传递保持器
CN108151958B (zh) * 2017-12-13 2020-04-24 中国航空工业集团公司北京长城计量测试技术研究所 一种力传递保持器

Also Published As

Publication number Publication date
EP1295096A1 (de) 2003-03-26
DE50112628D1 (de) 2007-07-26
DE10031120A1 (de) 2002-01-17
CN1237333C (zh) 2006-01-18
HK1058231A1 (en) 2004-05-07
AU2001281917B2 (en) 2006-12-14
AU8191701A (en) 2002-01-21
EP1295096B1 (de) 2007-06-13
WO2002004910A1 (de) 2002-01-17
US7062974B2 (en) 2006-06-20
US20040020300A1 (en) 2004-02-05

Similar Documents

Publication Publication Date Title
CN1237333C (zh) 压力传递器
US8443676B2 (en) Pressure sensor for hydraulic media in motor vehicle brake systems
RU2464467C1 (ru) Передатчик давления и манометр
EP1523607B1 (en) Subterranean well pressure and temperature measurement
JP5123327B2 (ja) 管試験方法および装置
US20100162830A1 (en) Torque-measuring flange
US20070000332A1 (en) Pressure transmitter
CN1449489A (zh) 压差感受器
US6995500B2 (en) Composite backing layer for a downhole acoustic sensor
DE102018209563B3 (de) Multifunktionaler Sensor für die Prozessindustrie
JP3325879B2 (ja) 相対圧センサ
CN1993606A (zh) 利用超声波传播时间测量同步确定高压容器中压力和温度的方法与装置
US20030172747A1 (en) Method and means for measuring torque in hydraulic power units
CN102822652A (zh) 可收回的压力传感器
US9739677B2 (en) Matching back pressures on differential oil-filled diaphragms
US5900545A (en) Strain monitoring system
CN101535789A (zh) 扭矩测量法兰
JPS63201544A (ja) 管状物体内の圧力を測定する方法および装置
EP1611422A2 (de) Relativdruckmessumformer
US11767861B2 (en) Sensor unit for fluidic cylinder and fluidic cylinder
CA2035133A1 (en) Force or pressure measuring device
US6435031B1 (en) Position detecting device for hydraulic cylinder, and industrial vehicle equipped with the position detecting device
CN1596367A (zh) 压力传感器
US4899643A (en) Hydraulic cylinder comprising at least one electric position indicator
US7299676B1 (en) Acoustic pressure calibrator

Legal Events

Date Code Title Description
C06 Publication
PB01 Publication
C10 Entry into substantive examination
SE01 Entry into force of request for substantive examination
C14 Grant of patent or utility model
GR01 Patent grant
CF01 Termination of patent right due to non-payment of annual fee

Granted publication date: 20060118

Termination date: 20200628

CF01 Termination of patent right due to non-payment of annual fee