CN1277689C - 器件制造装置和器件的制造方法以及电子设备 - Google Patents

Abstract

本发明提供一种器件制造装置和器件制造方法。该器件制造装置(IJ)具有：喷出包含功能性材料的液状体的喷头(1)、支撑被喷到液状体的基板(P)并可以相对喷头(1)进行移动的台面装置(2)、运送基板(P)的运送装置(3)、检测从形成在喷头(1)上的喷嘴(11)喷出的液状体的喷出状态的检测装置(30)、在运送基板(P)的动作中、控制检测装置(30)进行检测动作的控制装置(CONT)。

Description

器件制造装置和器件的制造方法以及电子设备

技术领域

本发明涉及具有可以喷出液状体的喷头的器件制造装置及器件的制造方法。

背景技术

以往，作为具有细微图形的器件的制造方法，大多采用光刻法，但在近年中，采用液滴喷出方式的器件制造方法受到注目。该技术为通过将包含功能性材料的液状体材料由液滴喷出装置的喷头喷出，在基板上配置材料，形成图形，在对应少量多种类生产这一点等方面中，非常有效。作为液滴喷出装置的液滴喷出方式，主要所知的为：通过压电体元件的变形，使液状体材料的液滴喷出的压电喷射方式、及通过加热迅速产生蒸汽而使液状体材料喷出的方式。

喷头具有多个喷嘴，但比如由于孔堵塞等原因、就会出现不能从一部分喷嘴喷出液状体的情况。当存在有不能喷出液状体的喷嘴时(非动作喷嘴)，在通过将液滴喷到基板上形成墨点图形时，就会发生墨点遗漏。

比如在特开2000-343686号公报、特开2001-212970号公报、特开2002-79693号公报中就记载有涉及与打印机(打印装置)有关的墨点遗漏检测方法(非动作喷嘴检测方法)的技术。

上述专利文献中所记载的技术，是涉及被适用于打印机的非动作喷嘴检测方法的技术。打印机的打印动作，由于不是定期进行的，因而非动作喷嘴检测动作通常是在打印动作开始前进行。另一方面，为了制造器件、喷头将液状体喷出的喷出动作，比如在工厂内整日都在进行。这样，在采用液滴喷出方式来制造器件时，最恰当地设定非动作喷嘴检测动作的时间、对提高器件的生产性(生产率)是非常有效的。

发明内容

本发明就是鉴于这样的情况而产生的，目的在于提供：在采用液滴喷出方式制造器件时，进行不降低生产率的非动作喷嘴检测，可以制造具有没有墨点遗漏的所希望的性能的器件的器件制造装置及器件的制造方法。

本发明的第1方案提供一种器件制造装置，具有：喷出包含功能性材料的液状体的喷头、支撑被喷射所述液状体的基板并可以相对所述喷头移动的台面装置、运送所述基板的运送装置、被设置在与所述台面装置不同的位置上并检测从形成在所述喷头上的喷嘴喷出的所述液状体的喷出状态的检测装置、从所述台面装置向所述检测装置可以移动所述喷头的驱动装置、和在运送所述基板的期间，执行由所述检测装置进行检测动作的控制装置。

还有，本发明的第2方案提供一种器件的制造方法，包括：由台面装置支撑基板并由喷头的喷嘴将包含功能性材料的液状体喷到所述基板上的工序、从所述台面装置向被设置在与所述台面装置不同的位置上的检测装置移动所述喷头的工序、运送所述基板的运送工序、在运送所述基板的动作中由所述检测装置检测所述喷嘴所喷出的所述液状体的喷出状态的检测工序。

根据上述的方案，由于在将制造器件的基板运送到台面装置的期间、即、在对台面装置进行基板的装载及卸载(LOAD及UNLOAD)的期间，进行检测喷嘴是否喷出液滴的非动作喷嘴检测动作，因而就可以将运送基板的动作和非动作喷嘴检测动作并行起来进行。

这样，由于不妨碍对制造器件的基板喷出液状体的喷出动作，就可以进行非动作喷嘴检测动作，因而可以不降低生产率来制造具有没有墨点遗漏的所希望的性能的器件。另外，在基板的装载及卸载动作中，在器件制造过程整体中，由于从喷嘴喷出液状体的时间比较长，因而在该装载及卸载动作中进行非动作喷嘴检测动作，从提高生产率的观点及防止喷嘴的孔堵塞的观点来看是非常有效的。进一步，可以顺利地将对台面装置的基板的运送动作(装载及卸载动作)和非动作喷嘴检测动作并行起来进行，实现生产率的提高。

另外，所述检测装置具有：射出检测光的投光部、和可以接收所述投光部所射出的所述检测光的受光部，所述受光部，根据由于所述液状体通过所述检测光的光路而发生的所述检测光的在该受光部的受光量的变化，判断所述喷嘴是否在喷出所述液状体。

这样，就可以在光学上很精确地来进行非动作喷嘴检测动作。

还有，所述控制装置最好在规定的时间进行所述受光部的调整。

在进行数次非动作喷嘴检测动作时，根据受光部的温度(热度)及周围的装置(噪音发生源)所引起的噪音，就会产生每次非动作喷嘴检测的受光部的受光灵敏度及输出信号值不同的情况。根据这样，通过在每次实施非动作喷嘴检测动作前等、在规定的时间进行受光部的调整，就可以提高受光部的检测精度。

另外，也可以具备有进行所述喷头的恢复动作的恢复装置，在该情况中，所述控制装置根据所述检测装置的检测结果来进行所述恢复动作，就可以顺利地再次实施所示次数的检测。

这样，比如通过进行对非动作喷嘴的清洗动作等的恢复动作，就可以使非动作喷嘴恢复到可以喷出状态。

还有，也可以具备有显示所述检测装置的检测结果的显示装置。

这样，比如，根据显示装置的显示结果，操作者就可以把握非动作喷嘴检测动作是否被正常地进行了、及是否存在有非动作喷嘴，并根据显示装置的显示结果，实施恰当的处理。

另外，最好具备有多个所述喷头。

在多个喷头中，比如，在从第1喷头将第1液状体材料喷到基板上后，将其烧结及烘干，接下来，在从第2喷头将第2液状体材料喷到基板上后，将其烧结及烘干，以下通过采用多个喷头进行同样的处理，在基板上就堆积有多个材料层，非常有效率地形成了多层图形。

在第2方案中，将检测光照射到受光部，根据所述液状体在所述检测光的光路上通过、在所述检测光的该受光部的受光量的变化，就可以顺利地判断所述喷嘴是否在喷出所述液状体。

这样，就可以在光学上很精确地来进行非动作喷嘴检测动作。在该情况中，也可以在规定的时间进行所述受光部的调整。作为进行调整的时间，最好在检测动作进行之前来进行。这样，在进行数次非动作喷嘴检测动作时，根据受光部的温度(热度)及周围的装置(噪音发生源)所引起的噪音，就会出现每次非动作喷嘴检测的受光部的受光灵敏度及输出信号值不同的情况，但通过在每次实施非动作喷嘴检测动作之前等进行受光部的调整，就可以提高受光部的检测精度。

本发明的第3方案提供一种电子设备，具有通过上述所述的器件制造装置、或上述所述的器件的制造方法所制造的器件。

根据本方案的电子设备，由于具有高效制造的器件，所以可提供实现了低成本化的电子设备。

附图说明

图1为表示本发明的器件制造装置的一实施例的概要立体图。

图2为表示喷头的图。

图3为表示喷头的图。

图4为表示检测装置的一实施例的概要立体图。

图5为表示喷头所喷出的液滴在检测装置的检测光的光路上通过的情况的模式图。

图6为表示本发明的器件的制造方法的例子的主程序的流程图。

图7为表示作为副程序的受光部的调整动作例的流程图。

图8A～图8F为表示作为器件的滤色器的制造工序的一例的图。

图9为有机EL装置的侧剖面图。

图10为等离子显示器的分解立体图。

图11为说明图形的形成方法的流程图。

图12A及图12B为表示图形的形成方法的一例的模式图。

图13A及图13B为表示图形的形成方法的一例的模式图。

图14A及图14B为表示图形的形成方法的一例的模式图。

图15A～图15D为微透镜的制造方法的工序说明图。

图16A及图16B为图像显示装置的电子源基板的模式图。

图17A～图17C为图像显示装置的制造工序说明图。

图18A～图18C为表示装载了器件的电子设备的一例的图。

图中：1-喷头，2-台面装置，3-运送装置，11-喷嘴，30-检测装置，31-投光部，32-受光部，40-显示装置，CONT-控制装置，IJ-液滴喷出装置(器件制造装置)

具体实施方式

下面，对本发明的器件制造装置进行说明。

图1为表示本发明的器件制造装置的一实施例的概要立体图。

本实施例的器件制造装置，包含具有可以喷出含有功能性材料的液状体材料(液状体)的液滴的喷头的液滴喷出装置。

在图1中，器件制造装置(液滴喷出装置)IJ具有：喷出液状体材料的液滴的喷头1、支撑制造器件的基体材料的基板P的台面装置2、将基板P运入及运出(装载及卸载)到台面装置2上的运送装置3、控制包含喷头1的喷出动作的器件制造装置IJ整体的动作的控制装置CONT。在本实施例中，运送装置3具有机器手，被设置在台面装置2的图中-X方向。喷头1在其喷出面1P上具有多个将液状体材料的液滴喷出的喷嘴11(参照图2)。液状体材料被贮存于未图示的贮存装置内，经由管道由喷头1喷出。器件制造装置IJ通过由喷头1将液状体材料配置在基板P的表面上，使液状体材料所包含的功能性材料形成膜状。喷头1通过驱动装置4在可以沿图中XY方向(水平方向)移动的同时，也可以沿Z方向(垂直方向)移动。而且，喷头1也可以沿θX方向(X轴转动方向)、θY方向(Y轴转动方向)及θZ方向(Z轴转动方向)移动。台面装置2通过驱动装置5在可以沿图中XY方向(水平方向)移动的同时，也可以沿Z方向及θZ方向移动。通过驱动装置4及驱动装置5，支撑基板P的台面装置5就可以对喷头1进行相对的移动。

清洗喷头1的清洗单元(恢复装置)6、及盖住喷头1的盖单元7被设置在与台面装置2的位置不同的其他位置上、即被设置在与制造喷头1的器件的液滴喷出动作实施位置不同的其他位置上。在本实施例中，清洗单元6及盖单元7被设置在台面装置2的+Y方向。清洗单元6进行喷头1的喷嘴11的清洗。在进行清洗时，首先，决定喷头1相对清洗单元6的位置，清洗单元6与喷头1的喷出面1P相连接。接下来，清洗单元6吸引该清洗单元6和喷头1的喷出面1P所形成的空间的空气。所述空间通过被吸引，喷头1的喷嘴11内所存在的液状体材料就被吸引，这样，进行喷头1及喷嘴11的清洗。通过清洗单元6对喷嘴11所进行的清洗动作(恢复动作)，比如非动作喷嘴就得到恢复。还有，盖单元7为防止喷头1的喷出面IP的干燥的，在没有制造器件的等待时间，就将盖子盖住喷出面1P。

图2为喷头1的分解立体图，图3为喷头1的立体图的一部分剖面图。如图2所示，喷头1具备有：具有喷嘴11的喷嘴板10、具有振动板12的压力室基板13、将这些喷嘴板10和振动板12嵌入并支撑的框体14。如图3所示，喷头1的主要部分具有用喷嘴板10和振动板12将压力室基板13夹住的结构。压力室基板13是由硅单结晶基板等所构成，具有通过将其腐蚀所形成的多个空腔(压力室)16。在喷嘴板10中，在将喷嘴板10和压力室基板13粘合起来时，在对应空腔16的位置上形成了喷嘴11。

在多个空腔16彼此之间，通过侧壁17被分开。空腔16通过供给口18分别与为公共流路的贮存器15相连接。振动板12比如由热氧化膜等所形成。振动板12具有多个箱口19，由箱口19通过与所述箱口相连接的管道来提供液状体材料。在对应振动板12上的空腔16的位置上，设置有压电体元件20。压电体元件20具有用上部电极及下部电极(图中未表示)夹住PZT元件等的压电性陶瓷的结晶的结构。压电体元件根据被施加的电压发生变形。

返回到图1，器件制造装置IJ具有检测喷头1的喷嘴11所喷出的液状体材料的液滴的喷出状态、具体来讲就是检测液状体材料的液滴是否在被喷出的检测装置(检测工具)30。检测装置30被设置在和台面装置2不同的位置上、即和在制造喷头1的器件的液滴喷出动作实施位置不同的位置上，在本实施例中，被设置在台面装置2的+X方向。检测装置30通过检测被设置在喷头1上的多个喷嘴11分别是否在喷出液状体材料的液滴，来检测由于孔堵塞等原因所引起的不能喷出液滴的喷嘴(非动作喷嘴)。这样，检测装置30通过将液滴喷到基板P上、就可以检测在基板P上形成墨点图形时的基板P上是否发生了墨点遗漏。

检测装置30具有射出检测光的投光部31、可以接收投光部31所射出的检测光的受光部32。投光部31是由射出具有规定的直径的激光的激光照射装置构成。另一方面，受光部32比如是由光电二极管构成。另外，器件制造装置IJ具有显示与该检测装置30的检测结果及检测状况(检测动作)有关的信息的显示装置40。显示装置40比如是由液晶显示器或CRT(Cathode Ray Tube)等构成。

图4为具有投光部31及受光部32的检测装置30的概要立体图。如图4所示，投光部31和受光部32被对向地所设置。在本实施例中，投光部31沿着Y轴方向射出检测光的激光。检测光的光束被设定为直径D，由投光部31所射出来的检测光直达受光部32。喷头1在检测光的光路的上方(+Z方面)中，沿着与检测光的光路方向(Y方向)相交叉的方向(X轴方向)正在进行扫描并喷出液滴。喷头1的喷嘴11所喷出的液滴被设定为要通过检测光的光路。

图5为表示喷头1的喷嘴11所喷出的液滴在检测光的光路上通过的情况的模式图。还有，图5所示的喷头1具有沿着扫描方向的X轴方向并列的3个喷嘴11A、11B及11C，但设置在喷头1上的喷嘴11的数可以任意地设定。

如图5所示，喷头1沿X轴方向正在进行扫描并分别从11A～11C喷出液滴。所喷出的液滴在直径D的光束的检测光的光路上通过。在这里，检测光的直径和受光部32的计测区域的直径被设定为同样的值D。通过液滴在检测光的光路上通过、将液滴配置在该检测光的光路上，在受光部32所接收的检测光的受光量，相对在检测光的光路上没有配置液滴的状态的受光量产生变化。也就是说，通过在检测光的光路上配置液滴，受光部32的受光信号和在检测光的光路上没有配置液滴的情况相比降低。受光部32的受光结果(受光信号)被输出到控制装置CONT。控制装置CONT根据液滴在检测光的光路上通过、在检测光的受光部32的受光量的变化(降低)，就可以判断喷嘴11是否在喷出液滴。

具体地来讲，当将液滴配置在检测光的光路上时，随着受光部32的受光量的降低，受光部32的输出信号(输出电压)就会变化。受光部32根据该输出电压，就将「真(HIGH)」或「伪(LOW)」的信号输出到控制装置CONT。在这里，受光部32在检测光的光路上配置有液滴的情况下就输出「真」的信号，在检测光的光路上没有配置液滴的情况下就输出「伪」的信号。

另外，在图1中只表示了一个喷头1及一个台面装置2，但液滴喷出装置IJ也可以为具有多个喷头1及多个台面装置2的结构。在这一情况，就由多个喷头1分别喷出不同种类的或相同种类的液状体材料的液滴。然后，在这些多个喷头1中，由第1喷头将第1液状体材料喷到基板P上后，将其烧结或烘干，然后，由第22喷头将第2液状体材料喷到基板P上后，将其烧结或烘干，然后通过采用多个喷头进行同样的处理，在基板P上就堆积有多个材料层，就形成了多层图形。

下面，对于采用具有上述结构的器件制造装置IJ来制造器件的方法，一边参照图6及图7的流程图一边进行说明。

图6为表示器件制造装置IJ的处理顺序(主程序)的图，图7为表示在图6中的步骤S5的受光部32的调整的处理顺序(副程序)的图。

在图6中，为了制造器件，由喷头1将液状体材料的液滴喷到台面装置2所支撑的基板P上，当该液滴喷出动作(图形描画动作)结束时，控制装置CONT就对喷头1开始实施非动作喷嘴检测动作(步骤S1)。

控制装置CONT结束喷头1的制造器件的液滴喷出动作，为了防止因喷头1内部的液状体材料的干燥(凝固)所引起的喷嘴11的孔堵塞，使液状体材料进行形成凹凸液面的振动。即、控制装置CONT在不使喷头1喷出液滴的程度下开始进行压电体元件20的微振动(打印外的微振动)动作(步骤S2)。接下来，控制装置CONT通过驱动装置4将喷头移动到非动作喷嘴检测动作实施位置、即检测装置30的旁边(步骤S3)。接下来，控制装置CONT便让运送装置3开始实施将台面装置2所支撑的已完成图形描画处理的基板P从台面装置2运出(卸载、卸除)的动作、及将应进行图形描画的下一个新的基板P运入(装载、装上)到台面装置2的动作(步骤S4)。另外，步骤S3及步骤S4的动作也可以同时进行，也可以在步骤S3的动作之前实施步骤S4的动作。

控制装置CONT在通过运送装置3在进行将基板P运送到台面装置2的动作(运送工序)的期间，实施检测喷头1的喷嘴11是否在喷出液滴的非动作喷嘴检测工序(检测工序)。控制装置CONT在步骤S4中，在对运送装置3发出开始装载及卸载动作的指令后，就开始检测装置30的非动作喷嘴检测动作。首先，控制装置CONT在进行非动作喷嘴检测动作时，进行受光部32的调整(步骤S5)。

在这里，一边参照图7一边对步骤S5的处理顺序(副程序)进行说明。在本实施例中，所谓受光部32的调整动作，就是根据检测光的照射自动地最恰当地设定在对受光部32的输入信号和受光部32的输出信号之间的GAIN(增益)的动作(自动增益控制)。具体地来讲，在检测光的光路上没有配置液滴的状态中，就将增益设定为受光部32的输出信号为「伪」。另外，在调整动作中，投光部31根据一定的输出继续射出检测光，喷头1不喷出液滴。

在进行受光部32的调整时，控制装置CONT便设定与受光部32的输入信号和输出信号之间的GAIN(增益)有关的数据，并将该数据转送到受光部32(步骤SA1)。具体来讲，控制装置CONT在事先设定的规定的范围内来设定多个增益数据(增益值)，在这些被设定的多个增益数据中，从具有大的值的增益数据开始到具有小的值的增益数据按顺序转送到受光部32。在这里，首先，在被设定的多个增益数据中，将最大值的数据进行转送。比如，将增益数据设定在「4000～2000」的范围的话，控制装置CONT首先将「4000」的值转送到受光部。

接下来，控制装置CONT根据转送的增益数据「4000」来判断受光部32的输出信号是否在正常地输出。即、当增益数据不是为最适合的值时，即使在检测光的光路上没有配置液滴，受光部32的输出信号也有为「真」的情况。这样，控制装置CONT根据转送的数据「4000」来判断受光部32的输出信号是否为「伪」(步骤SA2)。

在步骤SA2中，当判断来自受光部32的输出信号不是「伪」时，控制装置CONT就再设定增益数据，并将该再设定的增益数据转送到受光部32(步骤SA3)。即，在步骤SA1设定的增益数据比受光部32应将输出的正常的输出信号的增益值大，因而控制装置CONT就将增益数据再设定为比在步骤SA1所设定的值要小的值，比如再设定为「2600」，并将该增益数据「2600」转送到受光部32。控制装置CONT判断再设定的增益数据「2600」是否在事先所设定的值(比如「2000」)以下(步骤SA4)。即，增益值即使为在规定的范围「4000～2000」中的最小值的设定值「2000」以下，受光部32在不将「伪」输出的情况下，就可以考虑由于某种原因(装置的故障等)产生了受光部32不能将正常的输出信号输出的状况，因而在判断增益数据为设定值以下的情况下，控制装置CONT就从循环中退出。另一方面，在判断增益数据为设定值以上的情况下，控制装置CONT就返回到步骤SA2，根据转送的增益数据「2600」来判断受光部32的输出信号是否为「伪」。

在步骤SA2中，当判断来自受光部32的输出信号为「伪」时，控制装置CONT就继续进行增益数据的设定变更，根据规定次数(比如为5次)反复实施该处理。具体来讲，控制装置CONT取得得到「伪」的增益数据「2600、2600、2600、2500、2500」。控制装置CONT判断反复次数是否达到了规定次数(步骤SA5)。

控制装置CONT从上述5次的增益数据中决定得到「伪」的最频值(步骤SA6)。在这里，在5次的增益数据「2600、2600、2600、2500、2500」中，「2600」为最频繁得到的增益值(最频值)。这样，就提高了得到「伪」的输出信号的增益数据的可靠性。即、比如有由于在受光部32的周围存在有各种装置(噪音发生源)的噪音及受光部32自身的温度(热度)的原因所引起的得到「伪」的增益值产生变动的情况。这样，反复进行规定次数的处理，通过决定最频值就可以提高数据的可靠性。

接下来，控制装置CONT判断决定的最频值「2600」是否为事先被设定的设定值(比如「2000」)以下(步骤SA7)。在步骤SA7中，当判断最频值为设定值以上时，控制装置CONT就根据事先所设定的偏离值进行增益数据的再设定(步骤SA8)。具体来讲，从最频值「2600」减去偏离值(比如「500」)，将增益数据再设定为「2100」。这是有比如由于在受光部32的周围存在有各种装置(噪音发生源)的噪音及受光部32自身的温度(热度)等原因、增益值即使为「2600」，也有输出「HI」的情况。这样，在检测光的光路上不存在液滴的情况下，为了从受光部32确实得到「伪」的输出信号，对增益值进行下方修正。当设定了增益数据后，受光部32的调整动作就正常结束(步骤SA9)，并返回到主程序(步骤SA10)。

另一方面，在步骤SA7中，当判断最频值为设定值以下时，控制装置CONT就非正常地结束受光部32的调整动作(步骤SA11)，并返回到主程序(步骤SA12)。即，增益值在为规定的范围「4000～、2000」中的最小值的设定值「2000」以下的情况下，就不适合作为增益值，就有可能产生不能顺利地进行其后的非动作喷嘴检测动作的情况。这样，控制装置CONT在决定的最频值为事先所设定的设定值以下的情况下，就非正常地结束受光部32的调整动作。

在这里，受光部32的调整动作的动作结果、即、调整动作是否为正常的结束的结果，就会显示到显示装置40上(参照图1)。

返回到图6，在设定受光部32的增益的调整结束后，控制装置CONT就判断调整动作是否正常地结束了(步骤S6)。当判断调整动作为正常地结束时，控制装置CONT就结束喷头1的压电体元件20的微振动(打印以外的微振动)、即结束喷头1内部的液状体材料的凹凸液面的微振动(步骤S7)。然后，控制装置CONT如采用图4及图5来说明的那样、由投光部31对受光部32进行检测光的照射，一边扫描与投光部31所射出的检测光的光路方向呈交叉方向的喷头1一边使其喷出液滴，进行非动作喷嘴检测动作(步骤S8)。受光部32的输出信号被输出到控制装置CONT，控制装置CONT对来自受光部32的输出信号进行信号处理(数据处理)(步骤S9)。控制装置CONT根据在检测光的光路上喷头1所喷出的液滴的通过、在受光部32的受光量的变化(降低)，来判断喷头1的喷嘴11是否在喷出液滴(步骤S10)。在判断了在多个喷嘴11中没有非动作喷嘴后，控制装置CONT就结束与非动作喷嘴检测有关的一系列的处理(步骤S11)。

另一方面，在步骤S6中，在判断调整动作非正常结束时，控制装置CONT就判断调整动作的再实施次数是否在规定值以内(步骤S12)。在判断调整动作的再实施次数在规定值(比如三次)以内的情况下，控制装置CONT就返回到步骤S5，再实施受光部32的调整动作。另一方面，在步骤S12中，在判断调整动作的再实施次数达到了规定值(比如3次)的情况下，控制装置CONT就将调整动作非正常结束的旨意显示到显示装置40(步骤S13)，并结束处理(步骤S14)。

另外，在步骤S10中，在判断有非动作喷嘴的情况下，控制装置CONT就判断非动作喷嘴检测动作的再实施次数是否在规定值以内(步骤S15)。在判断非动作喷嘴检测动作的再实施次数在规定值(比如两次)以内的情况下，控制装置CONT就进行喷头1的恢复动作(步骤S16)。具体来讲就是通过清洗单元6对喷头1进行清洗动作。然后，在实施了恢复动作后就返回到步骤S8，再实施非动作喷嘴检测动作。另一方面，在步骤S15中，在判断非动作喷嘴检测动作的再实施次数达到了规定值(两次)的情况下，控制装置CONT就将喷头1的喷嘴11没有正常动作的旨意(即有非动作喷嘴的旨意)显示到显示装置40(步骤S17)，并结束处理(步骤S18)。

然后，在进行与非动作喷嘴检测有关的一系列的处理(步骤S1～S18)的期间，运送装置3就将新的基板P运入台面装置2。控制装置CONT就将在步骤S10中被确认为正常动作的喷头1移到台面装置2(制造器件的液滴喷出动作实施位置)，由喷头1将液状体材料的液滴喷到台面装置2所支撑的基板P上。

如以上说明的那样，由于在对台面装置2进行基板P的装载及卸载作业的期间，决定进行检测喷嘴11是否在喷出液滴的非动作喷嘴检测动作，因而就可以将基板P的装载及卸载动作和非动作喷嘴检测动作并行起来进行。这样，就可以在不妨碍制造器件的液滴喷出动作的实施、维持高生产率的状态下来进行非动作喷嘴检测。并且，由于采用被确认为没有非动作喷嘴而进行正常动作的喷头1来制造器件，因而就可以制造具有所希望的性能的器件。

另外，在本实施例中，其结构为：按顺序对台面装置2进行基板P的装载及卸载。这样，通过在每个该装载及卸载作业时进行非动作喷嘴检测动作，就可以有效地抑制生产率的降低，并在将液滴喷到基板P上时，可以经常采用被确认为正常动作的喷头来实施对基板P的液滴喷出动作。

另外，在本实施例中，虽然实施非动作喷嘴检测动作的时间，是在将已描画处理完的基板P从台面装置2卸载下来的同时将新的基板P装载到台面装置2上的时候来进行，但也包括器件制造装置IJ的开始时。

图8为表示本发明的器件制造装置IJ的器件制造工序的一例的图，表示液晶装置的滤色器的制造工序的一例的图。

首先，如图8A所示，在对着透明基板P的一侧的面形成有黑矩阵52。作为该黑矩阵52的形成方法，是通过将没有光透射性的树脂(最好是黑色)根据旋涂等方法涂敷成规定的厚度(比如为2μm左右)来进行的。对于该黑矩阵52的格子所围起来的最小的显示元件、即滤色器元件53，比如将X轴方向的宽度定为30μm、Y轴方向的长度定为100μm左右。

接下来，如图8B所示的那样，由所述喷出装置喷出滤色器用的液状体材料(液滴)54，并使其飞射到滤色器元件53上。关于喷出的液状体材料54的量，定为考虑到加热过程中液状体材料54的体积减少的充分的量。

这样，在将液滴54充填的基板P上的所有的滤色器元件53内后，采用加热器进行使基板P达到规定的温度(比如70℃)的加热处理。通过该加热处理，蒸发液状体材料的溶媒，减少液状体材料的体积。在该体积剧烈减少的情况下，作为滤色器在得到充分的膜的厚度之前反复实施液滴喷出工序和加热工序。通过该处理，液状体材料所包含的溶媒蒸发了，最终只剩下液状体材料所包含的固形部分(功能性材料)并使其膜化，如图8C所示形成了滤色器55。

接下来，使基板P平坦化，并且为了保护滤色器55，如图8D所示的那样覆盖滤色器55及黑矩阵，在基板P上形成保护膜56。在该保护膜56的形成时，也可以采用自旋涂染法、辗转法、前缘法等方法，但也可以和滤色器55的情况同样，采用所述喷出装置。

接下来，如图8C所示，在该保护膜56的整体面上，通过溅射法及真空镀法等形成透明导电膜57。之后，重叠透明导电膜，将像素电极58与所述滤色器元件53对应起来进行重叠。另外，在采用TFT(Thin FilmTransistor)驱动液晶显示板的情况下，就不使用该重叠。

在这样的滤色器的制造中，由于采用了所述喷头1，因而就可以没有障碍地连续地喷出滤色器材料，这样，就可以在形成良好的滤色器的同时，提高生产效率。

另外，在所述喷出装置中，通过恰当地选择液状体，就可以形成电光装置的任意的构成元件。比如，通过将有机EL(Rlectro-Luminescence)元件的形成材料及金属布线的材料的金属浆料、还有微透镜材料、液晶材料等各种材料作为液状体来使用，就可以形成构成电光装置的各种元件。或者，作为电光装置也可以形成SED(Surface-Conduction Electron-Emitter Display)。

下面，对使用上述液滴喷出装置IJ的电光装置的制造方法进行说明。

首先，作为电光装置的构成元件的形成例，对有机EL装置的制造方法进行说明。

图9为通过所述喷出装置制造一部分构成元件的有机EL装置的侧剖面图，首先，说明一下该有机EL装置的大致结构。另外，在这里所形成的有机EL装置为本发明的电光装置的一实施方式。

如图9所示，该有机EL装置301为在由基板311、电路元件部321、像素电极331、堤岸部341、发光元件351、阴极361(对向电极)及密封基板371所构成的有机EL元件302上连接有柔性基板(图示省略)的布线及驱动IC(图示省略)。在基板311上形成有电路元件部321，多个像素电极331排列在电路元件部321上。然后，在各像素电极331之间堤岸部341形成为格子状的，在由堤岸部341所生成的凹部开口344中，形成有发光元件351。在堤岸部341及发光元件351的上部的整体面上形成有阴极361，在阴极361的上面堆积有密封用基板371。

包含有机EL元件的有机EL装置301的制造工序，具有：形成堤岸部341的堤岸部形成工序、和恰当地形成发光元件351的等离子处理工序、形成发光元件351的发光元件形成工序、形成阴极361的对向电极形成工序、在阴极361上堆积密封用基板371来进行密封的密封工序。

发光元件形成工序为通过在凹部开口344、即像素电极331上形成正孔注入层352及发光层353来形成发光元件351，具有正孔注入层形成工序和发光层形成工序。然后，正孔注入层形成工序具有：将形成正孔注入层352的第1组成物(液状体)喷到各像素电极331上的第1喷出工序、将所喷出的第1组成物进行烘干并形成正孔注入层352的第1烘干工序，发光层形成工序具有：将形成发光层353的第2组成物(液状体)喷到正孔注入层352上的第2喷出工序、和将所喷出的第2组成物进行烘干并形成发光层353的第2烘干工序。

在该发光元件形成工序中，在正孔注入层形成工序的第1喷出工序和发光层形成工序的第2喷出工序中采用所述液滴喷出装置IJ。

在该有机EL装置301的制造中，在各构成元件形成的喷出之前，通过事先进行喷头1的喷出动作的检查，也就可以由喷头1将正孔注入层的形成材料、发光层的形成材料分别良好地喷出，这样，就可以提高所得到的有机EL装置301的可靠性。

下面，作为所述构成元件的形成例，来对等离子显示器的制造方法进行说明。

图10为表示由所述液滴喷出装置IJ所制造的一部分构成元件、即地址电极511和总线电极512a的等离子显示器的分解立体图，图10中的符号500为等离子显示器。该等离子显示器500大致由被相互对向配置的玻璃基板501和玻璃基板502、在它们之间所形成的放电显示部510所构成。

放电显示部510集合有多个放电室516，被配置为：在多个放电室516中，红色放电室516(R)、绿色放电室516(G)、兰兰色放电室516(B)这三个放电室516为一组，构成一个像素。

在所述(玻璃)基板501的上面，在规定的间隔形成有条纹状的地址电极511，电介质以覆盖这些电极511和基板501的上部的形式而形成，还有，在电介质519的上面，位于电极511、511之间形成有沿着各地址电极511的间壁515。另外，在间壁515中，在其较长的方向的规定的位置中，形成有：与地址电极511呈正交方向但被规定的间隔所隔开、(图示省略)基本上与地址电极511的宽度方向的左右两侧相接邻的间壁、和通过被与地址电极511呈正交方向所延伸设置的间壁所隔开的长方形状的区域，对应这些长方形状的区域形成有放电室516，这些长方形状的区域三个为一对构成一个像素。另外，在间壁515所划分的长方形状的区域的内侧，配置有荧光体517。荧光体517发出红、绿、兰中的任何一种的荧光，分别在红色放电室516(R)的底部配置有红色荧光体517(R)、在绿色放电室516(G)的底部配置有绿色荧光体517(G)、在兰色放电室516(B)的底部配置有兰色荧光体517(B)。

接下来，在所述玻璃基板502方面，在与上面所述的地址电极511呈正交的方向上，在规定的间隔形成有条状的由多个ITO(Indium TinOxide)构成的透明显示电极512的同时，为了弥补高电阻的ITO，形成有由金属构成的总线电极512a。另外，形成有覆盖这些的电介质层513，并且还形成有由MgO等构成的保护膜514。

然后，将所述基板501和玻璃基板502的基板2和相互与所述地址电极511…和显示电极512呈正交对向并相互粘合起来，通过将基板501和间壁515和在玻璃基板502方面所形成的保护膜514所围起来的空间部分进行排气、装入稀有气体，形成放电室516。另外，形成对各放电室516均配置两根在玻璃基板502方面所形成的显示电极512。

所述地址电极511和显示电极512与图中省略的交流电源相连接，在必要位置的放电显示部510中，通过对各电极通电，激励荧光体517发光，就可以进行彩色显示。

然后，在本例中，特别是对于所述地址电极511和总线电极512a及荧光体517，分别采用前面所述的液滴喷出装置来形成。即、关于这些地址电极511及总线电极512a，特别从有利于该图像重叠出发、是通过将金属浆料材料(比如金浆料及银浆料)及导电性微颗粒(比如金属微颗粒)进行分散所形成的液状体喷出、烘干、烧结所形成。另外，关于荧光体517，也是通过将荧光体材料溶解为溶媒或分散为分散媒的液状体材料(液状体)喷出、烘干、烧结所形成。

在该等离子显示器500的制造中，也是通过在地址电极511、总线电极512a的形成及荧光体517的形成的喷出之前，事先进行喷头1的喷出动作的检查，就可以由喷头1分别良好地喷出各电极511、512a的形成材料(液状材料)、荧光体517的形成材料(液状材料)，这样，就可以提高所得到的等离子显示器500的可靠性。

下面，作为所述构成元件的形成例，对导电膜布线图形(金属布线图形)的形成方法进行说明。图11为表示导电膜布线图形的形成方法的例子的流程图。

在图11中，与本例有关的图形的形成方法，具有：采用规定的溶媒等清洗被配置了液体材料(液状体)的液滴的基板的工序(步骤SB1)、构成基板的表面处理工序的一部分的斥液化处理工序(步骤SB2)、构成调整被斥液化处理的基板表面的斥液性的表面处理工序的一部分的斥液性控制处理工序(步骤SB3)、根据液滴喷出法将包含导电膜布线形成用材料的液体材料的液滴配置到被进行了表面处理的基板上、描画(形成)膜图形的材料配置工序(步骤SB4)、包含除去被配置在基板上的液体材料的溶媒成分的至少一部分的热、光处理的中间烘干处理工序(步骤SB5)、烧结被描画了规定的图形的基板的烧结工序(步骤SB7)。另外，在中间烘干处理工序之后，就判断规定的图形描画是否结束(步骤SB6)，在图形描画结束后就进行烧结工序，另一方面，如果图形描画没有结束的话就进行材料配置工序。

下面，根据所述液滴喷出装置IJ的液滴喷出法，对材料配置工序(步骤SB4)进行说明。本例的材料配置工序为：通过所述液滴喷出装置IJ的液滴喷头1，将包含导电膜布线形成用材料的液体材料的液滴喷到基板P上，在基板P上并排地形成多个线状的膜图形(布线图形)的工序。液体材料为将导电膜布线形成用材料的金属等的导电性微颗粒分散为分散媒的液状体。在以下的说明中，对在基板P上形成三个的第1、第2及第3的膜图形(线状图形)W1、W2及W3的情况进行说明。

图12、图13及图14为说明在本例的基板P上配置液滴的顺序的一例的图。在这些图中，在基板P上设定有具有为配置了液体材料的液滴的格子状的多个单位区域的像素的位图。在这里，一个像素被设定为正方形。而且，设定有形成在这些多个像素中对应规定的像素的第1、第2、第3膜图形W1、W2、W3的第1、第2、第3图形形成区域R1、R2、R3。这些多个图形形成区域R1、R2、R3被设定为沿X轴方向并排。另外，在图12～图14中，图形形成区域R1、R2、R3为画有斜线的区域。

另外，设定将设置在液滴喷出装置IJ的喷头1上的多个喷嘴中的第1喷嘴11A所喷出的液体材料的液滴配置到基板P上的第1图形形成区域R1内。同样，设定将设置在液滴喷出装置IJ的喷头1上的多个喷嘴中的第2、第3喷嘴11B、11C所喷出的液体材料的液滴配置到基板P上的第2、第3图形形成区域R2、R3内。即、为了分别对应第1、第2、第3图形形成区域R1、R2、R3而设定喷嘴11A、11B、11C的。然后，喷头1按顺序将多个液滴配置到所设定的多个图形形成区域R1、R2、R3的分别的多个像素位置上。

而且，设定在第1、第2、第3图形形成区域R1、R2、R3的各个区域中，将在这些图形形成区域R1、R2、R3中应形成的第1、第2、第3膜图形W1、W2、W3从线宽度方向的一方的一侧(-X侧)的第1侧部图形Wa开始形成，接下来，形成另外一方的一侧(+X侧)的第2侧部图形Wb，在形成该第1、第2侧部图形Wa、Wb之后，形成线宽度方向中央部的中央图形Wc。

在本例中，各膜图形(线状图形)W1～W3的各个图形、及各图形形成区域R1～R3的各个区域具有同样的线宽度L，该线宽度L被设定为三个像素量的大小。另外，各图形之间的空间部分的各空间也被设定为同样的宽度S，该宽度S也被设定为三个像素两的大小。然后，为喷嘴11A～11C彼此的间隔的喷嘴间距被设定为六个像素量。

在下面的说明中，具有喷嘴11A、11B、11C的喷头1是一边沿Y轴方向进行扫描一边将液滴喷到基板P上的。而且，在采用图12～图14的说明中，在第1次扫描时对被配置的液滴付与「1」，在第2次、第3次、…第n次扫描时对被配置的液滴付与「2」、「3」、…「n」。

如图12A所示，在第1次扫描中，为了分别对第1、第2、第3图形形成区域R1、R2、R3形成第1侧部图形Wa，在第1侧部图形形成预定区域空开一个像素量，由第1、第2、第3喷嘴11A、11B、11C同时配置液滴。另外，在由各喷嘴11A、11B、11C喷出液滴时，在其喷出之前事先检查喷头1的喷出动作。在这里，对基板P所配置的液滴通过飞射到基板P上，在基板P上濡湿展开。即、如图12A中用圆圈所示的那样，飞射到基板P上的液滴具有比一个像素的大小要大的直径C的那样进行濡湿展开。由于设定液滴是在Y轴方向中空开规定的间隔(一个像素量)被配置的，因而在基板P上所配置的液滴彼此无论如何是不会重叠的。这样，在Y轴方向中，就可以预防液滴材料被过量地设定到基板P上，防止***的发生。

另外，在图12A中，在基板P上所配置的液滴彼此无论如何是不会重叠来配置的，但仅有一点点液滴被重叠配置的话也没有关系。另外，在这里，空开一个像素量来配置液滴，但也可以空开两个以上的任意数的像素量来配置液滴。在这一情况，增加喷头1对基板P的扫描动作及配置动作(喷出动作)，***基板上的液滴彼此之间就可以。

另外，由于通过步骤SB2及步骤SB3，基板P的表面被事先加工为所希望的斥液性，因而就可以抑制配置到基板P上的液滴的过量的展开。因此，就可以在将图形形状确切地控制在良好的状态下的同时也容易厚膜化。

图12(b)为通过第2次的扫描由喷头1将液滴配置到基板P上时的模式图。另外，在图12(b)中，在第2次扫描时，对被配置的液滴付与「2」。在第2次扫描时，配置为由各喷嘴11A、11B、11C同时将液滴***到第1次扫描时所配置的液滴「1」的之间。然后，通过第1次及第2次的扫描及配置动作使液滴彼此连续，分别在第1、第2、第3图形形成区域R1、R2、R3中形成第1侧部图形Wa。在这里，液滴「2」也通过飞射到基板P上濡湿展开，液滴「2」的一部分和先被配置到基板P上的液滴「1」的一部分互相重叠。具体来讲，液滴「2」的一部分重叠到液滴「1」的上面。另外，在该第2次的扫描中，在各喷嘴11A、11B、11C喷出液滴时，在其喷出之前，也可以事先检查喷头1的喷出动作。

在这里，在基板P上配置了形成第1侧部图形Wa的液滴后，为了实施除去分散媒，根据需要就可以进行中间烘干处理(步骤SB5)。中间烘干处理比如在采用热片、电炉及热风发生器等的加热装置的一般的热处理以外，也可以为采用灯泡烘干的光处理。

接下来，喷头1和基板P沿X轴方向只进行两个像素大小的量的相对移动。在这里，喷头1对基板P沿X方向只进行两个像素量的行程移动。与此相随，喷嘴11A、11B、11C也进行移动。然后，喷头1进行第3次扫描。这样，如图13A所示，形成分别构成膜图形W1、W2、W3的一部分的第2侧部图形Wb的液滴「3」，就被各喷嘴11A、11B、11C同时配置到对第1侧部图形Wa沿X轴方向空开间隔的基板P上。在这里，液滴「3」也沿Y轴方向空开一个像素被配置。另外，在该第3次扫描中，在各喷嘴11A、11B、11C喷出液滴时，也在该喷出之前，事先检查喷头1的喷出动作。

图13B为通过第4次扫描由喷头1将液滴配置到基板P上时的模式图。另外，在图13B中，在第4次扫描时，为对被配置的液滴付与「4」。在第4次扫描时，配置由各喷嘴11A、11B、11C同时将液滴***在第3次扫描时所配置的液滴「3」的之间。然后，通过第3次及第4次的扫描及配置动作使液滴彼此连续，分别在图形形成区域R1、R2、R3中形成第2侧部图形Wb。在这里，液滴「4」的一部分和先被配置到基板P上的液滴「3」的一部分互相重叠。具体来讲，液滴「4」的一部分重叠到液滴「3」的上面。另外，在该第4次扫描中，在各喷嘴11A、11B、11C喷出液滴时，在其喷出之前，也可以事先检查喷头1的喷出动作。

在这里，在基板P上配置了形成第1侧部图形Wa的液滴后，为了实施除去分散媒，根据需要就可以进行中间烘干处理。

接下来，喷头1对基板P沿X方向只进行一个像素量的行程移动。与此相随，喷嘴11A、11B、11C也沿X方向只进行一个像素量的移动。然后，喷头1进行第5次扫描。这样，如图14A所示的那样，形成分别构成膜图形W1、W2、W3的一部分的中央图形Wc的液滴「5」，就被同时配置到基板P上。在这里，液滴「5」也沿Y轴方向空开一个像素被配置。在这里，液滴「5」的一部分和先被配置到基板P上的液滴「1」、「3」的一部分互相重叠。具体来讲，液滴「5」的一部分重叠到液滴「1」、「3」的上面。另外，在该第5次扫描中，在各喷嘴11A、11B、11C喷出液滴时，在该喷出之前，也可以事先检查喷头1的喷出动作。

图14B为通过第6次扫描由喷头1将液滴配置到基板P上时的模式图。另外，在图14B中，在第6次扫描时，对被配置的液滴付与「6」。在第6次扫描时，配置为由各喷嘴11A、11B、11C同时将液滴***在第5次扫描时所配置的液滴「5」的之间。然后，通过第5次及第6次的扫描及配置动作使液滴彼此连续，分别在图形形成区域R1、R2、R3中形成中央图形Wc。在这里，液滴「6」的一部分和先被配置到基板P上的液滴「5」的一部分互相重叠。具体来讲，液滴「6」的一部分重叠到液滴「5」上。并且，液滴「6」的一部分重叠到先被配置到基板P上的液滴「2」、「4」的上面。另外，在该第6次扫描中，在各喷嘴11A、11B、11C喷出液滴时，在其喷出之前，也可以事先检查喷头1的喷出动作。

由此，分别在图形形成区域R1、R2、R3中形成膜图形W1、W2、W3。

如以上所说明的那样，将多个液滴按顺序配置到图形形成区域R1、R2、R3中，在形成几乎相同形状的膜图形W1、W2、W3时，由于对各图形形成区域R1、R2、R3的各自的多个像素同样地设定了配置液滴的配置顺序，即使在各液滴「1」～「6」分别被重叠一部分来配置的情况下，该重叠形态在各膜图形W1、W2、W3为同样的，因此就可以使各膜图形W1、W2、W3的外观成为一样。这样，就可以抑制各膜图形W1、W2、W3彼此之间发生外观上的不均匀。

然后，由于液滴的配置顺序分别对各膜图形W1、W2、W3为一样的，分别对各膜图形W1、W2、W3的液滴的配置(液滴之间的重叠形状)为一样的，因而就可以抑制发生外观上的不均匀。

而且，由于在各个膜图形W1、W2、W3中的液滴彼此的重叠形状被设定为同样的，因而就可以使各个膜图形的膜厚分布大致相同。这样，在该膜图形为在基板的表面方向上被反复重复的图形的情况下、具体来讲，比如为对应显示装置的像素被设置多个图形的情况下，各像素就分别具有同样的膜厚分布。这样，在基板的表面方向的各位置中，就可以发挥一样的功能。

另外，由于在形成第1、第2侧部图形Wa、Wb后，配置了形成添入该之间的中央图形Wc的液滴「5」、「6」，因而就可以使各膜图形W1、W2、W3的线宽度几乎均等地形成。即、在基板P上形成中央图形Wc后，在配置了形成侧部图形Wa、Wb的液滴「1」、「2」、「3」、「4」的情况下，由于产生这些液滴被引向先在基板P上形成的中央图形Wc的现象，因而就会产生很难控制各膜图形W1、W2、W3的线宽度的情况，但如本实施例那样，由于先在基板P上形成侧部图形Wa、Wb后，配置了形成添入该之间的中央图形Wc的液滴「5」、「6」，因而就可以很精确地进行各膜图形W1、W2、W3的线宽度的控制。

另外，也可以在形成中央图形Wc后形成侧部图形Wa、Wb。在这一情况，通过分别对各膜图形W1、W2、W3实施同样的液滴配置顺序，就可以抑制各图形彼此之间发生外观上的不均匀。

即使在形成这样的导电膜布线图形(金属布线图形)时，在喷出之前，通过事先检查喷头1的喷出动作，就可以良好地喷出液滴，这样，就可以提高所得到的导电膜布线图形的可靠性。

下面，作为所述构成元件的形成例，对微透镜的制造方法进行说明。

在本例中，首先，如图15A所示，由所述液滴喷出装置IJ的喷头1将由光透射性树脂所形成的液滴22a喷到基板P上，并将其进行涂敷。而且，在各喷头1将液滴622a喷出时，在其喷出前，事先进行喷头1的喷出动作的检查。

作为基板P，将所得到的微透镜比如适用于滤色器用的光学膜的情况下，可以使用由醋酸纤维素及丙醇纤维素等的纤维素系列树脂、聚氯乙烯、聚乙烯、聚丙烯、聚脂等透明树脂(光透射性树脂)构成的光透射性片或光透射性薄膜。另外，作为基板，也可以使用由玻璃、聚碳酸脂、聚芳化合物、聚醚硫、非晶体聚烯、聚乙烯对酞酸盐、聚甲烯酸甲脂、等透明材料(光透射性材料)构成的基板。

作为光透射性树脂，可以列举：聚甲烯酸甲脂、聚氢基己基甲基丙烯盐酸、聚甲基丙烯酸环己酯等的丙烯基系列树脂、聚双烯丙基碳酸己二醇酯、聚碳酸盐等的烯丙基系列树脂、甲基丙烯树脂、聚氨酯系列树脂、聚氯乙烯系列树脂、聚醋酸乙烯系列树脂、聚酯系列树脂、纤维系列树脂、聚酰胺系列树脂、氟素系列树脂、聚丙烯系列树脂、聚苯乙烯系列树脂等的热可朔性及热固化性的树脂，可以采用这些中的一种、或混合采用数种。

但在本例中，作为光透射性树脂，特别采用了放射线照射固化型的材料。该放射线照射固化型的材料为将联二咪唑系列的化合物等的光聚合开始剂配合到所述的光透射性树脂内的材料，通过配合这样的光聚合开始剂，就被赋予了放射线照射固化。所谓放射线，为紫外线、远紫外线、X线、电子线等的总称，一般特别采用紫外线。

根据所希望的一个微透镜的大小，将这样的放射线照射固化型的光透射性树脂的液滴622a一个或多个喷到基板P上。于是，该液滴622a所形成的光透射性树脂623，根据其表面张力，就形成如图15(a)所示的那样的凸形状(略呈半球状)的样子。这样一来，对应形成一个微透镜喷涂规定的量的光透射性树脂，并且，根据所希望的微透镜的个数量在进行了该涂敷处理后，就对这些光透射性树脂623照射紫外线等放射线，如图15B所示，使其固化，成为固化体623a。还有，由喷头1所喷出的液滴622a的每一滴的容量，根据喷头1及喷出的液体材料也是为不同的，通常为1pL-20pL左右。

接下来，如图15C所示，由喷头1将分散的多个光扩散性微颗粒626的液滴622b按所希望的个数喷到这些固化体623a的每个上，使其付着在固化体623a的表面上。作为光扩散性微颗粒626，可以列举：二氧化硅、氧化铝、丙烯基树脂、有机硅树脂、聚苯乙烯、尿素树脂、甲醛缩合物等的微颗粒，可以采用这些中的一个、或混合采用数种。但为了发挥光扩散性微颗粒626的充分的光扩散性，在该微颗粒为光透射性的情况下，其折射率要和所述光透射性树脂的折射率要有充分的差的必要。这样，在光扩散性微颗粒626为光透射性的情况下，为了满足这样的条件，根据使用的光透射性树脂，适宜地进行选择并使用。

这样的光扩散性微颗粒626，是通过事先被分散于适宜的溶剂(比如光透射性树脂所使用的溶剂)内，就被调整为喷头1可喷出的液体。这时，通过用界面活性剂将光扩散性微颗粒626的表面进行包复处理、或用溶解树脂进行覆盖处理，就可以理想地提高对光扩散性微颗粒626的溶剂的分散性，通过进行这样的处理，就可以对光扩散性微颗粒626附加从喷头1喷出的良好的流动性。另外，作为进行表面处理的界面活性剂，根据光扩散微颗粒624的种类，可以适宜地选择阳离子、阴离子、非离子、两性、硅系列、氟树脂系列等来使用。

还有，作为这样的光扩散性微颗粒626，最好采用其粒子的直径为200nm以上、500nm以下的。如果定为这样的范围的话，通过粒径为200nm以上，就可以良好地确保其光扩散性；通过粒径为500nm以下，就可以从喷头1的喷嘴良好地喷出。

另外，对于喷出分散了光扩散性微颗粒626的液滴622b，也可以采用和喷出光透射性树脂的液滴22a的喷头1同样的方法，也可以采用其他的方法。在采用同样方法的情况下，就可以简化包含有喷头1的装置结构。另一方面，在采用其他方法的情况下，可以分别对各液体(由光透射性树脂构成的液体和由光扩散性微颗粒24构成的液体)使用专用的喷头，在改换涂敷的液体时就没有必要进行喷头的清洗等，就可以提高生产率。

在这之后，通过加热处理、减压处理、及加热减压处理，来蒸发分散了光扩散性微颗粒624的液滴622b中的溶剂。于是，固化体623a的表面根据液滴622b的溶剂而软化，在这里，通过付着光扩散性微颗粒626、伴随着溶剂蒸发、固化体623a的表面再次固化，光扩散性微颗粒624就被固定在光透射性树脂的固化体623a的表面。然后，通过象这样将光扩散性微颗粒624固定在固化体623a的表面，就可以如图15D所示的那样使光扩散性微颗粒624分散到其表面部，就可以得到本发明的微透镜。

在这样的微透镜625的制造方法中，也在喷出之前，通过事先检查喷头1的喷出动作，就可以良好地喷出液滴622a、622b，这样，就可以提高所得到的微透镜625的可靠性。

另外，由于采用液体喷射法来形成由光透射性树脂623和光扩散性微颗粒624构成的凸形状(略呈半球状)的微透镜，因而在采用模具成型法及注模成型法的情况下所使用的成型模具就没有必要了，而且材料的损耗几乎没有。这样，就可以谋求制造成本的降低化。还有，由于所得到的微透镜625为凸形状(略呈半球状)，因而就可以使该微透镜、比如通过360o这一宽广的角度范围(方向)几乎进行均匀的光扩散，并且，通过将光扩散微颗粒性626复合化，就可以将高扩散性能赋予所得到的微透镜。

下面，作为所述构成元件的形成例，对具有电子发射元件的图像显示装置的制造方法进行说明。

图16A及B所示的基体70A，为通过所述液滴喷出装置IJ的处理、成为形成构成元件的一部分的图像显示装置的电子源基板70B的基板。基体70A具有被配置为矩阵状的多个被喷出部78。

具体来讲，基体70A具有：基板72和位于基板72上的钠扩散防止层74、位于钠扩散防止层74上的多个元件电极76A、76B、位于多个元件电极76A上的多个金属布线79A、位于多个元件电极76B上的多个金属布线79B。多个金属布线79A分别具有沿Y轴方向伸展的形状。多个金属布线79B分别具有沿X轴方向伸展的形状。由于在金属布线79A和金属布线79B之间形成有绝缘膜75，因而金属布线79A和金属布线79B在电上被绝缘。

包含一对元件电极76A及元件电极76B的部分对应一个像素区域。一对元件电极76A及元件电极76B相互只离开规定的间隔，对向于钠扩散防止层74上。对应某个像素区域的元件电极76A，与对应的金属布线79A在电上相连接。另外，对应该像素区域的元件电极76B与对应的金属布线79B在电上相连接。另外，在本说明书中，也有将包含基板72和钠扩散防止层74的部分表述为支撑基板的。

在基体70A的各个像素区域中，元件电极76A的一部分和元件电极76B的一部分和在元件电极76A和元件电极76B之间露出的钠扩散防止层74与被喷出部78相对应。更具体地来讲，被喷出部78为应形成导电性薄膜411F(参照图17B)的区域，导电性薄膜411F以覆盖元件电极76A的一部分和元件电极76B的一部分、元件电极76A、76B之间的空隙的形式所构成。在图16B中，如虚线所示的那样，本例的被喷出部78的形状为圆形。

在图16B中所示的基体70A，位于和根据X轴方向及Y轴方向所规定的假想平面平行的位置。并且，多个被喷出部78所形成的矩阵的行方向及列方向分别和X轴方向及Y轴方向相平行。在基体70A中，被喷出部78根据该顺序周期性地与X轴方向并行。而且，被喷出部78隔开规定的间隔与Y轴方向呈一列并行。

沿被喷出部78彼此的X轴方向的间隔LRX，大致为190μm。被喷出部78彼此的上述间隔及被喷出部78的上述大小，在40英寸左右大小的高视觉电视机中，与像素区域彼此的间隔相对应。

前面所述的液滴喷出装置IJ，将作为液状材料(液状体)的导电性薄膜材料411喷到图16A及图16B的基体70A的各个被喷出部78。作为该导电性薄膜材料411比如可以采用有机钯溶液。

在采用液滴喷出装置IJ制造图像显示装置时，首先，在碳酸钠玻璃等所形成的基板72上形成以二酸化硅素(SIO2)为主要成分的钠扩散防止层74。具体来讲，通过采用溅射法，在基板72上形成厚度为1μm的SIO2膜，得到钠扩散防止层74。接下来，通过溅射法或真空蒸镀法，在钠扩散防止层74上形成厚度5nm的钛层。然后，采用光刻技术及蚀刻技术，根据该钛层，形成数对的相互位于只离开规定的距离的一对元件电极76A及元件电极76B。在这之后，采用荧光屏打印技术，通过将银(Ag)浆涂敷到钠扩散防止层74上及多个元件电极76A上并进行烧结，就形成了向Y轴方向延伸的多个金属布线79A。接下来，通过采用荧光屏打印技术，将玻璃浆涂敷到各金属布线79A的一部分上并烧结，就形成了绝缘膜75。然后，通过采用荧光屏打印技术，将Ag浆涂敷到钠扩散防止层74上及多个元件电极76B上并进行烧结，就形成了向X轴方向延伸的多个金属布线79B。另外，在制作金属布线79B的情况下，为了使金属布线79B通过绝缘层75与金属布线79A交叉而涂敷Ag浆。通过以上的工序，就可以得到在图16A及图16B中所示的基体70A。

接下来，通过大气压下的氧等离子处理，将基体70A进行亲液化。通过该处理，在元件电极76A的表面的一部分和元件电极76B的表面的一部分、和在元件电极76A和元件电极76B之间露出的支撑基板的表面就被亲液化。然后，这些表面就成为了被喷出部78。另外，根据材质，也可以不进行上述那样的表面处理，就可以得到呈现所希望的亲液性的表面。在这样的情况，即使不实施上述表面处理，元件电极76A的表面的一部分和元件电极76B的表面的一部分、在元件电极76A和元件电极76B之间露出的钠扩散防止层74的表面也会形成被喷出部78。

形成被喷出部78的基体70A，通过运送装置，被运送到液滴喷出装置IJ的台面上。然后，如图17A所示，液滴喷出装置IJ由喷头1喷出导电性薄膜材料411，使被喷出部78的整体形成导电性薄膜411F。另外，在喷出该导电性薄膜材料411时，在其喷出前，事先进行喷头1的喷出动作的检查。

在本例中，喷头1是使飞射到被喷出部78上的导电性薄膜材料411的液滴的直径在60μm至80μm的范围内来进行喷出的。在使基体70A的被喷出部78的整体形成导电性薄膜材料411的层的情况下，运送装置将基体70A置于烘干装置内。然后，通过完全烘干被喷出部78的导电性薄膜材料411，就可以在被喷出部78上得到以钯为主要成分的导电性薄膜411F。这样，在各个像素区域中，就形成了覆盖元件电极76A的表面的一部分和元件电极76B的表面的一部分、在元件电极76A和元件电极76B之间露出的钠扩散防止层74的导电性薄膜411F。

接下来，在元件电极76A和元件电极76B之间，通过施加脉冲状的规定的电压，在导电性薄膜411F的一部分上就会形成电子发射部411D。另外，最好在有机物气氛下及也可以在真空条件下分别进行在元件电极76A和元件电极76B之间施加电压。因为这样，电子发射部411D的电子发射效率就会变的更高。元件电极76A、和对应的元件电极76B、被设置了电子发射部411D的导电性薄膜411F为电子发射元件。还有，每个电子发射元件分别与每个像素区域相对应。

通过以上的工序，如图17B所示，基体70A就成为电子源基板70B。

接下来，如图17C所示，通过根据众所周知的方法，将电子源基板70B和前面基板70C粘合起来，就可以得到具有电子发射元件的图像表面装置70。前面基板70C具有：玻璃基板82、和在玻璃基板82上处于矩阵状的多个荧光部84、覆盖多个荧光部84的金属板极86。金属板极86是作为将来自电子发射部411D的电子束进行加速的电子发射元件来发挥功能的。电子源基板70B和前面基板70C，位于使多个电子发射元件分别与多个荧光部8相对向的位置上。另外，在电子源基板70B和前面基板70C之间保持为真空状态。

在具有这样的电子发射元件的图像显示装置的制造方法中，在喷出之前，也通过事先进行喷头1的喷出动作的检查，就可以良好地喷出导电性薄膜材料411，这样，就可以提高所得到的图像显示装置的可靠性。

根据本发明的液滴喷出装置IJ，就可以制造上述液晶装置及有机EL装置等电光装置(器件)。下面，对于具有液滴喷出装置的器件制造装置IJ所制造的电光装置的电子设备的适用例进行说明。

图18A为表示便携式电话机的例子的立体图。在图18A中，符号1000表示移动电话机主体，符号1001表示采用了上述的电光装置的显示部。图18B为表示手表型电子设备的例子的立体图。在图18B中，符号1100表示手表本体，符号1101表示采用了上述的电光装置的显示部。图18C为表示文字处理机、个人计算机等便携式信息处理装置的例子的立体图。在图18C中，符号1200表示信息处理装置、符号1202表示键盘等的输入部、符号1204表示信息处理装置主体、符号1206表示采用了上述的电光装置的显示部。在图18A～图18C中所表示的电子设备，由于具有上述实施例的电光装置，因而为显示品格优秀、可以实现具有明亮画面的显示部的电子设备。

另外，在上述的例子的基础上，作为其他的例子，可以列举具有：液晶电视机、取景器型及监视器直视型的磁带录像机、汽车驾驶导航装置、寻呼机、电子记事本、台式电子计算机、文字处理机、工作站、电视电话、POS终端、电子报纸、触摸频的设备等。作为这样的电子设备的显示部，本发明的电光装置也可以适用。

Claims (13)

1.一种器件制造装置，其特征在于：具有：

喷出包含功能性材料的液状体的喷头、

支撑被喷射所述液状体的基板并可以相对所述喷头移动的台面装置、

运送所述基板的运送装置、

被设置在与所述台面装置不同的位置上并检测从形成在所述喷头上的喷嘴喷出的所述液状体的喷出状态的检测装置、

从所述台面装置向所述检测装置可以移动所述喷头的驱动装置、和

在运送所述基板的期间，执行由所述检测装置进行检测动作的控制装置。

2.根据权利要求1所述的器件制造装置，其特征在于：

所述检测装置具有：射出检测光的投光部、和可以接收所述投光部所射出的所述检测光的受光部，

所述受光部，根据由于所述液状体通过所述检测光的光路而发生的所述检测光的在该受光部的受光量的变化，判断所述喷嘴是否在喷出所述液状体。

3.根据权利要求2所述的器件制造装置，其特征在于：所述控制装置在规定的时间进行所述受光部的调整。

4.根据权利要求1所述的器件制造装置，其特征在于：具有进行所述喷嘴的恢复动作的恢复装置。

5.根据权利要求4所述的器件制造装置，其特征在于：所述控制装置对应所述检测装置的检测结果进行所述恢复动作，再实施规定次数的检测。

6.根据权利要求1所述的器件制造装置，其特征在于：具有显示所述检测装置的检测结果的显示装置。

7.根据权利要求1所述的器件制造装置，其特征在于：具有多个所述喷头。

8.根据权利要求1所述的器件制造装置，其特征在于：所述器件包含液晶显示元件、有机电致发光元件、等离子显示元件、电子发射元件、光学元件及导电膜元件中的至少一种。

9.一种器件的制造方法，其特征在于：包括：

由台面装置支撑基板并由喷头的喷嘴将包含功能性材料的液状体喷到所述基板上的工序、

从所述台面装置向被设置在与所述台面装置不同的位置上的检测装置移动所述喷头的工序、

运送所述基板的运送工序、

在运送所述基板的动作中由所述检测装置检测所述喷嘴所喷出的所述液状体的喷出状态的检测工序。

10.根据权利要求9所述的器件的制造方法，其特征在于：

将检测光照射到受光部，根据由于所述液状体通过所述检测光的光路而发生的所述检测光的在该受光部的受光量的变化，判断所述喷嘴是否在喷出所述液状体。

11.根据权利要求10所述的器件的制造方法，其特征在于：在规定的时间进行所述受光部的调整。

12.一种电子设备，其特征在于：具有用权利要求1所述的器件制造装置所制造的器件。

13.一种电子设备，其特征在于：具有用权利要求9所述的器件的制造方法所制造的器件。

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