CN118116849A - 搬运车***控制方法和搬运车***控制设备 - Google Patents

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Abstract

提供了能够防止运输延迟的搬运车***控制方法和搬运车***控制设备，所述搬运车***控制方法包括步骤：(a)执行上级通信，以在正常状态下通过使用无线通信从轨道控制器或沿着轨道的导轨移动并经由所述轨道或供电电缆供应有电力的搬运车来接收双向信息；(b)确定是否已经发生了上级通信被禁用的异常状态；(c)当确定已经发生所述异常状态时，确定电流是否正在被施加到所述轨道或所述供电电缆；以及(d)当确定电流正在被施加到所述轨道或所述供电电缆时，维持所述搬运车或所述轨道控制器的操作而不关闭相应通道以防止运输延迟。

Description

搬运车***控制方法和搬运车***控制设备
相关申请的交叉引用
本申请要求于2022年11月30日在韩国知识产权局提交的第10-2022-0164393号韩国专利申请的权益，该韩国专利申请的公开内容通过引用整体并入本文中。
技术领域
本发明涉及一种搬运车***控制方法和一种搬运车***控制设备，并且更具体地，涉及一种能够防止运输延迟的搬运车***控制方法和搬运车***控制设备。
背景技术
半导体产品通过数百种工艺制造，并且在半导体制造工艺期间发生了数十万次的运输。为了防止半导体材料在运输期间的污染、损坏和交付错误，半导体生产线使用高架吊升运输(overhead hoist transport，OHT)***作为运输自动化***。
OHT***是用于在大量半导体工艺之间自动运输的***，并且用于沿着安装在天花板上的轨道将存储在前开式晶圆传送盒(FOUP)中的晶圆运输到不同生产工艺的制造装备。
OHT***可以包括沿着导轨移动并经由使用沿着导轨提供的供电电缆以无线方式供应有电力的搬运车，并且可以由用于通过以无线方式从每个搬运车接收诸如电力状态信息或操作状态信息的反馈信息来执行上级通信的上级服务器来操作和管理。
通常，当安装在搬运车中的上级通信模块具有错误或操作异常时，尽管搬运车可以正常移动，但是上级服务器确定在相应通道上已经发生了严重事故，并且通过关闭整个相应通道并向操作员提供通知来采取用于紧急情况的后续措施。
然而，这些用于紧急情况的后续措施导致包括相应通道的各处的运输延迟，直到关闭的通道恢复，并且因此发生诸如运输效率和生产率的显著降低的许多问题。
发明内容
本发明提供了一种搬运车***控制方法和一种搬运车***控制设备，其能够在不关闭相应通道的情况下持续保持搬运车或轨道控制器的操作，以通过在上级通信被禁用并且电力正常供应到供电电缆时确定上级通信模块的错误来防止运输延迟。然而，上述描述是示例，并且本发明的范围不限于此。
根据本发明的一方面，提供了一种由上级服务器执行的搬运车***控制方法，所述搬运车***控制方法包括步骤：(a)执行上级通信，以在正常状态下通过使用无线通信从轨道控制器或沿着轨道的导轨移动并经由所述轨道或供电电缆供应有电力的搬运车来接收双向信息；(b)确定是否已经发生了所述上级通信被禁用的异常状态；(c)当确定已经发生所述异常状态时，确定电流是否正在被施加到所述轨道或所述供电电缆；以及(d)当确定电流正在被施加到所述轨道或所述供电电缆时，维持所述搬运车或所述轨道控制器的操作而不关闭相应通道以防止运输延迟。
在步骤(a)中，通过使用谐振频率值，所述搬运车可以经由所述供电电缆以无线电力传输方式被供应有电力。
在步骤(a)中，所述双向信息可以包括指示所述搬运车或所述轨道控制器的电流状态的反馈信息。
在步骤(b)中，所述上级服务器可以通过使用所述双向信息是否存在来确定所述正常状态或所述异常状态。
在步骤(c)中，所述上级服务器可以通过使用向所述轨道或所述供电电缆施加电流的供电单元或另一相邻搬运车的所述双向信息来确定电力是否正在被施加。
所述搬运车***控制方法还可以包括步骤：(e)在维持所述搬运车或所述轨道控制器的操作的同时输出通知信号或跟踪命令信号。
在步骤(e)中，当电流正在被施加到所述轨道或所述供电电缆并且所述搬运车正在移动时，所述上级服务器可以确定通信的错误，并且向所述搬运车发送返回命令或通信检查命令。
在步骤(e)中，当电流正在被施加到所述轨道或所述供电电缆并且所述搬运车不能移动时，所述上级服务器可以确定运动的错误，并且向操作员或牵引车辆发送牵引命令。
所述搬运车可以是用于运输半导体基底或显示板的高架吊升运输机(OHT)，并且所述轨道控制器可以是安装在导轨的弯曲区段、拆分区段或组合区段处的交通信号灯。
所述搬运车***控制方法还可以包括步骤：(f)当确定到所述轨道或所述供电电缆的电流被切断时，关闭所述相应通道以防止运输事故。
根据本发明的另一方面，提供了一种搬运车***控制设备，所述搬运车***控制设备包括：上级通信器，用于执行上级通信，以在正常状态下通过使用无线通信从轨道控制器或沿着轨道的导轨移动并经由所述轨道或供电电缆供应有电力的搬运车来接收双向信息；通信禁用确定器，用于确定是否已经发生了所述上级通信被禁用的异常状态；电流施加确定器，用于当确定已经发生所述异常状态时，确定电流是否正在被施加到所述轨道或所述供电电缆；以及通道维持器，用于当确定电流正在被施加到所述轨道或所述供电电缆时，维持所述搬运车或所述轨道控制器的操作而不关闭相应通道以防止运输延迟。
通过使用谐振频率值，所述搬运车可以经由所述供电电缆以无线电力传输方式被供应有电力。
所述双向信息可以包括指示所述搬运车或所述轨道控制器的电流状态的反馈信息。
所述通信禁用确定器可以通过使用所述双向信息是否存在来确定所述正常状态或所述异常状态。
所述电流施加确定器可以通过使用向所述轨道或所述供电电缆施加电流的供电单元或另一相邻搬运车的所述双向信息来确定是否电力正在被施加。
所述搬运车***控制设备还可以包括通知信号输出器，用于在维持所述搬运车或所述轨道控制器的操作的同时输出通知信号或跟踪命令信号。
当电流正在被施加到所述轨道或所述供电电缆并且所述搬运车正在移动时，所述通知信号输出器可以确定通信的错误并且向所述搬运车发送返回命令或通信检查命令。
当电流正在被施加到所述轨道或所述供电电缆并且所述搬运车不能移动时，所述通知信号输出器可以确定运动的错误，并且向操作员或牵引车辆发送牵引命令。
所述搬运车***控制设备还可以包括通道关闭器，用于当确定到所述轨道或所述供电电缆的电流被切断时，关闭所述相应通道以防止运输事故。
根据本发明的另一方面，提供了一种搬运车***控制设备，所述搬运车***控制设备包括：上级通信器，用于执行上级通信，以在正常状态下通过使用无线通信从轨道控制器或沿着轨道的导轨移动并经由所述轨道或供电电缆供应有电力的搬运车来接收双向信息；通信禁用确定器，用于确定是否已经发生了所述上级通信被禁用的异常状态；电流施加确定器，用于当确定已经发生所述异常状态时，确定电流是否正在被施加到所述轨道或所述供电电缆；通道维持器，用于当确定电流正在被施加到所述轨道或所述供电电缆时，维持所述搬运车或所述轨道控制器的操作而不关闭相应通道以防止运输延迟；通知信号输出器，用于在维持所述搬运车或所述轨道控制器的操作的同时输出通知信号或跟踪命令信号；以及通道关闭器，用于当确定到所述轨道或所述供电电缆的电流被切断时，关闭所述相应通道以防止运输事故，其中，通过使用谐振频率值，所述搬运车经由所述供电电缆以无线电力传输方式被供应有电力，其中，所述双向信息包括指示所述搬运车或所述轨道控制器的电流状态的反馈信息，其中，所述通信禁用确定器通过使用所述双向信息是否存在来确定所述正常状态或所述异常状态，其中，所述电流施加确定器通过使用向所述轨道或所述供电电缆施加电流的供电单元或另一相邻搬运车的所述双向信息来确定是否电力正在被施加，并且其中，当电流正在被施加到所述轨道或所述供电电缆并且所述搬运车正在移动时，所述通知信号输出器确定通信的错误并且向所述搬运车发送返回命令或通信检查命令，或者当电流正在被施加到所述轨道或所述供电电缆并且所述搬运车不能移动时，所述通知信号输出器确定运动的错误，并且向操作员或牵引车辆发送牵引命令。
附图说明
通过参照附图详细地描述本发明的实施例，本发明的上述和其他特征及优点将变得更加明显，在附图中：
图1是根据本发明的一些实施例的搬运车***的概念图；
图2是图1的搬运车***的透视图；
图3是图1的搬运车***的导轨的示意图；
图4是图3的搬运车的正视图；
图5是图3的搬运车的侧视图；
图6是图3的搬运车的框图；
图7是根据本发明的一些实施例的搬运车***控制设备的框图；
图8是根据本发明的一些实施例的搬运车***控制方法的流程图；并且
图9是根据本发明的其他实施例的搬运车***控制方法的流程图。
具体实施方式
在下文中，将通过参照附图说明本发明的实施例来详细描述本发明。
然而，本发明可以以许多不同的形式来实施，并且不应当被解释为限于本文中阐述的实施例；相反，提供这些实施例使得本公开将是透彻的和完整的，并且将向本领域的普通技术人员充分传达本发明的概念。在附图中，为了清晰以及便于解释，夸大了层的厚度或尺寸。
本文中使用的术语是为了描述特定实施例的目的，并且不是旨在限制本发明。除非上下文另外明确指出，否则如本文中使用的，单数形式“一”、“一个(种/者)”和“所述(该)”也旨在包括复数形式。还将理解的是，当在本说明书中使用时，术语“包括”和/或“包含”说明存在所陈述的特征、整体、步骤、操作、元件、组件和/或它们的组，但不排除存在或添加一个或多个其他特征、整体、步骤、操作、元件、组件和/或它们的组。
在本文中参照本发明的理想化实施例(和中间结构)的示意性图示来描述本发明的实施例。因此，将预计到由于例如制造技术和/或公差引起的图示的形状的变化。因此，本发明的的实施例不应当被解释为限于在本文中示出的区域的特定形状，而是将包括由于例如制造引起的形状的偏差。
图1是根据本发明的一些实施例的搬运车***的概念图，并且图2是图1的搬运车***的透视图。
高架吊升运输机(OHT)20沿着安装在天花板上的导轨10移动，并且与用于以无线通信方式给出运输命令的OHT控制***(OCS)连接。OCS可以从材料控制***(MCS)接收与基于工作工艺的运输相关的命令，搜索从出发地到目的地的最短路径，选择用于执行运输工作的在最佳位置处的OHT 20，并且向所选择的OHT 20给出运输命令以根据MCS的命令在最短时间内完成运输工作。OHT 20基于OCS的运输命令将材料从任意端口运输到由OCS指定的目的地端口。
当OHT车辆根据运输命令运输物品时，为了确保运输的可靠性和安全性，例如为了防止OHT车辆之间的碰撞或传送错误，OHT控制器基于通过感测OHT车辆的操作而获得的速度信息或位置信息等来具体地且精确地控制OHT车辆。
在OHT车辆的操作期间可能出现各种错误，并且这些错误可能在OHT车辆的运输中造成严重事故。因此，当在OHT车辆的操作期间已经发生错误时，OHT控制器通过操作OHT车辆的制动器来使OHT车辆本身停止。
在数十到数百辆OHT车辆同时在OHT***的导轨上操作的同时，由于错误而引起特定OHT车辆的停止引起其他相邻OHT车辆的连续减速或停止，从而导致整个OHT***的效率和性能的下降。
已经提出了各种方法以解决具有运动的错误的OHT车辆的问题。例如，为了使被制动为停止的OHT车辆重新启动或牵引被制动为停止的OHT车辆，操作员通过向OHT车辆提供附加的电力并释放制动器来手动重置OHT车辆。
图3是图1的搬运车***的导轨10的示意图。
如图1至图3中所示，附图标记1表示安装在半导体制造工厂中的多个半导体制造装备，并且附图标记10表示用于提供用于在半导体制造装备1之间运输诸如前开式晶圆传送盒(FOUP)的物品的运输路径11的导轨。附图标记20表示用于在沿着运输路径11移动的同时运输物品的多个搬运车(carriage)，并且附图标记30表示用于为物品提供临时存储空间的一个或多个缓冲器。导轨10设置在半导体制造工厂的天花板上。每个搬运车20可以直接地或者在将物品临时存储在缓冲器30中之后将物品从特定半导体制造装备1运输到另一半导体制造装备1。缓冲器30可以是安装在运输路径11的侧处的侧轨缓冲器，或者是安装在运输路径11下面的下轨缓冲器。
根据本发明的实施例的物品运输装备包括OHT***，并且OHT***包括导轨10和多个搬运车20。根据本发明的实施例的上述物品运输装备可以配置为使得搬运车20通过经由供电单元和电力接收单元从供电装置接收驱动电力来操作，并且还包括用于自动操作搬运车20的集成控制装置。尽管图中未示出，但是物品运输装备还可以包括诸如用于维护或修理搬运车20的维护升降机、车辆升降机和测试台的装备。
参照图3，运输路径11可以包括一个或多个具有线性的线形状的线性(或直线)区段12、一个或多个具有弯曲的线形状的弯曲区段13、以及一个或多个用于拆分和/或组合路径的接合区段14。
图4是图3的搬运车20的正视图，并且图5是图3的搬运车20的侧视图。
参照图4和图5，导轨10包括一对在横向方向上彼此间隔开的导轨构件，并且通过导轨支撑件15安装在半导体制造工厂的天花板上。导轨支撑件15可以具有支撑该对导轨构件的下端和固定到半导体制造工厂的天花板的上端。该对导轨构件可以配置为在其上提供行进表面。
如图4中所示，供电单元40包括沿着运输路径11安装在导轨10下面的供电电缆41。一对供电电缆41被提供。供电电缆41可以由设置在该对导轨构件之间并附接到导轨10的线路支撑件42支撑。供电电缆41电连接到用于提供驱动电力的供电装置。例如，供电电缆41可以仅安装在运输路径11的线性区段12上，并且不安装在运输路径11的弯曲区段13和接合区段14上。因此，运输路径11可以具有安装供电电缆41的供电区段和没有安装供电电缆41的非供电区段。
每个搬运车20包括沿导轨10移动的车辆(vehicle)100以及从车辆100下面支撑诸如FOUP的物品的吊升机(hoist)200。吊升机200与车辆100一起移动，并且支撑所述物品。
车辆100包括底盘(chassis)110和车轮(wheel)120。在横向方向上延伸的轴附接到底盘110。多个轴被提供，并且可以在纵向方向上彼此间隔开。车轮120是为底盘110提供移动性以在导轨10的引导下移动的行进轮。车轮120可以附接到轴的两端，以与一对导轨构件的行进表面接触地滚动。车辆100还包括用于提供电力以使车轮120旋转的车轮驱动单元130。例如，车轮驱动单元130可以配置为使轴旋转。
吊升机200包括吊升机外壳210。吊升机外壳210从导轨10下面连接到车辆100。吊升机外壳210的顶部可以通过一个或多个连接器连接到底盘110的底部。吊升机外壳210可以提供存储物品的存储空间212。
吊升机外壳210配置为具有其左侧、右侧和底侧敞开的结构以将物品从存储空间212向左、向右和向下移动。
此外，吊升机200还包括用于抓取或松开物品的手单元220以及用于使手单元220在第一位置和第二位置之间移动的手移动单元。第一位置是将由手单元220抓取的物品存储在吊升机外壳210的存储空间212中的位置，并且第二位置是吊升机外壳210外部远离第一位置的位置。吊升机200包括竖直驱动单元230、旋转驱动单元240和水平驱动单元250作为手移动单元。
手单元220可以包括用于抓取或松开物品的手以及支撑手的手支撑件。竖直驱动单元230在竖直方向上使手单元220移动。竖直驱动单元230可以通过将一个或多个带绕滚筒(drum)卷绕或展开来在竖直方向上使手单元220移动。旋转驱动单元240使手单元220绕竖直轴线旋转，并且水平驱动单元250使手单元220在水平方向上移动。例如，手单元220可以由竖直驱动单元230在竖直方向上移动，竖直驱动单元230可以由旋转驱动单元240绕竖直轴线旋转，或者旋转驱动单元240可以由水平驱动单元250在水平方向上移动，使得由手单元220抓取的物品可以在竖直方向上移动、绕竖直轴线旋转或在水平方向上移动。
图6是图3的搬运车20的框图。
如图1至图6中所示，每个搬运车20包括车辆主体，并且车辆主体包括上述车辆100和吊升机200。如图4和图5中所示，每个搬运车20还包括用于以非接触方式从供电电缆41接收电力并将电力供应到车辆主体的第一电源装置或主电源装置300以及用于将存储在电池410中的电力供应到车辆主体并通过使用电力共享模块420与相邻车辆主体共享电力的第二电源装置或副电源装置400。
第一电源装置300包括提供在车辆100下方或吊升机200上方以面对供电电缆41的电力接收单元。电力接收单元可以包括拾波线圈和整流器。因为交流电(AC)流过供电电缆41，所以供电电缆41附近产生的磁通量的方向和强度总是波动的。拾波线圈可以通过基于磁通量的波动感应电子来产生感应电压。所产生的感应电压是AC电压，但是在被提供给车辆主体之前可以由整流器转换成直流电(DC)电压。
电池410可以从第一电源装置300接收电力，存储所接收的电力，并且将所存储的电力供应到车辆主体。
电力共享模块420可以电连接到电池410以从另一车辆主体的电池410接收电池电力或将电池电力供应到另一车辆主体的电池410。也就是说，电力共享模块420可以与另一车辆主体共享电池电力。
电池410和电力共享模块420提供在车辆主体的多个位置处。如图5中所示，电池410和电力共享模块420可以安装在吊升机200中，这在结构上更有利于确保安装空间。具体地，电池410和电力共享模块420可以嵌入吊升机外壳210中。在这种情况下，可以提供多个电力共享模块420以容易地与另一相邻的车辆主体共享电力。
通信装置500可以安装在车辆100或吊升机200中以实现与各种通信装置的无线通信。
通信装置500可以包括能够向上级服务器600发送诸如电流电力状态信息或操作状态信息的反馈信息的上级通信模块510。
图7是根据本发明的一些实施例的搬运车***控制设备的框图。
如图7中所示，根据本发明的一些实施例的搬运车***控制设备(即，上级服务器600)可以包括：上级通信器610，用于执行上级通信，以在正常状态下通过使用无线通信从沿着轨道2的导轨10移动并经由轨道2或供电电缆41供应有电力的轨道控制器50或搬运车20来接收双向信息；通信禁用确定器620，用于确定是否已经发生了上级通信被禁用的异常状态；电流施加确定器630，用于当确定已经发生异常状态时，确定电流是否正在被施加到轨道2或供电电缆41；通道维持器640，用于当确定电流正在被施加到轨道2或供电电缆41时，维持搬运车20或轨道控制器50的操作而不关闭相应通道以防止运输延迟；通知信号输出器650，用于在维持搬运车20或轨道控制器50的操作的同时输出通知信号或跟踪命令信号；以及通道关闭器660，用于当确定到轨道2或供电电缆41的电流被切断时，关闭相应通道以防止运输事故。
通过使用谐振频率值，搬运车20可以经由供电电缆41以无线电力传输方式被供应有电力。
双向信息可以包括指示搬运车20或轨道控制器50的电流状态的反馈信息。
通信禁用确定器620可以通过使用双向信息是否存在来确定正常状态或异常状态。
电流施加确定器630可以通过使用向轨道2或供电电缆41施加电流的供电单元40或另一相邻搬运车20的双向信息来确定电力是否正在被施加。
当电流正在被施加到轨道2或供电电缆41并且搬运车20正在移动时，通知信号输出器650可以确定通信的错误并且向搬运车20发送返回命令或通信检查命令。
当电流正在被施加到轨道2或供电电缆41并且搬运车20不能移动时，通知信号输出器650可以确定运动的错误，并且向操作员或牵引车辆发送牵引命令。
因此，根据本发明，可以执行一系列工艺：当在正在执行上级通信以在正常状态下通过使用无线通信从搬运车20或轨道控制器50接收双向信息的同时确定已经发生了上级通信被禁用的异常状态时，确定电流是否正在被施加到轨道2或供电电缆41；当确定电流正在被施加到轨道2或供电电缆41时，输出通知信号或跟踪命令信号，同时保持搬运车20或轨道控制器50的操作而不关闭相应通道以防止运输延迟；以及当确定到轨道2或供电电缆41的电流被切断时，关闭相应通道以防止运输事故。
因此，当上级通信被禁用并且电力正常地供应到供电电缆41时，通过确定上级通信模块510的错误，可以持续地维持搬运车20或轨道控制器50的操作而不关闭相应通道以防止运输延迟，并且因此可以极大地提高运输的效率和生产率。
图8是根据本发明的一些实施例的搬运车***控制方法的流程图。
如图8中所示，根据本发明的一些实施例的搬运车***控制方法可以由上级服务器600执行，并且包括步骤：(a)执行上级通信，以在正常状态下通过使用无线通信从轨道控制器50或沿着轨道2的导轨10移动并经由轨道2或供电电缆41供应有电力的搬运车20来接收双向信息；(b)确定是否已经发生了上级通信被禁用的异常状态；(c)当确定已经发生异常状态时，确定电流是否正在被施加到轨道2或供电电缆41；(d)当确定电流正在被施加到轨道2或供电电缆41时，维持搬运车20或轨道控制器50的操作而不关闭相应通道以防止运输延迟；(e)在维持搬运车20或轨道控制器50的操作的同时输出通知信号或跟踪命令信号；以及(f)当确定到轨道2或供电电缆41的电流被切断时，关闭相应通道以防止运输事故。
在步骤(a)中，通过使用谐振频率值，搬运车20可以经由供电电缆41以无线电力传输方式被供应有电力。
在步骤(a)中，双向信息可以包括指示搬运车20或轨道控制器50的电流状态的反馈信息。
在步骤(b)中，上级服务器600可以通过使用双向信息是否存在来确定正常或异常状态。
在步骤(c)中，上级服务器600可以通过使用向轨道2或供电电缆41施加电流的供电单元40或另一相邻搬运车20的双向信息来确定电力是否正在被施加。
在步骤(e)中，当电流正在被施加到轨道2或供电电缆41并且搬运车20正在移动时，上级服务器600可以确定上级通信模块510的错误，并且向搬运车20发送返回命令或通信检查命令。
在步骤(e)中，当电流正在被施加到轨道2或供电电缆41并且搬运车20不能移动时，上级服务器600可以确定运动的错误，并且向操作员或牵引车辆发送牵引命令。
搬运车20可以是用于运输半导体基底或显示板的OHT，并且轨道控制器50可以是安装在导轨的弯曲区段、拆分区段或组合区段处的交通信号灯。
图9是根据本发明的其他实施例的搬运车***控制方法的流程图。
如图9中所示，在根据本发明的其他实施例的搬运车***控制方法中，首先，确定高效感应配电(HID)是否失败(S1)。当HID通信成功时，HID信息显示在显示装置等上(S2)。当HID通信失败时，确定对相应轨道内的OHT的无线供电是否处于“开启”状态(S3)。当确定是关闭状态时，相应轨道的通道可以关闭，并且OHT可以被排除进入(S4)。当确定是开启状态时，可以继续使用相应轨道的通道，并且可以检查HID通信(S5)。
因此，当对相应轨道内的OHT的无线供电处于“开启”状态时，可以连续使用相应轨道的通道以防止运输延迟，并且因此可以极大地提高运输的效率和生产率。
根据本发明的前述实施例，当上级通信被禁用并且电力正常地供应到供电电缆时，通过确定上级通信模块的错误，可以持续地维持搬运车或轨道控制器的操作而不关闭相应通道以防止运输延迟，并且因此可以极大地提高运输的效率和生产率。然而，本发明的范围不限于上述效果。
虽然已经参照本发明的实施例具体示出和描述了本发明，但是将由本领域的普通技术人员理解的是，在不脱离如由所附权利要求限定的本发明的范围的情况下，可以在其中进行形式和细节上的各种改变。

Claims (20)

1.一种搬运车***控制方法，由上级服务器执行，所述搬运车***控制方法包括步骤：
(a)执行上级通信，以在正常状态下通过使用无线通信从轨道控制器或沿着轨道的导轨移动并经由所述轨道或供电电缆供应有电力的搬运车来接收双向信息；
(b)确定是否已经发生了所述上级通信被禁用的异常状态；
(c)当确定已经发生所述异常状态时，确定电流是否正在被施加到所述轨道或所述供电电缆；以及
(d)当确定电流正在被施加到所述轨道或所述供电电缆时，维持所述搬运车或所述轨道控制器的操作而不关闭相应通道以防止运输延迟。
2.根据权利要求1所述的搬运车***控制方法，其中，在步骤(a)中，通过使用谐振频率值，所述搬运车经由所述供电电缆以无线电力传输方式被供应有电力。
3.根据权利要求1所述的搬运车***控制方法，其中，在步骤(a)中，所述双向信息包括指示所述搬运车或所述轨道控制器的电流状态的反馈信息。
4.根据权利要求1所述的搬运车***控制方法，其中，在步骤(b)中，所述上级服务器通过使用所述双向信息是否存在来确定所述正常状态或所述异常状态。
5.根据权利要求1所述的搬运车***控制方法，其中，在步骤(c)中，所述上级服务器通过使用向所述轨道或所述供电电缆施加电流的供电单元或另一相邻搬运车的所述双向信息来确定电力是否正在被施加。
6.根据权利要求1所述的搬运车***控制方法，还包括步骤：(e)在维持所述搬运车或所述轨道控制器的操作的同时输出通知信号或跟踪命令信号。
7.根据权利要求6所述的搬运车***控制方法，其中，在步骤(e)中，当电流正在被施加到所述轨道或所述供电电缆并且所述搬运车正在移动时，所述上级服务器确定通信的错误，并且向所述搬运车发送返回命令或通信检查命令。
8.根据权利要求6所述的搬运车***控制方法，其中，在步骤(e)中，当电流正在被施加到所述轨道或所述供电电缆并且所述搬运车不能移动时，所述上级服务器确定运动的错误，并且向操作员或牵引车辆发送牵引命令。
9.根据权利要求1所述的搬运车***控制方法，其中，所述搬运车是用于运输半导体基底或显示板的高架吊升运输机(OHT)，并且
其中，所述轨道控制器是安装在导轨的弯曲区段、拆分区段或组合区段处的交通信号灯。
10.根据权利要求1所述的搬运车***控制方法，还包括步骤：(f)当确定到所述轨道或所述供电电缆的电流被切断时，关闭所述相应通道以防止运输事故。
11.一种搬运车***控制设备，包括：
上级通信器，用于执行上级通信，以在正常状态下通过使用无线通信从轨道控制器或沿着轨道的导轨移动并经由所述轨道或供电电缆供应有电力的搬运车来接收双向信息；
通信禁用确定器，用于确定是否已经发生了所述上级通信被禁用的异常状态；
电流施加确定器，用于当确定已经发生所述异常状态时，确定电流是否正在被施加到所述轨道或所述供电电缆；以及
通道维持器，用于当确定电流正在被施加到所述轨道或所述供电电缆时，维持所述搬运车或所述轨道控制器的操作而不关闭相应通道以防止运输延迟。
12.根据权利要求11所述的搬运车***控制设备，其中，通过使用谐振频率值，所述搬运车经由所述供电电缆以无线电力传输方式被供应有电力。
13.根据权利要求11所述的搬运车***控制设备，其中，所述双向信息包括指示所述搬运车或所述轨道控制器的电流状态的反馈信息。
14.根据权利要求11所述的搬运车***控制设备，其中，所述通信禁用确定器通过使用所述双向信息是否存在来确定所述正常状态或所述异常状态。
15.根据权利要求11所述的搬运车***控制设备，其中，所述电流施加确定器通过使用向所述轨道或所述供电电缆施加电流的供电单元或另一相邻搬运车的所述双向信息来确定电力是否正在被施加。
16.根据权利要求11所述的搬运车***控制设备，还包括通知信号输出器，用于在维持所述搬运车或所述轨道控制器的操作的同时输出通知信号或跟踪命令信号。
17.根据权利要求16所述的搬运车***控制设备，其中，当电流正在被施加到所述轨道或所述供电电缆并且所述搬运车正在移动时，所述通知信号输出器确定通信的错误并且向所述搬运车发送返回命令或通信检查命令。
18.根据权利要求16所述的搬运车***控制设备，其中，当电流正在被施加到所述轨道或所述供电电缆并且所述搬运车不能移动时，所述通知信号输出器确定运动的错误并且向操作员或牵引车辆发送牵引命令。
19.根据权利要求11所述的搬运车***控制设备，还包括通道关闭器，用于当确定到所述轨道或所述供电电缆的电流被切断时，关闭所述相应通道以防止运输事故。
20.一种搬运车***控制设备，包括：
上级通信器，用于执行上级通信，以在正常状态下通过使用无线通信从轨道控制器或沿着轨道的导轨移动并经由所述轨道或供电电缆供应有电力的搬运车来接收双向信息；
通信禁用确定器，用于确定是否已经发生了所述上级通信被禁用的异常状态；
电流施加确定器，用于当确定已经发生所述异常状态时，确定电流是否正在被施加到所述轨道或所述供电电缆；
通道维持器，用于当确定电流正在被施加到所述轨道或所述供电电缆时，维持所述搬运车或所述轨道控制器的操作而不关闭相应通道以防止运输延迟；
通知信号输出器，用于在维持所述搬运车或所述轨道控制器的操作的同时输出通知信号或跟踪命令信号；以及
通道关闭器，用于当确定到所述轨道或所述供电电缆的电流被切断时，关闭所述相应通道以防止运输事故，
其中，通过使用谐振频率值，所述搬运车经由所述供电电缆以无线电力传输方式被供应有电力，
其中，所述双向信息包括指示所述搬运车或所述轨道控制器的电流状态的反馈信息，
其中，所述通信禁用确定器通过使用所述双向信息是否存在来确定所述正常状态或所述异常状态，
其中，所述电流施加确定器通过使用向所述轨道或所述供电电缆施加电流的供电单元或另一相邻搬运车的所述双向信息来确定电力是否正在被施加，并且
其中，当电流正在被施加到所述轨道或所述供电电缆并且所述搬运车正在移动时，所述通知信号输出器确定通信的错误并且向所述搬运车发送返回命令或通信检查命令，或者当电流正在被施加到所述轨道或所述供电电缆并且所述搬运车不能移动时，所述通知信号输出器确定运动的错误并且向操作员或牵引车辆发送牵引命令。
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