CN1180451C - 等离子体显示器阻隔壁的制造方法 - Google Patents

Abstract

一种等离子体显示器阻隔壁的制造方法，首先于玻璃基板上形成多个定址电极，并在其上面形成一层介电层，接着于介电层上形成大致对应于定址电极的多个喷砂终止层。然后，于介电层与喷砂终止层上涂布一层阻隔材料层，并于阻隔材料层上形成一砂阻层后，进行一喷砂工艺，以去除未被砂阻层覆盖的阻隔材料层，直至暴露出喷砂终止层，以形成多个阻隔壁。之后，去除砂阻层和喷砂终止层，再进行一烧结工艺，以同时强化介电层和阻隔壁的结构。

Description

等离子体显示器阻隔壁 的制造方法

技术领域

本发明涉及一种等离子体显示器(plasma display panel；PDP)，特别是涉及一种PDP的阻隔壁(rib)的制造方法。

背景技术

等离子体显示器是一种通过气体放电来产生发光的平面显示器(flatpanel display；FPD)，其主要的特色是轻、薄、易大型化，且无视角问题。

通常等离子体显示器是由前板(front panel)与后板(rear panel)封装组合而成，等离子体显示器的阻隔壁形成在后板上，做为放电空间的间隔，用以定义微小的放电空间，并防止RGB三色荧光体的混合。下面，参照图1A至图1B，介绍传统的阻隔壁的制造方法。

首先，请参照图1A，在后玻璃基板10的表面上形成定址电极(addresselectrode)12后，利用印刷和烧结工艺在其上面覆盖一层介电层14，用以保护电极。接着在介电层14的表面上形成阻隔壁材料层18，并贴上干膜光阻，经曝光显影后，形成如图所示的干膜光阻20。

接着请参照图1B，利用干膜光阻20做为砂阻，进行喷砂(sandblasting)工艺，以形成阻隔壁18a。

在上述传统的阻隔壁18a的制作过程中，虽然阻隔壁18a下方的介电层14可保护定址电极12，避免其在喷砂工艺时遭到破坏，但是为了制作介电层14，需要增加一道高温的烧结步骤，因而影响到产品的良好率。此外，由于阻隔壁18a的高度约为100～200微米，以砂材去除不需要的阻隔材料时，所需的喷砂时间甚长，因此使得阻隔壁18a底部的宽度及轮廓的均匀性常常不易控制，而影响到每一放电单元的效率。

发明内容

有鉴于此，本发明提供一种等离子体显示器阻隔壁的制造方法，可以有效控制阻隔壁顶部的宽度以及底部的宽度和轮廓，并减少一次高温工艺。

因此，本发明提供一种等离子体显示器阻隔壁的制造方法，首先于玻璃基板上形成多个定址电极后，在定址电极和玻璃基板上印刷一层介电层。接着，于介电层上形成大致对应于定址电极的多个喷砂终止层，且喷砂终止层的宽度不小于定址电极的宽度。然后，于介电层上涂布一层阻隔材料层，并于阻隔材料层上形成一砂阻层材料并定义其图案形成多个砂阻层。接着进行一喷砂工艺，去除未被砂阻层覆盖的阻隔材料层，直至暴露出喷砂终止层为止，以形成多个阻隔壁。之后，去除砂阻层和喷砂终止层，再进行一烧结工艺，以同时强化介电层和阻隔壁的结构。

综上所述，本发明至少具有下列优点和特征：

1.本发明在定址电极形成完后，覆盖一层介电层，但未将此介电层进行高温烧结的动作，而是待阻隔壁形成后，再一起进行烧结程序。因为减少了一道高温工艺，故可以降低成本，还可以提高产品的效能。

2.本发明的阻隔壁的形状，是通过阻隔壁上方的砂阻层以及对应于定址电极上方的喷砂终止层来加以控制，因此可以提高阻隔壁底部宽度和轮廓的均匀性，藉以使每一放电胞的效率更具一致性。

3.本发明通过同时相对应地改变砂阻层和喷砂终止层的形状，而得以改变阻隔壁的形状，因此可采用将阻隔壁的部分区域变窄的方式来增加放电空间，以提高等离子体显示器的亮度及降低电力消耗，还可兼顾阻隔壁的结构的稳定度。

为让本发明的上述目的、特征及优点能更明显易懂，下文特举一较佳实施例，并配合附图，作详细说明如下。

附图说明

图1A和图1B为现有技术的等离子体显示器阻隔壁的制造方法示意图；

图2A至图2G为本发明的阻隔壁的制造流程示意图。

图3为本发明的一种阻隔壁的形状变化示意图。

【符号说明】

10、100～后玻璃基板；      106、110～感光性干膜；

12、102～定址电极；        106a～喷砂终止层；

14、104～介电层；          110a～砂阻层；

18、108～阻隔材料层；      108′～阻隔壁顶部；

18a、108a～阻隔壁；        108″～阻隔壁底部；

20～干膜光阻；             120～放电胞。

具体实施方式

以下将配合图2A至图2G，详细说明本发明的阻隔壁的制造方法。

首先请参照图2A，于后玻璃基板100上形成多个定址电极102。之后于定址电极102上覆盖一层介电层104，用以保护电极。其形成方法可以是印刷法。需注意的是，此介电层104尚未进行烧结的动作。

接着请参照图2B，此时介电层不需进行高温烧结工艺，直接在介电层104上形成一层感光性干膜(photosensitive dry film)106，较佳的型态是负型光阻，其厚度需尽可能的薄，其约为5～30微米左右。此感光性干膜106可以利用压膜(laminate)方法形成。

接着请参照图2C，经曝光显影后，此感光性干膜106可在大致对应定址电极102位置的上方形成多个喷砂终止层106a。由于其下方的介电层104尚未经烧结，故其结构仍不够坚固，故每一喷砂终止层106a的宽度必须不小于其下方的定址电极102的宽度，以确保后续的喷砂工艺不会对定址电极102造成伤害，亦不会对此区域的未烧结的介电层104造成伤害。此外，此喷砂终止层106a的间距大致等于后续形成的阻隔壁的底部宽度。

之后，于介电层104和喷砂终止层106a上形成一定厚度的阻隔材料层108，其厚度约为100～200微米左右。

接着请参照图2D，可利用压膜工艺，于阻隔材料层108形成另一层感光性干膜110，此感光性干膜110的厚度约为30～100微米左右。

接着请参照图2E，此感光性干膜110经曝光显影后，形成多个砂阻层110a。在此实施例中，砂阻层110a与喷砂终止层106a交错分布，即砂阻层110a大致形成于两喷砂终止层106a之间。

在此实施例中，从与定址电极102垂直的剖面方向来看，每一砂阻层110a与其下方相邻两喷砂终止层106a间具有相同的水平距离d1，此水平距离d1大于或等于0。两相邻的喷砂终止层106a亦具有一间距d2。

接着请参照图2F，以砂阻层110a做为阻障，进行喷砂工艺，去除未被砂阻层110a覆盖的阻隔材料层108，直至暴露出喷砂终止层106a为止，以形成多个阻隔壁108a。此外，两相邻的喷砂终止层106a的间距d2与每一阻隔壁底部108′的宽度约略相等。

接着请参照图2G，先去除暴露出的砂阻终止层106a和砂阻层110a，之后，进行一高温烧结工艺，同时强化阻隔壁108a和介电层104的结构，以完成此等离子体显示器的后板。由于介电层104与阻隔壁108a一起进行烧结步骤，可减少一道高温工艺，因此可以降低成本，还可以提高产品的效能。

此实施例中值得注意的是，阻隔壁底部108″的宽度与喷砂终止层106a的间距d2相关，而阻隔壁顶部108′的宽度则与砂阻层110a的间距相关。当改变砂阻层110a与其下方两侧的喷砂终止层106a间的水平距离d1，或改变喷砂终止层106a和砂阻层110a的形状，可相对应地改变阻隔壁108a的形状，使得阻隔壁顶部108′和阻隔壁底部108″的宽度可视产品需求而自由调整其大小。

如图3所示，其示出了一种具有凹凸侧边的条状阻隔壁108a。在此例子中，通过改变喷砂终止层106a的形状，并加宽对应于每一放电单元120间的喷砂终止层106a的宽度，来缩小相对应的阻隔壁108a的宽度。在不影响阻隔壁108a的结构稳定度下，来增加每一放电单元120的放电空间，提高荧光体的发光效率，进而提高等离子体显示器的亮度及降低消耗电力。

当然，阻隔壁108a亦可设计成传统的直条状。

虽然本发明已以较佳实施例进行了如上的说明，但是，这并非用以限制本发明，任何本领域技术人员，在不脱离本发明的精神和范围内，应当能够作出修改与变型，因此本发明的保护范围应当以后附的权利要求书所界定的范围为准。

Claims (8)

1.一种等离子体显示器的阻隔壁的制造方法，包括：

提供一玻璃基板；

于所述玻璃基板上形成多个定址电极；

于所述定址电极和所述玻璃基板上覆盖一介电层；

于所述介电层上形成作为感光性干膜的喷砂终止层材料，并定义形成多个喷砂终止层，这些喷砂终止层对应于这些定址电极，且每一喷砂终止层的宽度不小于每一定址电极的宽度；

于所述介电层上覆盖一阻隔材料层；

于所述阻隔材料层上形成一砂阻层材料并定义形成多个与所述喷砂终止层交错的砂阻层；

进行一喷砂工艺，去除未被这些砂阻层覆盖的阻隔材料层，直至暴露出所述喷砂终止层，以形成多个阻隔壁；

去除所述砂阻层和所述喷砂终止层；以及

进行一烧结程序。

2.如权利要求1所述的等离子体显示器阻隔壁的制造方法，其中所述喷砂终止层的形成方法包括：

(a)进行一压膜工序，以于所述介电层上形成一第一感光性干膜；以及

(b)对所述第一感光性干膜进行一曝光显影工艺，以形成所述喷砂终止层。

3.如权利要求1所述的等离子体显示器阻隔壁的制造方法，其中所述砂阻层的形成方法包括：

(a)进行一压膜工序，以于所述阻隔材料层上形成一第二感光性干膜；以及

(b)对所述第二感光性干膜进行一曝光显影工艺，以形成所述砂阻层。

4.如权利要求3所述的等离子体显示器阻隔壁的制造方法，其中所述砂阻层和所述喷砂终止层间的水平距离为一预定值。

5.如权利要求3所述的等离子体显示器阻隔壁的制造方法，其中每两个喷砂终止层之间具有一间距，且所述每一阻隔壁具有一底部宽度，所述间距与所述底部宽度相同。

6.如权利要求3所述的等离子体显示器阻隔壁的制造方法，其中每一个砂阻层具有一砂阻层宽度，且所述每一阻隔壁具有一顶部宽度，所述砂阻层宽度与所述顶部宽度相同。

7.如权利要求1所述的等离子体显示器阻隔壁的制造方法，其中所述阻隔壁的形状为直条状。

8.如权利要求1所述的等离子体显示器阻隔壁的制造方法，其中所述阻隔壁的形状为具有凹凸侧边的条状，用以增加放电空间。

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