CN117981496A - 显示基板及其制作方法、以及显示装置 - Google Patents
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Abstract
一种显示基板及其制作方法、以及显示装置。显示基板包括衬底基板以及多个子像素。子像素包括发光元件,发光元件包括发光功能层、第一电极和第二电极,第一电极位于发光功能层与衬底基板之间。显示基板还包括限定结构,位于相邻子像素之间的限定结构的靠近衬底基板一侧表面在衬底基板上的第一正投影完全位于限定结构的远离衬底基板一侧表面在衬底基板上的第二正投影内,第二正投影的最大尺寸大于第一正投影的最大尺寸,且限定结构包括无机非金属材料;发光功能层中的至少一层在限定结构的边缘处断开,且相邻子像素的第二电极至少部分连续设置,可以在降低相邻子像素之间产生的串扰的同时,避免亮度均一性问题。
Description
本公开实施例涉及一种显示基板及其制作方法、以及显示装置。
随着显示技术的发展,用户对显示装置的性能要求越来越高,将相邻子像素之间的用于发光的部分材料层隔断,可以降低信号串扰,从而尽量满足显示装置高亮度和低功耗的性能需求。
发明内容
本公开实施例提供一种显示基板以及显示装置。
本公开实施例提供一种显示基板,包括衬底基板以及位于衬底基板上的多个子像素。衬底基板至少包括第一区域;多个子像素位于所述衬底基板上的第一区域,至少部分子像素中的每个子像素包括发光元件,所述发光元件包括发光功能层以及沿垂直于所述衬底基板的方向位于所述发光功能层两侧的第一电极和第二电极,所述第一电极位于所述发光功能层与所述衬底基板之间,所述发光功能层包括多个膜层。所述显示基板还包括限定结构,至少两个相邻子像素之间设置有至少一个限定结构,位于相邻子像素之间的所述限定结构的靠近所述衬底基板一侧表面在所述衬底基板上的第一正投影完全位于所述限定结构的远离所述衬底基板一侧表面在所述衬底基板上的第二正投影内,沿该相邻子像素的发光区排列方向,所述第二正投影的最大尺寸大于所述第一正投影的最大尺寸,且所述限定结构包括无机非金属材料;所述第一区域的至少部分区域中,所述发光功能层中的至少一层在所述限定结构的边缘处断开,且相邻子像素的所述第二电极至少部分连续设置。
例如,根据本公开的实施例,所述第二电极在所述限定结构的边缘处连续设置。
例如,根据本公开的实施例,至少一个子像素的所述第二电极和与其在第一子方向相邻的子像素的所述第二电极连续设置,且所述至少一个子像素的所述第二电极和与其在第二子方向相邻的子像素的所述第二电极断开设置,所述 第一子方向和所述第二子方向相交;和/或,至少一个子像素的所述第二电极和与其在第一子方向相邻的子像素的所述第二电极连续设置,且所述至少一个子像素的所述第二电极和与其在第二子方向相邻的子像素的所述第二电极连续设置,所述第一子方向和所述第二子方向相交。
例如,根据本公开的实施例,所述限定结构围绕至少一个子像素的50%以上的轮廓。
例如,根据本公开的实施例,至少一个子像素的所述第二电极和与其相邻的子像素的所述第二电极连续设置,且该相邻设置的两个子像素之间的所述第二电极在垂直于两者排布方向上的最小宽度大于1微米。
例如,根据本公开的实施例,该相邻设置的两个子像素的中心连线在所述第二电极所在平面的正投影位于所述第二电极内。
例如,根据本公开的实施例,至少部分限定结构的轮廓与被所述至少部分限定结构围绕的所述子像素的发光区的轮廓相同,且不同限定结构与被所述不同限定结构围绕的所述子像素的发光区的彼此靠近的边缘之间的间距之比为0.9~1.1。
例如,根据本公开的实施例,所述限定结构被所述中心连线所在平面所截的截面形状包括第一梯形,所述第一梯形远离所述衬底基板的第一底边的长度大于所述第一梯形靠近所述衬底基板的第二底边的长度,所述平面垂直于所述衬底基板。
例如,根据本公开的实施例,所述第一梯形的至少一侧腰的至少部分与所述第二底边之间的夹角为110~150度。
例如,根据本公开的实施例,所述限定结构的厚度为300~550埃。
例如,根据本公开的实施例,显示基板还包括:第一绝缘层,位于所述限定结构与所述衬底基板之间。所述第一区域的所述至少部分区域中,所述第一绝缘层与所述限定结构面向所述衬底基板一侧表面接触,所述第一绝缘层位于所述第一电极与所述衬底基板之间,所述第一绝缘层的材料包括有机材料。
例如,根据本公开的实施例,所述第一绝缘层包括与所述限定结构的表面接触的凸起,所述第一正投影完全位于所述凸起在所述衬底基板上的正投影内。
例如,根据本公开的实施例,所述凸起的边缘与所述限定结构远离所述衬底基板一侧表面的边缘在所述衬底基板上的正投影之间的距离小于0.5微米。
例如,根据本公开的实施例,所述第一电极的表面与所述第一绝缘层的表 面接触,且所述第一电极远离所述衬底基板一侧表面与所述衬底基板之间的距离小于所述限定结构远离所述衬底基板一侧表面与所述衬底基板之间的距离。
例如,根据本公开的实施例,显示基板还包括:像素限定图案,位于所述第一电极远离所述衬底基板的一侧,至少位于所述第一区域的所述像素限定图案包括多个第一开口,一个子像素对应至少一个第一开口,所述子像素的发光元件至少部分位于所述子像素对应的第一开口中,且所述第一开口被配置为暴露所述第一电极。所述像素限定图案还包括第二开口,所述限定结构的至少部分被所述第二开口暴露。
例如,根据本公开的实施例,所述发光功能层的至少一层在所述第二开口暴露的所述限定结构的至少部分边缘处断开,且所述第二电极在所述限定结构的该边缘处连续设置。
例如,根据本公开的实施例,所述发光功能层的至少一层膜层包括电荷产生层,所述发光功能层包括层叠设置的第一发光层、所述电荷产生层以及第二发光层,所述电荷产生层位于所述第一发光层与所述第二发光层之间,且所述电荷产生层在所述限定结构的边缘处断开。
例如,根据本公开的实施例,所述多个子像素包括多个第一颜色子像素、多个第二颜色子像素以及多个第三颜色子像素,所述限定结构包括多个第一环形限定结构,所述第一环形限定结构围绕所述多个第一颜色子像素、所述多个第二颜色子像素和所述多个第三颜色子像素中的至少一个子像素。
例如,根据本公开的实施例,至少部分子像素中的每个子像素还包括像素电路,至少一个子像素的发光元件的第一电极包括主体电极和连接电极,在垂直于所述衬底基板的方向上,所述主体电极与所述发光元件的发光区交叠,且所述连接电极与所述发光元件的发光区没有交叠,所述像素电路与所述连接电极电连接,围绕所述至少一个子像素的所述第一环形限定结构包括缺口,在垂直于所述衬底基板的方向,所述第一环形限定结构与所述连接电极不交叠。
例如,根据本公开的实施例,显示基板,还包括:第二绝缘层,位于所述限定结构与所述衬底基板之间。所述衬底基板还包括第二区域,所述第一区域位于所述第二区域的周边;所述第二绝缘层包括围绕所述第二区域的至少一个环形绝缘部,所述限定结构还包括与所述环形绝缘部远离所述衬底基板一侧表面接触的第二环形限定结构,所述第二绝缘层位于所述第一绝缘层面向所述衬底基板的一侧,所述第二绝缘层的材料包括无机非金属材料,且所述第二绝缘 层的材料与所述限定结构的材料不同,所述发光功能层以及所述第二电极均在所述第二环形限定结构的边缘位置处断开。
例如,根据本公开的实施例,所述第二环形限定结构的截面包括第二梯形,所述第二梯形远离所述衬底基板的底边的长度大于所述第二梯形靠近所述衬底基板的底边的长度。
例如,根据本公开的实施例,所述第二环形限定结构在所述衬底基板上的正投影位于所述环形绝缘部在所述衬底基板上的正投影内。
例如,根据本公开的实施例,所述第一梯形在垂直于所述衬底基板的方向的尺寸与所述第二梯形在垂直于所述衬底基板的方向的尺寸之比为0.8~1.2,且所述第一梯形的腰与所述第二底边之间的夹角与所述第二梯形的腰与所述第二梯形的靠近所述衬底基板一侧底边之间的夹角之比为0.8~1.2。
本公开另一实施例提供一种显示基板,包括衬底基板以及位于所述衬底基板上的多个子像素。所述衬底基板至少包括第一区域;所述多个子像素位于所述衬底基板上的第一区域,至少部分子像素中的每个子像素包括发光元件,所述发光元件包括发光功能层以及沿垂直于所述衬底基板的方向位于所述发光功能层两侧的第一电极和第二电极,所述第一电极位于所述发光功能层与所述衬底基板之间,所述发光功能层包括多个膜层。所述显示基板还包括限定结构,至少两个相邻子像素之间设置有至少一个限定结构,所述多个子像素包括第一子像素、第二子像素以及第三子像素,所述第二子像素和所述第三子像素均与所述第一子像素相邻,所述第一子像素与所述第二子像素之间设置的所述限定结构在该两个子像素的排列方向上的最大尺寸为第一尺寸,所述第一子像素与所述第三子像素之间设置的所述限定结构在该两个子像素的排列方向上的最大尺寸为第二尺寸,所述第一尺寸与所述第二尺寸不同。
例如,根据本公开的实施例,所述多个子像素沿第一方向和第二方向阵列排布,且所述多个子像素中部分子像素沿第三方向和第四方向阵列排布,所述第一方向与所述第二方向垂直,所述第三方向与所述第四方向垂直,所述第一方向与所述第三方向相交;沿所述第一方向或所述第二方向排列的相邻两个子像素之间的所述限定结构在该两个子像素的排列方向上的最大尺寸为第三尺寸,沿所述第三方向或所述第四方向排列的相邻两个子像素之间的所述限定结构在该两个子像素的排列方向上的最大尺寸为第四尺寸,所述第三尺寸小于所述第四尺寸。
例如,根据本公开的实施例,所述多个子像素包括多个绿色子像素、多个蓝色子像素以及多个红色子像素,相邻两个绿色子像素之间设置的所述限定结构在该两个绿色子像素的排列方向上的最大尺寸大于其他相邻子像素之间设置的所述限定结构在该相邻子像素的排列方向上的最大尺寸。
例如,根据本公开的实施例,至少部分子像素中的每个子像素还包括像素电路,至少一个子像素的发光元件的第一电极包括主体电极和连接电极,在垂直于所述衬底基板的方向上,所述主体电极与所述发光元件的发光区交叠,且所述连接电极与所述发光元件的发光区没有交叠,所述像素电路与所述连接电极电连接;所述第一区域的至少部分区域中,所述发光功能层中的至少一层在所述限定结构的边缘处断开,且所述第二电极在与所述连接电极交叠位置处的至少部分连续设置。
例如,根据本公开的实施例,在垂直于所述衬底基板的方向上,所述限定结构与所述连接电极的至少部分没有交叠。
例如,根据本公开的实施例,所述至少部分子像素中的所述第二电极包括面状结构或者网状结构。
本公开另一实施例提供一种显示装置,包括上述任一种显示基板。
本公开另一实施例提供一种显示基板的制作方法,包括:提供衬底基板;在所述衬底基板上形成无机非金属材料层;在所述无机非金属材料层远离所述衬底基板的一侧形成遮挡结构;以所述遮挡结构为掩模,且采用第一气体对所述无机非金属材料层进行刻蚀以形成限定图案;以所述遮挡结构为掩模,且采用第二气体对所述限定图案进行刻蚀以形成限定结构;在所述衬底基板的至少第一区域中形成多个子像素。至少两个相邻子像素之间设置有至少一个限定结构,至少部分子像素中的每个子像素包括发光元件,形成所述发光元件包括在垂直于所述衬底基板的方向上依次形成层叠设置的第一电极、发光功能层以及第二电极,所述第一电极位于所述第二电极与所述衬底基板之间,所述发光功能层包括多个膜层;位于相邻子像素之间的所述限定结构的靠近所述衬底基板一侧表面在所述衬底基板上的第一正投影完全位于所述限定结构的远离所述衬底基板一侧表面在所述衬底基板上的第二正投影内,沿该相邻子像素的发光区排列方向,所述第二正投影的最大尺寸大于所述第一正投影的最大尺寸;所述第一区域的至少部分区域中,所述发光功能层中的至少一层在所述限定结构的边缘处断开,且所述第二电极在所述限定结构的边缘处连续设置。
例如,根据本公开的实施例,所述限定图案被所述中心连线所在平面所截的截面形状包括矩形,所述限定结构被所述平面所截的截面形状包括第一梯形,所述第一梯形远离所述衬底基板的底边的长度大于所述第一梯形靠近所述衬底基板的底边的长度,所述平面垂直于所述衬底基板。
例如,根据本公开的实施例,形成所述限定结构后,所述制作方法还包括:去掉所述遮挡结构。
例如,根据本公开的实施例,在形成所述无机非金属材料层之前,所述制作方法还包括:在所述衬底基板上形成第一绝缘层,其中,所述第一区域的一部分区域中,所述无机非金属材料层形成在所述第一绝缘层的表面上;在形成所述第一绝缘层之前,所述制作方法还包括:在所述衬底基板上形成第二绝缘层,其中,所述第一区域的另一部分区域中,所述无机非金属材料层形成在所述第二绝缘层的表面上,采用第一气体对所述无机非金属材料层进行刻蚀以形成限定图案包括对所述第一绝缘层上的所述无机非金属材料层和所述第二绝缘层上的所述无机非金属材料层同时刻蚀以形成所述限定图案;采用第二气体对所述限定图案进行刻蚀以形成所述限定结构包括对所述第一绝缘层上的所述限定图案和所述第二绝缘层上的所述限定图案同时刻蚀以形成所述限定结构。
为了更清楚地说明本公开实施例的技术方案,下面将对实施例的附图作简单地介绍,显而易见地,下面描述中的附图仅仅涉及本公开的一些实施例,而非对本公开的限制。
图1为根据本公开实施例提供的显示基板的平面图。
图2为图1所示局部区域A11的子像素以及限定结构的示意图。
图3为沿图2所示BB’所截的局部截面结构示意图。
图4A为图3所示区域C的放大图。
图4B为不同示例中图3所示区域C的放大图。
图5为根据本公开实施例的另一示例提供的显示基板的部分截面结构示意图。
图6和图7A为根据本公开实施例的不同示例提供的显示基板的局部平面结构示意图。
图7B为根据本公开实施例提供的第二电极覆盖限定结构的平面示意图。
图8为沿图2所示DD’线所截的局部截面结构示意图。
图9A为沿图1所示EE’线所截的局部截面结构示意图。
图9B为根据本公开实施例的一示例提供的第一区域靠近第二区域的部分截面结构示意图。
图10为根据本公开另一实施例提供的显示装置的示意框图。
图11A至图11E为根据本公开实施例提供的显示基板的部分区域的制作方法的示意性工艺流程图。
图12A至图12C为根据本公开实施例提供的显示基板的另一部分区域的制作方法的示意性工艺流程图。
为使本公开实施例的目的、技术方案和优点更加清楚,下面将结合本公开实施例的附图,对本公开实施例的技术方案进行清楚、完整地描述。显然,所描述的实施例是本公开的一部分实施例,而不是全部的实施例。基于所描述的本公开的实施例,本领域普通技术人员在无需创造性劳动的前提下所获得的所有其它实施例,都属于本公开保护的范围。
除非另外定义,本公开使用的技术术语或者科学术语应当为本公开所属领域内具有一般技能的人士所理解的通常意义。本公开中使用的“第一”、“第二”以及类似的词语并不表示任何顺序、数量或者重要性,而只是用来区分不同的组成部分。“包括”或者“包含”等类似的词语意指出现该词前面的元件或者物件涵盖出现在该词后面列举的元件或者物件及其等同,而不排除其他元件或者物件。
本公开实施例中使用的“平行”、“垂直”以及“相同”等特征均包括严格意义的“平行”、“垂直”、“相同”等特征,以及“大致平行”、“大致垂直”、“大致相同”等包含一定误差的情况,考虑到测量和与特定量的测量相关的误差(例如,测量***的限制),表示在本领域的普通技术人员所确定的对于特定值的可接受的偏差范围内。例如,“大致”能够表示在一个或多个标准偏差内,或者在所述值的10%或者5%内。在本公开实施例的下文中没有特别指出一个成分的数量时,意味着该成分可以是一个也可以是多个,或可理解为至少一个。“至少一个”指一个或多个,“多个”指至少两个。
在研究中,本申请的发明人发现:发光元件的发光功能层可以包括层叠设置的多层发光层,该多层发光层中的至少两层之间设置有电荷产生层(CGL),电荷产生层的导电率较大,在电荷产生层为整面膜层时,相邻两个发光元件的电荷产生层是连续膜层,容易使得相邻子像素之间产生串扰,导致显示基板出现色偏。如电荷产生层容易导致低亮度下不同颜色子像素之间发生串扰,导致低灰阶色偏。
本公开的实施例提供一种显示基板及其制作方法、以及显示装置。显示基板包括:衬底基板以及位于衬底基板上的多个子像素。衬底基板至少包括第一区域;多个子像素位于第一区域,至少部分子像素中的每个子像素包括发光元件,发光元件包括发光功能层以及沿垂直于衬底基板的方向位于发光功能层两侧的第一电极和第二电极,第一电极位于发光功能层与衬底基板之间,发光功能层包括多个膜层。显示基板还包括限定结构,至少两个相邻子像素之间设置有至少一个限定结构,位于相邻子像素之间的限定结构的靠近衬底基板一侧表面在衬底基板上的第一正投影完全位于限定结构的远离衬底基板一侧表面在衬底基板上的第二正投影内,沿该相邻子像素的发光区排列方向,第二正投影的最大尺寸大于第一正投影的最大尺寸,且限定结构包括无机非金属材料;第一区域的至少部分区域中,发光功能层中的至少一层在限定结构的边缘处断开,且相邻子像素的第二电极的至少部分连续设置。本公开提供的显示基板中设置的限定结构在隔断发光功能层的至少一层的同时,实现第二电极的连续设置,可以在降低相邻子像素之间产生的串扰的同时,避免因第二电极大面积断裂而产生的亮度均一性问题。
本公开的实施例提供一种显示基板,显示基板包括衬底基板以及位于衬底基板上的多个子像素。衬底基板至少包括第一区域;多个子像素,位于所述衬底基板上的第一区域,至少部分子像素中的每个子像素包括发光元件,所述发光元件包括发光功能层以及沿垂直于所述衬底基板的方向位于所述发光功能层两侧的第一电极和第二电极,所述第一电极位于所述发光功能层与所述衬底基板之间,所述发光功能层包括多个膜层。所述显示基板还包括限定结构,至少两个相邻子像素之间设置有至少一个限定结构,所述多个子像素包括第一子像素、第二子像素以及第三子像素,所述第二子像素和所述第三子像素均与所述第一子像素相邻,所述第一子像素与所述第二子像素之间设置的所述限定结构在该两个子像素的排列方向上的最大尺寸为第一尺寸,所述第一子像素与所 述第三子像素之间设置的所述限定结构在该两个子像素的排列方向上的最大尺寸为第二尺寸,所述第一尺寸与所述第二尺寸不同。本公开实施例通过对不同相邻子像素之间设置的限定结构的尺寸设置,可以提高限定结构与子像素排列关系的匹配,提高第二电极的导通效果。
下面结合附图对本公开实施例提供的显示基板及其制作方法、显示装置进行描述。
图1为根据本公开实施例提供的显示基板的平面图,图2为图1所示局部区域A11的子像素以及限定结构的示意图,图3为沿图2所示BB’所截的局部截面结构示意图。如图1至图3所示,显示基板包括衬底基板01,衬底基板01至少包括第一区域A1。
如图1至图3所示,显示基板包括位于衬底基板01上的多个子像素10,多个子像素10位于第一区域A1。至少部分子像素10中的每个子像素10包括发光元件100,发光元件100包括发光功能层130以及沿垂直于衬底基板01的方向位于发光功能层130两侧的第一电极110和第二电极120,第一电极110位于发光功能层130与衬底基板01之间,发光功能层130包括多个膜层。例如发光功能层130包括电荷产生层133。例如,发光元件100可以为有机发光元件。例如,位于显示区域的每个子像素均包括发光元件。
如图1至图3所示,显示基板还包括限定结构300,至少两个相邻子像10素之间设置有至少一个限定结构300,位于相邻子像素10之间的限定结构300的靠近衬底基板01一侧表面在衬底基板01上的第一正投影301完全位于限定结构300的远离衬底基板01一侧表面在衬底基板01上的第二正投影302内,沿该相邻子像素10的发光区排列方向,第二正投影302的最大尺寸S2大于第一正投影301的最大尺寸S1。上述相邻子像素的发光区排列方向可以为平行于子像素10的中心连线的方向,如图2所示V方向,或者U方向,或者X方向,或者Z方向。例如,任意相邻子像素10之间均设置限定结构300。
如图1至图3所示,限定结构300包括无机非金属材料。例如,限定结构300的材料可以包括硅氧化物(SiOx)、硅氮化物(SiNx)和氮氧化硅(SiON)中的任意一种或更多种。
如图1至图3所示,第一区域A1的至少部分区域中,发光功能层130中的至少一层在限定结构300的边缘处断开,且第二电极120在限定结构300的边缘处连续设置。
本公开提供的显示基板中设置的限定结构的边缘在隔断发光功能层的至少一层的同时,位于限定结构边缘位置处的第二电极的连续设置,可以在降低相邻子像素之间产生的串扰的同时,避免因第二电极大面积断裂而产生的亮度均一性问题,如显示区域第二电极大面积隔断后,会导致VSS信号压降增加,产生亮度均一性问题。
上述限定结构可以指用于限定发光功能层的至少一层膜层的分布的结构,例如限定发光功能层的至少一层膜层在其边缘处断开,且第二电极在该边缘处连续设置。
本公开任一实施例中的“相邻子像素”指两个子像素10之间没有设置其他子像素10。
例如,如图3所示,发光功能层130可以包括层叠设置的第一发光层(EML)131、电荷产生层(CGL)133以及第二发光层(EML)132,电荷产生层133位于第一发光层131与第二发光层132之间。电荷产生层具有较强的导电性,可以使得发光功能层具有寿命长、功耗低以及可实现高亮度的优点,例如,相对于没有设置电荷产生层的发光功能层,子像素通过在发光功能层中设置电荷产生层可以将发光亮度提高近一倍。
例如,同一子像素10的发光元件100可以串联式(tandem)发光元件,如Tandem OLED。
例如,电荷产生层133可以包括N型电荷产生层和P型电荷产生层。
例如,各子像素10中,发光功能层130还可以包括空穴注入层(HIL)、空穴传输层(HTL)、电子传输层(ETL)和电子注入层(EIL)。
例如,空穴注入层、空穴传输层、电子传输层、电子注入层以及电荷产生层133均为多个子像素10的共用膜层,可以称为共通层。例如,发光功能层130中在限定结构300的边缘处断开的至少一层膜层可以为上述共通层中的至少一层膜层。通过将上述共通层中的至少一层膜层在位于相邻子像素之间的限定结构300的边缘处断开,可以有利于降低相邻子像素之间产生串扰的几率。例如,上述共通层以及第二电极可以为采用开口掩模(open mask)形成的膜层。
例如,第二发光层132可以位于第一发光层131与第二电极120之间,空穴注入层可以位于第一电极110与第一发光层131之间。例如,电荷产生层133与第一发光层131之间还可以设置电子传输层。例如,第二发光层132与电荷产生层133之间可以设置空穴传输层。例如,第二发光层132与第二电极120 之间可以设置电子传输层和电子注入层。
例如,同一个子像素10中,第一发光层131和第二发光层132可以为发射相同颜色光的发光层。例如,发不同颜色光的子像素10中的第一发光层131发射不同颜色光。例如,发不同颜色光的子像素10中的第二发光层132发射不同颜色光。当然,本公开实施例不限于此,例如,同一子像素10中,第一发光层131和第二发光层132可以为发射不同颜色光的发光层,通过在同一子像素10中设置发射不同颜色光的发光层可以使得子像素10包括的多层发光层发射的光混合为白光,通过设置彩膜层来调节每个子像素出射光的颜色。
例如,如图1至图3所示,相邻子像素10的第一发光层131可以在限定结构300上交叠。例如,相邻子像素10的第二发光层132可以在限定结构300上交叠。但不限于此,例如,相邻子像素10的第一发光层131可以在限定结构300上间隔设置,相邻子像素10的第二发光层132可以在限定结构300上间隔设置;或者,限定结构300上可以仅设置相邻子像素10中的一个子像素10的第一发光层131,限定结构300上可以仅设置相邻子像素10中的一个子像素10的第二发光层132。
例如,相邻子像素10中,位于电荷产生层133同一侧的发光层可以彼此间隔设置,也可以在两个子像素10之间的间隔处交叠或者相接,本公开实施例对此不作限制。
例如,电子传输层的材料可以包括芳族杂环化合物,例如苯并咪唑衍生物、咪唑并吡啶衍生物、苯并咪唑并菲啶衍生物等咪唑衍生物;嘧啶衍生物、三嗪衍生物等嗪衍生物;喹啉衍生物、异喹啉衍生物、菲咯啉衍生物等包含含氮六元环结构的化合物(也包括在杂环上具有氧化膦系的取代基的化合物)等。
例如,电荷产生层133的材料可以是含有磷氧基团的材料,也可以是含有三嗪的材料。
例如,电荷产生层133的材料电子迁移率与电子传输层电子迁移率之比为10
-2~10
2。
例如,如图3所示,发光功能层130中至少一层可以为电荷产生层133,电荷产生层133在衬底基板01上的第一电荷产生层正投影是连续的,且在垂直于衬底基板01的平面上的第二电荷产生层正投影不连续。例如,电荷产生层133可以包括位于限定结构300上的部分以及没有位于限定结构300上的部分,这两部分在限定结构300的边缘处断开。例如,这两部分在衬底基板01上 的第一电荷产生层正投影可以相接或者交叠,第一电荷产生层正投影是连续的。例如,这两部分与衬底基板01之间的距离不同,则这两部分在垂直于衬底基板的平面(BB’线与Y方向所在平面)上的第二电荷产生层正投影是不连续的。
例如,如图3所示,发光功能层130包括至少一层发光层,发光功能层130中在限定结构300处断开的膜层中包括至少一层发光层以及至少一层其他膜层;断开的至少一层其他膜层在衬底基板01上的正投影的面积大于断开的至少一层发光层在衬底基板01上的正投影的面积;或者,断开的至少一层其他膜层覆盖限定结构300的部分的面积,大于断开的至少一层发光层覆盖限定结构300的部分的面积。
例如,如图3所示,多个子像素10中的第二电极120可以为多个子像素10共用的公共电极,在上述相邻两个子像素10之间没有设置限定结构300时,第二电极120为整层膜层。
例如,如图3所示,第二电极120以及发光功能层130包括的多个膜层的至少一层与限定结构300在衬底基板01上的正投影有交叠。
例如,发光功能层130包括的多个膜层的至少一层的至少部分覆盖限定结构300的部分侧表面。
例如,第二电极120与限定结构300在垂直于衬底基板01的方向上交叠的部分的厚度小于第二电极120与限定结构300不交叠的至少部分的厚度,电荷产生层133与限定结构300在垂直于衬底基板01的方向上交叠的部分的厚度小于电荷产生层133与限定结构300不交叠的至少部分的厚度。
例如,第二电极120位于限定结构300中心的部分的厚度大于第二电极200位于限定结构300边缘的部分的厚度,电荷产生层133位于限定结构300中心的部分的厚度大于电荷产生层133位于限定结构300边缘的部分的厚度。例如,位于限定结构300上的第二电极120的中间部分的厚度大于边缘的厚度。例如,位于限定结构300上的电荷产生层133的中间部分的厚度大于边缘的厚度。
例如,图3示意性的示出发光功能层130包括的所有膜层均在限定结构300的边缘处断开,第二电极120在限定结构300的边缘处没有断开。但不限于此,其他示例中,可以通过对限定结构的厚度进行设置,使得发光功能层中靠近衬底基板一侧的部分膜层在限定结构的边缘处断开,发光功能层中远离衬底基板一侧的部分膜层在限定结构的边缘处没有断开,如电荷产生层远离衬底 基板一侧的膜层没有断开,电荷产生层及其靠近衬底基板一侧的膜层断开,且第二电极在限定结构的边缘处没有断开。
例如,第一电极110可以为阳极,第二电极120可以为阴极。例如,阴极可由高导电性和低功函数的材料形成,例如,阴极可采用金属材料制成。例如,阳极可由具有高功函数的透明导电材料形成。
例如,如图2所示,第一正投影301和第二正投影302的形状可以相同。例如,沿平行于BB’线的方向,第一正投影301的一侧的第一边缘与第二正投影302中与该第一边缘距离较近的第二边缘之间的距离与第一正投影301的另一侧的第一边缘与第二正投影302中与该第一边缘距离较近的第二边缘之间的距离之比可以为0.7~1.5。例如,上述两个第一边缘和相应的两个第二边缘之间的距离之比可以为0.8~1.3。例如,上述两个第一边缘和相应的两个第二边缘之间的距离之比可以为0.9~1.4。例如,上述两个第一边缘和相应的两个第二边缘之间的距离之比可以为0.95~1.2。例如,上述两个第一边缘和相应的两个第二边缘之间的距离之比可以为1~1.1。
在一些示例中,如图3所示,限定结构300被中心连线所在平面所截的截面形状包括第一梯形310,第一梯形310远离衬底基板01的第一底边311的长度大于第一梯形310靠近衬底基板01的第二底边312的长度,该平面垂直于衬底基板01,如可以为图3所示的VY面。但不限于此,该平面还可以为UY面、XY面等。
在一些示例中,如图3所示,限定结构300的厚度为300~550埃。例如,限定结构300的厚度为320~530埃。例如,限定结构300的厚度为350~400埃。例如,限定结构300的厚度为330~420埃。例如,限定结构300的厚度为360~450埃。例如,限定结构300的厚度为380~500埃。例如,限定结构300的厚度为480~520埃。
例如,如图3所示,沿垂直于衬底基板01的方向,限定结构300的厚度与发光功能层130的厚度之比为0.7~1.5。例如,限定结构300的厚度与发光功能层130的厚度之比为0.8~1.2。例如,限定结构300的厚度与发光功能层130的厚度之比为0.9~1.1。
在一些示例中,如图3所示,第一梯形310的腰与第二底边312之间的夹角为110~150度。例如,第一梯形310的腰与第二底边312之间的夹角为115~130度。例如,第一梯形310的腰与第二底边312之间的夹角为112~140 度。例如,第一梯形310的腰与第二底边312之间的夹角为120~148度。例如,第一梯形310的腰与第二底边312之间的夹角为118~135度。例如,第一梯形310的腰与第二底边312之间的夹角为122~145度。例如,第一梯形310的腰与第二底边312之间的夹角为135~146度。
例如,第一梯形310的两个腰的长度之比为0.9~1.1。例如,第一梯形310的两个腰的长度相同。
例如,如图3所示,上述第一底边311为限定结构300远离衬底基板01一侧的表面被VY面所截的截线,上述第二底边312为限定结构200面向衬底基板01一侧的表面被VY面所截的截线,上述腰为限定结构300的侧壁被VY面所截的截线。例如,限定结构300的侧壁为倾斜侧壁,该倾斜侧壁向远离该限定结构中心一侧倾斜。
本公开实施例中的第一梯形包括标准梯形和大致梯形,标准梯形中的腰、第一底边以及第二底边均为直边,大致梯形中的腰、第一底边以及第二底边中的至少之一为曲线边。例如,第一梯形中的腰为曲线边时,该曲线边可以朝向第一底边的中点的方向弯曲,也可以向远离第一底边的中点的方向弯曲。在第一梯形为大致梯形时,上述腰与第二底边之间的夹角可以为腰与第二底边交点和腰与第一底边交点连线与平行于衬底基板的直线之间的夹角。
本公开提供的显示基板通过对限定结构的形状、厚度以及侧壁倾斜角度进行设置,以在隔断发光功能层的至少一层的同时,实现第二电极的连续设置,有利于在降低相邻子像素之间产生的串扰的同时,避免因第二电极的断裂而产生的亮度均一性问题。
在一些示例中,如图3所示,显示基板还包括:第一绝缘层200,位于限定结构300与衬底基板01之间。第一区域A1的至少部分区域中,第一绝缘层200与限定结构300面向衬底基板01一侧表面接触,第一绝缘层200位于第一电极110与衬底基板01之间,第一绝缘层200的材料包括有机材料。
例如,如图3所示,第一绝缘层200包括平坦(PLN,Planarization)层。
图4A为图3所示区域C的放大图。在一些示例中,如图3和图4A所示,第一绝缘层200包括与限定结构300的表面接触的凸起210,限定结构300第一正投影完全位于凸起210在衬底基板01上的正投影内。
图4B为不同示例中图3所示区域C的放大图。图4B所示限定结构300与图4A所示限定结构300不同之处在于图4B所示限定结构300的边缘为圆 角。
例如,如图3和图4A所示,第一绝缘层200包括的凸起210仅位于限定结构300下方,其他位置处没有设置凸起210,如发光元件的发光区位置处没有设置该凸起,如发光元件的第一电极位置处没有设置该凸起,如像素限定图案的像素限定部(后续描述)位置处没有设置该凸起。
例如,如图3和图4A所示,限定结构300靠近衬底基板01一侧表面在平行于衬底基板01的方向上的最大尺寸小于凸起210在该方向上的最大尺寸。例如,限定结构300的第二底边312的长度小于凸起210在平行于该第二底边312的方向上的尺寸。
例如,如图3和图4A所示,第二底边312的两端与凸起210的两端之间的两个间隔的尺寸之比可以为0.8~1.2,或者0.9~1.1,或者为1。例如,第二底边312可以位于凸起210中间区域。
在一些示例中,如图3和图4A所示,凸起210的边缘与限定结构300远离衬底基板01一侧表面的边缘齐平。例如,沿垂直于衬底基板01的方向延伸的直线经过凸起210的边缘以及限定结构300的远离衬底基板01一侧表面的边缘。例如,第二正投影与凸起210在衬底基板01上的正投影完全重合。
例如,如图3和图4A所示,凸起210的厚度可以为200~550埃。例如,凸起210的厚度可以小于限定结构300的厚度。
例如,如图3和图4A所示,发光功能层113覆盖凸起210的侧壁。例如,发光功能层113覆盖凸起210远离衬底基板01一侧的表面。
例如,可以在形成限定结构300的过程中对工艺进行调控以使得凸起210的厚度尽量小。
例如,如图3和图4A所示,凸起210被垂直于衬底基板01的VY面所截的截面的形状可以为矩形。
在一些示例中,如图3所示,第一电极110的表面与第一绝缘层200的表面接触,且第一电极110远离衬底基板01一侧表面与衬底基板01之间的距离小于限定结构300远离衬底基板01一侧表面与衬底基板01之间的距离。
例如,如图3所示,限定结构300和第一电极110均位于第一绝缘层200上,且限定结构300与第一电极110间隔设置。
在一些示例中,如图1至图3所示,显示基板还包括像素限定图案400,位于第一电极110远离衬底基板01的一侧,至少位于第一区域A1的像素限定 图案400包括多个第一开口410,一个子像素10对应至少一个第一开口410,子像素10的发光元件100至少部分位于子像素10对应的第一开口410中,且第一开口410被配置为暴露第一电极110。例如,第一开口410暴露第一电极110的一部分。例如,一个子像素10可以对应一个第一开口410。
例如,如图3所示,当发光功能层130形成在像素限定图案400的第一开口410中时,位于发光功能层130两侧的第一电极110和第二电极120能够驱动的第一开口410中的发光功能层130进行发光。例如,上述发光区可以指子像素有效发光的区域,发光区的形状指二维形状,例如发光区的形状可以与像素限定图案400的第一开口410的形状相同。
例如,如图3所示,像素限定图案400包括围绕第一开口410的像素限定部401,像素限定部401的材料可以包括聚酰亚胺、亚克力或聚对苯二甲酸乙二醇酯等。
在一些示例中,如图3所示,像素限定图案400还包括第二开口420,限定结构300的至少部分被第二开口420暴露。例如,限定结构300位于第二开口420中,如限定结构300完全被第二开口420暴露。例如,限定结构300与像素限定图案400的像素限定部401之间设置有间隔。
在一些示例中,如图3所示,发光功能层130的至少一层在第二开口420暴露的限定结构300的至少部分边缘处断开,且第二电极120在该边缘处连续设置。
例如,如图3所示,沿V方向,第一开口410的尺寸可以小于第二开口420的尺寸。但不限于此,可以根据产品需要对第二开口的尺寸进行设置。
例如,如图3所示,沿垂直于衬底基板01的方向,限定结构300厚度小于像素限定部401的厚度。
例如,如图3和图4A所示,凸起210的至少部分位于第二开口420内。例如,凸起210完全位于第二开口420内。
例如,像素限定图案400的像素限定部401远离衬底基板01的一侧还可以设置隔垫物,隔垫物被配置为支撑制作发光层的蒸镀掩模板。
例如,图3至图4A示意性的示出相邻子像素10之间设置有一个限定结构300,但不限于此,相邻子像素10之间可以设置两个或者更多个限定结构,可以根据相邻子像素之间的距离以及限定结构的尺寸设置限定结构的数量。
例如,相邻两个子像素10之间设置有一个限定结构300,限定结构300与 两个子像素10的发光区之间的距离之比可以为0.8~1.1,或者0.9~1。
例如,在像素限定图案400远离衬底基板01一侧可以设置隔垫物以及薄膜封装层。例如,在像素限定图案400远离衬底基板01一侧还可以设置彩膜层。
图5为根据本公开实施例的另一示例提供的显示基板的部分截面结构示意图。图5所示显示基板与图3至图4A所示显示基板的不同之处在于图5所示第二开口420仅暴露部分限定结构300,限定结构300的部分被像素限定部401覆盖,限定结构300被第二开口420暴露的部分的边缘用于断开发光功能层130的至少一层,且第二电极120在限定结构300的被第二开口420暴露的边缘处连续设置。
例如,相邻子像素之间可以设置多个限定结构,至少一个限定结构被第二开口暴露,如至少一个限定结构的部分被像素限定部覆盖。
在一些示例中,如图2所示,多个子像素10包括多个第一颜色子像素101、多个第二颜色子像素102以及多个第三颜色子像素103。例如,第一颜色子像素101和第三颜色子像素103之一发红光,另一个发蓝光;第二颜色子像素102发绿光。图12示意性的示出第一颜色子像素101发红光,为红色子像素;第三颜色子像素103发蓝光,为蓝色子像素;第二颜色子像素102发绿光,为绿色子像素。
例如,如图2所示,多个第一颜色子像素101和多个第三颜色子像素103沿平行于衬底基板01的X方向和Z方向均交替设置以形成多个第一像素行和多个第一像素列,多个第二颜色子像素102沿X方向和Z方向均阵列排布以形成多个第二像素行和多个第二像素列,多个第一像素行和多个第二像素行沿Z方向交替设置且在X方向上彼此错开,多个第一像素列和多个第二像素列沿X方向交替设置且在Z方向上彼此错开。
在一些示例中,如图2所示,限定结构300包括多个第一环形限定结构320,第一环形限定结构320围绕多个第一颜色子像素101、多个第二颜色子像素102和多个第三颜色子像素103中的至少一个子像素10。
例如,如图2所示,第一颜色子像素101、第二颜色子像素102以及第三颜色子像素103中的至少一种颜色子像素10中的每个子像素10被第一环形限定结构320围绕。
例如,如图2所示,沿V方向排列的子像素10可以共用第一环形限定结 构320的一部分。例如,沿U方向排列的子像素10可以共用第一环形限定结构32的一部分。
例如,如图2所示,沿X方向排列的相邻两个子像素10对应的两个第一环形限定结构320可以为一体化的结构,也可以间隔设置。例如,沿Z方向排列的相邻两个子像素10对应的两个第一环形限定结构320可以为一体化的结构,也可以间隔设置。
例如,至少一个第一环形限定结构320可以为闭合环形结构。例如,至少一个第一环形限定结构320可以为非闭合环形结构。例如,部分第一环形限定结构320可以为闭合环形结构,另一部分第一环形限定结构320可以为非闭合环形结构。例如,所有第一环形限定结构320可以均为闭合环形结构。例如,所有第一环形限定结构320可以均为非闭合环形结构。
例如,具有非闭合环形结构的第一环形限定结构320可以包括至少一个缺口321。例如,第一环形限定结构320可以包括一个缺口321,或者两个缺口321,或者三个缺口321。例如,不同第一环形限定结构320包括的缺口321的数量可以相同,也可以不同。
例如,如图2所示,限定结构300的至少部分边界和与其紧邻的子像素10的发光区的边界轮廓大致相同。例如,子像素10的发光区的边界轮廓可以包括多条直边,和/或,连接相邻直线的弧形边,围绕该发光区的限定结构300的边界轮廓中可以包括与发光区的直边对应的直边轮廓,和/或,与弧形边对应的弧边轮廓。
图6和图7A为根据本公开实施例的不同示例提供的显示基板的局部平面结构示意图。图6和图7A所示显示基板与图2所示显示基板的不同之处在于限定结构300的形状不同,如平面形状不同,如限定结构的宽度不同。可以根据子像素的发光区的尺寸以及相邻子像素的发光区之间的距离对限定结构的平面形状、宽度、第一环形限定结构围绕的开口进行灵活设置。
例如,图6所示限定结构300和与其相邻子像素10的发光区之间的距离不同于图2所述限定结构和与其相邻子像素10的发光区之间的距离。例如,图6所示限定结构300的第一梯形截面上底的长度不同于图2所示限定结构300的第一梯形截面上底的长度。
例如,图6所示限定结构300中位于沿X方向或者沿Z方向排列的相邻子像素10之间的部分的尺寸较大。例如,图7A所示至少一个第一环形限定结 构320为闭合环形。
例如,如图2和图6所示,在垂直于衬底基板01的方向,第一电极110的部分与第一环形限定结构320的缺口321交叠。例如,一个第一环形限定结构320包括至少两个缺口321,且每个缺口321与不同子像素10的第一电极110交叠。
例如,第一电极110的部分在衬底基板上的正投影***第一环形结构320在衬底基板上的正投影的缺口内。例如,在垂直于所述衬底基板的方向,所述第一环形限定结构320与所述连接电极不交叠。
本公开一示例提供的显示基板中,通过在第一环形限定结构中设置用于避让第一电极的缺口,可以防止第一环形限定结构对发光元件的第一电极的位置发生干涉。
例如,如图7A所示,限定结构300边缘位置处仅用于断开发光元件中发光功能层的至少部分膜层,而没有断开发光元件的第二电极,将至少一个第一环形限定结构320设置为围绕子像素10的封闭环形,有利于将不同子像素10中的电荷产生层完全断开而避免相邻子像素之间发生串扰的同时,实现第二电极的连续性以提高显示均一性。
本公开提供的显示基板中,通过对第一环形限定结构的位置以及尺寸进行设置,在避让第一电极的同时,采用闭合环形结构,进而在降低相邻子像素之间产生的串扰的同时,避免第二电极的断裂而产生的亮度均一性问题。
在一些示例中,如图2、图3、图6和图7B所示,至少一个子像素10的所述第二电极120和与其在第一子方向(如行方向和列方向之一,如第三方向和第四方向之一)相邻的子像素10的所述第二电极120连续设置,且所述至少一个子像素10的所述第二电极120和与其在第二子方向(如行方向和列方向的另一个,如第三方向和第四方向的另一个)相邻的子像素10的所述第二电极120断开设置,所述第一子方向和所述第二子方向相交。
在一些示例中,如图2、图3、图6和图7B所示,至少一个子像素10的所述第二电极120和与其在第一子方向相邻的子像素10的所述第二电极120连续设置,且所述至少一个子像素10的所述第二电极120和与其在第二子方向相邻的子像素10的所述第二电极120连续设置,所述第一子方向和所述第二子方向相交。
例如,如图2、图3、图6和图7B所示,任一个子像素10的第二电极120 可以和与其在任一方向相邻的子像素10的第二电极120均连续设置以提高第二电极的导通效果。例如,任一子像素10的第二电极120可以在和与其在至少一个方向相邻的子像素10的第二电极120连续设置,以至少保证子像素的第二电极的导通性。
在一些示例中,如图2、图3、图6和图7B所示,所述限定结构300围绕至少一个子像素10的50%以上的轮廓。
例如,限定结构300围绕至少一个子像素10的55%以上的轮廓。例如,限定结构300围绕至少一个子像素10的60%以上的轮廓。例如,限定结构300围绕至少一个子像素10的65%以上的轮廓。例如,限定结构300围绕至少一个子像素10的70%以上的轮廓。例如,限定结构300围绕至少一个子像素10的75%以上的轮廓。例如,限定结构300围绕至少一个子像素10的80%以上的轮廓。例如,限定结构300围绕至少一个子像素10的85%以上的轮廓。例如,限定结构300围绕至少一个子像素10的90%以上的轮廓。例如,限定结构300围绕至少一个子像素10的95%以上的轮廓。
在一些示例中,如图2、图3、图6和图7B所示,至少一个子像素10的所述第二电极120和与其相邻的子像素10的所述第二电极120连续设置,且该相邻设置的两个子像素10之间的所述第二电极120在垂直于两者排布方向上的最小宽度大于1微米。例如,上述最小宽度可以大于2微米。例如,上述最小宽度可以大于3微米。例如,上述最小宽度可以大于4微米。例如,上述最小宽度可以大于5微米。例如,上述最小宽度可以大于6微米。例如,上述最小宽度可以大于7微米。例如,上述最小宽度可以大于8微米。例如,上述最小宽度可以大于9微米。例如,上述最小宽度可以大于10微米。
例如,如图6所示,第一尺寸D1大于1微米。例如,如图6所示,D5大于1微米。
在一些示例中,如图2、图3、图6和图7B所示,该相邻设置的两个子像素10的中心连线在所述第二电极120所在平面的正投影位于所述第二电极120内。
例如,上述中心连线在衬底基板上的正投影位于第二电极120在衬底基板上的正投影内,上述中心连线所在位置处的第二电极120连续设置。
在一些示例中,如图2、图6和图7B所示,至少部分限定结构300的轮廓与被所述至少部分限定结构300围绕的所述子像素10的发光区的轮廓相同, 且不同限定结构300与被所述不同限定结构300围绕的所述子像素10的发光区的彼此靠近的边缘之间的间距之比为0.9~1.1。例如,该间距相同。
例如,该间距可以为7~10微米。例如,该间距可以为8~9微米。
例如,同一限定结构围绕的子像素的发光区与该限定结构的彼此靠近的边缘之间的不同位置处距离之比为0.9~1.1。例如,同一限定结构围绕的子像素的发光区与该限定结构的彼此靠近的边缘之间的不同位置处距离相等。
图8为沿图2所示DD’线所截的局部截面结构示意图。在一些示例中,如图2和图8所示,至少部分子像素10中的每个子像素10还包括像素电路140,至少一个子像素10的发光元件100的第一电极110包括主体电极111和连接电极112,在垂直于衬底基板01的方向上,主体电极111与发光元件100的发光区001交叠,且连接电极112与发光元件100的发光区001没有交叠。例如,发光元件100的发光区001在衬底基板01上的正投影完全位于主体电极111在衬底基板01上的正投影内。例如,主体电极111的形状与发光区001的形状基本相同。例如,同一个第一电极110中的主体电极111与连接电极112为一体化设置的结构。例如,每个子像素10的发光元件100的第一电极110包括主体电极111和连接电极112。
在一些示例中,如图2和图8所示,像素电路140与连接电极112电连接。例如,第一电极110可以通过贯穿第一绝缘层200等膜层的过孔与像素电路140中的薄膜晶体管的源极和漏极之一连接。
例如,如图8所示,像素电路可以包括多个晶体管以及至少一个电容。例如,像素电路可以包括发光控制晶体管,如发光控制晶体管包括有源层261、栅极264、源极262和漏极263,漏极263与发光元件100的第一电极110电连接。例如,显示基板还包括栅极绝缘层02和03、层间绝缘层04以及钝化层05等膜层。例如,像素电路还包括存储电容。例如,第一绝缘层200与衬底基板01之间设置有栅极绝缘层、层间绝缘层、像素电路中的各膜层、数据线、栅线、电源信号线、复位电源信号线、复位控制信号线、发光控制信号线等膜层或者结构。
例如,像素电路可以为8T1C(即八个晶体管和一个电容)结构,或者7T1C结构、或者7T2C结构、或者6T1C结构、或者6T2C结构或者9T2C结构,本公开实施例对此不作限定。
在一些示例中,如图2和图8所示,围绕至少一个子像素10的第一环形 限定结构320包括缺口321,在垂直于衬底基板01的方向,缺口321与连接电极112交叠。例如,在垂直于衬底基板01的方向,缺口321与主体电极111没有交叠。
在一些示例中,如图1所示,衬底基板01还包括第二区域A2,第一区域A1位于第二区域A2的周边。例如,第一区域A1围绕第二区域A2的至少部分。例如,图1示出的第二区域A2位于衬底基板01的顶部正中间位置,例如呈矩形的第一区域A1的四侧可以均围绕第二区域A2,即第二区域A2可以被第一区域A1包围。例如,该第二区域A2也可以不位于图1所示衬底基板01的顶部正中间位置处,而是位于其他位置。例如,第二区域A2可以位于衬底基板01的左上角位置或右上角位置处。例如,第一区域A1可以包括显示区,第二区域A2可以为显示区,也可以为非显示区,如孔区,例如孔区可以设置感光传感器等所需硬件结构。例如,第一区域A1可以包括远离第二区域A2的显示区域以及围绕第二区域A2的非显示区域。例如,第一环形限定结构位于显示区域。
例如,第二区域A2的形状可以为圆形或者椭圆形。但不限于此,第二区域A2的形状可以为多边形,如四边形、六边形或者八边形等。例如,第一区域A1的形状可以为四边形,如矩形,但不限于此,第一区域的A1的形状也可以为圆形、除四边形外的其他多边形,如六边形、八边形等。
图9A为沿图1所示EE’线所截的局部截面结构示意图。在一些示例中,如图1、图8和图9A所示,显示基板还包括第二绝缘层500,位于限定结构300与衬底基板01之间。
在一些示例中,如图1、图8和图9A所示,第二绝缘层500位于第一绝缘层200面向衬底基板01的一侧。例如,在图9A所示区域以外的区域,第二绝缘层500可以与第一绝缘层200层叠设置。例如,图9A所示区域没有设置第一绝缘层200。例如,图9A所示区域为第一区域A1包括的非显示区域。
在一些示例中,如图1、图8和图9A所示,第二绝缘层500的材料包括无机非金属材料,且第二绝缘层500的材料与限定结构300的材料不同。例如,限定结构300的材料包括氮化硅,第二绝缘层500的材料包括氧化硅。
在一些示例中,如图1和图9A所示,第二绝缘层500包括围绕第二区域A2的至少一个环形绝缘部510,限定结构300还包括与环形绝缘部510远离衬底基板01一侧表面接触的第二环形限定结构330,发光功能层130以及第 二电极120均在第二环形限定结构330的边缘位置处断开。图1仅示意性的示出第二环形限定结构330,没有示出环形绝缘部510。例如,环形绝缘部与第二区域A2的边缘之间没有设置用于显示图像的子像素。
例如,如图1所示,第二环形限定结构330位于第一区域A1,且围绕第二区域A2。例如,第二环形限定结构330的数量可以为三个,但不限于此,第二环形限定结构的数量可以为一个、两个、四个或者更多个,可以根据产品需求进行设置。
第二区域不设置发光元件,通过在第二区域的周围设置用于断开发光功能层和第二电极的至少一圈第二环形限定结构,可以将位于第一区域的发光元件与第二区域分隔开。
例如,第二环形限定结构330的材料包括无机非金属材料,如氮化硅。
相对于一般显示基板中设置围绕孔区的金属材料制作的隔离柱,且该隔离柱与发光元件的第二电极电连接的设计,本公开提供的显示基板中,围绕第二区域的第二环形限定结构采用无机材料,该第二环形限定结构与第二电极没有电连接关系,可以避免第二电极通电后,孔区(AA hole)位置因生产工艺过程中产生的杂质通过第二环形限定结构影响第二电极的信号而导致孔区周围显示区出现黑斑(grow dark spot,GDS)的问题。
例如,发光功能层130的至少部分膜层可以覆盖环形绝缘部510的边缘。例如,发光功能层130的至少部分膜层可以覆盖第二环形限定结构330的至少部分边缘。
例如,如图3、图7A以及图9A所示,第一环形限定结构320的厚度与第二环形限定结构330的厚度之比为0.8~1.2。例如,第一环形限定结构320的厚度与第二环形限定结构330的厚度之比为0.9~1。例如,第一环形限定结构320的厚度与第二环形限定结构330的厚度之比为0.95~1.1。例如,第一环形限定结构320的厚度与第二环形限定结构330的厚度之比为0.85~1。
在一些示例中,如图1和图9A所示,第二环形限定结构330在衬底基板01上的正投影位于环形绝缘部510在衬底基板01上的正投影内。
例如,如图9A所示,第二环形限定结构330靠近衬底基板一侧的表面在衬底基板上的正投影完全位于第二环形限定结构330远离衬底基板一侧的表面在衬底基板上的正投影内。
在一些示例中,如图9A所示,第二环形限定结构330的截面包括第二梯 形340,第二梯形340远离衬底基板的底边341的长度大于第二梯形340靠近衬底基板的底边342的长度。
在一些示例中,如图3、图7A以及图9A所示,第一梯形310在垂直于衬底基板01的方向的尺寸与第二梯形340在垂直于衬底基板01的方向的尺寸之比为0.8~1.2,且第一梯形310的腰与第二底边312之间的夹角与第二梯形340的腰与第二梯形340的靠近衬底基板01一侧底边之间的夹角之比为0.8~1.2。
例如,如图3、图7A以及图9A所示,第二梯形340的腰与底边342之间的夹角与第一梯形310的腰与第二底边312之间的夹角之比可以为0.9~1。例如,第二梯形340的腰与底边342之间的夹角与第一梯形310的腰与第二底边312之间的夹角之比可以为0.95~1.1。
例如,如图9A所示,第二梯形340的腰与底边342之间的夹角为110~150度。例如,第二梯形340的腰与底边342之间的夹角为115~130度。例如,第二梯形340的腰与底边342之间的夹角为112~140度。例如,第二梯形340的腰与底边342之间的夹角为120~148度。例如,第二梯形340的腰与底边342之间的夹角为118~135度。例如,第二梯形340的腰与底边342之间的夹角为122~145度。例如,第二梯形340的腰与底边342之间的夹角为135~146度。
本公开实施例中的第二梯形包括标准梯形和大致梯形,标准梯形中的腰、两条底边均为直边,大致梯形中的腰、两条底边中的至少之一为曲线边。例如,第二梯形中的腰为曲线边时,该曲线边可以朝向底边的中点的方向弯曲,也可以向远离底边的中点的方向弯曲。
例如,如图4A和图9A所示,环形绝缘部510的厚度大于凸起210的厚度。例如,环形绝缘部510的厚度大于第二环形限定结构320的厚度。
例如,如图2、图3以及图9A所示,第一环形限定结构320上第二电极120与第一环形限定结构320以外位置的第二电极120之间的段差小于第二环形限定结构330上第二电极120与第二环形限定结构330以外位置的第二电极120之间的段差,可以实现第一环形限定结构边缘位置处第二电极连续设置的同时,第二环形限定结构边缘位置处第二电极断开。
例如,图9A示意性的示出相邻环形绝缘部510之间没有设置第二绝缘层500,但不限于此,多个环形绝缘部510之间也可以设置具有较小厚度的第二绝缘层,多个环形绝缘部510为一体化设置的结构。例如,图9A所示区域中,与第二环形限定结构320交叠位置处的第二绝缘层500的厚度大于与第二环形 限定结构320没有交叠位置处的第二绝缘层500的厚度以使得与第二环形限定结构320交叠位置形成环形绝缘部510。
本公开实施例提供的显示基板,可以将各位置处的限定结构的厚度等参数设置的相同的同时,通过调整环形绝缘部的厚度实现第一环形限定结构边缘位置处的第二电极连续设置,且第二环形限定结构边缘位置处的第二电极断开设置。
本公开提供的显示基板中,将位于相邻子像素之间的限定结构与围绕第二区域的限定结构分别设置在材料不同的第一绝缘层和第二绝缘层中,可以采用同一步工艺实现相邻子像素之间限定结构边缘不断开第二电极的同时,围绕第二区域的限定结构边缘断开第二电极。
例如,如图1和图9A所示,沿第二区域A2的中心指向边缘的方向,环形绝缘部510的最大尺寸大于第二环形限定结构330的最大尺寸。
例如,如图9A所示,第二环形限定结构330在衬底基板上的正投影完全位于环形绝缘部510在衬底基板上的正投影内。
例如,如图9A所示,环形绝缘部510的截面可以为矩形,矩形的平行于衬底基板的边的长度大于第二梯形340的远离衬底基板一侧底边的长度。例如,相邻环形绝缘部510之间的距离小于相邻第二环形限定结构330之间的距离。当然,本公开实施例不限于此,环形绝缘部510的截面可以为梯形,如梯形可以为正梯形,或者倒梯形。
如图1至图8所示,本公开实施例提供一种显示基板,包括衬底基板01以及位于衬底基板01上的多个子像素10。衬底基板01至少包括第一区域A1;多个子像素10位于衬底基板01上的第一区域A1,至少部分子像素10中的每个子像素10包括发光元件100,发光元件100包括发光功能层130以及沿垂直于衬底基板01的方向位于发光功能层130两侧的第一电极110和第二电极120,第一电极110位于发光功能层130与衬底基板01之间,发光功能层130包括多个膜层。显示基板还包括限定结构300,至少两个相邻子像素10之间设置有至少一个限定结构300,多个子像素10包括第一子像素、第二子像素以及第三子像素。例如,第一子像素、第二子像素以及第三子像素可以为三种不同颜色子像素,如分别为第一颜色子像素101、第二颜色子像素102以及第三颜色子像素103。以第一子像素为第一颜色子像素101,第二子像素为第二颜色子像素102,第三子像素为第三颜色子像素103为例,则第二子像素102和第 三子像素103均与第一子像素101相邻。
如图6所示,第二子像素102和第三子像素103均与第一子像素101相邻,第一子像素101与第二子像素102之间设置的限定结构300在该两个子像素的排列方向上的最大尺寸为第一尺寸D1,第一子像素101与第三子像素103之间设置的限定结构300在该两个子像素的排列方向上的最大尺寸为第二尺寸D2,第一尺寸D1与第二尺寸D2不同。例如,第一子像素101与第二子像素102的排列方向可以为U方向或者V方向,第一子像素101与第三子像素103的排列方向可以为X方向或者Z方向。上述“第二子像素102和第三子像素103均与第一子像素101相邻”可以指第一子像素与第二子像素在这两者的排列方向上,两者之间没有设置其他子像素;第一子像素与第三子像素在这两者的排列方向上,两者之间没有设置其他子像素。
通过对不同相邻子像素之间设置的限定结构的尺寸设置,可以提高限定结构与子像素排列关系的匹配,提高第二电极的导通效果。
例如,如图6所示,第一尺寸D1大于第二尺寸D2。当然,根据第一子像素、第二子像素以及第三子像素选取不同颜色子像素,第一尺寸与第二尺寸的大小关系可能会变化。
在一些示例中,如图6所示,多个子像素10沿第一方向和第二方向阵列排布,且多个子像素10中部分子像素10沿第三方向和第四方向阵列排布,第一方向与第二方向垂直,第三方向与第四方向垂直,第一方向与第三方向相交。例如,本公开实施例示意性的示出第一方向和第二方向之一为U方向,另一个为V方向;第三方向和第四方向之一为X方向,另一个为Z方向。例如,多个第二颜色子像素102沿第三方向和第四方向阵列排布。例如,第一颜色子像素101和第三颜色子像素103在第三方向上交替排列,且在第四方向上也交替排列,由此多个第一颜色子像素和多个第三颜色子像素沿第三方向和第四方向阵列排布。
在一些示例中,如图6所示,沿第一方向或第二方向排列的相邻两个子像素10之间的限定结构300在该两个子像素10的排列方向上的最大尺寸为第三尺寸D3,沿第三方向或第四方向排列的相邻两个子像素10之间的限定结构300在该两个子像素10的排列方向上的最大尺寸为第四尺寸D4,第三尺寸D3小于第四尺寸D4。
例如,如图6所示,第三尺寸D3可以为相邻两个子像素10的彼此平行的 两条边之间设置的限定结构300在垂直于该边的方向上的尺寸,第四尺寸D4可以为相邻两个子像素的彼此相对的两个角之间设置的限定结构300在平行于两个角连线的方向上的尺寸。
在一些示例中,如图6所示,多个子像素10包括多个绿色子像素102、多个蓝色子像素103以及多个红色子像素101,相邻两个绿色子像素102之间设置的限定结构300在该两个绿色子像素102的排列方向上的最大尺寸大于其他相邻子像素10之间设置的限定结构300在该相邻子像素10的排列方向上的最大尺寸。
例如,相邻两个绿色子像素102之间设置的限定结构300在该两个绿色子像素102的排列方向上的最大尺寸可以为D5,其他相邻子像素10之间设置的限定结构300在该相邻子像素10的排列方向上的最大尺寸可以为D3或者D4。例如,上述其他相邻子像素10可以指相邻的红色子像素和绿色子像素、相邻的蓝色子像素和红色子像素、或者相邻的蓝色子像素和绿色子像素。
在一些示例中,如图2、图6和图8所示,至少部分子像素10中的每个子像素10还包括像素电路140,至少一个子像素10的发光元件100的第一电极110包括主体电极111和连接电极112,在垂直于衬底基板的方向上,主体电极111与发光元件100的发光区交叠,且连接电极112与发光元件100的发光区没有交叠,像素电路140与连接电极112电连接;第一区域A1的至少部分区域中,发光功能层130中的至少一层在限定结构300的边缘处断开,且第二电极120在与连接电极112交叠位置处的至少部分连续设置。
例如,如图6和图8所示,第一电极110通过贯穿第一绝缘层200的阳极过孔201与像素电路140电连接,第二电极120在该阳极过孔201位置处连续设置。
在一些示例中,如图2、图6和图8所示,在垂直于衬底基板的方向上,限定结构300与连接电极112的至少部分没有交叠。例如,在垂直于衬底基板的方向上,限定结构300与阳极过孔201没有交叠。
在一些示例中,如图2和图6所示,至少部分子像素10中的第二电极120包括面状结构或者网状结构。
图7B为根据本公开实施例提供的第二电极覆盖限定结构的平面示意图。例如,第二电极120为透明电极,图7B以半透明填充图案示意。例如,如图7B所示,第二电极120可以为覆盖多个子像素10的面状结构,即多个子像素 10共用面状结构的第二电极120,第二电极120在各位置处,尤其在限定结构300的边缘处均是连续的,如全屏阴极全部连续。当然,本公开实施例不限于此,由于工艺稳定性和均一性的问题,如果部分区域无法做到第二电极始终连续,需预留能保证该区域形成网状结构的第二电极的搭接通道RO。例如,第二电极在阳极过孔位置处连续,以形成搭接通道RO。例如,搭接通道RO包括沿U方向延伸的部分和沿V方向延伸的部分,此时第二电极可以形成为网状结构。
例如,显示面板上设置挡墙(PS)位置也可以为第二电极搭接通道经过的位置。例如,在垂直于衬底基板的方向上,限定结构与挡墙不交叠。
例如,第二电极的网状搭接方式可根据子像素的形状灵活设计,如子像素周围至少预留1个缺口以作为网状搭接第二电极的通路。
例如,如图6所示,限定结构300的尺寸D3可以为2.2~2.7微米,如2.5微米。
例如,如图6所示,限定结构300到像素限定图案限定不同颜色子像素10的发光区的开口之间的距离之比为0.9~1.1,如1。例如,限定结构300到像素限定图案限定绿色子像素102的发光区的开口之间的距离可以为8~10微米,如8.5微米。例如,限定结构300到像素限定图案限定蓝色子像素103的发光区的开口之间的距离可以为8~10微米,如8.5微米。例如,限定结构300到像素限定图案限定红色子像素101的发光区的开口之间的距离可以为8~10微米,如8.5微米。
例如,如图6所示,限定结构300的尺寸D4可以为10~14微米,如12.5微米。例如,限定结构300的尺寸D5可以为18~20微米,如19.5微米。
例如,如图6所示,在U方向或者V方向上排列的相邻两个子像素10的发光区之间的间隔可以为18~22微米,如20微米。例如,在U方向或者V方向上排列的像素限定图案的相邻两个开口之间的距离可以为20微米。
图9B为根据本公开实施例的一示例提供的第一区域靠近第二区域的部分截面结构示意图。如图9B所示,衬底基板上设置有缓冲层和遮挡层021、位于缓冲层和遮挡层021上的有源层026、位于与有源层026上的栅极绝缘层022、位于栅极绝缘层022上的金属层028、位于金属层028上的栅极绝缘层023、位于栅极绝缘层023上的金属层027、位于金属层027上的层间绝缘层024、位于层间绝缘层024上的金属层031、位于金属层031上的平坦层025、位于 平坦层025上的平坦层200。A11区域为设置有子像素100的区域,A12区域为围绕第二区域且设置有第二环形限定结构330的区域。
例如,如图8至图9B所示,环形绝缘部510以及第二绝缘层500可以包括栅极绝缘层022、栅极绝缘层023以及层间绝缘层024。
例如,如图9B所示,在A11区域对层间绝缘层024、栅极绝缘层022、栅极绝缘层023进行刻蚀形成过孔041的同时,对A12区域的间绝缘层024、栅极绝缘层022、栅极绝缘层023进行刻蚀形成间隔042,此后形成在A12区域的金属层031、平坦层025以及平坦层200均被图案化去掉,以在A11区域和A12区域同时形成限定结构300,从而使得在形成相邻像素之间的限定结构的同时,形成围绕第二区域的限定结构,将形成两个位置处的限定结构的掩模合并兼容,有利于降低掩模数量,进而降低生产显示基板的成本。
图10为根据本公开另一实施例提供的显示装置的示意框图。如图10所示,本公开实施例提供改的一种显示装置包括上述任一种显示基板。
在本公开提供的显示装置中,第一环形限定结构在隔断发光功能层的至少一层的同时,实现第二电极的连续设置,可以在降低相邻子像素之间产生的串扰的同时,避免因第二电极大面积断裂而产生的亮度均一性问题。
在本公开提供的显示装置中,通过在第二区域的周围设置用于断开发光功能层和第二电极的至少一圈第二环形限定结构,可以将位于第一区域的发光元件与第二区域分隔开。
例如,该显示装置还包括位于显示基板出光侧的盖板。
例如,该显示装置可以为有机发光二极管显示装置等显示器件以及包括该显示装置的电视、数码相机、手机、手表、平板电脑、笔记本电脑、导航仪等任何具有显示功能的产品或者部件,本实施例不限于此。
图11A至图11E为根据本公开实施例提供的显示基板的部分区域的制作方法的示意性工艺流程图。采用图11A至图11E所示的制作方法可以形成图1所示A11区域中的图3所示的显示基板。图12A至图12C为根据本公开实施例提供的显示基板的另一部分区域的制作方法的示意性工艺流程图。采用图12A至图12C所示的制作方法可以形成图9A所示的显示基板。
如图11A所示,显示基板的制作方法包括提供衬底基板01;在衬底基板01上形成无机非金属材料层610。
在一些示例中,如图11A所示,在形成无机非金属材料层610之前,制作 方法还包括:在衬底基板01上形成第一绝缘层200。第一区域的一部分区域中,无机非金属材料层610形成在第一绝缘层200的表面上。
在一些示例中,如图12A、图8以及图9A所示,在形成第一绝缘层200之前,制作方法还包括:在衬底基板01上形成第二绝缘层500(如图8所示层间绝缘层04)。第一区域的另一部分区域中,无机非金属材料层610形成在第二绝缘层200的表面上。
例如,如图11A和图12A所示,在第一绝缘层200和第二绝缘层500表面上沉积一层无机非金属材料层610。例如,无机非金属材料层610的厚度可以为300~550埃。例如,无机非金属材料层610的厚度可以为500埃。例如,无机非金属材料层610的材料可以为氮化硅(SiNx)。
在一些示例中,如图11A和图11B所示,在无机非金属材料层610远离衬底基板01的一侧形成遮挡结构700。例如,在无机非金属材料层610上涂覆掩模层。例如,掩模层的材料包括光刻胶。例如,对掩模层图案化形成遮挡结构700。
在一些示例中,如图11A和图11B所示,以遮挡结构700为掩模,且采用第一气体对无机非金属材料层610进行刻蚀以形成限定图案620。
例如,第一气体包括四氟化碳(CF4)和氧气混合气体。例如,采用第一气体刻蚀无机非金属材料层610形成限定图案620的过程中,第一气体会对限定图案620以外的第一绝缘层200进行一定程度的刻蚀而形成凹陷部,如loss,由此,限定图案620正下方的第一绝缘层200具有凸起,该位置处的第一绝缘层200的厚度大于其他位置处(凹陷部所在位置处)的第一绝缘层200的厚度。
例如,在后处理过程中,可以通过调控之间以尽量减少限定图案620正下方的第一绝缘层200的厚度与其他位置处的第一绝缘层200的厚度的差异。例如,也可以不采用后处理工艺处理显示基板上的膜层,以进一步降低限定图案正下方的第一绝缘层的厚度与其他位置处的第一绝缘层的厚度的差异。
在一些示例中,如图11A至图11C所示,以遮挡结构700为掩模,且采用第二气体对限定图案620进行刻蚀以形成限定结构300。
例如,在形成限定图案620后,遮挡结构700仍保留在限定图案620上,不被剥离。
例如,第二气体包括六氟化硫(SF6)和氧气的混合气体。例如,SF6可与氮化硅发生化学反应,对氮化硅的侧壁进行刻蚀以使得限定结构300的截面形 成倒梯形形貌。例如,第二气体不会对第二绝缘层200进行刻蚀,第二绝缘层200在上一步刻蚀工艺中形成的凸起210不会被进一步刻蚀。
如图1至图3、图11A至图11E所示,显示基板的制作方法包括在衬底基板01的至少第一区域A1中形成多个子像素10。至少两个相邻子像素10之间设置有至少一个限定结构300,至少部分子像素10中的每个子像素10包括发光元件100,形成发光元件100包括在垂直于衬底基板01的方向上依次形成层叠设置的第一电极110、发光功能层130以及第二电极120,第一电极110位于第二电极120与衬底基板01之间,发光功能层130包括多个膜层。
例如,形成第一绝缘层200之前,制作方法还包括在衬底基板01上形成其他膜层,栅极绝缘层、缓冲层、钝化层、多层导电层等膜层。
在一些示例中,如图3和图11C所示,位于相邻子像素10之间的限定结构300的靠近衬底基板01一侧表面在衬底基板01上的第一正投影301完全位于限定结构300的远离衬底基板01一侧表面在衬底基板01上的第二正投影302内,沿该相邻子像素10的发光区排列方向,第二正投影302的最大尺寸S2大于第一正投影301的最大尺寸S1。
在一些示例中,如图3所示,第一区域的至少部分区域中,发光功能层130中的至少一层在限定结构300的边缘处断开,且第二电极120在限定结构300的边缘处连续设置。
本公开实施例采用遮光结构为掩模,对非金属材料层采用两种不同气体进行两步刻蚀工艺以形成具有类似于底切结构的限定结构,在隔断发光功能层的至少一层的同时,实现第二电极的连续设置,可以在降低相邻子像素之间产生的串扰的同时,避免因第二电极大面积断裂而产生的亮度均一性问题。
在一些示例中,如图11B和图11C所示,限定图案620被分别位于限定图案620两侧且相邻的子像素的中心连线所在平面所截的截面形状包括矩形,限定结构300被上述平面所截的截面形状包括第一梯形,第一梯形远离衬底基板01的底边的长度大于第一梯形靠近衬底基板01的底边的长度,上述平面垂直于衬底基板01。
例如,限定结构300的第一正投影完全位于凸起210在衬底基板01上的正投影内。
例如,如图11C所示,凸起210的边缘与遮挡结构700的边缘在所述衬底基板上的正投影之间的距离小于0.5微米。例如,凸起210的边缘与遮挡结构 700的边缘在所述衬底基板上的正投影之间的距离小于0.4微米。例如,凸起210的边缘与遮挡结构700的边缘在所述衬底基板上的正投影之间的距离小于0.3微米。例如,凸起210的边缘与遮挡结构700的边缘在所述衬底基板上的正投影之间的距离小于0.2微米。例如,凸起210的边缘与遮挡结构700的边缘在所述衬底基板上的正投影之间的距离小于0.1微米。
例如,如图11C所示,凸起210的边缘与遮挡结构700的边缘齐平。
例如,如图11C所示,凸起210的边缘与限定结构300远离衬底基板01一侧表面的边缘在所述衬底基板上的正投影之间的距离小于0.5微米。例如,凸起210的边缘与限定结构300远离衬底基板01一侧表面的边缘在所述衬底基板上的正投影之间的距离小于0.4微米。例如,凸起210的边缘与限定结构300远离衬底基板01一侧表面的边缘在所述衬底基板上的正投影之间的距离小于0.3微米。例如,凸起210的边缘与限定结构300远离衬底基板01一侧表面的边缘在所述衬底基板上的正投影之间的距离小于0.2微米。例如,凸起210的边缘与限定结构300远离衬底基板01一侧表面的边缘在所述衬底基板上的正投影之间的距离小于0.1微米。
例如,如图11C所示,凸起210的边缘与限定结构300远离衬底基板01一侧表面的边缘齐平。例如,沿垂直于衬底基板01的方向延伸的直线经过凸起210的边缘以及限定结构300的远离衬底基板01一侧表面的边缘。例如,第二正投影与凸起210在衬底基板01上的正投影完全重合。
在一些示例中,如图11D所示,形成限定结构300后,制作方法还包括去掉遮挡结构300。
在一些示例中,如图11D所示,第一电极110在形成限定结构300后图案化形成。
例如,如图11C所示,在去掉遮挡结构300以后,在第一绝缘层200上形成导电层,并对导电层图案化形成第一电极110。例如,采用湿刻工艺图案化形成第一电极110,在采用湿刻工艺的过程中,可以完全去除限定结构倾斜侧壁处的导电层。
例如,如图11E所示,在形成第一电极110后,在第一电极110上形成有机材料层,并对该有机材料层图案化形成像素限定图案400。例如,像素限定图案400包括多个第一开口410,一个子像素10对应至少一个第一开口410,第一开口410被配置为暴露第一电极110。
例如,如图11E所示,像素限定图案400还包括第二开口420,限定结构300的至少部分被第二开口420暴露。图11E示意性的示出限定结构300完全被第二开口420暴露,但不限于此,限定结构300也可以如图5所示,仅被第二开口420暴露一部分。例如,发光功能层130的至少一层在限定结构300的被第二开口420暴露的边缘处断开,且第二电极120在该边缘处连续设置。
在一些示例中,如图11A至图12C所示,采用第一气体对无机非金属材料层610进行刻蚀以形成限定图案620包括对第一绝缘层200上的无机非金属材料层610和第二绝缘层500上的无机非金属材料层610同时刻蚀以形成限定图案620;采用第二气体对限定图案620进行刻蚀以形成限定结构300包括对第一绝缘层200上的限定图案620和第二绝缘层500上的限定图案620同时刻蚀以形成限定结构300。
例如,如图12A所示,在形成无机层后,对该无机层图案化形成第二绝缘层500,该第二绝缘层500包括位于远离图1所示第二区域A2的连续膜层以及靠近图1所示第二区域A2的环形绝缘部510。例如,环形绝缘部510可以与上述连续膜层为一体化设置的结构,或者环形绝缘部510可以与上述连续膜层间隔设置。
例如,如图12B所示,在形成环形绝缘部510后,将形成在其上的第一绝缘层等膜层刻蚀掉,以使得后续的无机非金属材料层610形成在环形绝缘部510的表面。例如,在环形绝缘部510上图案化形成限定图案620。
例如,可以在形成图11B所示限定图案620的同时形成图12B所示的限定图案620。形成图12B所示的限定图案620的方法与形成图12B所示的限定图案620的方法相同,在此不再赘述。
图12B至图12C省略了图11B至图11C所示的遮挡结构700。
例如,如图12C所示,在形成限定图案620后,采用第二气体对限定图案620进行刻蚀以形成第二环形限定结构330。例如,例如,SF6可与氮化硅发生化学反应,对氮化硅的侧壁进行刻蚀以使得第二环形限定结构330的截面形成倒梯形形貌。
例如,可以在形成图11C所示限定结构300,如第一环形限定结构,的同时形成图12C所示的第二环形限定结构330。
本公开提供的显示基板的制作方法,在形成相邻像素之间的限定结构的同时,形成围绕第二区域的限定结构,将形成两个位置处的限定结构的掩模合并 兼容,有利于降低掩模数量,进而降低生产显示基板的成本。
本公开提供的显示基板的制作方法中,将位于相邻子像素之间的限定结构与围绕第二区域的限定结构分别形成在材料不同的第一绝缘层和第二绝缘层中,有利于实现形成不同位置而起到不同作用的限定结构的制作方法的兼容,以降低掩模数量。
有以下几点需要说明:
(1)本公开的实施例附图中,只涉及到与本公开实施例涉及到的结构,其他结构可参考通常设计。
(2)在不冲突的情况下,本公开的同一实施例及不同实施例中的特征可以相互组合。
以上所述仅是本公开的示范性实施方式,而非用于限制本公开的保护范围,本公开的保护范围由所附的权利要求确定。
Claims (34)
- 一种显示基板,包括:衬底基板,至少包括第一区域;多个子像素,位于所述衬底基板上的第一区域,至少部分子像素中的每个子像素包括发光元件,所述发光元件包括发光功能层以及沿垂直于所述衬底基板的方向位于所述发光功能层两侧的第一电极和第二电极,所述第一电极位于所述发光功能层与所述衬底基板之间,所述发光功能层包括多个膜层,其中,所述显示基板还包括限定结构,至少两个相邻子像素之间设置有至少一个限定结构,位于相邻子像素之间的所述限定结构的靠近所述衬底基板一侧表面在所述衬底基板上的第一正投影完全位于所述限定结构的远离所述衬底基板一侧表面在所述衬底基板上的第二正投影内,沿该相邻子像素的发光区排列方向,所述第二正投影的最大尺寸大于所述第一正投影的最大尺寸,且所述限定结构包括无机非金属材料;所述第一区域的至少部分区域中,所述发光功能层中的至少一层在所述限定结构的边缘处断开,且相邻子像素的所述第二电极至少部分连续设置。
- 根据权利要求1所述的显示基板,其中,所述第二电极在所述限定结构的边缘处连续设置。
- 根据权利要求1或2所述的显示基板,其中,至少一个子像素的所述第二电极和与其在第一子方向相邻的子像素的所述第二电极连续设置,且所述至少一个子像素的所述第二电极和与其在第二子方向相邻的子像素的所述第二电极断开设置,所述第一子方向和所述第二子方向相交;和/或,至少一个子像素的所述第二电极和与其在第一子方向相邻的子像素的所述第二电极连续设置,且所述至少一个子像素的所述第二电极和与其在第二子方向相邻的子像素的所述第二电极连续设置,所述第一子方向和所述第二子方向相交。
- 根据权利要求1-3任一项所述的显示基板,其中,所述限定结构围绕至少一个子像素的50%以上的轮廓。
- 根据权利要求1-4任一项所述的显示基板,其中,至少一个子像素的所述第二电极和与其相邻的子像素的所述第二电极连续设置,且该相邻设置的两个子像素之间的所述第二电极在垂直于两者排布方向上的最小宽度大于1微 米。
- 根据权利要求5所述的显示基板,其中,该相邻设置的两个子像素的中心连线在所述第二电极所在平面的正投影位于所述第二电极内。
- 根据权利要求1-6任一项所述的显示基板,其中,至少部分限定结构的轮廓与被所述至少部分限定结构围绕的所述子像素的发光区的轮廓相同,且不同限定结构与被所述不同限定结构围绕的所述子像素的发光区的彼此靠近的边缘之间的间距之比为0.9~1.1。
- 根据权利要求1-7任一项所述的显示基板,其中,所述限定结构被所述中心连线所在平面所截的截面形状包括第一梯形,所述第一梯形远离所述衬底基板的第一底边的长度大于所述第一梯形靠近所述衬底基板的第二底边的长度,所述平面垂直于所述衬底基板。
- 根据权利要求8所述的显示基板,其中,所述第一梯形的至少一侧腰的至少部分与所述第二底边之间的夹角为110~150度。
- 根据权利要求1-9任一项所述的显示基板,其中,所述限定结构的厚度为300~550埃。
- 根据权利要求1-10任一项所述的显示基板,还包括:第一绝缘层,位于所述限定结构与所述衬底基板之间,其中,所述第一区域的所述至少部分区域中,所述第一绝缘层与所述限定结构面向所述衬底基板一侧表面接触,所述第一绝缘层位于所述第一电极与所述衬底基板之间,所述第一绝缘层的材料包括有机材料。
- 根据权利要求11所述的显示基板,其中,所述第一绝缘层包括与所述限定结构的表面接触的凸起,所述第一正投影完全位于所述凸起在所述衬底基板上的正投影内。
- 根据权利要求12所述的显示基板,其中,所述凸起的边缘与所述限定结构远离所述衬底基板一侧表面的边缘在所述衬底基板上的正投影之间的距离小于0.5微米。
- 根据权利要求12或13所述的显示基板,其中,所述第一电极的表面与所述第一绝缘层的表面接触,且所述第一电极远离所述衬底基板一侧表面与所述衬底基板之间的距离小于所述限定结构远离所述衬底基板一侧表面与所述衬底基板之间的距离。
- 根据权利要求1-14任一项所述的显示基板,还包括:像素限定图案,位于所述第一电极远离所述衬底基板的一侧,至少位于所述第一区域的所述像素限定图案包括多个第一开口,一个子像素对应至少一个第一开口,所述子像素的发光元件至少部分位于所述子像素对应的第一开口中,且所述第一开口被配置为暴露所述第一电极,其中,所述像素限定图案还包括第二开口,所述限定结构的至少部分被所述第二开口暴露。
- 根据权利要求15所述的显示基板,其中,所述发光功能层的至少一层在所述第二开口暴露的所述限定结构的至少部分边缘处断开,且所述第二电极在所述限定结构的该边缘处连续设置。
- 根据权利要求1-16任一项所述的显示基板,其中,所述发光功能层的至少一层膜层包括电荷产生层,所述发光功能层包括层叠设置的第一发光层、所述电荷产生层以及第二发光层,所述电荷产生层位于所述第一发光层与所述第二发光层之间,且所述电荷产生层在所述限定结构的边缘处断开。
- 根据权利要求1-17任一项所述的显示基板,其中,所述多个子像素包括多个第一颜色子像素、多个第二颜色子像素以及多个第三颜色子像素,所述限定结构包括多个第一环形限定结构,所述第一环形限定结构围绕所述多个第一颜色子像素、所述多个第二颜色子像素和所述多个第三颜色子像素中的至少一个子像素。
- 根据权利要求18所述的显示基板,其中,至少部分子像素中的每个子像素还包括像素电路,至少一个子像素的发光元件的第一电极包括主体电极和连接电极,在垂直于所述衬底基板的方向上,所述主体电极与所述发光元件的发光区交叠,且所述连接电极与所述发光元件的发光区没有交叠,所述像素电路与所述连接电极电连接,围绕所述至少一个子像素的所述第一环形限定结构包括缺口,在垂直于所述衬底基板的方向,所述第一环形限定结构与所述连接电极不交叠。
- 根据权利要求11所述的显示基板,还包括:第二绝缘层,位于所述限定结构与所述衬底基板之间,其中,所述衬底基板还包括第二区域,所述第一区域位于所述第二区域的周边;所述第二绝缘层包括围绕所述第二区域的至少一个环形绝缘部,所述限定结构还包括与所述环形绝缘部远离所述衬底基板一侧表面接触的第二环形限 定结构,所述第二绝缘层位于所述第一绝缘层面向所述衬底基板的一侧,所述第二绝缘层的材料包括无机非金属材料,且所述第二绝缘层的材料与所述限定结构的材料不同,所述发光功能层以及所述第二电极均在所述第二环形限定结构的边缘位置处断开。
- 根据权利要求20所述的显示基板,其中,所述第二环形限定结构的截面包括第二梯形,所述第二梯形远离所述衬底基板的底边的长度大于所述第二梯形靠近所述衬底基板的底边的长度。
- 根据权利要求20或21所述的显示基板,其中,所述第二环形限定结构在所述衬底基板上的正投影位于所述环形绝缘部在所述衬底基板上的正投影内。
- 根据权利要求21所述的显示基板,其中,所述限定结构被所述中心连线所在平面所截的截面形状包括第一梯形,所述第一梯形远离所述衬底基板的第一底边的长度大于所述第一梯形靠近所述衬底基板的第二底边的长度,所述平面垂直于所述衬底基板;所述第一梯形在垂直于所述衬底基板的方向的尺寸与所述第二梯形在垂直于所述衬底基板的方向的尺寸之比为0.8~1.2,且所述第一梯形的腰与所述第二底边之间的夹角与所述第二梯形的腰与所述第二梯形的靠近所述衬底基板一侧底边之间的夹角之比为0.8~1.2。
- 一种显示基板,包括:衬底基板,至少包括第一区域;多个子像素,位于所述衬底基板上的第一区域,至少部分子像素中的每个子像素包括发光元件,所述发光元件包括发光功能层以及沿垂直于所述衬底基板的方向位于所述发光功能层两侧的第一电极和第二电极,所述第一电极位于所述发光功能层与所述衬底基板之间,所述发光功能层包括多个膜层,其中,所述显示基板还包括限定结构,至少两个相邻子像素之间设置有至少一个限定结构,所述多个子像素包括第一子像素、第二子像素以及第三子像素,所述第二子像素和所述第三子像素均与所述第一子像素相邻,所述第一子像素与所述第二子像素之间设置的所述限定结构在该两个子像素的排列方向上的最大尺寸为第一尺寸,所述第一子像素与所述第三子像素之间设置的所述限定结构在该两个子像素的排列方向上的最大尺寸为第二尺寸,所述第一尺寸与所述第二尺寸不同。
- 根据权利要求24所述的显示基板,其中,所述多个子像素沿第一方向和第二方向阵列排布,且所述多个子像素中部分子像素沿第三方向和第四方向阵列排布,所述第一方向与所述第二方向垂直,所述第三方向与所述第四方向垂直,所述第一方向与所述第三方向相交;沿所述第一方向或所述第二方向排列的相邻两个子像素之间的所述限定结构在该两个子像素的排列方向上的最大尺寸为第三尺寸,沿所述第三方向或所述第四方向排列的相邻两个子像素之间的所述限定结构在该两个子像素的排列方向上的最大尺寸为第四尺寸,所述第三尺寸小于所述第四尺寸。
- 根据权利要求24或25所述的显示基板,其中,所述多个子像素包括多个绿色子像素、多个蓝色子像素以及多个红色子像素,相邻两个绿色子像素之间设置的所述限定结构在该两个绿色子像素的排列方向上的最大尺寸大于其他相邻子像素之间设置的所述限定结构在该相邻子像素的排列方向上的最大尺寸。
- 根据权利要求24-26任一项所述的显示基板,其中,至少部分子像素中的每个子像素还包括像素电路,至少一个子像素的发光元件的第一电极包括主体电极和连接电极,在垂直于所述衬底基板的方向上,所述主体电极与所述发光元件的发光区交叠,且所述连接电极与所述发光元件的发光区没有交叠,所述像素电路与所述连接电极电连接;所述第一区域的至少部分区域中,所述发光功能层中的至少一层在所述限定结构的边缘处断开,且所述第二电极在与所述连接电极交叠位置处的至少部分连续设置。
- 根据权利要求27所述的显示基板,其中,在垂直于所述衬底基板的方向上,所述限定结构与所述连接电极的至少部分没有交叠。
- 根据权利要求24-28任一项所述的显示基板,其中,所述至少部分子像素中的所述第二电极包括面状结构或者网状结构。
- 一种显示装置,包括权利要求1-29任一项所述的显示基板。
- 一种显示基板的制作方法,包括:提供衬底基板;在所述衬底基板上形成无机非金属材料层;在所述无机非金属材料层远离所述衬底基板的一侧形成遮挡结构;以所述遮挡结构为掩模,且采用第一气体对所述无机非金属材料层进行刻 蚀以形成限定图案;以所述遮挡结构为掩模,且采用第二气体对所述限定图案进行刻蚀以形成限定结构;在所述衬底基板的至少第一区域中形成多个子像素,其中,至少两个相邻子像素之间设置有至少一个限定结构,至少部分子像素中的每个子像素包括发光元件,形成所述发光元件包括在垂直于所述衬底基板的方向上依次形成层叠设置的第一电极、发光功能层以及第二电极,所述第一电极位于所述第二电极与所述衬底基板之间,所述发光功能层包括多个膜层;位于相邻子像素之间的所述限定结构的靠近所述衬底基板一侧表面在所述衬底基板上的第一正投影完全位于所述限定结构的远离所述衬底基板一侧表面在所述衬底基板上的第二正投影内,沿该相邻子像素的发光区排列方向,所述第二正投影的最大尺寸大于所述第一正投影的最大尺寸;所述第一区域的至少部分区域中,所述发光功能层中的至少一层在所述限定结构的边缘处断开,且相邻子像素的所述第二电极至少部分连续设置。
- 根据权利要求31所述的制作方法,其中,所述限定图案被所述中心连线所在平面所截的截面形状包括矩形,所述限定结构被所述平面所截的截面形状包括第一梯形,所述第一梯形远离所述衬底基板的底边的长度大于所述第一梯形靠近所述衬底基板的底边的长度,所述平面垂直于所述衬底基板。
- 根据权利要求31或32所述的制作方法,其中,形成所述限定结构后,所述制作方法还包括:去掉所述遮挡结构。
- 根据权利要求31-33任一项所述的制作方法,其中,在形成所述无机非金属材料层之前,所述制作方法还包括:在所述衬底基板上形成第一绝缘层,其中,所述第一区域的一部分区域中,所述无机非金属材料层形成在所述第一绝缘层的表面上;在形成所述第一绝缘层之前,所述制作方法还包括:在所述衬底基板上形成第二绝缘层,其中,所述第一区域的另一部分区域中,所述无机非金属材料层形成在所述第二绝缘层的表面上,采用第一气体对所述无机非金属材料层进行刻蚀以形成限定图案包括对所述第一绝缘层上的所述无机非金属材料层和所述第二绝缘层上的所述无机非金属材料层同时刻蚀以形成所述限定图案;采用第二气体对所述限定图案进行刻蚀以形成所述限定结构包括对所述第一绝缘层上的所述限定图案和所述第二绝缘层上的所述限定图案同时刻蚀以形成所述限定结构。
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2022
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WO2024044964A1 (zh) | 2024-03-07 |
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