CN117943974B - 一种抛光垫修整器装置 - Google Patents

Abstract

本发明公开了一种抛光垫修整器装置，包括加工台、安装在加工台上的旋台、晶圆装放器，以及垫体，所述加工台的上端固设有套筒，所述套筒中设置有控制竖杆先上升后旋动的驱动件，所述架板中设置有传动件；所述滑接架的底部转动连接有修整盘，所述壳罩中转动连接有轴柱，所述壳罩上设置有牵引件和连动件。本发明中，首先，通过驱动件控制架板先竖直向上移动，使得修整盘将呈竖向分布的状态，并相对旋台向外展露，达到方便工作人员对长期使用的修整盘进行更替的目的，其次，仅通过控制轴柱的转动，即可控制多个修整盘在转动的同时，相对垫体做径向的往复移动，达到简化设备运行程序、降低设备的投入成本和便于使用维护的目的。

Description

一种抛光垫修整器装置

技术领域

本发明涉及抛光垫修整装置技术领域，尤其涉及一种抛光垫修整器装置。

背景技术

抛光垫是用于对半导体晶片的精抛光上，抛光垫在一次次使用后，会出现釉化和磨损现象，从而影响抛光效果，为保障抛光垫对批量半导体晶片的连续抛光效果，在半导体晶片抛光加工的过程中，通常需要使用钻石修整盘对抛光垫进行摩擦修整，使得抛光垫表面始终处于粗糙的状态。

现有技术中，为提高对批量半导体晶片的抛光效率，工作人员通常会沿抛光垫周向分布多个晶圆装放器，实现对多个半导体晶片的同步抛光加工，而为保障半导体晶片抛光效果的一致性，工作人员往往也需要布置与晶圆装放器数量相同的钻石修整盘，对抛光垫进行实时的摩擦处理。

然而钻石修整盘为满足对抛光垫的覆盖摩擦，通常需要设置电驱动件控制修整盘相对抛光垫径向往复移动，同时还需要设置电驱动件控制修整盘的转动，当工作人员在设置多个沿抛光垫周向分布的修整盘时，往往需要通过多套电驱动设备分别负责各个修整盘的运转，从而导致现有的抛光垫在满足对多个半导体晶片抛光加工的过程中，存在设备的购置、运行和维护成本较高的问题。

基于上述缺陷，提供一种抛光垫修整器装置。

发明内容

本发明的目的在于：为了解决上述问题，而提出的一种抛光垫修整器装置。

为了实现上述目的，本发明采用了如下技术方案：一种抛光垫修整器装置，包括加工台、安装在加工台上的旋台、安装在加工台上沿旋台环向分布的晶圆装放器，以及粘接在旋台上的垫体，

所述加工台的上端固设有套筒，所述套筒的内侧滑动嵌设有竖杆，所述套筒中设置有控制竖杆先上升后旋动的驱动件，所述竖杆的上端固设有架板，所述架板上转动连接有旋接架，所述架板中设置有传动件，所述竖杆在竖向移动的过程中，旋接架在传动件的作用下相对架板转动；

所述旋接架上固设有壳罩，所述壳罩的侧端固设有呈环形分布的支架，所述支架的底部滑动连接有滑接架，所述滑接架的底部转动连接有作用垫体的修整盘，所述壳罩中转动连接有轴柱，所述壳罩上安装有控制轴柱转动的第二电机，所述壳罩上设置有牵引件和连动件，所述轴柱在转动时，滑接架在牵引件的作用下沿支架往复滑动，修整盘在连动件的作用下单向转动。

优选地，所述驱动件包括转动设置在套筒与竖杆之间的旋套，所述加工台的底部安装有控制旋套转动的第一电机。

优选地，所述竖杆的侧端固设有贯穿旋套与套筒的支杆，所述旋套上形成有配合支杆滑动的螺旋槽，所述套筒中形成有配合支杆滑动的滑槽，所述滑槽由竖向槽和横向槽组成。

优选地，所述传动件包括滑动连接在架板中的滑板，以及驱使滑板相对架板滑动的组件，所述旋接架上同轴固定有旋臂，所述旋臂朝向滑板的一端固设有凸块，所述滑板中形成有配合凸块滑动的凹槽。

优选地，驱使所述滑板相对架板滑动的组件包括转动连接在套筒外侧的旋环，所述旋环与滑板之间转动连接有支臂。

优选地，所述牵引件包括滑动套设在壳罩外侧的滑环，以及驱使滑环竖向往复移动的组件，所述滑环与滑接架之间转动连接有臂杆。

优选地，驱使所述滑环竖向往复移动的组件包括固设在滑环内端的导杆，所述壳罩中形成有配合导杆滑动的滑道，所述轴柱的侧壁上形成有配合导杆滑动的滑轨。

优选地，所述滑道为竖向槽，所述滑轨为波浪形起伏结构。

优选地，所述连动件包括固设在支架底部的挂板、转动连接在挂板内侧的轴杆，以及驱使轴杆转动的组件，所述滑接架上转动连接有与轴杆同轴分布的第三锥齿，所述滑接架中转动连接有与第三锥齿同轴固定的第四锥齿，且第三锥齿与第四锥齿啮合连接。

优选地，驱使所述轴杆转动的组件包括转动连接在挂板的外侧其与轴杆同轴固定的第二锥齿，所述轴柱的底部固设有与第二锥齿相啮合的第一锥齿。

综上所述，由于采用了上述技术方案，本发明的有益效果是：

1、本申请中，通过驱动件控制架板先竖直向上移动，在架板向上移动的过程中，旋接架会在传动件的作用下转动抬起，直至架板上升到位后，旋接架与架板呈垂直分布，随后驱动件带动架板转动一百八十度，此时修整盘将呈竖向分布的状态，并相对旋台向外展露，达到方便工作人员对长期使用的修整盘进行更替的目的。

2、本申请中，仅通过控制轴柱的转动，即可控制多个沿垫体环向分布的修整盘在转动的同时，相对垫体做径向的往复移动，从而达到简化设备运行程序、降低设备的投入成本和便于使用维护的目的。

附图说明

图1示出了根据本发明实施例提供的修整器装置的立体图；

图2示出了根据本发明实施例提供的修整器装置的剖视图；

图3示出了根据本发明图2提供的A处局部放大示意图；

图4示出了根据本发明实施例提供的壳罩的内外侧结构的***结构示意图；

图5示出了根据本发明实施例提供的套筒的内侧结构***示意图；

图6示出了根据本发明实施例提供的滑板与旋接架的配合结构示意图。

图例说明：

1、加工台；2、晶圆装放器；3、套筒；301、滑槽；4、旋套；401、螺旋槽；5、第一电机；6、竖杆；601、支杆；7、旋环；8、架板；9、旋接架；10、旋臂；11、凸块；12、滑板；1201、凹槽；13、支臂；14、壳罩；1401、滑道；15、轴柱；1501、滑轨；16、第一锥齿；17、第二电机；18、滑环；1801、导杆；19、支架；20、挂板；21、第二锥齿；22、轴杆；23、滑接架；24、臂杆；25、第三锥齿；26、第四锥齿；27、修整盘；28、旋台；29、垫体。

具体实施方式

下面将结合本发明实施例中的附图，对本发明实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例仅仅是本发明一部分实施例，而不是全部的实施例。基于本发明中的实施例，本领域普通技术人员在没有作出创造性劳动前提下所获得的所有其它实施例，都属于本发明保护的范围。

实施例一：

请参阅图1-6，本发明提供一种技术方案：一种抛光垫修整器装置，包括加工台1、安装在加工台1上的旋台28、安装在加工台1上沿旋台28环向分布的晶圆装放器2，以及粘接在旋台28上的垫体29；多个晶圆装放器2环向分布在旋台28的外侧，实现垫体29对多个半导体晶片的同步研磨修整。

加工台1的上端固设有套筒3，套筒3的内侧滑动嵌设有竖杆6，套筒3中设置有控制竖杆6先上升后旋动的驱动件，竖杆6的上端固设有架板8，架板8上转动连接有旋接架9，架板8中设置有传动件，竖杆6在竖向移动的过程中，旋接架9在传动件的作用下相对架板8转动；

当需要对修整盘27进行更替时，通过驱动件控制竖杆6带动架板8先竖直向上移动，使得修整盘27向上与垫体29相分离，在架板8向上移动的过程中，旋接架9将会在传动件的作用下相对架板8转动抬起，直至架板8上升到位后，旋接架9将转动与架板8呈垂直状态，随后竖杆6将在驱动件的作用下带动架板8转动一百八十度，此时修整盘27将呈竖向分布的状态，并相对旋台28向外展露，从而达到方便工作人员对长期使用的修整盘27进行更替的目的。

旋接架9上固设有壳罩14，壳罩14的侧端固设有呈环形分布的支架19，支架19的底部滑动连接有滑接架23，滑接架23的底部转动连接有作用垫体29的修整盘27，壳罩14中转动连接有轴柱15，壳罩14上安装有控制轴柱15转动的第二电机17，壳罩14上设置有牵引件和连动件，轴柱15在转动时，滑接架23在牵引件的作用下沿支架19往复滑动，修整盘27在连动件的作用下单向转动；

在通过修整盘27对垫体29进行修整的过程中，通过第二电机17控制轴柱15转动，此时沿壳罩14环向分布的多个滑接架23将在牵引件的作用下带动修整盘27做同步的往复滑动，使得修整盘27相对垫体29做径向移动，进而实现对垫体29进行大范围的修整作业，在此过程中，随着轴柱15的转动，修整盘27也将在连动件的作用下进行单向持续转动，实现对垫体29的有效修整。

实施例二：

与实施例一技术方案基本相同，区别在于，如图1、图2和图5所示，驱动件包括转动设置在套筒3与竖杆6之间的旋套4，加工台1的底部安装有控制旋套4转动的第一电机5；

竖杆6的侧端固设有贯穿旋套4与套筒3的支杆601，旋套4上形成有配合支杆601滑动的螺旋槽401，套筒3中形成有配合支杆601滑动的滑槽301，滑槽301由竖向槽和横向槽组成；

在启动第一电机5控制旋套4进行转动时，通过螺旋槽401对支杆601的压迫作用，驱使与支杆601先沿着滑槽301的竖向槽向上滑动，此时与支杆601固定的竖杆6将带动架板8将向上滑动，直至竖杆6向上滑动到位后，支杆601将移动至竖向槽和横向槽的交汇处，此时随着旋套4的继续转动，支杆601将沿着滑槽301的横向槽滑动，进而使得与支杆601固定的竖杆6带动架板8进行转动。

实施例三：

与实施例一技术方案基本相同，区别在于，如图5和图6所示，传动件包括滑动连接在架板8中的滑板12，以及驱使滑板12相对架板8滑动的组件，旋接架9上同轴固定有旋臂10，旋臂10朝向滑板12的一端固设有凸块11，滑板12中形成有配合凸块11滑动的凹槽1201；当滑板12相对架板8滑动时，固定在旋臂10上的凸块11将沿着凹槽1201滑动，通过凹槽1201对凸块11的压迫作用，驱使与旋臂10同轴固定的旋接架9进行转动。

驱使滑板12相对架板8滑动的组件包括转动连接在套筒3外侧的旋环7，旋环7与滑板12之间转动连接有支臂13；

当架板8随着竖杆6竖向移动的过程中，架板8与套筒3之间的距离发生变换，在此过程中，滑板12将在支臂13的作用下相对架板8水平滑动，当架板8随着竖杆6转动的过程中，支臂13将带动旋环7沿着支臂13转动。

实施例四：

与实施例一技术方案基本相同，区别在于，如图1、图2和图4所示，牵引件包括滑动套设在壳罩14外侧的滑环18，以及驱使滑环18竖向往复移动的组件，滑环18与滑接架23之间转动连接有臂杆24；当滑环18沿壳罩14竖向滑动的过程中，滑接架23将在臂杆24的作用下带动修整盘27沿支架19往复水平滑动。

驱使滑环18竖向往复移动的组件包括固设在滑环18内端的导杆1801，壳罩14中形成有配合导杆1801滑动的滑道1401，轴柱15的侧壁上形成有配合导杆1801滑动的滑轨1501；滑道1401为竖向槽，滑轨1501为波浪形起伏结构；当轴柱15转动过程中，导杆1801将沿着滑轨1501滑动，通过滑轨1501对导杆1801的压迫传动，驱使导杆1801沿着滑道1401滑动，进而使得与导杆1801固定的滑环18沿壳罩14竖向往复滑动。

实施例五：

与实施例一技术方案基本相同，区别在于，如图3和图4所示，连动件包括固设在支架19底部的挂板20、转动连接在挂板20内侧的轴杆22，以及驱使轴杆22转动的组件，滑接架23上转动连接有与轴杆22同轴分布的第三锥齿25，滑接架23中转动连接有与第三锥齿25同轴固定的第四锥齿26，且第三锥齿25与第四锥齿26啮合连接；第三锥齿25与轴杆22滑动连接，且第三锥齿25的内壁上形成有条形齿，轴杆22的侧壁上形成有配合条形齿滑动的条形槽，通过条形齿与条形槽的滑动配合，驱使第三锥齿25与轴杆22做同步转动；当轴杆22转动时，第三锥齿25将通过对第四锥齿26的啮合作用，驱使修整盘27进行转动。

驱使轴杆22转动的组件包括转动连接在挂板20的外侧其与轴杆22同轴固定的第二锥齿21，轴柱15的底部固设有与第二锥齿21相啮合的第一锥齿16；d当轴柱15转动时，与轴柱15固定的第一锥齿16将通过对第二锥齿21的啮合作用，驱使与第二锥齿21同轴固定的轴杆22进行转动。

实施例的上述说明，使本领域专业技术人员能够实现或使用本发明。对这些实施例的多种修改对本领域的专业技术人员来说将是显而易见的，本文中所定义的一般原理可以在不脱离本发明的精神或范围的情况下，在其它实施例中实现。因此，本发明将不会被限制于本文所示的这些实施例，而是要符合与本文所公开的原理和新颖特点相一致的最宽的范围。

Claims (6)

1.一种抛光垫修整器装置，包括加工台(1)、安装在加工台(1)上的旋台(28)、安装在加工台(1)上沿旋台(28)环向分布的晶圆装放器(2)，以及粘接在旋台(28)上的垫体(29)，其特征在于：

所述加工台(1)的上端固设有套筒(3)，所述套筒(3)的内侧滑动嵌设有竖杆(6)，所述套筒(3)中设置有控制竖杆(6)先上升后旋动的驱动件，所述竖杆(6)的上端固设有架板(8)，所述架板(8)上转动连接有旋接架(9)，所述架板(8)中设置有传动件，所述竖杆(6)在竖向移动的过程中，旋接架(9)在传动件的作用下相对架板(8)转动；

所述旋接架(9)上固设有壳罩(14)，所述壳罩(14)的侧端固设有呈环形分布的支架(19)，所述支架(19)的底部滑动连接有滑接架(23)，所述滑接架(23)的底部转动连接有作用垫体(29)的修整盘(27)，所述壳罩(14)中转动连接有轴柱(15)，所述壳罩(14)上安装有控制轴柱(15)转动的第二电机(17)，所述壳罩(14)上设置有牵引件和连动件，所述轴柱(15)在转动时，滑接架(23)在牵引件的作用下沿支架(19)往复滑动，修整盘(27)在连动件的作用下单向转动；

所述驱动件包括转动设置在套筒(3)与竖杆(6)之间的旋套(4)，所述加工台(1)的底部安装有控制旋套(4)转动的第一电机(5)；

所述传动件包括滑动连接在架板(8)中的滑板(12)，以及驱使滑板(12)相对架板(8)滑动的组件，所述旋接架(9)上同轴固定有旋臂(10)，所述旋臂(10)朝向滑板(12)的一端固设有凸块(11)，所述滑板(12)中形成有配合凸块(11)滑动的凹槽(1201)；

所述牵引件包括滑动套设在壳罩(14)外侧的滑环(18)，以及驱使滑环(18)竖向往复移动的组件，所述滑环(18)与滑接架(23)之间转动连接有臂杆(24)；

所述连动件包括固设在支架(19)底部的挂板(20)、转动连接在挂板(20)内侧的轴杆(22)，以及驱使轴杆(22)转动的组件，所述滑接架(23)上转动连接有与轴杆(22)同轴分布的第三锥齿(25)，所述滑接架(23)中转动连接有与第三锥齿(25)同轴固定的第四锥齿(26)，且第三锥齿(25)与第四锥齿(26)啮合连接。

2.根据权利要求1所述的一种抛光垫修整器装置，其特征在于，所述竖杆(6)的侧端固设有贯穿旋套(4)与套筒(3)的支杆(601)，所述旋套(4)上形成有配合支杆(601)滑动的螺旋槽(401)，所述套筒(3)中形成有配合支杆(601)滑动的滑槽(301)，所述滑槽(301)由竖向槽和横向槽组成。

3.根据权利要求1所述的一种抛光垫修整器装置，其特征在于，驱使所述滑板(12)相对架板(8)滑动的组件包括转动连接在套筒(3)外侧的旋环(7)，所述旋环(7)与滑板(12)之间转动连接有支臂(13)。

4.根据权利要求1所述的一种抛光垫修整器装置，其特征在于，驱使所述滑环(18)竖向往复移动的组件包括固设在滑环(18)内端的导杆(1801)，所述壳罩(14)中形成有配合导杆(1801)滑动的滑道(1401)，所述轴柱(15)的侧壁上形成有配合导杆(1801)滑动的滑轨(1501)。

5.根据权利要求4所述的一种抛光垫修整器装置，其特征在于，所述滑道(1401)为竖向槽，所述滑轨(1501)为波浪形起伏结构。

6.根据权利要求1所述的一种抛光垫修整器装置，其特征在于，驱使所述轴杆(22)转动的组件包括转动连接在挂板(20)的外侧其与轴杆(22)同轴固定的第二锥齿(21)，所述轴柱(15)的底部固设有与第二锥齿(21)相啮合的第一锥齿(16)。